JP3341324B2 - Work transfer device and work transfer method - Google Patents
Work transfer device and work transfer methodInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、電子部品等のワークを
治具から治具に受け渡すためのものであって、受渡側治
具と受取側治具とにおけるワークの配列及び並び間隔等
が異なる場合等にも適用可能なワーク移載装置及びワー
ク移載方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is for transferring a work such as an electronic component from a jig to a jig. Work transfer device and work
This is related to the transfer method .
【０００２】[0002]
【従来の技術】電子部品等からなるワークの試験・測定
を行う場合において、ロードステーションにおいて、前
工程から搬入される収納用治具から測定用治具にワーク
を移載し、またアンロードステーションでは、測定用治
具から収納用治具に戻す作業を行わなければならないこ
とがある。例えば、ＩＣデバイスの電気的特性の試験・
測定を行う際に、測定用基板にワークを搭載するソケッ
トを多数個配置して、各ソケットからコンタクトピンを
下方に突出する状態に設け、この測定基板の各ソケット
にワークを搭載して、測定基板ごとテスタのテストヘッ
ドに接続して、各ソケットに搭載されているワークを同
時に通電テストするように構成したものがある。この場
合においては、テスト前の段階では、収納用治具として
のトレーにワークを並べて配置し、このトレーをロード
ステーションに配置して、真空吸着ヘッド等を備えたピ
ックアンドプレイス手段を用いてワークを測定用基板に
移載する。また、テスト終了後には、測定用基板をアン
ロードステーションに移行させて、同様のピックアンド
プレイス手段によりアンロード用のトレーにワークを移
載する。2. Description of the Related Art When testing and measuring a work composed of electronic parts or the like, a work is transferred from a storage jig carried in from a previous process to a measurement jig at a load station, and an unload station is mounted. Then, it may be necessary to perform an operation of returning from the measurement jig to the storage jig. For example, testing of electrical characteristics of IC devices
When performing measurement, arrange a number of sockets for mounting the work on the measurement board, set the contact pins to protrude downward from each socket, mount the work on each socket of this measurement board, measure There is a configuration in which a substrate is connected to a test head of a tester and a work mounted on each socket is simultaneously subjected to an energization test. In this case, at the stage before the test, the workpieces are arranged side by side on a tray as a storage jig, the tray is placed on a load station, and the workpiece is picked up using a pick-and-place means having a vacuum suction head or the like. Is transferred to the substrate for measurement. After the test, the measurement substrate is transferred to the unloading station, and the work is transferred to the unloading tray by the same pick and place means.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】ところで、収納用治具
としてのトレー等は、通常、収納及び保管の効率化を図
るために、できるだけ多数のワークを搭載するように構
成され、従ってこのトレーにおけるワークの配置間隔は
かなり狭くなっている。一方、測定用治具としての測定
用基板のソケットは、テストヘッドとの関係でワークの
配置間隔が制約されることから、トレーと測定用基板と
のワークの配置間隔が異なるものとなる。このために、
ワークの移載はピックアンドプレイス手段により１個ず
つ取り出して行わなければならず、ワークの移載効率が
悪いという欠点があった。また、同 時に複数のワークを
移載するために、１列に配列した真空吸着手段の間隔を
変えるようにして、２つの治具間におけるワークの配置
間隔の違いを補正するように構成したものが、例えば特
開平３−２１１１１７号公報に提案されているが、これ
とてワークの移載効率を向上する上で必ずしも有効とは
いえない。 A tray or the like as a storage jig is usually configured to mount as many workpieces as possible in order to increase the efficiency of storage and storage. The arrangement interval of the work is considerably narrow. On the other hand, in the socket of the measurement substrate as the measurement jig, the arrangement interval of the work is restricted in relation to the test head, so that the arrangement interval of the work between the tray and the measurement substrate is different. For this,
Work must be transferred one by one by pick-and-place means, and the transfer efficiency of the work is low. In addition, the same time a plurality of workpieces
In order to transfer, the space between the vacuum suction means
Arrange the work between two jigs by changing
The one that is configured to correct the difference in the interval
It has been proposed in Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 3-210117.
Not always effective in improving work transfer efficiency
I can't say.
【０００４】本発明は、以上の点に鑑みてなされたもの
であって、その目的とするところは、ワークの移載を高
速で、効率的に行うことができるようにすることにあ
る。The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to make it possible to transfer a workpiece at high speed and efficiently.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明のワーク移載装置は、複数のワーク保持
部材が２列配列され、これら各ワーク保持部材をそれぞ
れ単独に、または対となるワーク保持部材毎に昇降させ
る昇降手段を備えたワーク保持部材列と、前記２列から
なるワーク保持部材列の列間間隔を調整するための列間
間隔調整手段と、この列間間隔調整手段を列方向に所定
の間隔毎に移動させる並び方向位置調整手段とを備え、
受渡側及び受取側の２つの治具にそれぞれ設けたワーク
配置部の並び方向の間隔が広い方の治具の間隔に対し
て、狭い方の治具に設けたワーク配置部の並び方向の間
隔を４以下（４を含む）の整数分の１となし、前記各ワ
ーク保持部材列における相隣接する前記ワーク保持部材
間の間隔を並び方向の間隔が狭い方の治具のワーク配置
間隔と一致させる構成としたことをその特徴とするもの
である。In order to achieve the above-mentioned object, a work transfer apparatus according to the present invention comprises a plurality of work holding devices.
The members are arranged in two rows, and each of these work holding members is
And lift it individually or for each pair of work holding members.
Work holding member row provided with elevating means,
Between rows for adjusting the spacing between rows of workpiece holding members
A distance adjusting means and a means for adjusting the distance between rows in a row direction;
Arrangement direction adjusting means for moving at intervals of
Workpieces provided on two jigs on the delivery side and the receiving side
For jigs with larger spacing in the arrangement direction
Between the work placement sections provided on the narrower jig.
The interval is set to 1 / integer of 4 or less (including 4).
Adjacent work holding members in a row of work holding members
Workpiece arrangement of the jig with narrower spacing in the direction
The feature is that it is configured to match the interval .
