JP3207234B2 - Actuator - Google Patents
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、成形されたボデイ内に
駆動源を収容し、且つこのボデイと一体的に形成された
案内部材に移動手段を係合させて、ワークを搬送するア
クチュエータに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an actuator for accommodating a driving source in a molded body, and transferring a workpiece by engaging a moving means with a guide member formed integrally with the body. .
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、例えば、ワークを吸着し、または
メカニカルハンドやチャックを用いて把持し搬送するた
めの装置には、アクチュエータが備えられている。この
種のアクチュエータは、鋳造、押し出し、引き抜き等の
方法により一体成形された本体に、テーブル等の移動体
をガイドを介して取り付け、ボールねじまたはタイミン
グベルト等を用い、サーボモータ、ステッピングモータ
等の駆動源により回転せしめて前記移動体を移動させて
いる。この移動に伴って、前記移動体にT溝等を介して
連結されたメカニカルチャック等の把持あるいは吸着手
段も移動し、該手段に保持されたワークは、所望の位置
に搬送される。2. Description of the Related Art Conventionally, for example, a device for sucking a workpiece or holding and transporting it using a mechanical hand or a chuck is provided with an actuator. This type of actuator mounts a moving body such as a table via a guide to a main body integrally formed by a method such as casting, extrusion, pulling, etc., using a ball screw or a timing belt, and a servo motor, a stepping motor, etc. The moving body is moved by being rotated by a driving source. With this movement, a gripping or suction means such as a mechanical chuck connected to the moving body via a T-groove or the like also moves, and the work held by the means is transported to a desired position.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】このようなアクチュエ
ータには、前記の通り、本体に移動体、駆動機構、駆動
源を装着している。したがって、例えば、駆動源として
のモータの軸心とボールねじの軸心の位置合わせ、ある
いは移動体自体を円滑に変位させるために、ガイドロッ
ドとボールねじの軸心を平行にする位置合わせ等が必要
となり、組み立て工程において非常に高い精度を要求さ
れる。したがって、製造工程が煩雑になり、熟練した作
業員を必要とし、しかも生産効率もさほどに向上しない
という問題がある。As described above, a moving body, a driving mechanism, and a driving source are mounted on the main body of such an actuator. Therefore, for example, the alignment of the axis of the motor as the drive source and the axis of the ball screw, or the alignment of making the axis of the guide rod and the axis of the ball screw parallel in order to smoothly displace the moving body itself, etc. Required, and very high accuracy is required in the assembly process. Therefore, there is a problem that the manufacturing process becomes complicated, skilled workers are required, and the production efficiency is not significantly improved.
【0004】本発明は、この種の問題を解決するために
なされたものであって、組み立てにさほど高い精度を必
要とせずに簡単に製造可能であり、しかも、生産効率も
向上するアクチュエータを提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve this kind of problem, and provides an actuator which can be easily manufactured without requiring a very high precision in assembly and has an improved production efficiency. The purpose is to do.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、位置決め用の第1係合部を有する駆動
源と、前記第1係合部に係合する第2係合部を有するボ
デイと、前記ボデイの断面対角線状に一体的に形成され
かつ互いに直交する二面にそれぞれ設けられた一組の案
内手段と、前記一組の案内手段にそれぞれ案内され、前
記駆動源の駆動力によって変位する移動手段と、を備
え、前記第1係合部に前記第2係合部を係合させること
により前記駆動源が前記ボデイに対して位置決めされ、
さらに、ボデイに一体的に形成された一組の案内手段に
沿って移動手段を取着することにより、前記移動手段が
ボデイに対して位置決めされることを特徴とする。To achieve the above object SUMMARY OF THE INVENTION The present invention includes a drive source having a first engaging portion for positioning, a second engagement for engaging the first engagement portion A body having a portion, and a cross-section diagonally formed integrally with the body.
And a set of plans provided on each of two surfaces that are orthogonal to each other
An inner unit, respectively are guided by the pair of guide means, and a moving means for displacing I by the driving force of the driving source, engaging the second engaging portion to the first engagement portion the drive source is positioned against the body by,
Furthermore, a set of guide means formed integrally with the body
By attaching the moving means along, the moving means
It is positioned relative to the body, characterized in Rukoto.
