JP3413736B2 - 二軸アクチュエータ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【産業上の利用分野】本発明は、コンパクトディスク，
光磁気ディスク等やこれらを使ったデータストレージ用
の情報記録媒体の信号を記録再生するために使用される
光学ピックアップ用の二軸アクチュエータに関するもの
である。 【０００２】 【従来の技術】従来、光ディスク、例えばいわゆるコン
パクトディスク（ＣＤ）や光磁気ディスクに対する情報
信号の再生もしくは記録は、光学ピックアップを使用し
て行なわれる。この光学ピックアップは、光源としての
半導体レーザ，対物レンズ，光学系及び光検出器を含ん
でいる。 【０００３】光学ピックアップにおいて、半導体レーザ
から出射された光ビームは、光学系を介して対物レンズ
によって光ディスクの記録面上に集光される。光ディス
クからの戻り光ビームは、光学系により半導体レーザか
ら出射された光ビームと分離されて、光検出器に導かれ
る。半導体レーザから出射された光ビームは、光ディス
クの反り等に起因して発生する光ディスクの面方向と直
交する方向の光ディスクの変位に追従して、光ディスク
の記録面上で合焦されるように、対物レンズの光軸方向
の位置が調整される。同時に、半導体レーザから出射さ
れた光ビームの光ディスク上のスポットの位置が光ディ
スクの偏心や光ディスク上に形成されたトラックの蛇行
に追従するように、対物レンズの光軸と直交する方向の
位置が調整される。 【０００４】この半導体レーザから出射された光ビーム
の合焦位置及び光ディスクの記録面上のスポット位置の
調整は、対物レンズを対物レンズの光軸方向の位置及び
光軸と直交する方向の位置を調整することによって行な
われる。対物レンズの位置調整には、電磁駆動型のアク
チュエータが使用される。このアクチュエータは、対物
レンズアクチュエータまたは二軸アクチュエータとい
い、対物レンズが取り付けられたボビンと、複数の弾性
支持部材と、駆動力を発生する駆動部とを含んでいる。
ボビンは、固定部に対して複数の弾性支持部材によっ
て、対物レンズの光軸方向の位置、すなわちフォーカス
位置と、対物レンズの光軸と直交する方向の位置、すな
わちトラッキング位置が調整可能に支持されている。以
下、この二軸アクチュエータの一例を図８にて説明す
る。 【０００５】このような二軸アクチュエータは、例えば
図８に示すように構成されている。図８において、二軸
アクチュエータ１は、対物レンズ２ａが先端に取り付け
られたレンズホルダー２と、該レンズホルダー２に対し
て、接着等により取り付けられたコイルボビン３とから
構成されている。 【０００６】上記レンズホルダー２は、一端が該レンズ
ホルダー２の両側に、また他端が固定部４に対して固定
された二対の弾性支持部材５によって、固定部４に対し
て垂直な二方向、即ち符号Ｔｒｋで示すトラッキング方
向及び、符号Ｆｃｓで示すフォーカシング方向に移動可
能に支持されている。 【０００７】また、上記コイルボビン３は、図９に示す
ように、構成されている。即ち、コイルボビン３は、上
下に貫通する開口部３ａを備えていると共に、該開口部
３ａを包囲するように巻回されたフォーカシング用コイ
ル３ｂと、該フォーカシング用コイル３ｂの前側にて、
左右二ヶ所に設けられたトラッキング用コイル３ｃとを
備えている。各コイル３ｂ，３ｃは、それぞれ巻線機を
使用して巻回されると共に、その巻線端末は、図９に示
すように、コイルボビン３の固定部側に突出するように
設けられた４本の端子ピン３ｄに対して、それぞれ巻線
機により巻回された後、ハンダ付けにより、接続される
ようになっている。 【０００８】そして、各コイル３ｂ，３ｃに通電するこ
とにより、各コイル３ｂ，３ｃに発生する磁束が、固定
部４に取り付けられたヨーク６及びそれに取り付けられ
たマグネット７による磁束と相互に作用するようになっ
ている。 【０００９】さらに、上記弾性支持部材５は、弾性体に
より形成され、レンズホルダー２と固定部４との間に互
いに平行になるように固定されている。弾性支持部材５
の端部領域には粘性体８が塗布され、ダンパーの役割を
果たす。 【００１０】このように構成された二軸アクチュエータ
１によれば、外部から、各コイルに駆動電圧が供給され