【０００６】また、本発明のワーク移載方法としては、
一方側のワーク配列間隔が他方側のワーク配列間隔の４
以下（４を含む）の整数分の１とした受渡側治具と受取
側治具との間でワークを移載するために、ワーク保持部
材を２列にわたってそれぞれ短い方のワーク配列間隔と
一致するようにして複数配列し、これらワーク保持部材
が受渡側治具及び受取側治具のうち、ワークの配列間隔
が小さい方の治具に対面した時には、各ワーク保持部材
をその治具のワーク配列間隔と一致するように配置し
て、これら各ワーク保持部材を同時に昇降させて、ワー
クの取り出しまたは移載を行い、ワークの配列間隔が大
きい方の治具に対面した時には、２列のワーク保持部材
の列間間隔をこの治具のワーク配列間隔と一致させるよ
うに変位させ、かつ各列のワーク保持部材のうち、この
治具におけるワークの並び方向間隔毎に同時に作動する
対となし、これら各列のワーク保持部材を順次この治具
におけるワークの並び方向に移動させながら昇降させる
ことによって、ワークの取り出しまたは移載を行うよう
にすることをその特徴としている。The work transfer method of the present invention includes:
The work arrangement interval on one side is 4 times the work arrangement interval on the other side.
Delivery jigs and receipts that are 1 / integers below (including 4)
In order to transfer the work to and from the side jig, a plurality of work holding members are arranged in two rows so as to coincide with the shorter work arrangement interval, and these work holding members are arranged on the delivery side jig and the receiving jig. When facing the jig with the smaller work arrangement interval among the side jigs, arrange each work holding member so as to match the work arrangement interval of the jig, and raise and lower these work holding members simultaneously. Then, when the work is taken out or transferred, and when the jig with the larger arrangement interval of the works faces the jig, the interval between the rows of the work holding members in two rows is made to coincide with the arrangement interval of the jigs. The pair of workpiece holding members in each row are simultaneously displaced and actuated simultaneously at every interval in the arrangement direction of the workpieces in the jig. By lifting while moving in the direction, and its features to make it taken out or transfer of the work.
【０００７】より具体的には、受渡側治具と受取側治具
との一方側のワーク配列間隔と他方側のワーク配列間隔
の２倍とした場合には、奇数番目のワーク保持部材と、
偶数番目のワーク保持部材とをそれぞれ対となし、これ
らワーク保持部材がワークの配列間隔が小さい方の治具
に対面した時には、各ワーク保持部材をその治具のワー
ク配列間隔と一致させて、各ワーク保持部材を同時に昇
降させてワークの取り出しまたは移載を行い、またワー
クの配列間隔が大きい方の治具に対面した時には、２列
のワーク保持部材の列間間隔をこの治具のワーク配列間
隔と一致させ、かつ各列のワーク保持部材における奇数
番目の各ワーク保持部材を昇降させて、この治具に対す
るワークの取り出しまたは移載を行い、次いでこの治具
におけるワークの並び方向に移動させて、偶数番目の各
ワーク保持部材を昇降させて、この治具に対するワーク
の取り出しまたは移載を行うようにする。 More specifically, a delivery jig and a receiving jig
Work spacing on one side and work spacing on the other side
In the case of twice as large, the odd-numbered work holding member,
Pair the even-numbered workpiece holding members
Jig with a smaller work holding member
When facing the workpiece, each work holding member is
At the same time, raise the workpiece holding members
To remove or transfer the workpiece,
2 rows when facing the jig with the larger spacing
Between the rows of work holding members
Odd number in each row of workpiece holding members
Raise and lower each workpiece holding member, and
Take out or transfer the workpiece, and then
In the direction in which the workpieces are aligned in
Raise and lower the work holding member and move the work
Take out or transfer.
【０００８】[0008]
【作用】例えば、各列に４個のワーク保持部材を並べる
ことによって、４組のワーク保持部材を設け、列間間隔
調整手段として、シリンダ等によって近接・離間する方
向に変位可能な２つの支持部材から構成し、各支持部材
にそれぞれ４個のワーク保持部材を昇降可能に装着す
る。この２列のワーク保持部材は、列の１番目，２番
目，３番目，４番目のものを対として、これら各対のワ
ーク保持部材は同時にワークを保持させるようにする。
そして、ワーク保持部材の並び方向前後の間隔は、受取
側治具または受渡側治具のいずれか一方のワーク収納部
の並び方向前後の間隔と同じか、またはその半分に設定
しておく。ここで、ワーク収納部の並び方向前後の間隔
の半分に設定すると、ワーク移載手段を小型化でき、ま
た移載の高速化を図ることができる。各列６個のワーク
保持部材を設けることもでき、この場合には、ワーク収
納部の並び方向前後の間隔の１／３とし、さらには各列
８個のワーク保持部材を設けている場合には、１／４，
１／２の間隔とすることが可能である。つまり、ワーク
収納部の間隔が狭い方の治具におけるワーク収納部の間
隔は、間隔が広い方のそれの整数分の１であり、かつこ
の整数は４を含む４以下としている。また、各列のワー
ク保持部材の列方向の間隔は、２つの治具のうち、ワー
ク収納部の間隔が短い方の間隔と一致させておく。 For example, by arranging four work holding members in each row, four sets of work holding members are provided, and two support members which can be displaced in the direction of approaching / separating by a cylinder or the like as a means for adjusting the interval between rows. It is composed of members, and four work holding members are mounted on each support member so as to be able to move up and down. The work holding members in the two rows are paired with the first, second, third, and fourth members in the row, and the work holding members in each pair hold the work at the same time.
The distance before and after the work holding member in the arrangement direction is set to be equal to or half of the distance before and after the arrangement direction of the work storage portion of either the receiving jig or the delivery jig. Here, when the interval is set to a half of the interval before and after the arrangement direction of the work storage units, the work transfer means can be reduced in size and the transfer speed can be increased. It is also possible to provide six work holding members in each row. In this case, the distance is set to 1/3 of the distance between the front and rear of the work storage section, and when eight work holding members are provided in each row. Is 1/4
It is possible to set a half interval. In other words, work
Between the workpiece storage sections of the jig with the narrower storage section
The interval is the integral fraction of that of the wider interval, and
Is 4 or less, including 4. In addition, each column
The distance between the holding members in the row direction is
The distance between the storage compartments should be the same as the shorter one.