【0006】[0006]
【0007】[0007]
【作用】本発明に係るアクチュエータでは、駆動源の駆
動力により移動手段を変位させる。この際、移動手段は
ボデイに形成された案内手段により精度よく案内され
る。このように作動するアクチュエータは、ボデイに形
成された第1係合部に対して駆動源に形成された第2係
合部を係合するため、駆動源の前記ボデイに対する位置
決めが容易に行える。また、ボデイに一体的に案内手段
を設けたため、移動手段をボデイに対して位置決めする
だけで、案内手段が移動手段に対して正確に設置され
る。さらに、互いに直角に形成されたボデイの二面にそ
れぞれ案内手段を設け、該案内手段に移動手段が係合し
たため、実質的に移動手段が直角二方向によって支持さ
れ、精度よく、また外れることなく案内される。In the actuator according to the present invention, the moving means is displaced by the driving force of the driving source. At this time, the moving means is accurately guided by the guiding means formed on the body. The actuator that operates in this manner engages the first engagement portion formed on the body with the second engagement portion formed on the drive source, so that the drive source can be easily positioned with respect to the body. Further, since the guide means is provided integrally with the body, the guide means can be accurately set to the move means only by positioning the moving means with respect to the body. Further, guide means are provided on two surfaces of the body formed at right angles to each other, and the moving means is engaged with the guide means, so that the moving means is substantially supported by two perpendicular directions, accurately and without disengagement. You will be guided.
【0008】[0008]
【実施例】本発明に係るアクチュエータについて、好適
な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に
説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An actuator according to the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.
【0009】図1に示すように、アクチュエータ10
は、基本的にボデイ12、電動モータ14、ボールねじ
16およびスライドテーブル18から構成されている。[0009] As shown in FIG.
Is basically composed of a body 12, an electric motor 14, a ball screw 16 and a slide table 18.
【0010】ボデイ12は、断面が略L字型に形成さ
れ、前記L字型端部に沿ってスライドテーブル18の案
内部材となる、断面が半円形状の案内部材20a、20
bが長手方向に装着されている。前記ボデイ12の中央
部には、長手方向に沿って壁部22が突出形成されると
ともに、該ボデイ12の底面に凸部24が形成される
(図2および図3参照)。ボデイ12のそれぞれの端部
には、前記ボールねじ16の端部が回転自在に保持され
るべく、孔部を画成した板体26a、26bを設け、実
質的に前記L字型のボデイ12の空間をその両端部で閉
塞している。このように構成されるボデイ12は、繊維
強化プラスチック(FRP)等の複合材料、樹脂材料等
から押し出し、引き抜き、精密鍛造、精密鋳造、金属射
出成形、セラミック射出成形等によって、前記案内部材
20a、20b、凸部24等の位置を正確に形成され
る。The body 12 has a substantially L-shaped cross section, and serves as a guide member for the slide table 18 along the L-shaped end. The guide members 20a and 20 have a semicircular cross section.
b is mounted in the longitudinal direction. A wall 22 protrudes from the center of the body 12 along the longitudinal direction, and a protrusion 24 is formed on the bottom surface of the body 12 (see FIGS. 2 and 3). At each end of the body 12, plate bodies 26a and 26b defining holes are provided so that the end of the ball screw 16 is rotatably held, and the substantially L-shaped body 12 is formed. Is closed at both ends. The body 12 configured as described above is extruded from a composite material such as fiber reinforced plastic (FRP), a resin material, or the like, and is drawn out, precision forged, precision cast, metal injection molded, ceramic injection molded, or the like. The positions of the projections 20b, the projections 24 and the like are accurately formed.