ることにより、各コイルに発生する磁束が、ヨーク６及
びマグネット７による磁束と相互に作用して、該コイル
ボビン３が、トラッキング方向Ｔｒｋ及びフォーカシン
グ方向Ｆｃｓに対して移動され得る。かくして、レンズ
ホルダー２に取り付けられた対物レンズ２ａが、フォー
カシング方向及びトラッキング方向に対して適宜に移動
せしめられ得るようになっている。 【００１１】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成の二軸アクチュエータ１においては、コイルボ
ビン３のレンズホルダー２への取付は、コイルボビン３
をレンズホルダー２の開口部内に挿入して、接着剤によ
りコイルボビン３をレンズホルダー２の開口部内にて接
着することにより、行なわれるようになっている。この
ため、コイルボビン３のレンズホルダー２の開口部内で
の位置決めが困難であり、組立作業性が悪いという問題
があった。 【００１２】さらに、コイルボビン３のレンズホルダー
への接着の際に、接着剤がはみだすことがある。従っ
て、はみだした接着剤により、コイルボビン３のレンズ
ホルダー２への取付精度が低下してしまうという問題が
あった。 【００１３】また、レンズホルダーが、上部及び下部に
二分割されていて、この上部及び下部を互いに接着剤に
より接着することにより、一体に形成される場合におい
ては、レンズホルダーの上部及び下部を互いに接着剤に
より接着して一体に形成した後に、レンズホルダーの開
口部内にコイルボビンを挿入し、接着剤により接着する
ようにしている。従って、この場合にも、一体に形成さ
れたレンズホルダーの場合と同様に、組立作業性が悪
く、且つ取付精度が低下してしまうという問題があっ
た。 【００１４】本発明は、以上の点に鑑み、コイルボビン
のレンズホルダーへの取付が容易に且つ正確に行われる
ようにした、二軸アクチュエータを提供することを目的
としている。 【００１５】 【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明によ
れば、対物レンズを支持するレンズホルダーと、このレ
ンズホルダーを固定部に対して弾性的に支持する弾性支
持部材と、前記レンズホルダーの前記開口部内に挿入さ
れ、フォーカシング用コイル及びトラッキング用コイル
が巻回されるコイルボビンと、前記レンズホルダーの前
記開口部とコイルボビンの外側面との間に、コイルボビ
ンをレンズホルダーに対して接着するための接着剤が流
し込まれる接着剤溜りとを備える、二軸アクチュエータ
により、達成される。 【００１６】 【作用】上記構成によれば、対物レンズを保持するレン
ズホルダーが、弾性支持部材によって支持されているこ
とにより、フォーカシング用コイルまたはトラッキング
用コイルに通電することにより、弾性支持部材の張力に
抗して、レンズホルダーがフォーカシング方向またはト
ラッキング方向に沿って移動せしめられ、対物レンズの
フォーカシングまたはトラッキングが行なわれる。 【００１７】ここで、コイルボビンは、一体のレンズホ
ルダーに対して、または上部及び下部に二分割されたレ
ンズホルダーを互いに接着剤により接着する際に、上記
接着剤溜りの接着剤を流し込むことにより、同時に、レ
ンズホルダーに対して一体に接着され得るので、コイル
ボビンのレンズホルダーに対する位置決めが正確に行わ
れることになる。 【００１８】上記接着剤溜りが、レンズホルダーの開口
部またはレンズホルダーの上部及び下部の開口部を画成
する内面と、コイルボビンの外側面により画成されてい
る場合には、レンズホルダーの成形の際に、接着剤溜り
が形成され得ることになる。 【００１９】上記接着剤溜りが、レンズホルダー上部の
開口部を画成する内面と、レンズホルダー下部の上面及
びこの上面から上方に延びる立上り片と、コイルボビン
の外側面により画成されている場合には、レンズホルダ
ーの成形の際に、接着剤溜りが形成され得ると共に、こ
の接着剤溜りへの接着剤の塗布が、上方から行なわれる
ことになる。 【００２０】 【実施例】以下、この発明の好適な実施例を図１乃至図
７を参照しながら、詳細に説明する。尚、以下に述べる
実施例は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に