【０００９】今、ワーク保持部材の並び方向前後の間隔
を受取側治具のワーク収納部における並び方向前後の間
隔の半分に設定されているとする。そして、列間間隔調
整手段によって、支持部材の間隔を、各対のワーク保持
部材により受渡側治具から同時にワークを取り出すこと
ができるように調整する。この状態で、まず各列の１番
目のワーク保持部材を下降させて、それらによりワーク
を真空吸着やチャック等により受取側治具から取り出
す。然る後に、並び方向位置調整手段を作動させて、他
の対のワーク保持部材（例えば２番目，３番目，４番目
の対のワーク保持部材の順）によりそれぞれ２個のワー
クを同時に取り出して、８個の全てのワーク保持部材に
よりワークを保持する。Now, it is assumed that the interval between the front and rear of the work holding member in the arrangement direction is set to half of the interval between the front and rear in the arrangement direction in the work storage portion of the receiving jig. The spacing between the support members is adjusted by the inter-row spacing adjusting means so that the work can be simultaneously taken out of the delivery jig by the work holding members of each pair. In this state, first, the first work holding members in each row are lowered, and the work is taken out of the receiving jig by vacuum suction, a chuck, or the like. Thereafter, the arrangement direction adjusting means is operated, and two works are simultaneously taken out by another pair of work holding members (for example, the second, third, and fourth work holding members in this order). The work is held by all eight work holding members.
【００１０】このようにして各ワーク保持部材にワーク
が保持されると、受取側治具と対面する位置まで変位さ
せる。そして、この際には、列間間隔調整手段によっ
て、受取側治具のワーク収納部の列間間隔と一致するよ
うに各支持部材の間隔を調整する。この状態で１番目と
３番目の対のワーク保持部材を下降させて、受取側治具
に４個のワークを移載する。この１番目と３番目の対の
ワーク保持部材が上昇した後に、並び方向位置調整手段
を作動させて、２番目と４番目の対のワーク保持部材が
受取側治具のワーク収納部にそれぞれ対面する位置に移
動させて、この状態で４個のワーク保持部材を同時に下
降させて、ワークを受取側治具に移載できることにな
る。When the work is held by each work holding member in this manner, the work is moved to a position facing the receiving jig. In this case, the spacing between the support members is adjusted by the inter-row spacing adjusting means so as to match the spacing between the rows of the work storage portion of the receiving jig. In this state, the first and third pairs of workpiece holding members are lowered, and four workpieces are transferred to the receiving jig. After the first and third pairs of work holding members have been raised, the alignment direction position adjusting means is operated so that the second and fourth pairs of work holding members face the work storage sections of the receiving jig, respectively. Then, the four work holding members are simultaneously lowered in this state, and the work can be transferred to the receiving jig.
【００１１】要するに、８個のワークを移載する際に、
受渡治具側で４回のワーク保持部材の昇降動作と、受取
側治具で２回のワーク保持部材の昇降動作と、１回のワ
ーク保持部材の受渡側治具と受取側治具との間の往復移
動とによって、８個のワークの移載を行うことができ、
移載を極めて高速で、効率的に行うことができる。In short, when transferring eight workpieces,
The lifting and lowering operation of the work holding member is performed four times on the delivery jig side, the lifting and lowering operation of the work holding member is performed twice on the receiving side jig, and the transfer jig and the receiving side jig of the work holding member are performed once. By reciprocating between, eight workpieces can be transferred,
Transfer can be performed extremely quickly and efficiently.
【００１２】[0012]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。まず、図１及び図２にワーク移載装置の全
体構成を示す。図中において、１はロボット、１０は移
載ユニットをそれぞれ示し、このロボット１はＸ軸アー
ム２とＹ軸アーム３とを有し、またＹ軸アーム３にはＺ
軸方向に位置調整するＺ軸アーム４が装着されており、
移載ユニット１０はこのＺ軸アーム４に装着されてい
る。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. First, FIGS. 1 and 2 show the overall configuration of a work transfer device. In the figure, reference numeral 1 denotes a robot, and 10 denotes a transfer unit. The robot 1 has an X-axis arm 2 and a Y-axis arm 3, and the Y-axis arm 3 has a Z-axis arm.
A Z-axis arm 4 for adjusting the position in the axial direction is mounted,
The transfer unit 10 is mounted on the Z-axis arm 4.
【００１３】このワーク移載装置は、受渡ステーション
Ｔからワーク５を取り出して、受取ステーションＲに移
載するためのものであるが、このワーク５としては、Ｉ
Ｃデバイスであり、このワーク５を、その電気的特性の
試験・測定を行うために、ワーク５が多数収納されてい
る受渡側治具としてのトレー６を受渡ステーションＴに
設置しておき、このトレー６からワーク５を取り出し
て、受取ステーションＲに設置した受取側治具としての
測定用基板７に移載して、この測定用基板７をＩＣテス
タのテストヘッドに接続し、測定用基板７に搭載した全
てのワーク５を同時に通電テストを行うものとする。た
だし、ワーク移載装置により移載されるワーク及び受渡
側，受取側の各治具の構成はこれに限定されるものでは
ない。This work transfer device is for taking out the work 5 from the delivery station T and transferring it to the receiving station R.
In order to test and measure the electrical characteristics of the work 5, a tray 6 as a delivery-side jig in which a large number of works 5 are stored is set in the delivery station T, and The work 5 is taken out of the tray 6 and transferred to a measuring substrate 7 as a receiving side jig installed in the receiving station R. The measuring substrate 7 is connected to a test head of an IC tester. It is assumed that all of the works 5 mounted on are subjected to the energization test simultaneously. However, the configurations of the workpieces transferred by the workpiece transfer device and the respective jigs on the delivery side and the receiving side are not limited thereto.
【００１４】トレー６及び測定用基板７を図３に示す。
トレー６は略平板状の部材から構成され、その上面に
は、所定間隔をもって縦横にワーク収納部６ａが多数形
成されている。このワーク収納部６ａの縦方向（図中に
矢印で示す）を列とした時に、列間の間隔はａで、列の
並び方向の間隔はｂとなっている。一方、測定用基板７
には、ソケット７ａが縦横に所要数配設されており、こ
れらソケット７ａにはワーク５が搭載されるようになっ
ている。このソケット７ａを、トレー６と同様、その縦
方向の並びを列とした時に、列間の間隔はＡで、列の並
び方向の間隔はＢとなっている。ここで、トレー６は、
ワーク５をできるだけ数多く収納させるという関係か
ら、列間間隔ａ及び並び方向間隔ｂは共に短くなってい
る。これに対して、測定用基板７は、そのソケット７ａ
に搭載した各ワーク５をテストヘッドに電気的に接続す
るという関係から、このテストヘッドにおけるコンタク
ト部の配置間隔に依存するものであり、列間間隔Ａ及び
並び方向間隔Ｂは、共にトレー６のそれより広くなって
いる。FIG. 3 shows the tray 6 and the measurement substrate 7.
