JP3133048B2 - 自己検診機能を備えた半導体ハンドリング装置及び半導体ハンドリング装置の自己検診方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、半導体ハンドリング装置の改良に関する。

（従来の技術） 従来の半導体ハンドリング装置においては、テスタ
（製品の測定、判定等を行う装置をいう。以下、同
じ。）により製品特性の良否を判定する場合、テスタの
異常により、その測定結果に係わるGO（良）/NGO（不
良）信号のリセットが正常に行われず、このため、テス
タと、そのハンドラー（製品の搬送等を行う装置をい
う。以下、同じ。）との間で、タイミングズレが生じる
ことがある。このタイミングズレは、テスタの誤判定を
招き、拘らず知らずのうちに良品を不良品にするため、
製品の歩留り向上にとって大きな障害となっており、半
導体ハンドリング装置の信頼性を低下させている。

そこで、従来では、テスタとハンドラーのインターフ
ェースに関するタイミングズレ及びテスタの誤判定を防
止するために、GO/NGO信号のリセットの有無を判定する
回路（ハード）を追加し、この回路を用いることによ
り、常に、GO/NGO信号のリセットを確認した後に、次の
製品のテストを開始するためのテストスタート信号が出
力されるようにしていた。

しかしながら、テスタとハンドラーのインターフェー
スに関するタイミングズレやテスタの誤判定の問題を上
述のような手法により解決する場合、製品の良否判定に
使用するテスタがそれぞれ独自にリセットのタイミング
を有しているため、テスタ毎に、GO/NGO信号のリセット
の有無を判定する回路（ハード）を変更しなければなら
ない。また、テストスタート信号が出力されるタイミン
グも、テスタ毎及び製品毎に異なることになる。

このため、半導体ハンドリング装置自体が複雑化し、
装置コストが増大するという欠点がある。

（発明が解決しようとする課題） このように、従来は、テスタにより製品特性の良否を
判定する場合、テスタの異常により誤判定するようなこ
とがあった。また、この誤判定を回避するため、ハード
面で種々の対策がなされていたが、テスタ毎にハードウ
ェアの変更が必要となって半導体ハンドリング装置が複
雑化し、装置コストが増大する、という欠点があった。

そこで、本発明は、テスタとハンドラーのインターフ
ェースにおいて、そのタイミングズレに起因する誤判定
を半導体ハンドリング装置の複雑化を招くことなく防止
することにより、半導体ハンドリング装置の信頼性の向
上を図ることを目的とする。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 上記目的を達成するために、本発明の半導体ハンドリ
ング装置は、測定開始信号に基づいて製品の測定を行
い、かつ、前記製品の良否を判定するための信号を出力
する測定手段と、前記測定開始信号を所定のタイミング
で生成すると共に、前記測定開始信号を生成したときに
前記製品の良否を判定するための信号がリセットされて
いないときは、前記測定手段に対して前記測定開始信号
を供給しないで異常をオペレータに報告する制御手段と
を備えている。

また、本発明の半導体ハンドリング装置の自己検診方
法は、測定開始信号に基づいて製品の測定を行った後に
前記製品の良否を判定するための信号を出力するテスト
時に、前記測定開始信号を所定のタイミングで生成する
と共に、前記測定開始信号を生成したときに前記製品の
良否を判定するための信号がリセットされていないとき
は、前記測定手段に対して前記測定開始信号を供給しな
いで異常をオペレータに報告するというものである。

（作用） このような構成によれば、半導体ハンドリング装置に
制御手段による自己検診機能が設けられている。このた
め、テスタとハンドラーのインターフェースに関するタ
イミングズレを制御手段によりチェックでき、装置の複
雑化を招くことなく、半導体ハンドリング装置の信頼性
の向上を達成することができる。

また、製品の測定を開始する際に、制御手段によって
前回の測定結果に係わる信号がリセットされているか否
かを確認している。このため、半導体ハンドリング装置
の定常稼動中に自動的に自己検診を行うことが可能であ
り、又、測定手段に異常がある場合には、製品の測定を
自動的に停止させることができる。