【0011】電動モータ14は、ボデイ12の空間内で
案内部材20a側に配設され、該電動モータ14はケイ
素鋼板を積層し、該ケイ素鋼板にコイルを巻回して構成
している。前記ケイ素鋼板が積層された電動モータ14
の長手方向の側面には、凹部28a、28bを画成し、
図3において底辺側の凹部28aをボデイ12の凸部2
4に嵌合することにより、電動モータ14をボデイ12
に対して位置決めしている。ここでは、前記電動モータ
14は、いわゆるカバーを有しておらず、ボデイ12で
囲繞することにより、アクチュエータ10を全体として
小型化するために貢献している。なお、電動モータ14
は、ACモータ、DCモータ、インダクションモータ、
ステッピングモータ、コアレスモータのいずれでもよ
く、ハーモーニックドライブ機構あるいは遊星歯車機構
を備えたモータであれば好適である。前記ハーモニック
ドライブ機構あるいは遊星歯車機構をモータに備える
と、前記機構を介して減速することにより10000r
pm程度の高回転型モータを使用できる。したがって、
同一の出力に対して相対的にモータ径の小さいモータを
使用でき、アクチュエータ全体の小型化につながる。The electric motor 14 is disposed in the space of the body 12 on the guide member 20a side. The electric motor 14 is formed by laminating a silicon steel plate and winding a coil around the silicon steel plate. Electric motor 14 on which the silicon steel plates are laminated
On the side surfaces in the longitudinal direction, concave portions 28a and 28b are defined,
In FIG. 3, the concave portion 28a on the bottom side is
4, the electric motor 14 is connected to the body 12
Positioning. Here, the electric motor 14 does not have a so-called cover, and is surrounded by the body 12, thereby contributing to downsizing the actuator 10 as a whole. The electric motor 14
Are AC motors, DC motors, induction motors,
Any of a stepping motor and a coreless motor may be used, and a motor having a harmonic drive mechanism or a planetary gear mechanism is preferable. When the motor is provided with the harmonic drive mechanism or the planetary gear mechanism, the motor is decelerated through the mechanism to generate 10,000 r.
A high rotation type motor of about pm can be used. Therefore,
A motor having a relatively small motor diameter can be used for the same output, which leads to a reduction in the size of the entire actuator.
【0012】なお、電動モータ14には、図示しないエ
ンコーダ等のセンサが取り付けられ、スライドテーブル
18の位置、速度等を検出している。A sensor such as an encoder (not shown) is attached to the electric motor 14 to detect the position, speed and the like of the slide table 18.
【0013】前記電動モータ14の軸線に沿って筐体形
状を有するコントローラ29が設けられ、該コントロー
ラ29の一端側は、ボデイ12の案内部材20a側に当
接するように設けられている。A controller 29 having a housing shape is provided along the axis of the electric motor 14, and one end of the controller 29 is provided to abut on the guide member 20 a side of the body 12.
【0014】電動モータ14の一端部からは駆動軸30
が突出し、その先端部は板体26aに設けられた孔部に
嵌合されるとともに、板体26aの内側にタイミングベ
ルト32を懸架するためのプーリ34を装着されてい
る。From one end of the electric motor 14, a drive shaft 30
The distal end is fitted into a hole provided in the plate 26a, and a pulley 34 for suspending the timing belt 32 is mounted inside the plate 26a.
【0015】ボールねじ16は、その両端部が板体26
a、26bの孔部に嵌合されるとともに、板体26a側
にタイミングベルト32を懸架するプーリ36を装着さ
れている。すなわち、プーリ34、36間にタイミング
ベルト32が懸架され、電動モータ14の回転をボール
ねじ16に伝達する。ボールねじ16は、その途中でス
ライドテーブル18と一体的に構成された支持体38に
係合している。The ball screw 16 has a plate 26 at both ends.
A pulley 36 for suspending the timing belt 32 is mounted on the plate 26a side while being fitted into the holes of the holes 26a and 26b. That is, the timing belt 32 is suspended between the pulleys 34 and 36, and transmits the rotation of the electric motor 14 to the ball screw 16. The ball screw 16 is engaged with a support 38 integrally formed with the slide table 18 on the way.
【0016】スライドテーブル18は、ポリアセタール
等の潤滑性を有する材料で、実質的に、略L字型に形成
され、該L字型のそれぞれの端部にボデイ12の案内部
材20a、20bに嵌合する半円形状の案内溝40a、
40bが画成されている。The slide table 18 is made of a material having lubricity such as polyacetal and is formed substantially in an L-shape. The slide table 18 is fitted to the guide members 20a and 20b of the body 12 at respective ends of the L-shape. A semi-circular guide groove 40a
40b are defined.