The tray 6 is formed of a substantially flat member, and a large number of work storage sections 6a are formed on the upper surface thereof at predetermined intervals in the vertical and horizontal directions. When the vertical direction (indicated by an arrow in the figure) of the work storage section 6a is a row, the interval between rows is a, and the interval in the row direction is b. On the other hand, the measurement substrate 7
Are provided with a required number of sockets 7a vertically and horizontally, and a work 5 is mounted on these sockets 7a. When the sockets 7a are arranged in rows in the vertical direction, similarly to the tray 6, the spacing between the rows is A, and the spacing in the row arrangement direction is B. Here, tray 6
Since the work 5 is accommodated as much as possible, the inter-row interval a and the arrangement direction interval b are both short. On the other hand, the measurement substrate 7 has its socket 7a
Since the work 5 mounted on the test head is electrically connected to the test head, the work interval depends on the arrangement interval of the contact portions in the test head. It is wider than that.
【００１５】移載ユニット１０は、トレー６から８個の
ワーク５を取り出して、測定用基板７に移載するための
ものであって、このワーク５を保持するためのワーク保
持手段として、真空吸着ヘッド１１を８個備えている。
真空吸着ヘッド１１は、２列に並べられており、これら
各列４個の真空吸着ヘッド１１は、それぞれ第１，第２
の支持板１２，１３に装着されている。そして、これら
各支持板１２，１３には、真空吸着ヘッド１１をそれぞ
れ個別的に上下動させる昇降シリンダ１４が設けられて
いる。また、第１の支持板１２は、Ｚ軸アーム４に固定
的に設けられており、また第２の支持板１３は、このＺ
軸アーム４に取り付けたガイドレール１５に沿って、第
１の支持板１２に対して近接・離間する方向に変位可能
な構成となっている。そして、第１，第２の支持板１
２，１３間には、列間間隔調整手段としての間隔調整シ
リンダ１６が設けられており、また第１の支持板１２及
びガイドレール１５の端部位置には、それぞれ長さ調整
可能なストッパピン１７，１８が設けられており、間隔
調整シリンダ１６を作動させて、第２の支持板１３をガ
イドレール１５に沿って第１の支持板１２に近接する方
向に移動させた時には、ストッパピン１７に当接するこ
とになり、また第１の支持板１２から離間する方向に移
動させた時には、ストッパピン１８に当接する位置とな
る。The transfer unit 10 is for taking out eight works 5 from the tray 6 and transferring the work 5 to the measurement substrate 7. As a work holding means for holding the work 5, a vacuum Eight suction heads 11 are provided.
The vacuum suction heads 11 are arranged in two rows, and four vacuum suction heads 11 in each row are respectively provided with first, second, and third vacuum suction heads.
Are mounted on the support plates 12 and 13. Each of the support plates 12 and 13 is provided with an elevating cylinder 14 for individually moving the vacuum suction head 11 up and down. Further, the first support plate 12 is fixedly provided on the Z-axis arm 4, and the second support plate 13
Along the guide rail 15 attached to the shaft arm 4, the first support plate 12 can be displaced toward and away from the first support plate 12. And the first and second support plates 1
An interval adjusting cylinder 16 is provided between the rows 2 and 13 as an inter-row interval adjusting means. Stopper pins of which lengths can be adjusted are provided at end positions of the first support plate 12 and the guide rail 15 respectively. When the second support plate 13 is moved in the direction approaching the first support plate 12 along the guide rail 15 by operating the interval adjusting cylinder 16, the stopper pin 17 is provided. When it is moved in a direction away from the first support plate 12, it comes to a position where it comes into contact with the stopper pin 18.
【００１６】ここで、移載ユニット１０に設けた８個の
真空吸着ヘッド１１は第１，第２の支持板１２，１３に
４個ずつ装着することによって、２列に分けられてお
り、この各列の並び方向の間隔は共に測定用基板７のソ
ケット７ａの並び方向間隔Ｂの半分となっている。ま
た、その列間間隔は間隔調整シリンダ１６で変化させる
ことができるが、第２の支持板１３を第１の支持板１２
に近接させて、ストッパピン１７に当接させると、それ
ぞれに設けた真空吸着ヘッド１１の列間間隔が、トレー
６のワーク収納部６ａの列間間隔と一致する状態とな
り、また第２の支持板１３を第１の支持板１２から離間
させると、ストッパピン１８に当接して、測定用基板７
のソケット７ａの列間間隔と一致する状態となる。Here, the eight vacuum suction heads 11 provided on the transfer unit 10 are divided into two rows by being mounted on the first and second support plates 12 and 13 four by four. The spacing in the arrangement direction of each row is half the spacing B in the arrangement direction of the sockets 7a of the measurement substrate 7. The interval between the rows can be changed by the interval adjusting cylinder 16, but the second support plate 13 is replaced with the first support plate 12.
, And brought into contact with the stopper pins 17, the spacing between the rows of the vacuum suction heads 11 provided respectively matches the spacing between the rows of the work storage portions 6 a of the tray 6, and the second support When the plate 13 is separated from the first support plate 12, the plate 13 comes into contact with the stopper pin 18 and
Of the sockets 7a.
【００１７】本実施例はこのように構成されるものであ
って、次にその作用について説明する。ここで、図面上
では全ての真空吸着ヘッドに符号１１を付しているが、
以下の説明では、それぞれ各個の真空吸着ヘッド１１を
指す場合には、第１の支持板１２に設けられているもの
であって、Ｚ軸アーム４に近い側から順に、第１番目を
１１Ｆ１，第２番目を１１Ｆ２，第３番目を１１Ｆ３，
第４番目を１１Ｆ４とし、また第２の支持部材１３に設
けられているものを、Ｚ軸アーム４に近い側から順に、
第１番目を１１Ｓ１，第２番目を１１Ｓ２，第３番目を
１１Ｓ３，第４番目を１１Ｓ４の符号を用いる。The present embodiment is configured as described above, and its operation will be described below. Where on the drawing
, All vacuum suction heads are denoted by reference numeral 11,
In the following description, each vacuum suction head 11 is
When pointing, it is provided on the first support plate 12 and, in order from the side closer to the Z-axis arm 4, the first is 11F1, the second is 11F2, the third is 11F3,
The fourth member is defined as 11F4, and the members provided on the second support member 13 are sequentially arranged in order from the side closer to the Z-axis arm 4.