（実施例） 以下、図面を参照しながら、本発明の一実施例につい
て詳細に説明する。

第１図は、本発明の一実施例に係わる半導体ハンドリ
ング装置の主要部の構成を示すものである。

テスタ（測定手段）101は、テスト・スタート（TS）
信号（測定開始信号）に対応して製品の測定を行う。ま
た、製品の測定が終了した後には、テスト・エンド（T
E）信号を制御手段103へ供給する。さらに、テスト・エ
ンド信号を出力した後に、その製品の測定結果に係わる
１つ又は複数のGO/NGO信号を制御手段103へ供給する。
ハンドラー102は、制御手段103とアラーム表示手段104
とを含んでいる。制御手段103は、製品の測定を開始さ
せるためのテスト・スタート信号を所定のタイミングで
テスタ101へ供給している。また、制御手段103では、テ
スト・スタート信号を供給する際、即ち、製品の測定を
開始する際に、前回の測定結果に係わるGO/NGO信号がリ
セットされているか否かが確認される。具体的には、前
回の測定結果に係わるGO/NGO信号が残っていないか、及
び正常に立ち上がり又は立ち下がっているか、さらに
は、前回の製品の測定結果に係わるGO/NGO信号が複数あ
る場合には、複数のデータが出ていないかがそれぞれ確
認される。前回の測定結果に係わるGO/NGO信号がリセッ
トされていない場合には、アラーム表示手段104により
異常が表示される。

このような構成によれば、半導体ハンドリング装置に
制御手段103による自己検診機能が設けられている。こ
のため、テスタ101とハンドラー102とのタイミングズレ
等による測定不良の発生を未然に防止でき、製品の歩留
り向上による半導体ハンドリング装置の信頼性の向上を
達成することができる。また、このようなテスタ101と
ハンドラー102とのタイミングズレ等による測定不良の
発生を未然に防止するために、GO/NGO信号がリセットさ
れるまでテストスタート信号の出力を待機させるのでは
なく、常に、テストスタート信号は、所定のタイミング
で出力されるようにし、かつ、テストスタート信号を出
力するときに、GO/NGO信号がリセットされていないとき
は、テスタ101に対してテストスタート信号を供給しな
いで、測定を中止し、異常をオペレータに報告するよう
にしている。従って、製品の良否判定に使用するテスタ
101がそれぞれ独自にリセットのタイミングを有してい
ても、テスタ101の種類により、ハードウェアをいちい
ち変更する必要がなく、簡単かつ迅速に測定不良に対す
る処置が可能となる。

第２図は、テスト・スタート信号、テスト・エンド信
号、GO/NGO信号のそれぞれのタイミングチャートを示す
ものである。また、第３図及び第４図のフローチャート
は、本発明に係わる自己検診機能を有する半導体ハンド
リング装置の一連の動作を示すものである。以下、第１
図乃至第４図を参照しながら、本発明に係わる半導体ハ
ンドリング装置の動作及び自己検診方法について詳細に
説明する。

まず、搬送手段（図示せず）によって、測定すべき製
品がテスタ（測定手段）101の所定位置に配置される。
この後、前回の測定結果に係わるGO/NGO信号がリセット
されているか否かが確認される。なお、前回の測定結果
に係わるGO/NGO信号がリセットされていない場合には、
テスト・スタート信号はテスタ101へ供給されず、アラ
ーム表示手段104によりテスタ101の異常がオペレータに
報告される（ステップST1〜ST2）。一方、前回の測定結
果に係わるGO/NGO信号がリセットされている場合には、
テスト・スタート信号がテスタ101へ供給される。これ
により、あらかじめテスタ101の所定位置に配置されて
いる製品の測定が開始される（ステップST3）。製品の
測定が終了すると、テスト・エンド信号がテスタ101か
ら制御手段103へ供給される。この後、製品の良否のカ
テゴリを表示する１つ又は複数のGO/NGO信号がテスタ10
1から制御手段103へ供給される。また、搬送手段（図示
せず）により、テスタ101の所定位置に配置された製品
が良品収納部又は不良品収納部へ収納される（ステップ
ST5〜ST7）。この後、製品の測定数が予定数に達したか
否かが確認され、予定数に達したときには、半導体ハン
ドリング装置は停止する。また、予定数に達していない
ときには、予定数に達するまで順次製品の測定が行われ
る（ステップST8〜ST9）。即ち、制御手段103は、次の
テスト・スタート信号をテスタ101へ供給する際、GO/NG
O信号がリセットされているか否かを確認する。なお、
そのGO/NGO信号がリセットされていない場合には、テス
ト・スタート信号はテスタ101へ供給されず、アラーム
表示手段104によりテスタ101の異常がオペレータに報告
される。

