JP3224421B2 - アライメントマーク - Google Patents
アライメントマークInfo
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- JP3224421B2 JP3224421B2 JP17767192A JP17767192A JP3224421B2 JP 3224421 B2 JP3224421 B2 JP 3224421B2 JP 17767192 A JP17767192 A JP 17767192A JP 17767192 A JP17767192 A JP 17767192A JP 3224421 B2 JP3224421 B2 JP 3224421B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alignment mark
- alignment
- substrate
- mark
- liquid crystal
- Prior art date
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- Liquid Crystal (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、アライメントマークに
関し、とくに微細なパターン寸法を有する電極パターン
を形成した2枚の基板を精度良く位置合わせを行って貼
り合わせる方法と、露光処理方法とに使用するアライメ
ントマークに関するものである。
関し、とくに微細なパターン寸法を有する電極パターン
を形成した2枚の基板を精度良く位置合わせを行って貼
り合わせる方法と、露光処理方法とに使用するアライメ
ントマークに関するものである。
【0002】
【従来の技術】以下の説明では、それぞれアライメント
マークを形成した一対の基板を貼り合わせる例を用いて
説明する。
マークを形成した一対の基板を貼り合わせる例を用いて
説明する。
【0003】現在、微細パターンを形成した一対の基板
を貼り合わせて液晶パネルを作成するときは、一般に雄
十字形状のアライメントマークと、雌十字形状のアライ
メントマークとを、それぞれの基板の相対する位置に形
成し、これらのアライメントマークを照合して、2枚の
基板を貼り合わせて、液晶パネルを形成している。
を貼り合わせて液晶パネルを作成するときは、一般に雄
十字形状のアライメントマークと、雌十字形状のアライ
メントマークとを、それぞれの基板の相対する位置に形
成し、これらのアライメントマークを照合して、2枚の
基板を貼り合わせて、液晶パネルを形成している。
【0004】従来例における基板の位置合わせを行い、
その後一対の基板を貼り合わせる方法を、図6から図8
を用いて説明する。
その後一対の基板を貼り合わせる方法を、図6から図8
を用いて説明する。
【0005】まず図6に示すように、第1の基板11上
には、金属材料や透明導電膜であるITOなどを用いて
ブラックマトリクスを形成し、その上にカラーフィルタ
−や保護膜などを多層に形成する。
には、金属材料や透明導電膜であるITOなどを用いて
ブラックマトリクスを形成し、その上にカラーフィルタ
−や保護膜などを多層に形成する。
【0006】このとき、同時に金属材料や透明導電膜な
どの材料を用いて、雄十字形状を有する第1のアライメ
ントマーク13を第1の基板11の四隅位置に形成す
る。
どの材料を用いて、雄十字形状を有する第1のアライメ
ントマーク13を第1の基板11の四隅位置に形成す
る。
【0007】さらに、第2の基板12の上には、金属材
料を使用しアクティブ素子などを形成する。同様にし
て、このとき同時に金属材料から形成する雌十字形状を
有する第2のアライメントマーク14を、第1の基板1
1の第1のアライメントマーク13の相対する位置の第
2の基板12に設ける。
料を使用しアクティブ素子などを形成する。同様にし
て、このとき同時に金属材料から形成する雌十字形状を
有する第2のアライメントマーク14を、第1の基板1
1の第1のアライメントマーク13の相対する位置の第
2の基板12に設ける。
【0008】この第1の基板11上と第2の基板12上
には、図示しないが、微細なパターン寸法を有する電極
パターンを形成している。この第1の基板11と第2の
基板12とは、シール材15を用いて貼り合わせる。
には、図示しないが、微細なパターン寸法を有する電極
パターンを形成している。この第1の基板11と第2の
基板12とは、シール材15を用いて貼り合わせる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】液晶表示パネルの製造
方法にて通常にアライメントマークが形成された場合、
図7に示すように、雄十字形状の第1のアライメントマ