The first uses 11S, the second uses 11S2, the third uses 11S3, and the fourth uses 11S4.
【００１８】まず、ロボット１のＸ軸アーム２を作動さ
せて、移載ユニット１０を受渡ステーションＴにおける
トレー６の上部位置に配置する。この状態では、間隔調
整シリンダ１６によって、第１，第２の支持板１２，１
３間の間隔を近接させて、それぞれに設けた真空吸着ヘ
ッドの列間間隔をａとする。そして、適宜Ｙ軸アーム３
を作動させて、第１，第２の支持板１２，１３によって
２列設けられている真空吸着ヘッドのそれぞれの第１番
目の真空吸着ヘッド１１Ｆ１，１１Ｓ１がトレー６にお
けるワーク収納部６ａの上部位置となるように位置調整
する。この状態で、各列の第１番目の真空吸着ヘッド１
１Ｆ１，１１Ｓ１のみを昇降シリンダ１４によって下降
させる。これによって、２個のワークがまず吸着・保持
される。そこで、下降した状態にある真空吸着ヘッド１
１Ｆ１，１１Ｓ１を元の位置に戻す。そして、Ｙ軸アー
ム３を動作させて、第２番目の真空吸着ヘッド１１Ｆ
２，１１Ｓ２を先に取り出したワーク収納部６ａの同じ
列の次のワーク収納部６ａの位置の上部に配置して、こ
の第２番目の真空吸着ヘッド１１Ｆ２，１１Ｓ２によっ
てワーク５の吸着を行う。さらに、Ｙ軸アーム３を作動
させて、第３番目の真空吸着ヘッド１１Ｆ３，１１Ｓ３
によって、第３番目の真空吸着ヘッドでワークを取り出
し、然る後に、Ｙ軸アーム３をさらに作動させて、第４
番目の真空吸着ヘッド１１Ｆ４，１１Ｓ４により、次の
箇所のワークを取り出す。これによって、８個のワーク
５が移載ユニット１０により取り出されたことになる。
このトレー６からのワーク５の取り出し順序は、図４に
丸付き数字で示した順になる。First, the X-axis arm 2 of the robot 1 is operated, and the transfer unit 10 is arranged at a position above the tray 6 at the delivery station T. In this state, the first and second support plates 12 and 1 are
The distances between the three vacuum suction heads are made closer to each other, and the distance between the rows of the vacuum suction heads is set to a. And the Y-axis arm 3
Is operated, and the first vacuum suction heads 11F1 and 11S1 of the vacuum suction heads provided in two rows by the first and second support plates 12 and 13 are moved to the upper position of the work storage portion 6a in the tray 6. Adjust the position so that In this state, the first vacuum suction head 1 of each row
Only 1F1 and 11S1 are lowered by the lifting cylinder 14. As a result, the two works are first sucked and held. Therefore, the vacuum suction head 1 in the lowered state
Return 1F1 and 11S1 to their original positions. Then, by operating the Y-axis arm 3, the second vacuum suction head 11F
The second vacuum suction heads 11F2 and 11S2 suction the work 5 by arranging the second vacuum suction heads 11F2 and 11S2 above the position of the next work storage section 6a in the same row of the work storage section 6a from which the work storage section 2 and 11S2 have been previously taken out. Further, by operating the Y-axis arm 3, the third vacuum suction heads 11F3, 11S3
Then, the work is taken out by the third vacuum suction head, and thereafter, the Y-axis arm 3 is further operated, and the fourth
The next workpiece is taken out by the second vacuum suction heads 11F4 and 11S4. As a result, the eight works 5 are taken out by the transfer unit 10.
The work 5 is taken out from the tray 6 in the order indicated by the circled numbers in FIG.
【００１９】ここで、真空吸着ヘッド１１Ｆ１と１１Ｓ
１、１１Ｆ２と１１Ｓ２、１１Ｆ３と１１Ｓ３及び１１
Ｆ４と１１Ｓ４とは同時に作動するようになっており、
従って全ての真空吸着ヘッドを個別的に昇降させるよう
に構成しているが、各対の真空吸着ヘッドを昇降させる
昇降シリンダを共用させることも可能である。また、ワ
ーク５の取り出し順序としては、第１番目から順に行う
ようにしているが、ワーク５の取り出し順序はこれに限
定されるものではなく、要は４回の昇降動作によって８
個のワーク５をトレー６から取り出すことができれば良
い。而して、真空吸着ヘッドの並び方向の間隔はトレー
６のワーク収納部６ａの並び方向間隔ｂとは無関係であ
るが、Ｙ軸アーム３を作動させることによって、各対の
真空吸着ヘッドをそれぞれワーク収納部に対面する位置
に位置決めできる。従って、このＹ軸アーム３が並び方
向位置調整手段として機能する。Here, the vacuum suction heads 11F1 and 11S
1, 11F2 and 11S2, 11F3 and 11S3 and 11
F4 and 11S4 operate at the same time,
Therefore, all the vacuum suction heads are individually raised and lowered, but it is also possible to share a lifting cylinder for raising and lowering each pair of vacuum suction heads. The work 5 is taken out in order from the first, but the work 5 is not limited to this order.
It is only necessary that the individual works 5 can be taken out from the tray 6. Thus, the spacing in the direction in which the vacuum suction heads are arranged is irrelevant to the spacing b in the work storage section 6a of the tray 6, but by operating the Y-axis arm 3, the vacuum suction heads of each pair are respectively moved. It can be positioned at a position facing the work storage section. Therefore, this Y-axis arm 3 functions as a line-direction position adjusting means.
【００２０】以上のようにして８個のワーク５を取り出
した後、ロボット１におけるＸ軸アーム２を作動させ
て、移載ユニット１０を受取ステーションＲの位置に移
動させる。また、これと共に、間隔調整シリンダ１６を
作動させて、第１，第２の支持板１２，１３の間隔を、
測定用基板７のソケット７ａの列間間隔となるように広
げる。この状態で、まず第１番目及び第３番目の真空吸
着ヘッド１１Ｆ１，１１Ｓ１，１１Ｆ３，１１Ｓ３を下
降させて、４個のソケット７ａにワーク５を搭載するこ
とができる。また、この４個のワーク５の搭載が完了す
ると、Ｙ軸アーム３を作動させて、第２番目と第４番目
の真空吸着ヘッド１１Ｆ２，１１Ｓ２，１１Ｆ４，１１
Ｓ４を下降させることによって、８個全てのワーク５を
ソケット７ａに搭載することができる。なお、この測定
用基板７へのワーク５の搭載順序は、図５に丸付き数字
で示した順になる。After taking out the eight works 5 as described above, the X-axis arm 2 of the robot 1 is operated to move the transfer unit 10 to the position of the receiving station R. At the same time, the distance adjusting cylinder 16 is operated to reduce the distance between the first and second support plates 12 and 13.