【0017】なお、案内部材20a、20bは、図4に
示すように、断面円形のシャフトで別体に形成してもよ
く、この場合には、ボルト42a、42bでボデイ12
に装着されている。また、スライドテーブル18の案内
溝40a、40bもこれに対応して断面が半円以上の円
形状に形成されている。したがって、スライドテーブル
18が案内部材20a、20bによって確実に案内され
る。前記案内部材20a、20bは、図5に示すよう
に、ボデイ12の一部を変形させて装着してもよい。As shown in FIG. 4, the guide members 20a and 20b may be formed separately by a shaft having a circular cross section. In this case, the body 12 is formed by bolts 42a and 42b.
It is attached to. Correspondingly, the guide grooves 40a and 40b of the slide table 18 are also formed in a circular shape with a cross section of a semicircle or more. Therefore, the slide table 18 is reliably guided by the guide members 20a and 20b. As shown in FIG. 5, the guide members 20a and 20b may be mounted with a part of the body 12 deformed.
【0018】案内部材20a、20bは円周面に沿っ
て、摺動によって発生する塵埃を取り込む溝44を形成
してもよい。前記溝44は、図6のように軸方向に一定
の間隔離間して周回している。図7のように螺旋状に形
成される溝45でもよい。また、図8のように凹部46
を形成したものでもよい。さらに、スライドテーブル1
8の案内溝40a、40bに、同様の溝または凹部を設
けてもよい。このように、案内部材20a、20bおよ
び案内溝40a、40bを形成し、塵埃の発生やグリー
スの落下を防止することにより、クリーンルーム等で使
用が可能となる。The guide members 20a and 20b may have a groove 44 for taking in dust generated by sliding along the circumferential surface. As shown in FIG. 6, the groove 44 circulates at a predetermined interval in the axial direction. A groove 45 formed in a spiral shape as shown in FIG. 7 may be used. Also, as shown in FIG.
May be formed. Furthermore, slide table 1
Eight guide grooves 40a, 40b may be provided with similar grooves or recesses. As described above, the guide members 20a and 20b and the guide grooves 40a and 40b are formed to prevent generation of dust and fall of grease, thereby enabling use in a clean room or the like.
【0019】なお、案内部材20a、20bおよびスラ
イドテーブル18の案内溝40a、40bは、ポリテト
ラフルオロエチレン等の樹脂によって、あるいはTi
C、B、ダイヤモンド等を物理蒸着法または化学蒸着法
でコーティングしてもよい。The guide members 20a, 20b and the guide grooves 40a, 40b of the slide table 18 are made of resin such as polytetrafluoroethylene or Ti.
C, B, diamond and the like may be coated by a physical vapor deposition method or a chemical vapor deposition method.
【0020】次に、以上のように構成されるアクチュエ
ータ10の動作について説明する。Next, the operation of the actuator 10 configured as described above will be described.
【0021】先ず、コントローラ29からの付勢信号に
より、電動モータ14が駆動される。前記電動モータ1
4から延在する駆動軸30の回転は、プーリ34、タイ
ミングベルト32、プーリ36を介してボールねじ16
に伝達される。ボールねじ16の回転により、支持体3
8と一体的に構成されたスライドテーブル18を変位さ
せる。この際、スライドテーブル18の案内溝40a、
40bがボデイ12の案内部材20a、20bに摺接し
てスライドテーブル18を変位させるため、例えば、ス
ライドテーブル18に載置された図示しないワークある
いは機器を好適に移動することができる。First, the electric motor 14 is driven by an energizing signal from the controller 29. The electric motor 1
The rotation of the drive shaft 30 extending from the ball screw 16 via the pulley 34, the timing belt 32, and the pulley 36
Is transmitted to The rotation of the ball screw 16 causes the support 3
8 is displaced. At this time, the guide grooves 40a of the slide table 18,
Since the slide 40b slides on the guide members 20a and 20b of the body 12 to displace the slide table 18, for example, a work or a device (not shown) placed on the slide table 18 can be suitably moved.
