JP3116069B2 - プローバおよびウェーハ測定装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウェーハの測定を
可能とするためのプローバ、およびウェーハの良否を判
定するウェーハ測定装置に係り、特にウェーハ測定用ボ
ードに加わるポゴピン荷重をプローバ側で受けるように
したものに関する。

【０００２】

【従来の技術】プローバにテストヘッドを装着してウェ
ーハの良否を判定するウェーハ測定装置では、テストヘ
ッド側に取り付けるウェーハ測定用ボードとプローバ側
に取り付けるプローブカードとを、ポゴピンリングの表
裏のポゴピンにそれぞれ圧接することにより電気的に接
続している。

【０００３】従来、プローバ側に取り付けるプローブカ
ードは、プローバに設けた係止部をプローブカードに係
合することにより、ポゴピンリング裏面のポゴピンに圧
接していた。これに対して、テストヘッド側に取り付け
るウェーハ測定用ボードは、ウェーハ測定用ボードをテ
ストヘッドで押圧することにより、ポゴピンリング表面
のポゴピンに圧接している。

【０００４】ウェーハ測定用ボードとプローブカードと
を接続するにはポゴピンの数が多いため、プローブカー
ドにあっては、プローブカードに設けた係止部により、
プローブカードをポゴピンリング側に非常に大きな力で
支承する必要があり、ウェーハ測定用ボードにあって
は、テストヘッドでウェーハ測定用ボードを非常に大き
な力でプローバ側に押し下げる必要がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来技術で
は、プローブカード、係止部を介して大きなポゴピン荷
重がプローバ側に加わるが、そのためにプローバを補強
したり、その補強により重量が大きくなっても、プロー
バは固定系（据え置き）であるため、技術的にさほど問
題は生じない。しかし、ウェーハ測定用ボードに加わる
大きなポゴピン荷重は、ウェーハ測定用ボードを支える
パフォーマンスボード、およびパフォーマンスボードを
支えるテストヘッドで受けることになり、このパフォー
マンスボードおよびテストヘッドは可動系であるため、
パフォーマンスボードやテストヘッドの補強、補強によ
る重量の増加には自ずと限度があり、技術的に非常に問
題となる。

【０００６】特に、ＩＣが年々、多ピン化、高密度化す
るにつれて、テストヘッド、パフォーマンスボード、ウ
ェーハ測定用ボード、プローブカードにかかるポゴピン
荷重による負荷が大きくなってきている。この点で、構
造が複雑で負荷の影響を大きく受けるパフォーマンスボ
ードやテストヘッドにあっては、前記負荷に耐えられる
ように大きな剛性を持たせなければならず、補強のため
にますます構造が複雑になり、重量も一層大きくなって
いくという問題があった。

【０００７】本発明の課題は、ウェーハ測定用ボードに
加わるポゴピン荷重をパフォーマンスボード側で受ける
代りにプローバ側で受けるようにすることによって、前
述した従来技術の問題点を解消して、パフォーマンスボ
ードやテストヘッドを補強する必要がなく軽量化できる
プローバおよびウェーハ測定装置を提供することにあ
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載のプロー
バは、表裏面にポゴピンを設けたポゴピン支持体を係合
固定する係合孔を有するプレートと、前記プレートの裏
面の係合孔の周縁部に設けられ、前記ポゴピン支持体の
裏面側に配置されるプローブカードに係合して前記プロ
ーブカードを前記ポゴピン支持体の裏面に設けたポゴピ
ンにポゴピン荷重に抗して圧接する第１係止部と、前記
プレートの表面の係合孔の周縁部に設けられ、前記ポゴ
ピン支持体の表面側に配置されるウェーハ測定用ボード
に係合して前記ウェーハ測定用ボードを前記ポゴピン支
持体の表面に設けた前記ポゴピンにポゴピン荷重に抗し
て圧接する第２係止部と、前記係合孔に対応したプレー
トの内部に設けられ、ウェーハを保持して前記プローブ
カードのプローブ針にウェーハを接触させるステージと
を備えたものである。