The measurement board 7 is spread so as to have an interval between rows of the sockets 7a. In this state, the first and third vacuum suction heads 11F1, 11S1, 11F3, and 11S3 are first lowered to mount the work 5 on the four sockets 7a. When the mounting of the four works 5 is completed, the Y-axis arm 3 is operated to operate the second and fourth vacuum suction heads 11F2, 11S2, 11F4, 11F.
By lowering S4, all eight works 5 can be mounted on the socket 7a. The order in which the workpieces 5 are mounted on the measurement substrate 7 is the order indicated by the circled numbers in FIG.
【００２１】ここで、各列の真空吸着ヘッドの並び方向
の間隔は測定用治具７のソケット７ａの並び方向間隔Ｂ
の半分となっているから、第１番目と第３番目、及び第
２番目と第４番目とにおける真空吸着ヘッドの並び方向
の間隔が、このソケット７ａの並び方向間隔Ｂと一致す
る。従って、４個のワーク５を同時にソケット７ａに搭
載できるようになる。また、真空吸着ヘッドの並び方向
の間隔をソケット７ａの並び方向間隔Ｂとなるように配
置することも可能である。ただし、支持板１２，１３の
長さが長くなり、またＹ軸アーム３の移動ストロークも
長くなってしまう。Here, the spacing in the arrangement direction of the vacuum suction heads in each row is the spacing B in the arrangement direction of the socket 7a of the measuring jig 7.
, The first and third, and the second and fourth, intervals in the arrangement direction of the vacuum suction heads match the intervals B in the arrangement direction of the sockets 7a. Therefore, four works 5 can be simultaneously mounted on the socket 7a. It is also possible to arrange the vacuum suction heads so that the spacing in the arrangement direction is equal to the spacing B in the arrangement direction of the sockets 7a. However, the length of the support plates 12 and 13 increases, and the movement stroke of the Y-axis arm 3 also increases.
【００２２】以上の動作を順次繰り返すことによって、
トレー６から測定用基板７に順次８個ずつワーク５の移
載を行うことができる。このように、受渡ステーション
Ｔでの４回の真空吸着ヘッド１１の昇降動作と、受取ス
テーションＲでの２回の真空吸着ヘッド１１の昇降動作
と、移載ユニット１０の受渡ステーションＴと受取ステ
ーションＲとの間における１回の往復動作によって、８
個のワーク５の移載を行うことができ、極めて迅速かつ
効率的にワーク５の移載を行うことができるようにな
る。By sequentially repeating the above operation,
Eight works 5 can be sequentially transferred from the tray 6 to the measurement substrate 7. As described above, the four operations of moving the vacuum suction head 11 up and down at the delivery station T, the two operations of moving the vacuum suction head 11 up and down at the receiving station R, the delivery station T and the receiving station R of the transfer unit 10. By one reciprocating operation between
The individual works 5 can be transferred, and the works 5 can be transferred extremely quickly and efficiently.
【００２３】而して、Ｙ軸アーム３の作動制御と、スト
ッパピン１７，１８を螺出入させることによって、第２
の支持板１３の停止位置の調整とを行うことにより、任
意の列間間隔と並び方向間隔となった受渡側治具から受
取側治具にを移載できるようになる。また、移載ユニッ
ト１０をロボット１のＺ軸アーム４に取り付けるように
構成しているので、異なる厚みのワークを取り扱う場合
には、このＺ軸アーム４によって高さ位置の調整を行う
ことができる。従って、同じ厚みのワークしか取り扱わ
ない場合には、移載ユニット１０はＹ軸アーム３に直接
装着するように構成すれば良い。By controlling the operation of the Y-axis arm 3 and screwing the stopper pins 17 and 18 in and out, the second
By adjusting the stop position of the support plate 13, the transfer jig can be transferred from the transfer-side jig to the receiving-side jig having an arbitrary inter-row interval and an arrangement interval. Further, since the transfer unit 10 is configured to be attached to the Z-axis arm 4 of the robot 1, when handling works having different thicknesses, the height position can be adjusted by the Z-axis arm 4. . Therefore, when handling only works having the same thickness, the transfer unit 10 may be configured to be directly mounted on the Y-axis arm 3.
【００２４】また、以上のように２列に各４個の真空吸
着ヘッドを設けるようにすれば、大型のワーク、例えば
真空吸着ヘッドの並び方向の間隔より大きな寸法のワー
ク５′を吸着することも可能となる。この場合には、図
６に示したように、各列の真空吸着ヘッドの奇数番目の
もの、または偶数番目のもののいずれかによりワーク
５′を吸着させるようにすれば良く、そして並び方向の
位置調整はＹ軸アーム３の作動により、また列間間隔も
ストッパピン１７，１８の螺出入により適宜調整が可能
となる。Further, if four vacuum suction heads are provided in two rows as described above, a large work, for example, a work 5 'having a size larger than the distance in the direction in which the vacuum suction heads are arranged, can be suctioned. Is also possible. In this case, as shown in FIG. 6, the work 5 'may be sucked by any of the odd-numbered or even-numbered vacuum suction heads in each row, and the position in the arrangement direction may be adjusted. The adjustment can be made appropriately by the operation of the Y-axis arm 3, and the interval between the rows can be appropriately adjusted by screwing in and out of the stopper pins 17 and 18.