このような自己検診機能を備えた半導体ハンドリング
装置の動作及び自己検診方法によれば、製品の測定を開
始する際、即ち、テスト・スタート信号が供給される
際、制御手段103において、前回の測定結果に係わるGO/
NGO信号がリセットされているか否かが確認されてい
る。このため、半導体ハンドリング装置の定常稼動中に
自動的に自己検診を行うことが可能である。よって、テ
スタ101とハンドラー102とのタイミングズレ等に起因す
る測定不良を未然に防止でき、製品の歩留りの向上に伴
う装置価格の低減等を図ることができる。

また、このようなテスタ101とハンドラー102とのタイ
ミングズレ等による測定不良の発生を未然に防止するた
めに、GO/NGO信号がリセットされるまでテストスタート
信号の出力を待機させるのではなく、常に、テストスタ
ート信号は、所定のタイミングで出力されるようにし、
かつ、テストスタート信号を出力するときに、GO/NGO信
号がリセットされていないときは、テスタ101に対して
テストスタート信号を供給しないで、測定を中止し、異
常をオペレータに報告するようにしている。従って、製
品の良否判定に使用するテスタ101がそれぞれ独自にリ
セットのタイミングを有していても、テスタ101の種類
に応じて、ハードウェアをいちいち変更する必要もな
く、簡単かつ迅速に測定不良に対する処置が可能とな
る。

なお、本発明では、制御手段103により半導体ハンド
リング装置の自己検診を行っているため、正論理、負論
理のいずれの信号にも対応することができる。また、レ
ベル信号、パルス信号でも、同等の対応が可能である。

［発明の効果］ 以上、説明したように、本発明の半導体ハンドリング
装置及びその自己検診方法によれば、次のような効果を
奏する。

半導体ハンドリング装置に制御手段による自己検診機
能が設けられている。このため、テスタとハンドラーの
インターフェースにおいて、そのタイミングズレに起因
する誤判定を半導体ハンドリング装置の複雑化を招くこ
となく防止することにより、半導体ハンドリング装置の
信頼性の向上を達成することができる。

また、製品の測定を開始する際に、制御手段によって
前回の測定結果に係わるGO/NGO信号がリセットされてい
るか否かを確認している。このため、半導体ハンドリン
グ装置の定常稼動中に自動的に自己検診を行うことが可
能であり、又、テスタに異常がある場合には、製品の測
定を自動的に停止させる事もできる。

さらに、テスタ毎にハードウェアをいちいち変更する
こともなく、簡単かつ迅速に測定不良に対する処置が可
能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係わる半導体ハンドリン
グ装置の主要部の構成を示すブロック図、第２図は、テ
スト・スタート信号、テスト・エンド信号、GO/NGO信号
のタイミングを示すタイミング図、第３図及び第４図
は、本発明に係わる自己検診機能を有する半導体ハンド
リング装置の一連の動作を示す流れ図である。 101……テスタ、102……ハンドラー、103……制御手
段、104……アラーム表示手段。

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】測定開始信号に基づいて製品の測定を行
   い、かつ、前記製品の良否を判定するための信号を出力
   する測定手段と、前記測定開始信号を所定のタイミング
   で生成すると共に、前記測定開始信号を生成したときに
   前記製品の良否を判定するための信号がリセットされて
   いないときは、前記測定手段に対して前記測定開始信号
   を供給しないで異常をオペレータに報告する制御手段と
   を具備することを特徴とする自己検診機能を備えた半導
   体ハンドリング装置。
2. 【請求項２】測定開始信号に基づいて製品の測定を行っ
   た後に前記製品の良否を判定するための信号を出力する
   テスト時に、前記測定開始信号を所定のタイミングで生
   成すると共に、前記測定開始信号を生成したときに前記
   製品の良否を判定するための信号がリセットされていな
   いときは、前記測定手段に対して前記測定開始信号を供
   給しないで異常をオペレータに報告することを特徴とす
   る半導体ハンドリング装置の自己検診方法。