ーク13と、雌十字形状の第2のアライメントマーク1
4との隙間10は、設計値と同じように、精度良く形成
することができる。このため微細なパターンを有する画
素でも、相互位置がズレることなく、一対の基板を貼り
合わせることが可能である。
方法にて通常にアライメントマークが形成された場合、
図7に示すように、雄十字形状の第1のアライメントマ
ーク13と、雌十字形状の第2のアライメントマーク1
4との隙間10は、設計値と同じように、精度良く形成
することができる。このため微細なパターンを有する画
素でも、相互位置がズレることなく、一対の基板を貼り
合わせることが可能である。
【0010】アライメント工程は、第1のアライメント
マーク13と第2のアライメントマーク14との隙間1
0寸法を、複数のアライメントマーク全周囲にわたって
同一寸法にすることにより、一対の基板のアライメント
を行っている。
マーク13と第2のアライメントマーク14との隙間1
0寸法を、複数のアライメントマーク全周囲にわたって
同一寸法にすることにより、一対の基板のアライメント
を行っている。
【0011】しかしながら、第1の基板11と第2の基
板12とを重ね合わせるとき、露光処理、現像処理、エ
ッチング処理において、これらの処理条件がばらついて
エッチング過剰になってしまうと、アライメントマーク
は図8に示すように、第1のアラメントマーク13と、
第2のアライメントマーク14との隙間10寸法が広が
ってしまう。このため第1の基板11と第2の基板12
に形成した第1のアライメントマーク13と、第2のア
ライメントマーク14とを合わせにくくなり、一対の基
板の貼り合わせ精度が劣化するため、画素位置がズレ
て、表示面積が小さくなる。
板12とを重ね合わせるとき、露光処理、現像処理、エ
ッチング処理において、これらの処理条件がばらついて
エッチング過剰になってしまうと、アライメントマーク
は図8に示すように、第1のアラメントマーク13と、
第2のアライメントマーク14との隙間10寸法が広が
ってしまう。このため第1の基板11と第2の基板12
に形成した第1のアライメントマーク13と、第2のア
ライメントマーク14とを合わせにくくなり、一対の基
板の貼り合わせ精度が劣化するため、画素位置がズレ
て、表示面積が小さくなる。
【0012】さらに基板に形成する電極パターン配線幅
が20μmから15μm程度の微細になると、アライメ
ント工程は、表示画素面積をなるべく大きく取りたいた
め、アライメントマーク同士を、プラスマイナス1〜2
μm程度の位置合わせ精度が要求される。
が20μmから15μm程度の微細になると、アライメ
ント工程は、表示画素面積をなるべく大きく取りたいた
め、アライメントマーク同士を、プラスマイナス1〜2
μm程度の位置合わせ精度が要求される。
【0013】高精細な電極パターンを有する液晶ビュー
ファインダーやハイビジョン対応の液晶プロジェクショ
ンなどに代表される液晶パネルの製造を行う場合、基板
に形成する透明導電膜からなる電極パターンのピッチ
は、30μm以下と小さな寸法になる。
ファインダーやハイビジョン対応の液晶プロジェクショ
ンなどに代表される液晶パネルの製造を行う場合、基板
に形成する透明導電膜からなる電極パターンのピッチ
は、30μm以下と小さな寸法になる。
【0014】このため、一対の基板を貼り合わせて液晶
表示パネルを作成する場合、画素位置のズレが発生する
と、表示面積の減少や、コントラストが低下する。
表示パネルを作成する場合、画素位置のズレが発生する
と、表示面積の減少や、コントラストが低下する。
【0015】本発明の目的は、上記課題を解決して、一
対の基板に形成する電極パターンの位置ズレの発生しな
い液晶パネルの製造方法等に使用するアライメントマー
クを提供することにある。
対の基板に形成する電極パターンの位置ズレの発生しな
い液晶パネルの製造方法等に使用するアライメントマー
クを提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のアライメントマークは、下記記載の手段を
採用する。
に、本発明のアライメントマークは、下記記載の手段を
採用する。
【0017】本発明のアライメントマークは、第1のア
ライメントマークと第2のアライメントマークを用いて
位置合わせするアライメントマークであって、前記第1
のアライメントマークと前記第2のアライメントマーク
とは、T字形状を有し、前記第1のアライメントマーク
と前記第2のアライメントマークを互いに逆向きにして
位置合わせすることを特徴とする。
ライメントマークと第2のアライメントマークを用いて
位置合わせするアライメントマークであって、前記第1
のアライメントマークと前記第2のアライメントマーク