【００２５】なお、真空吸着ヘッドの数は、２列で、各
列偶数個設けられておれば良く、例えば各列６個，８個
等の数の真空吸着ヘッドを設けることができる。そし
て、６個の真空吸着ヘッドを設けた場合には、測定用基
板のソケットの並び方向間隔の１／３の間隔で配置で
き、また８個の真空吸着ヘッドを設けた場合には、測定
用基板のソケットの並び方向間隔の１／２または１／４
の間隔とすれば良く、勿論ソケットの並び方向間隔と同
じにしても良い。さらに、この真空吸着ヘッドの並び方
向間隔は測定用基板側に依存させるようにしたが、トレ
ー側に依存させるようにしても良く、また測定用基板側
からトレー側に移載する場合も同様の動作により行わせ
ることができる。さらにまた、ワーク保持手段として
は、真空吸着ヘッドに限らず、チャック手段等を用いる
ことも可能である。さらに、受渡側治具及び受取側治具
を移動させるようにすれば、移載ユニットはＹ軸アーム
に装着しておけば良く、必ずしもＸ軸アームを設ける必
要はない。It should be noted that the number of vacuum suction heads is two, and it is sufficient that an even number of vacuum suction heads are provided in each row. For example, six, eight, etc. vacuum suction heads can be provided in each row. When six vacuum suction heads are provided, they can be arranged at intervals of 1/3 of the spacing in the arrangement direction of the sockets of the measurement substrate, and when eight vacuum suction heads are provided, the measurement 1/2 or 1/4 of the space between the sockets on the board
And, of course, the same as the spacing in the arrangement direction of the sockets. Furthermore, although the arrangement direction spacing of the vacuum suction heads is made to depend on the measurement substrate side, it may be made to depend on the tray side, and the same applies when transferring from the measurement substrate side to the tray side. It can be performed by operation. Further, the work holding means is not limited to the vacuum suction head, and a chuck means or the like can be used. Furthermore, if the transfer-side jig and the receiving-side jig are moved, the transfer unit may be mounted on the Y-axis arm, and the X-axis arm does not necessarily need to be provided.
【００２６】[0026]
【発明の効果】本発明は以上のように構成したので、簡
単な構成によって、相互に配置間隔が異なる受渡側治具
と受取側治具との間で、円滑で、迅速かつ効率的に多数
のワークの受渡を行うことができる。Since the present invention is constructed as described above, a simple structure allows a large number of smooth, quick and efficient arrangements between the delivery jig and the receiving jig having different arrangement intervals. Work can be delivered.
【図１】本発明の一実施例を示すワーク移載装置の構成
説明図である。FIG. 1 is a configuration explanatory view of a work transfer device according to an embodiment of the present invention.
【図２】図１の正面図である。FIG. 2 is a front view of FIG.
【図３】トレー及び測定用基板の平面図である。FIG. 3 is a plan view of a tray and a measurement substrate.
【図４】トレーからのワークの取り出し順序を示す説明
図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing an order of taking out a work from a tray.
【図５】測定用基板へのワークの搭載順序を示す説明図
である。FIG. 5 is an explanatory view showing the order of mounting a work on a measurement substrate.
【図６】本発明のワーク移載装置により大型のワークを
移載する状態を示す説明図である。FIG. 6 is an explanatory view showing a state in which a large work is transferred by the work transfer device of the present invention.
１ ロボット ２ Ｘ軸アーム ３ Ｙ軸アーム ５，５′ ワーク ６ トレー ６ａ ワーク収納部 ７ 測定用基板 ７ａ ソケット １０ 移載ユニット １１ 真空吸着ユニット １２ 第１の支持板 １３ 第２の支持板 １４ 昇降シリンダ １６ 間隔調整シリンダ １７，１８ ストッパピン Ｔ 受渡ステーション Ｒ 受取ステーション ａ，Ａ 列間間隔 ｂ，Ｂ 並び方向間隔 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Robot 2 X-axis arm 3 Y-axis arm 5,5 'work 6 Tray 6a Work storage part 7 Measurement board 7a Socket 10 Transfer unit 11 Vacuum suction unit 12 First support plate 13 Second support plate 14 Lifting cylinder 16 Interval adjusting cylinder 17, 18 Stopper pin T Delivery station R Receiving station a, A spacing between rows b, B spacing in the direction
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−254418（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−44053（ＪＰ，Ａ) 実公 平３−18323「（ＪＰ，Ｙ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B65G 47/90 - 47/91 B65G 47/22 - 47/32 B65B 35/36 - 35/38 B65B 5/08 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-61-254418 (JP, A) JP-A-3-44053 (JP, A) JP-A-3-18323 “(JP, Y2) (58) Survey Field (Int.Cl. 7 , DB name) B65G 47/90-47/91 B65G 47/22-47/32 B65B 35/36-35/38 B65B 5/08
Claims (6)
から、この受渡側治具のワークの配列間隔とは異なる配
列間隔をもった受取側治具にワークを移載するものにお
いて、複数のワーク保持部材が２列配列され、これら各ワーク
保持部材をそれぞれ単独に、または対となるワーク保持
部材毎に昇降させる昇降手段を備えたワーク保持部材列
と、 前記２列からなるワーク保持部材列の列間間隔を調整す
るための列間間隔調整手段と、 この列間間隔調整手段を列方向に所定の間隔毎に移動さ
せる並び方向位置調整手段とを備え、 前記受渡側及び受取側の２つの治具にそれぞれ設けたワ
ーク配置部の並び方向の間隔が広い方の治具の間隔に対
して、狭い方の治具に設けたワーク配置部の並び方向の
間隔を４以下（４を含む）の整数分の１となし、 前記各ワーク保持部材列における相隣接する前記ワーク
保持部材間の間隔を並び方向の間隔が狭い方の治具のワ
ーク配置間隔と一致させる 構成としたことを特徴とする
ワーク移載装置。From 1. A delivery side jig arranging a large number of workpieces vertically and horizontally, in which transferring the workpiece receiving jig having a different sequence intervals and arrangement interval of the delivery-side jig workpiece, a plurality Work holding members are arranged in two rows.
Holds workpieces individually or in pairs
Work holding member row provided with elevating means for elevating each member
And adjusting the interval between the two rows of the work holding member rows.
Of movement and because of the inter-column spacing adjusting means, the gap adjusting means between the column at predetermined intervals in the column direction
And a position adjusting means for adjusting the direction of movement, and the jigs provided on the two jigs on the delivery side and the reception side, respectively.
The gap in the direction in which
Of the work placement part provided on the narrower jig
The interval is set to 1 / integer of 4 or less (including 4), and the adjacent workpieces in each of the workpiece holding member rows are arranged.
Arrange the distance between the holding members and the jig
A workpiece transfer device, wherein the workpiece transfer device is configured to match the work arrangement interval .
保持部材をそれぞれ支持する２つの支持部材と、これら
両支持部材の一方を他方に対して近接・離間させる駆動
手段とから構成されて、前記受渡側治具のワークの配置
列間隔に対応する間隔と、受取側治具のワークの配置列
間隔に対応する間隔との間に変位可能な構成としたこと
を特徴とする請求項１記載のワーク移載装置。2. The method according to claim 1, wherein the means for adjusting the interval between rows includes a work for each row.