【０００９】請求項２に記載のプローバは、請求項１の
発明において、前記第１係止部と第２係止部とを連係し
て前記ポゴピン支持体の表裏のポゴピン荷重を相殺でき
るように構成したものである。第１係止部と第２係止部
とを連係してポゴピン荷重が相殺されるように構成する
と、プローバに加わる荷重が低減し、テストヘッドの強
度のみならず、プローバの強度も小さくできる。

【００１０】請求項３に記載のプローバは、請求項１ま
たは２の発明において、前記係止部がウェーハ測定用ボ
ードに対して進退自在に設けられ、ウェーハ測定用ボー
ドとの接触部にテーパ面を有し、係止部の前進時にテー
パ面がウェーハ測定用ボードを押し下げ、後進時にウェ
ーハ測定ボードの離脱を許容する位置まで退避するよう
に構成されているものである。係止部がウェーハ測定用
ボードに向かって前進すると、係止部のテーパ面がウェ
ーハ測定ボードに接触して、ウェーハ測定ボードがテー
パ面にガイドされて押し下げられる。

【００１１】請求項４に記載のプローバは、請求項１ま
たは２の発明において、前記第２係止部がウェーハ測定
用ボード面に対して平行な軸を中心に回転自在に設けら
れ、正回転時にウェーハ測定用ボードに係合してウェー
ハ測定用ボードを押し下げ、逆回転時にウェーハ測定ボ
ードの離脱を許容する位置まで退避するように構成され
ているものである。係止部がウェーハ測定用ボードに向
かって正回転すると、係止部がウェーハ測定ボードに係
合して、ウェーハ測定ボードをそのまま押し下げる。

【００１２】請求項５に記載のウェーハ測定装置は、請
求項１ないし４に記載のプローバと、前記プローバに備
えたプレートの係合孔に係合固定され、表裏面にポゴピ
ンを設けたポゴピン支持体と、前記ポゴピン支持体の裏
面側に配置され、前記ウェーハに接触するプローブ針を
有するとともに、前記ポゴピン支持体の裏面に設けたポ
ゴピンに前記第１係止部により圧接されるプローブカー
ドと、前記プローバに対して着脱自在に取り付けられる
テストヘッドと、前記テストヘッド内の回路に前記プロ
ーバ内のウェーハを前記プローブカードを介して接続す
るための端子を前記テストヘッド内から導出するパフォ
ーマンスボードと、前記パフォーマンスボードに取り付
けられ、ウェーハを測定するために前記端子をさらに導
出するとともに、前記テストヘッドの移動により前記ポ
ゴピン支持体の表面側に配置され、前記ポゴピン支持体
の表面に設けたポゴピンに前記第２係止部により圧接さ
れて前記プローブカードと電気的に接続されるウェーハ
測定用ボードとを備えたものである。

【００１３】まず、第１係止部をプローブカードに係合
してプローブカードをポゴピン支持体裏面のポゴピンに
圧接する。つぎに、テストヘッドをプローバに装着する
ために、テストヘッドに取り付けられたウェーハ測定用
ボードがプレートの第２係止部の取付け位置に来るまで
テストヘッドを下降する。第２係止部をウェーハ測定用
ボードに係合してウェーハ測定用ボードをポゴピン支持
体表面のポゴピンに圧接する。両圧接によりウェーハ測
定用ボードとプローブカードとが電気的に接続される。
その後、ウェーハ８を保持したステージを迫り上げてプ
ローブカードのプローブ針に接触させ、ウェーハを測定
する。

【００１４】前記したウェーハ測定用ボードをポゴピン
支持体表面のポゴピンに圧接すると、そのポゴピン荷重
はパフォーマンスボードやテストヘッドが受けるのでは
なく、プローバに取り付けた第２係止部が受けるので、
ポゴピン荷重はパフォーマンスボードやテストヘッドに
かからない。