とは、T字形状を有し、前記第1のアライメントマーク
と前記第2のアライメントマークを互いに逆向きにして
位置合わせすることを特徴とする。
【0018】本発明のアライメントマークは、第1の基
板に複数の第1のアライメントマークを形成し、第2の
基板に複数の第2のアライメントマークを形成し、この
第1のアライメントマークと第2のアライメントマーク
とを使用して前記第1の基板と前記第2の基板とを貼り
合わせるにあたり使用するアライメントマークであっ
て、前記第1のアライメントマークと前記第2のアライ
メントマークとは、T字形状を有し、前記第1のアライ
メントマークと前記第2のアライメントマークを互いに
逆向きに配列し、前記第1のアライメントマークと前記
第2アライメントマークとの隙間が所定の同一寸法の箇
所と、前記第1のアライメントマークと前記第2アライ
メントマークとの隙間が一定の寸法で段階的にズレてい
る箇所とを形成することを特徴とする。
板に複数の第1のアライメントマークを形成し、第2の
基板に複数の第2のアライメントマークを形成し、この
第1のアライメントマークと第2のアライメントマーク
とを使用して前記第1の基板と前記第2の基板とを貼り
合わせるにあたり使用するアライメントマークであっ
て、前記第1のアライメントマークと前記第2のアライ
メントマークとは、T字形状を有し、前記第1のアライ
メントマークと前記第2のアライメントマークを互いに
逆向きに配列し、前記第1のアライメントマークと前記
第2アライメントマークとの隙間が所定の同一寸法の箇
所と、前記第1のアライメントマークと前記第2アライ
メントマークとの隙間が一定の寸法で段階的にズレてい
る箇所とを形成することを特徴とする。
【0019】本発明のアライメントマークは、基板に複
数の第1のアライメントを形成し、この第1のアライメ
ントマークを基準として複数の第2のアライメントマー
クを用いて露光処理を行うにあたり使用するアライメン
トマークであって、前記第1のアライメントマークと前
記第2のアライメントマークとは、T字形状を有し、前
記第1のアライメントマークと前記第2のアライメント
マークが互いに逆向きに配列し、前記第1のアライメン
トマークと前記第2アライメントマークとの隙間が所定
の同一寸法の箇所と、前記第1のアライメントマークと
前記第2アライメントマークとの隙間が一定の寸法で段
階的にズレている箇所とを形成することを特徴とする。
数の第1のアライメントを形成し、この第1のアライメ
ントマークを基準として複数の第2のアライメントマー
クを用いて露光処理を行うにあたり使用するアライメン
トマークであって、前記第1のアライメントマークと前
記第2のアライメントマークとは、T字形状を有し、前
記第1のアライメントマークと前記第2のアライメント
マークが互いに逆向きに配列し、前記第1のアライメン
トマークと前記第2アライメントマークとの隙間が所定
の同一寸法の箇所と、前記第1のアライメントマークと
前記第2アライメントマークとの隙間が一定の寸法で段
階的にズレている箇所とを形成することを特徴とする。
【0020】
【作用】本発明においては、微細パターンを形成した一
対の基板にシール材を形成した後に、2枚の基板の四隅
位置に設けたアライメントマークにて位置合わせを行う
とき、T字形状と逆T字形状とを有するアライメントマ
ークを使用してアライメント工程を行う。
対の基板にシール材を形成した後に、2枚の基板の四隅
位置に設けたアライメントマークにて位置合わせを行う
とき、T字形状と逆T字形状とを有するアライメントマ
ークを使用してアライメント工程を行う。
【0021】この結果、エッチング条件に、たとえバラ
ツキが発生しても、アライメントマーク寸法に関係なく
位置合わせが可能になる。さらにアライメントマークを
横方向と縦方向とに配列することにより、X方向とY方
向とのズレ量を、貼り合わせ前後で特別な測定装置が無
くても、測定できる。
ツキが発生しても、アライメントマーク寸法に関係なく
位置合わせが可能になる。さらにアライメントマークを
横方向と縦方向とに配列することにより、X方向とY方
向とのズレ量を、貼り合わせ前後で特別な測定装置が無
くても、測定できる。
【0022】
【実施例】以下、図面を用いて本発明におけるアライメ
ントマークおよびそれを用いた液晶パネルの製造方法を
説明する。
ントマークおよびそれを用いた液晶パネルの製造方法を
説明する。
【0023】まず図2に示すように、2枚の第1の基板
11と第2の基板には、それぞれ電極パターン(図示せ
ず)の形成と同時に、T字形状を有する第1のアライメ
ントマーク16と、逆T字形状を有する第2のアライメ
ントマーク17とを透明導電膜や金属材料を使って形成
する。本実施例では、図1に示すように、一対の第1の
基板11と第2の基板12との四隅位置で、かつ縦方向