【0022】このように、本実施例に係るアクチュエー
タ10は、ボデイ12に予め凸部24を正確に突出形成
するとともに、電動モータ14に該凸部24に嵌合する
凹部28aを設けている。すなわち、前記凸部24に凹
部28aを嵌合することにより、組み立て工程において
簡単に前記電動モータ14の位置決めができる。また、
ボデイ12と一体的に案内部材20a、20bを直角に
設けたため、スライドテーブル18に画成された案内溝
40a、40bを該案内部材20a、20bに係合する
だけで、該スライドテーブル18の変位動作が容易且つ
精緻に行われ、一方、板体26a、26bに画成された
孔部にボールねじ16を嵌合すれば、自動的に案内部材
20a、20bとボールねじ16との位置決めが行わ
れ、アクチュエータ10としての組み立て工程が簡略化
する。さらに、電動モータ14の駆動軸30とボールね
じ16を平行に設置し、タイミングベルト32で回転駆
動力を伝達するため、前記駆動軸30とボールねじ16
を直列に接続する場合のような軸心合わせ等の位置精度
を組み立ての際に求められることもなく、また、カップ
リング手段等も不要である。As described above, in the actuator 10 according to the present embodiment, the projections 24 are accurately formed in advance on the body 12, and the electric motor 14 is provided with the recesses 28 a to be fitted to the projections 24. That is, by fitting the concave portion 28a to the convex portion 24, the electric motor 14 can be easily positioned in the assembling process. Also,
Since the guide members 20a, 20b are provided at right angles integrally with the body 12, the guide grooves 40a, 40b defined in the slide table 18 can be engaged only with the guide members 20a, 20b, and the displacement of the slide table 18 can be achieved. The operation is easily and precisely performed. On the other hand, when the ball screw 16 is fitted into the hole defined in the plate bodies 26a, 26b, the positioning between the guide members 20a, 20b and the ball screw 16 is automatically performed. This simplifies the assembly process as the actuator 10. Furthermore, the drive shaft 30 of the electric motor 14 and the ball screw 16 are installed in parallel, and the timing belt 32 transmits the rotational driving force.
Is not required for assembling, such as the alignment of the shaft center as in the case of connecting them in series, and no coupling means or the like is required.
【0023】なお、図9に示すように、電動モータにハ
ーモニックドライブ機構50を一体的に設け、ボールね
じ16に直列に接続してもよい。As shown in FIG. 9, a harmonic drive mechanism 50 may be provided integrally with the electric motor and connected to the ball screw 16 in series.
【0024】[0024]
【発明の効果】本発明に係るアクチュエータによれば、
以下の効果が得られる。According to the actuator of the present invention,
The following effects can be obtained.
【0025】すなわち、ボデイに形成された第1係合部
に、駆動源に形成された第2係合部が係合するため、前
記駆動源の前記ボデイに対する位置決めが容易に行え
る。また、ボデイに一体的に案内手段を設けたため、該
ボデイに対して案内手段を位置決めする必要がなく、前
記案内手段に沿って移動手段を取着することにより該移
動手段がボデイに対して位置決めされ、移動手段は案内
手段に沿って精緻な搬送等の動作を行うことができる。
さらに、ボデイの断面対角線状に配置されかつ互いに直
交するボデイの面に一組の案内手段をそれぞれ設け、そ
こに移動手段を係合させたため、該移動手段が精度よく
かつ確実に案内される。さらにまた、ボデイは押し出
し、引き抜き、精密鋳造、精密鍛造、金属射出成形、セ
ラミック射出成形のいずれかによって精度よく形成され
るため、位置決めが容易である。またさらに、電動モー
タにハーモニックドライブ機構を付設したため、同一の
出力に対して相対的に小型のモータが使用可能となり、
アクチュエータの小型化に貢献する。[0025] That is, the first engagement portion formed in the body, since the second engaging portion formed on the drive source is engaged, the positioning can be easily performed with respect to the body of the drive source. Moreover, due to the provision of the integrally guiding means body, there is no need to position the guide means relative to the body, before
By attaching the moving means along the guide means,
The moving means is positioned with respect to the body, and the moving means can perform an operation such as precise conveyance along the guide means.
Furthermore, they are arranged diagonally in cross section of the body and are
A pair of guide means are provided on the surfaces of the intersecting bodies, and the moving means is engaged therewith, so that the moving means is guided accurately and reliably. Furthermore, since the body is accurately formed by any one of extrusion, drawing, precision casting, precision forging, metal injection molding, and ceramic injection molding, positioning is easy. Furthermore, since the electric motor is provided with a harmonic drive mechanism, a relatively small motor can be used for the same output,
Contributes to miniaturization of actuators.