【００１５】テストヘッドは、適宜ウェーハ測定用ボー
ドを自己診断用ボードに交換して自己診断を行う等のた
め、テストヘッドをプローバから脱離させる必要があ
る。それにはプローバに設けた第２係止部からウェーハ
測定用ボードを解放してテストヘッドの脱離を許容す
る。テストヘッドをプローバから離脱した後、ウェーハ
測定用ボードを自己診断ボードに交換して自己診断等を
行う。なお、テストヘッドを離脱しても、第２係止部に
よる係合を解除しなければ、測定用ボードのポゴピンへ
の圧接状態を保持できるので、ウェーハ測定用ボード、
またはウェーハ測定用ボードおよびパフォーマンスボー
ドをプローバ側に残置することもできる。

【００１６】請求項６に記載のウェーハ測定装置は、請
求項５の発明において、前記ウェーハ測定用ボードを緩
衝材を介してパフォーマンスボードに取り付たものであ
る。

【００１７】ウェーハ測定用ボードを緩衝部材を介して
パフォーマンスボードに取り付けてあると、ウェーハ測
定用ボードへの係止部の係合時に、ウェーハ測定用ボー
ドとともにパフォーマンスボードも押し下げようとする
が、その押下げ荷重は緩衝部材によって吸収される。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を説明
する。図１にウェーハ測定装置の概略構成図を示す。ウ
ェーハ測定装置は、ウェーハ８の電気的試験を行うプロ
ーバ２と、電気的試験の良否を判定するテストヘッド１
とから構成される。

【００１９】プローバ２は、プローブカード６のプロー
ブ針７をウェーハ８に接触させて、ウェーハ８の電気的
試験を可能にする。プローバ２は、その上部がプレート
２ａで覆われる。プレート２ａの中央にはポゴピン支持
体としてのポゴピンリング５を係合する係合孔１３が設
けられ、係合孔１３に係合したポゴピンリング５は係合
孔１３の周囲でねじ止め固定される。

【００２０】係合孔１３にねじ止めされるポゴピンリン
グ５は、ウェーハ監視用の孔が開いたリング状をしてお
り、ポゴピンリング５表面にウェーハ測定用ボード４の
ランド部に圧接されるポゴピン１０と、ポゴピンリング
５裏面にプローブカード６のランド部に圧接されるポゴ
ピン１０とを有する。ポゴピンリング５表面のポゴピン
１０にポゴピン荷重に抗してウェーハ測定用ボード４の
ランド部を圧接し、かつポゴピンリング５裏面のポゴピ
ン１０にポゴピン荷重に抗してプローブカード６のラン
ド部を圧接することにより、ウェーハ測定用ボード４と
プローブカード６とを電気的に接続するようになってい
る。

【００２１】上述したように、プローブカード６をポゴ
ピンリング５裏面のポゴピン１０に圧接するために、プ
レート２ａ裏面の係合孔１３の周縁部に、プローブカー
ド６と係合する従来公知の第１係止部２２を設ける。一
方、ウェーハ測定ボード４をポゴピンリング５表面のポ
ゴピン１０に圧接するために、プレート２ａ表面の係合
孔１３の周縁部に、ウェーハ測定用ボード４と係合する
新規な第２係止部１２を設ける。

【００２２】第２係止部１２は、例えば断面Ｌ字状のフ
ックで構成され、ウェーハ測定用ボード４と接触する先
端部には下方に向かうテーパ面１２ａを形成してある。
また、第２係止部１２は、ウェーハ測定用ボード４の下
降位置の外周に、ウェーハ測定用ボード４を挟み込むよ
うに左右一対、ウェーハ測定用ボード４に対して同期し
かつ相反して進退できるように設けられる。なお、第２
係止部１２は一対に限らない。前進時は、ウェーハ測定
用ボード４の被係止部となる端縁部にこれを押えるよう
に係合し、テーパ面１２ａの作用でウェーハ測定用ボー
ド４を下方に押し込み、ウェーハ測定用ボード４をポゴ
ピンリング５表面のポゴピン１０に圧接するようになっ
ている。後退時はウェーハ測定用ボード４を第２係止部
１２から解放し、ウェーハ測定ボード４のプローバ２か
らの離脱を許容する位置まで退避できるようになってい
る。一対の係止部１２を進退させるアクチュエータとし
ては例えばエアシリンダ、モータなどが適当である。