と横方向のアライメントマークが直交するように、T字
形状の第1のアライメントマーク16と逆T字形状の第
2のアライメントマーク17とを配置する。
11と第2の基板には、それぞれ電極パターン(図示せ
ず)の形成と同時に、T字形状を有する第1のアライメ
ントマーク16と、逆T字形状を有する第2のアライメ
ントマーク17とを透明導電膜や金属材料を使って形成
する。本実施例では、図1に示すように、一対の第1の
基板11と第2の基板12との四隅位置で、かつ縦方向
と横方向のアライメントマークが直交するように、T字
形状の第1のアライメントマーク16と逆T字形状の第
2のアライメントマーク17とを配置する。
【0024】本発明の製造方法に用いるアライメントマ
ークは、図1に示すように、T字形状の第1のアライメ
ントマーク16と第2のアライメントマーク17とを、
互いに逆向きになるように配置する。さらにこの第1の
アライメントマーク16と第2のアライメントマーク1
7との隙間が一定寸法でアライメントマークの相対位置
のズレがないものと、第1のアライメントマーク16と
第2のアライメントマーク17とが所定の寸法で段階的
にズレるようにする。
ークは、図1に示すように、T字形状の第1のアライメ
ントマーク16と第2のアライメントマーク17とを、
互いに逆向きになるように配置する。さらにこの第1の
アライメントマーク16と第2のアライメントマーク1
7との隙間が一定寸法でアライメントマークの相対位置
のズレがないものと、第1のアライメントマーク16と
第2のアライメントマーク17とが所定の寸法で段階的
にズレるようにする。
【0025】本発明においては、図1に示すように、第
1のアライメントマーク16と第2のアライメントマー
ク17との位置ズレがない箇所にズレ量がゼロというこ
とが解るように、「0」の目盛りをアライメントマーク
と同一材料で形成し、さらにズレ量に対応した数値の目
盛りをアライメントマークの近傍に形成している。
1のアライメントマーク16と第2のアライメントマー
ク17との位置ズレがない箇所にズレ量がゼロというこ
とが解るように、「0」の目盛りをアライメントマーク
と同一材料で形成し、さらにズレ量に対応した数値の目
盛りをアライメントマークの近傍に形成している。
【0026】さらにその後、図2に示すように、それぞ
れ所定の微細な電極パターンを形成した基板のうち、一
方の基板の第1の基板11にシール材15を印刷法で形
成する。このシール材15は、エポキシ系の接着剤から
なる。
れ所定の微細な電極パターンを形成した基板のうち、一
方の基板の第1の基板11にシール材15を印刷法で形
成する。このシール材15は、エポキシ系の接着剤から
なる。
【0027】その後、シール材を形成した第1の基板1
1と第2の基板12との位置合わせの粗調である第1回
目のアライメント処理を行い、一対の基板を重ね合わせ
る。
1と第2の基板12との位置合わせの粗調である第1回
目のアライメント処理を行い、一対の基板を重ね合わせ
る。
【0028】さらにその後、図3に示すように、プレス
機18を用いて、対になった複数枚の液晶パネル基板1
9を重ねて加圧し、シール材15と基板との接触面積を
増加させる。
機18を用いて、対になった複数枚の液晶パネル基板1
9を重ねて加圧し、シール材15と基板との接触面積を
増加させる。
【0029】その後、第2回目のアライメント処理であ
る微調アライメントを行う。この第2回目のアライメン
ト処理は、図1に示すように、2枚の基板のそれぞれに
形成した第1のアライメントマーク16と、第2のアラ
イメントマーク17との目盛り「0」の箇所の隣接する
アライメントマーク間の隙間が均等になるように、図4
に示すような、CCD20を用いた画像処理装置などを
使用し、正確に合わせる。この結果、位置合わせ精度が
0.5μm以下の合わ精度で2枚の基板を貼り合わせる
ことができる。
る微調アライメントを行う。この第2回目のアライメン
ト処理は、図1に示すように、2枚の基板のそれぞれに
形成した第1のアライメントマーク16と、第2のアラ
イメントマーク17との目盛り「0」の箇所の隣接する
アライメントマーク間の隙間が均等になるように、図4
に示すような、CCD20を用いた画像処理装置などを
使用し、正確に合わせる。この結果、位置合わせ精度が
0.5μm以下の合わ精度で2枚の基板を貼り合わせる
ことができる。
【0030】このときもしもエッチング過剰で、アライ
メントマークのパターン形状が細くなっていたり、太く
なっていたりしても、理想的なエッチングの場合と同様
に目盛り「0」の両隣から外側へと、T字形状アライメ
ントマークと逆T字形状アライメントマークとの隙間
が、左右対称に均等になるように横方向と縦方向を合致
させれば良い。