好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲
は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載
がない限り、これらの態様に限られるものではない。 【００２１】図１乃至図３は、本発明による二軸アクチ
ュエータの一実施例を示している。図１乃至図３におい
て、二軸アクチュエータ１０は、レンズホルダー１１，
コイルボビン１２，複数の弾性支持部材１３ａ，１３
ｂ，１３ｃ，１３ｄ，固定部１４，ヨーク３１を含んで
いる。 【００２２】上記レンズホルダー１１は、図３に示すよ
うに、水平な分割ラインによって、上部１１Ｕ及び下部
１１Ｌに分割されており、接着剤によって互いに接着さ
れている。さらに、上記レンズホルダー１１には、図３
に示すように、コイルボビンが取り付けられる開口部１
１ａが形成されていると共に、対物レンズが取り付けら
れる凹部１１ｂが形成されている。この凹部１１ｂの底
面には、半導体レーザから出射された光ビームまたは光
ディスクの記録面からの戻り光ビームが通過する穴が形
成されている。レンズホルダー１１の凹部１１ｂには、
対物レンズ１１ｃが接着等により取り付けられる。 【００２３】さらに、上記レンズホルダー１１は、弾性
支持部材１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄによって、フ
ォーカシング方向Ｆｃｓ及びトラッキング方向Ｔｒｋ方
向に移動可能に支持されている。 【００２４】コイルボビン１２には、ベースと一体のヨ
ーク３１及びその内ヨーク３１ａの内側面に取り付けら
れたマグネット３２から成る磁気回路が挿入される開口
部１２ａが形成されていると共に、フォーカシング用コ
イル１２ｂ及びトラッキング用コイル１２ｃが備えられ
ている。 【００２５】フォーカシング用コイル１２ｂは、コイル
ボビン１２に対して対物レンズ１１ｃの光軸と平行な軸
に沿って巻回されている。また、トラッキング用コイル
１２ｃは、楕円状または矩形状にコイルを巻回すること
によって形成され、フォーカシング用コイル１２ｂの一
つの側面に形成した巻付け部に取り付けられている。コ
イルボビン１２の上面は、ヨークブリッジ３６によって
覆われている。このヨークブリッジ３６は、前記磁気回
路のヨーク部と共に、閉磁路を構成するものであっても
よい。コイルボビン１２は、フォーカシング用コイル１
２ｂ及びトラッキング用コイル１２ｃが取り付けられた
状態で、レンズホルダー１１に形成された開口部１１ａ
に取り付けられる。 【００２６】上記弾性支持部材１３ａ，１３ｂ，１３
ｃ，１３ｄは、導電性があり、しかもバネ性があるもの
が好ましく、例えばリン青銅やベリリウム銅，チタン
銅，スズ−ニッケル合金，ステンレス鋼等の材質のもの
が使用される。これらにより、本実施例では、薄い板金
によって、例えば板バネサスペンションとして形成さ
れ、レンズホルダー１１と固定部１４との間に互いに平
行になるように固定されている。これにより、上記弾性
支持部材１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄは、図示しな
い外部の電流供給手段からの駆動電流を、コイルボビン
１２に巻回されたフォーカシング用コイル１２ｂ及びト
ラッキング用コイル１２ｃの各端子に対して供給するよ
うに構成してもよい。また、この弾性支持部材１３ａ，
１３ｂ，１３ｃ，１３ｄの端部領域１５には、制振用の
粘性体１６が塗布され且つ硬化されている。これによ
り、トラッキング及びフォーカシング方向に二軸アクチ
ュエータ１０を移動させる際の、有害な振動を効果的に
防止するようになっている。 【００２７】レンズホルダー１１と固定部１４が４本の
弾性支持部材１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄにより連
結された状態で、調整プレート３０に対して、上記固定
部１４が取り付けられる。この調整プレート３０は、二
軸アクチュエータ１０の組立時に固定部１４の固定位置
を調整するためのものである。そして、調整プレート３
０は、ヨークと一体に形成されたベース３１に対して、