Two support members for respectively supporting the holding members,
Is composed of a driving means for close-spaced to one of the two supporting members relative to the other, the interval corresponding to the arrangement row spacing of the work of the delivery-side jig, the arrangement row spacing of the receiving jig work 2. The work transfer device according to claim 1, wherein the work transfer device is configured to be displaceable between corresponding intervals .
前記受取側治具は、それに載置した全てのＩＣデバイス
を同時に電気的特性の測定を行う測定用基板であること
を特徴とする請求項１記載のワーク移載装置。3. The method according to claim 1, wherein the workpiece is an IC device, and the receiving jig is a measurement substrate for simultaneously measuring electrical characteristics of all the IC devices mounted thereon. 2. The work transfer device according to 1.
のワーク配列間隔が縦横いずれの方向にも異なってお
り、かつ少なくとも並び方向では、一方側のワーク配列
間隔が他方側のワーク配列間隔の４以下（４を含む）の
整数分の１とした受渡側治具と受取側治具との間でワー
クを移載する方法であって、前記受渡側治具からワーク
を取り出して受取側治具に移載するワーク保持部材を２
列にわたってそれぞれ短い方のワーク配列間隔と一致す
るようにして複数配列し、これらワーク保持部材が前記
受渡側治具及び受取側治具のうち、ワークの配列間隔が
小さい方の治具に対面した時には、各ワーク保持部材を
その治具のワーク配列間隔と一致するように配置して、
これら各ワーク保持部材を同時に昇降させて、ワークの
取り出しまたは移載を行い、ワークの配列間隔が大きい
方の治具に対面した時には、前記２列のワーク保持部材
の列間間隔をこの治具のワーク配列間隔と一致させるよ
うに変位させ、かつ各列のワーク保持部材のうち、この
治具におけるワークの並び方向間隔毎に同時に作動する
対となし、これら各列のワーク保持部材を順次この治具
におけるワークの並び方向に移動させながら昇降させる
ことによって、ワークの取り出しまたは移載を行うよう
にすることを特徴とするワーク移載方法。4. A large number of workpieces are arranged vertically and horizontally, and the intervals between the workpieces are different in both the vertical and horizontal directions. In at least the arrangement direction, the intervals between the workpieces on one side are four times the intervals between the workpieces on the other side. The following (including 4)
A method of transferring a work between a delivery jig and a receiving jig, which is a fraction of an integer , wherein the work holding member takes out the work from the delivery jig and transfers the work to the receiving jig. 2
A plurality of the work holding members faced the jig with the smaller work arrangement interval among the delivery-side jig and the receiving-side jig, so that a plurality of work arrangement members were arranged so as to coincide with the shorter work arrangement interval over the rows. Sometimes, each work holding member is arranged so as to match the work arrangement interval of the jig,
The work holding members are simultaneously moved up and down to take out or transfer the work, and when facing the jig having the larger work arrangement interval, the jig between the two rows of work holding members is set to the jig. The work holding members in each row are sequentially displaced so as to coincide with the work arrangement intervals of the jigs, and among the work holding members in each row, there is a pair that simultaneously operates at every interval in the arrangement direction of the works in the jig. A work transfer method, wherein a work is taken out or transferred by moving up and down while moving in a direction in which the works are arranged in a jig.
のワーク配列間隔が縦横いずれの方向にも異なってお
り、かつ少なくとも並び方向では、一方側のワーク配列
間隔が他方側のワーク配列間隔の１／２とした受渡側治
具と受取側治具との間でワークを移載する方法であっ
て、前記受渡側治具からワークを取り出して受取側治具
に移載するワーク保持部材を２列にわたってそれぞれ短
い方のワーク配列間隔と一致するようにして複数配列し
て、奇数番目のワーク保持部材と、偶数番目のワーク保
持部材とをそれぞれ対となし、これらワーク保持部材が
前記受渡側治具及び受取側治具のうち、ワークの配列間
隔が小さい方の治具に対面した時には、各ワーク保持部
材をその治具のワーク配列間隔と一致させて、各ワーク
保持部材を同時に昇降させてワークの取り出しまたは移
載を行い、またワークの配列間隔が大きい方の治具に対
面した時には、前記２列のワーク保持部材の列間間隔を
この治具のワーク配列間隔と一致させ、かつ各列のワー
ク保持部材における奇数番目の各ワーク保持部材を昇降
させて、この治具に対するワークの取り出しまたは移載
を行い、次いでこの治具におけるワークの並び方向に移
動させて、偶数番目の各ワーク保持部材を昇降させて、
この治具に対するワークの取り出しまたは移載を行うよ
うにすることを特徴とするワーク移載方法。5. The work is arrayed in a matrix, and each of the work sequence interval is different vertically and horizontally either direction, and at least the arrangement direction, whereas the workpiece arrangement interval side of the other side of the work sequence interval 1 / 2 and the a method of transferring the workpiece between the delivery side jig and the receiving jig, the workpiece holding member for transferring taken out workpiece receiving jig from the delivery side jig 2 A plurality of work holding members are arranged so as to correspond to the shorter work arrangement intervals over the rows, and odd-numbered work holding members and even-numbered work holding members are respectively paired. When facing the jig with the smaller work arrangement interval of the jig and the receiving jig, each work holding member is matched with the work arrangement interval of the jig, and each work holding member is raised and lowered simultaneously. When the work is taken out or transferred, and when the jig having the larger arrangement interval of the works faces the jig, the interval between the rows of the two rows of work holding members is made to coincide with the arrangement interval of the jigs, In addition, the odd-numbered work holding members in the work holding members in each row are moved up and down to take out or transfer the work with respect to the jig, and then moved in the direction in which the works are arranged in the jig, and the even-numbered work holding members are moved. Raise and lower each work holding member,
A method of transferring a work, wherein the work is taken out or transferred to the jig.
受取側治具にＩＣデバイスが移載された後に、この受取
側治具に載置した全てのＩＣデバイスを同時に電気的特
性の測定を行うようにしたことを特徴とする請求項４ま
たは５記載のワーク移載装置。6. The work is an IC device, and after the IC device is transferred to the receiving jig, the electrical characteristics of all the IC devices mounted on the receiving jig are measured at the same time. The work transfer device according to claim 4 or 5, wherein
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