メントマークのパターン形状が細くなっていたり、太く
なっていたりしても、理想的なエッチングの場合と同様
に目盛り「0」の両隣から外側へと、T字形状アライメ
ントマークと逆T字形状アライメントマークとの隙間
が、左右対称に均等になるように横方向と縦方向を合致
させれば良い。
【0031】その後、図5に示すように、重ね合わせた
液晶パネル基板19の四隅を、光硬化タイプの接着剤2
1を、光照射装置22を用いて、液晶パネル基板19の
仮止めを行い、シール材硬化時にシール材が軟化して、
一対の基板位置ズレが発生しないようにした後、シール
材15を硬化させて液晶表示パネルが完成する。接着剤
21としては、前述の光硬化タイプの接着剤以外に、瞬
間接着剤も用いることができる。
液晶パネル基板19の四隅を、光硬化タイプの接着剤2
1を、光照射装置22を用いて、液晶パネル基板19の
仮止めを行い、シール材硬化時にシール材が軟化して、
一対の基板位置ズレが発生しないようにした後、シール
材15を硬化させて液晶表示パネルが完成する。接着剤
21としては、前述の光硬化タイプの接着剤以外に、瞬
間接着剤も用いることができる。
【0032】その後、液晶パネル基板の2枚の基板間に
液晶を注入して、液晶パネルが完成する。
液晶を注入して、液晶パネルが完成する。
【0033】以上の説明においては、それぞれアライメ
ントマークを形成した一対の基板を貼り合わせる例で説
明したが、基板に形成する第1のアライメントマークを
基準として第2のアライメントマークを用いて露光処理
を行うときにも、本発明の製造方法は適用できる。
ントマークを形成した一対の基板を貼り合わせる例で説
明したが、基板に形成する第1のアライメントマークを
基準として第2のアライメントマークを用いて露光処理
を行うときにも、本発明の製造方法は適用できる。
【0034】
【発明の効果】上記説明のように本発明によれば、アラ
イメントマークのエッチングの精度によらず、一対の基
板の貼り合わせや露光処理を精度良く行うことが可能に
なり、表示面積が大きくなり、表示品質が良好な液晶表
示パネルが得られる。
イメントマークのエッチングの精度によらず、一対の基
板の貼り合わせや露光処理を精度良く行うことが可能に
なり、表示面積が大きくなり、表示品質が良好な液晶表
示パネルが得られる。
【0035】さらにもし、何らかの要因で一対の基板の
アライメント工程において、アライメントズレが発生し
たときは、X方向Y方向のズレ量を、アライメントマー
ク領域を観察することにより、アライメントズレ量は測
定装置を用いずに数値として得ることができる。
アライメント工程において、アライメントズレが発生し
たときは、X方向Y方向のズレ量を、アライメントマー
ク領域を観察することにより、アライメントズレ量は測
定装置を用いずに数値として得ることができる。
【0036】さらにそのうえ、微調整の第2回目のアラ
イメント処理に、液晶パネル基板の四隅位置の仮止めを
行っているので、第2回目のアライメント処理以降の工
程で基板の位置ズレは発生しない。
イメント処理に、液晶パネル基板の四隅位置の仮止めを
行っているので、第2回目のアライメント処理以降の工
程で基板の位置ズレは発生しない。
【図1】本発明の液晶表示パネルの製造方法に用いるア
ライメントマークを示す平面図である。
ライメントマークを示す平面図である。
【図2】本発明の液晶表示パネルの製造方法を示す斜視
図である。
図である。
【図3】本発明の液晶表示パネルの製造方法を示す斜視
図である。
図である。
【図4】本発明の液晶表示パネルの製造方法を示す斜視
図である。
図である。
【図5】本発明の液晶表示パネルの製造方法を示す斜視
図である。
図である。
【図6】従来の液晶表示パネルの製造方法を示す斜視図
である。
である。
【図7】従来の液晶表示パネルの製造方法に用いるアラ
イメントマークを示す平面図である。
イメントマークを示す平面図である。
【図8】従来の液晶表示パネルの製造方法に用いるアラ
イメントマークを示す平面図である。
イメントマークを示す平面図である。
11 第1の基板 12 第2の基板 15 シール材 16 第1のアライメントマーク 17 第2のアライメントマーク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−197113(JP,A) 特開 平3−163515(JP,A) 特開 平2−143544(JP,A) 特開 平2−125256(JP,A) 特開 平2−121324(JP,A) 特開 平3−238809(JP,A) 特開 平4−62989(JP,A) 特開 平4−122842(JP,A) 特開 昭63−169505(JP,A) 特開 昭63−260045(JP,A) 特開 昭63−291431(JP,A) 特開 平2−126628(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02F 1/13 101 G02F 1/1333 500 G02F 1/1339 505