ハンダ付け等により固定される。この調整プレート３０
のベース３１への取付は、この調整プレート３０の後端
付近にて両側から上方に延びる立上り部３０ａが、ベー
ス３１の後端の両側から上方に延びる立上り部に対して
ハンダ付けされることにより、行なわれる。 【００２８】ここで、ベース３１には、前記磁気回路を
構成する一対のヨーク３１ａ，３１ｂがベース３１の対
物レンズ側の端部をそれぞれ上方に曲折することにより
設けられている。そして、内ヨーク３１ａの対向ヨーク
３１ｂに対向する内側面には永久磁石３２が備えられて
いる。これにより、一対のヨーク３１ａ，３１ｂと永久
磁石３２により、磁気回路が構成されている。そして、
上述のように、固定部１４がベース３１に取り付けられ
ると、対向ヨーク３１ｂと永久磁石３２との間のギャッ
プ内に、コイルボビン１２に取り付けられたフォーカシ
ング用コイル１２ｂ及びトラッキング用コイル１２ｃが
挿入される。同時に、内ヨーク３１ａ及び永久磁石３２
が、コイルボビン１２の開口部１２ａ内に挿入されるこ
とになる。 【００２９】さらに、本実施例による二軸アクチュエー
タ１０においては、レンズホルダー１１の上部１１Ｕ
は、図において上下方向に貫通している開口部１１ａを
画成する内面の前端付近に、接着剤溜り１７を画成する
切欠部１１ｄを備えている。これに対して、レンズホル
ダー１１の下部１１Ｌは、その開口部１１ａを画成する
内面の前端付近にて内側から上方に向かって延びる立上
り片１１ｅを備えている。これにより、レンズホルダー
１１の上部１１Ｕと下部１１Ｌが組み合わされた状態
で、その開口部１１ａ内にコイルボビン１２が挿入され
ると、レンズホルダー１１の上部１１Ｕの切欠部１１
ｄ，レンズホルダー１１の下部１１Ｌの立上り片１１ｅ
及びコイルボビン１２の外側面によって、接着剤溜り１
７が周囲から画成されると共に、レンズホルダー１１の
下部１１Ｌの上面によって、接着剤溜り１７が下方から
画成される。かくして、上方に向かって開放した接着剤
溜り１７が画成され得ることになる。 【００３０】この場合、接着剤溜り１７が上方に開放し
ていることにより、例えば図５に示すように、弾性支持
部材１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄが、複数個のレン
ズホルダー１１及び固定部１４に対してアウトサート成
形のために、プレス成形等により、一体に形成されてい
る場合には、弾性支持部材１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１
３ｄに対して一体に形成されたレンズホルダー１１に対
して、各レンズホルダー１１の開口部１１ａに対して、
上方からコイルボビン１２が挿入され、さらに上方から
接着剤１８が接着剤溜り１７に注入され得る。 【００３１】また、コイルボビン１２は、図９に示すよ
うにその後側の側面にて、固定部１４側に向かって突出
するように、上下の端部に二本づつ設けられた４本の端
子ピン１２ｄを備えている。この端子ピン１２ｄには、
コイルボビン１２に巻回されたフォーカシング用コイル
１２ｂ及びトラッキング用コイル１２ｃの巻線端末が、
カラゲられている。この場合、巻線端末は、絶縁被覆が
除去された状態でカラゲされ、またはカラゲられた後
に、表面部分のみの絶縁被覆が、例えばスクライブ処理
等によって、除去される。 【００３２】尚、各端子ピン１２ｄは、コイルボビン１
２と同じモールド材料、好ましくは適度の剛性を有する
材料により、コイルボビン１２に対して一体成形されて
いる。これに対して、レンズホルダー１１の開口部１１
ａ内では、コイルボビン１２が挿入されたとき、各端子
ピン１２ｄに接触し得る位置にて露出するように、接続
端子、好ましくは各弾性支持部材１３ａ，１３ｂ，１３
ｃ，１３ｄの内側端部が、配設されている。 【００３３】本実施例による二軸アクチュエータ１０
は、以上のように構成されており、以下、動作及び作用
を述べる。コイルボビン１２に巻回されたフォーカシン
グ用コイル１２ｂ及びトラッキング用コイル１２ｃに対
して、フォーカスサーボ信号及びトラッキングサーボ信
号に基づく電流が、それぞれ供給される。これにより、
磁気回路の直流磁界とフォーカシング用コイル１２ｂ及
びトラッキング用コイル１２ｃから生ずる交番磁界とに