【図1】本発明に係るアクチュエータの斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of an actuator according to the present invention.
【図2】本発明に係るアクチュエータの内部構成を示す
一部省略説明斜視図である。FIG. 2 is a partially omitted explanatory perspective view showing an internal configuration of an actuator according to the present invention.
【図3】本発明に係るアクチュエータの内部構成を示す
一部省略説明縦断面図である。FIG. 3 is a partially omitted explanatory longitudinal sectional view showing an internal configuration of an actuator according to the present invention.
【図4】本発明に係るアクチュエータの内部構成を示す
一部省略説明縦断面図である。FIG. 4 is a partially omitted explanatory longitudinal sectional view showing an internal configuration of an actuator according to the present invention.
【図5】本発明に係るアクチュエータの内部構成を示す
部分説明縦断面図である。FIG. 5 is a partial explanatory longitudinal sectional view showing an internal configuration of an actuator according to the present invention.
【図6】本発明に係るアクチュエータの案内部材の表面
形状説明図である。FIG. 6 is an explanatory view of a surface shape of a guide member of the actuator according to the present invention.
【図7】本発明に係るアクチュエータの案内部材の表面
形状説明図である。FIG. 7 is an explanatory view of a surface shape of a guide member of the actuator according to the present invention.
【図8】本発明に係るアクチュエータの案内部材の表面
形状説明図である。FIG. 8 is an explanatory view of a surface shape of a guide member of the actuator according to the present invention.
【図9】本発明に係るアクチュエータの内部構成を示す
縦断面図である。FIG. 9 is a longitudinal sectional view showing the internal configuration of the actuator according to the present invention.
10…アクチュエータ 12…ボデイ 14…電動モータ 16…ボールねじ 18…スライドテーブル 20a、20b…案内部材 24…凸部 26a、26b…板体 28a、28b…凹部 30…駆動軸 32…タイミングベルト 38…支持体 40a、40b…案内溝 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Actuator 12 ... Body 14 ... Electric motor 16 ... Ball screw 18 ... Slide table 20a, 20b ... Guide member 24 ... Convex part 26a, 26b ... Plate body 28a, 28b ... Concave part 30 ... Drive shaft 32 ... Timing belt 38 ... Support Body 40a, 40b ... guide groove
Claims (5)
と、前記第1係合部に係合する第2 係合部を有するボデイ
と、前記ボデイの断面対角線状に一体的に形成されかつ互い
に直交する二面にそれぞれ設けられた一組の案内手段
と、 前記一組の案内手段にそれぞれ案内され、前記駆動源の
駆動力によって変位する移動手段と、 を備え、 前記第1係合部に前記第2係合部を係合させることによ
り前記駆動源が前記ボデイに対して位置決めされ、さら
に、ボデイに一体的に形成された一組の案内手段に沿っ
て移動手段を取着することにより、前記移動手段がボデ
イに対して位置決めされることを特徴とするアクチュエ
ータ。And 1. A driving source having a first engaging portion for positioning, and body having a second engagement portion engaged with the first engaging portion, formed integrally with the cross diagonally of said body And each other
Set of guide means provided respectively on two surfaces orthogonal to
When each is guided by the pair of guide means, and a moving means for displacing I by the driving force of the driving source, engaging the second engaging portion to the first engagement portion the drive source is positioned against the body by, further
Along a set of guiding means formed integrally with the body
By attaching the moving means by means of
Actuator according to claim Rukoto is positioned relative Lee.
造、金属射出成形、セラミック射出成形のいずれかによ
って形成されることを特徴とするアクチュエータ。2. The actuator according to claim 1, wherein said body is formed by any one of extrusion, drawing, precision casting, precision forging, metal injection molding, and ceramic injection molding.
成されることを特徴とするアクチュエータ。In actuator 3. A process according to claim 1 Symbol placement, the body, the actuator, characterized in that it is formed of a resin material, or a non-magnetic metal body.
チュエータ。In actuator 4. The method of claim 1 Symbol placement, the driving source is characterized by an electric motor actuator.
たモータであることを特徴とするアクチュエータ。5. The actuator according to claim 4 , wherein the electric motor is a motor provided with a harmonic drive mechanism.
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