Claims (3)
- 【請求項1】 第1のアライメントマークと第2のアラ
イメントマークを用いて位置合わせするアライメントマ
ークであって、 前記第1のアライメントマークと前記第2のアライメン
トマークとは、T字形状を有し、 前記第1のアライメントマークと前記第2のアライメン
トマークを互いに逆向きにして位置合わせすることを特
徴とするアライメントマーク。 - 【請求項2】 第1の基板に複数の第1のアライメント
マークを形成し、第2の基板に複数の第2のアライメン
トマークを形成し、この第1のアライメントマークと第
2のアライメントマークとを使用して前記第1の基板と
前記第2の基板とを貼り合わせるにあたり使用するアラ
イメントマークであって、 前記第1のアライメントマークと前記第2のアライメン
トマークとは、T字形状を有し、 前記第1のアライメントマークと前記第2のアライメン
トマークを互いに逆向きに配列し、 前記第1のアライメントマークと前記第2アライメント
マークとの隙間が所定の同一寸法の箇所と、前記第1の
アライメントマークと前記第2アライメントマークとの
隙間が一定の寸法で段階的にズレている箇所とを形成す
ることを特徴とするアライメントマーク。 - 【請求項3】 基板に複数の第1のアライメントを形成
し、この第1のアライメントマークを基準として複数の
第2のアライメントマークを用いて露光処理を行うにあ
たり使用するアライメントマークであって、 前記第1のアライメントマークと前記第2のアライメン
トマークとは、T字形状を有し、 前記第1のアライメントマークと前記第2のアライメン
トマークが互いに逆向きに配列し、 前記第1のアライメントマークと前記第2アライメント
マークとの隙間が所定の同一寸法の箇所と、前記第1の
アライメントマークと前記第2アライメントマークとの
隙間が一定の寸法で段階的にズレている箇所とを形成す
ることを特徴とするアライメントマーク。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17767192A JP3224421B2 (ja) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | アライメントマーク |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17767192A JP3224421B2 (ja) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | アライメントマーク |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05346562A JPH05346562A (ja) | 1993-12-27 |
JP3224421B2 true JP3224421B2 (ja) | 2001-10-29 |
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ID=16035076
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17767192A Expired - Fee Related JP3224421B2 (ja) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | アライメントマーク |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3224421B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8850719B2 (en) | 2009-02-06 | 2014-10-07 | Nike, Inc. | Layered thermoplastic non-woven textile elements |
US9732454B2 (en) | 2009-02-06 | 2017-08-15 | Nike, Inc. | Textured elements incorporating non-woven textile materials and methods for manufacturing the textured elements |
US10131091B2 (en) | 2009-02-06 | 2018-11-20 | Nike, Inc. | Methods of joining textiles and other elements incorporating a thermoplastic polymer material |