よって、レンズホルダー１１即ち対物レンズ１１ｃがフ
ォーカス方向Ｆｃｓ及びトラッキング方向Ｔｒｋに駆動
させる。 【００３４】また、ダンパーとして、弾性支持部材１３
ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄの固定部１４側の端部領域
１５に粘性体１６が塗布され、硬化されているので、所
望のｆ０，Ｑ及びダンピング特性が得られることにな
る。これにより、フォーカス時またはトラッキング時
に、弾性支持部材１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄの振
動が減衰され得る。 【００３５】ここで、レンズホルダー１１の上部１１Ｕ
の下面及び下部１１Ｌの上面を互いに対向させて組み立
てる場合、先づレンズホルダー１１の上部１１Ｕと下部
１１Ｌを整合させて重ねることにより位置決めすると共
に、レンズホルダー１１の開口部１１ａ内にコイルボビ
ン１２を挿入して、位置決めする。その後、レンズホル
ダー１１の開口部１１ａとコイルボビン１２の外側面に
よって画成された接着剤溜り１７内に、接着剤１８が注
入される。この接着剤１８は、例えば紫外線硬化型の接
着剤が使用される。 【００３６】これにより、接着剤溜り１７内の接着剤
は、レンズホルダー１１の上部１１Ｕの切欠部１１ｄに
接触し、またレンズホルダー１１の下部１１Ｌの立上り
片１１ｅ及び上面に接触すると共に、コイルボビン１２
の外側面に接触する。これにより、接着剤溜り１７内の
接着剤１８に対して、例えば光ファィバー（図示せず）
を介して、紫外線が照射されることにより、該接着剤１
８は硬化し、これにより、レンズホルダー１１の上部１
１Ｕ及び下部１１Ｌとコイルボビン１２が、一体に接着
固定され得ることになる。かくして、コイルボビン１２
のレンズホルダー１１への組立作業が、容易に且つ高精
度で行われることになる。 【００３７】この場合、コイルボビン１２の挿入方向及
び接着剤１８の注入方向が同じであるので、接着剤１８
の注入作業が、弾性支持部材１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，
１３ｄに干渉するようなことはなく、また、接着剤１８
の硬化のためにの紫外線ガイド用の光ファィバーが、接
着剤溜り１８まで容易に接近され得るので、容易に自動
機による組立作業が容易に行われることになる。 【００３８】さらに、接着剤１８が上方から注入され得
ることから、レンズホルダー１１の上部１１Ｕ及び下部
１１Ｌに支持される弾性支持部材１３ａ，１３ｃと１３
ｂ，１３ｄが、互いに接近して配設され得るので、レン
ズホルダー１１全体が薄型に構成され得ることになる。 【００３９】尚、コイルボビン１２の端子ピン１２ｄに
は、各コイル１２ｂ，１２ｃの巻線端末がカラゲられ、
絶縁被覆が除去されることにより、導線が露出してい
る。これにより、コイルボビン１２がレンズホルダー１
１の開口部１１ａ内に挿入されることにより、上記端子
ピン１２ｄは、それぞれレンズホルダー１１の開口部１
１ａ内に露出している接続端子（図示せず）、例えば各
弾性支持部材１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄの内側端
部に接触する。これにより、各コイル１２ｂ，１２ｃ
は、それぞれ端子ピン１２ｄから、弾性支持部材１３
ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄを介して、固定部１４に
て、外部の駆動回路に接続され得ることになる。 【００４０】この場合、各端子ピン１２ｄにて各コイル
１２ｂ，１２ｃの巻線端末は、ハンダ付けされていない
ので、ハンダ付けに使用されるハンダの量によって、端
子ピン１２ｄの重量にバラツキが出ない。従って、コイ
ルボビン１２そしてレンズホルダー１１の重量バランス
のバラツキが低減されることになる。かくして、図６に
示すように、Ｙ軸に関する振動特性が改善されることに
なる。 【００４１】また、端子ピン１２ｄが、図７に示すよう
に、レンズホルダー１１の両側に配設されている場合に
は、Ｘ軸に関する振動特性が改善されることになる。 【００４２】尚、上述した実施例においては、弾性支持