US10138582B2 (en) | 2009-02-06 | 2018-11-27 | Nike, Inc. | Thermoplastic non-woven textile elements |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2730572B2 (ja) * | 1996-03-21 | 1998-03-25 | 日本電気株式会社 | 液晶表示装置及びその製造方法 |
KR100579546B1 (ko) * | 2001-12-29 | 2006-05-12 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치용 얼라인 키 |
JP4694101B2 (ja) * | 2003-03-18 | 2011-06-08 | 大日本印刷株式会社 | 露光方法及びパターン形成装置 |
JP4694102B2 (ja) * | 2003-03-27 | 2011-06-08 | 大日本印刷株式会社 | 露光方法 |
KR100923055B1 (ko) * | 2003-03-28 | 2009-10-22 | 삼성전자주식회사 | 편광판용 얼라인 마크를 갖는 액정표시장치 |
TWI311211B (en) * | 2004-04-13 | 2009-06-21 | Au Optronics Corp | Liquid crystal display panel with marks for checking breaking accuracy by visual inspection |
JP5104176B2 (ja) * | 2007-10-04 | 2012-12-19 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及び電子機器 |
JP5502508B2 (ja) * | 2010-01-27 | 2014-05-28 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 液晶表示装置および電子機器 |
JP5501030B2 (ja) * | 2010-02-26 | 2014-05-21 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 液晶表示パネル及び電子機器 |
CN108681127B (zh) * | 2018-07-03 | 2021-08-24 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示面板、其制作方法及显示装置 |
-
1992
- 1992-06-12 JP JP17767192A patent/JP3224421B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8850719B2 (en) | 2009-02-06 | 2014-10-07 | Nike, Inc. | Layered thermoplastic non-woven textile elements |
US9732454B2 (en) | 2009-02-06 | 2017-08-15 | Nike, Inc. | Textured elements incorporating non-woven textile materials and methods for manufacturing the textured elements |
US10131091B2 (en) | 2009-02-06 | 2018-11-20 | Nike, Inc. | Methods of joining textiles and other elements incorporating a thermoplastic polymer material |
US10138582B2 (en) | 2009-02-06 | 2018-11-27 | Nike, Inc. | Thermoplastic non-woven textile elements |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05346562A (ja) | 1993-12-27 |
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JPH0570155B2 (ja) |
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