部材１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄは、それぞれレン
ズホルダー１１及び固定部１４に対して、単に固定され
ていると説明したが、レンズホルダー１１及び固定部１
４に対してインサート形成等により一体形成されていて
もよいことは明らかである。 【００４３】また、レンズホルダー１１は、上部１１Ｕ
及び下部１１Ｌに二分割されているが、これに限らず、
一体に形成されたレンズホルダーの場合にも、本発明を
適用し得ることは明らかである。 【００４４】 【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、コ
イルボビンのレンズホルダーへの取付が容易に且つ正確
に行われるようにした、二軸アクチュエータを提供する
ことができる。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明による光学ピックアップ用二軸アクチュ
エータの一実施例の全体構成を前方から見た示す概略斜
視図である。 【図２】図１の二軸アクチュエータを後方から見た示す
概略斜視図である。 【図３】図１の二軸アクチュエータの分解斜視図であ
る。 【図４】図１の二軸アクチュエータにおける接着剤溜り
を示す部分拡大断面図である。 【図５】図１の二軸アクチュエータにおける弾性支持部
材に対して複数のレンズホルダーを一体にアウトサート
成形する状態を示す概略平面図である。 【図６】図１の二軸アクチュエータにおける横軸に関す
る重量バランスを示す概略側面図である。 【図７】図１の二軸アクチュエータにおける異なる構成
の端子ピンによる長手軸に関する重量バランスを示す概
略側面図である。 【図８】従来の光学ピックアップ用二軸アクチュエータ
の一例の全体構成を示す概略斜視図である。 【図９】図８の二軸アクチュエータにおけるコイルボビ
ンの構成を示す概略斜視図である。 【符号の説明】 １０ 二軸アクチュエータ １１ レンズホルダー １１ａ 開口部 １１ｂ 凹部 １１ｃ 対物レンズ １１ｄ 切欠部 １１ｅ 立上り片 １２ コイルボビン １２ａ 開口部 １２ｂ フォーカシング用コイル １２ｃ トラッキング用コイル １２ｄ 端子ピン １３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ 弾性支持部材 １４ 固定部 １５ 端部領域 １６ 粘性体 １７ 接着剤溜り １８ 接着剤

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−29194（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−162534（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−328336（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−274910（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−147733（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G11B 7/09 - 7/10

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 対物レンズを支持する上部及び下部に分
   割され且つ一体に接着されるレンズホルダーと、 このレンズホルダーを固定部に対して弾性的に支持する
   弾性支持部材と、 前記レンズホルダーの開口部内に挿入され、フォーカシ
   ング用コイル及びトラッキング用コイルが巻回されるコ
   イルボビンと、 前記レンズホルダーの前記開口部とコイルボビンの外側
   面との間に、コイルボビンをレンズホルダーに対して接
   着するための接着剤が流し込まれる接着剤溜りと、を備
   え、 前記接着剤溜りが、レンズホルダー上部の開口部を画成
   する内面と、レンズホルダー下部の上面及びこの上面か
   ら上方に延びる立上り片と、コイルボビンの外側面によ
   り画成されている ことを特徴とする二軸アクチュエー
   タ。