【００２３】なお、公知の第１係止部２２を上述した新
規の第２係止部１２と同様な構成とすることができる。

【００２４】プローバ２に装着されるテストヘッド１
は、昇降自在（矢印Ａ方向）または回転自在（矢印Ｂ方
向）に設けられる。テストヘッド１は、ウェーハ８に印
加する電源、ウェーハ８への信号出力部及びウェーハ８
からの信号入力部などを備え、プローブカード６のプロ
ーブ針７を介してウェーハ８と接続されてウェーハ８の
評価を行う。テストヘッド１側には、プローバ２と対向
する面にテストヘッド１内の各種の測定回路にウェーハ
８を接続するための複数の端子をテストヘッド１から導
出するパフォーマンスボード３と、パフォーマンスボー
ド３に複数の支柱１１を介して機械的に連結されるとと
もに、リード線１６により前記複数の端子と電気的に接
続されるウェーハ測定用ボード４とが、ネジなどの手段
により着脱自在に取り付けられている。ウェーハ測定用
ボード４は、汎用性のあるパフォーマンスボード３に対
して被測定ウェーハの種類に合せた専用ボードとなる。

【００２５】プレート２ａに設けた係合孔１３に対応し
たプローバ２の内部には、ウェーハ８を保持、加熱する
ステージ９が設けられる。そのステージ９上にウェーハ
８が保持され、保持されたウェーハ８の電極パッドに、
第１係止部２２に係止されたプローブカード６の導電性
プローブ針７が接触するようになっている。

【００２６】次に、上記のような構成における作用を図
２を用いて説明する。

【００２７】図２(a) に示すように、ポゴピンリング５
をプレート２ａに設けた係合孔１３にネジで固定する。
第１係止部２２をプローブカード６に係合して、プロー
ブカード６をポゴピンリング５裏面のポゴピン１０に圧
接する。その上で、テストヘッド１をプローバ２に装着
するために、パフォーマンスボード３およびウェーハ測
定用ボード４の取付面を下に向けてテストヘッド１をプ
ローバ２に向かって上から降下するか（矢印Ａ）、また
は回転する（矢印Ｂ）。

【００２８】図２(b) に示すように、ウェーハ測定用ボ
ード４の位置がプローバ２に設けた係止部１２の高さに
なったとき、図２(c) に示すように、点線で示す退避位
置にあった係止部１２を実線位置まで前進させ、ウェー
ハ測定用ボード４の被係止部に係合させてそのテーパ面
１２ａによりウェーハ測定用ボード４を押し下げる。こ
の押下げによって、テストヘッド１の下部に取り付けら
れたウェーハ測定用ボード４をポゴピンリング５上面の
ポゴピン１０に圧接する。この圧接によってウェーハ測
定用ボード４と、既に圧接されているプローブカード６
との間が電気的に接続される。接続後、ウェーハ８を保
持したステージ９を迫り上げてプローブカード６のプロ
ーブ針７に接触させ、テストヘッド１によるウェーハ８
の測定を行う。

【００２９】ウェーハ測定終了時、またはウェーハ測定
用ボード４、パフォーマンスボード３、またはテストヘ
ッド１の回路基板のメンテナンス等のために、テストヘ
ッド１をプローバ２から離脱させる場合は、図２(d) に
示すように、第２係止部１２を実線で示す退避位置まで
後退させ、係止部１２によるウェーハ測定用ボード４の
拘束を外す。そして、テストヘッド１を矢印方向Ａに上
昇、または矢印方向Ｂに回転して、テストヘッド１をプ
ローバ２から離脱させる。

【００３０】上述したように、プローバ２のプレート２
ａにウェーハ測定用ボード４を固定する係止部１２を取
り付けて、この係止部１２によりポゴピンリング５表面
のポゴピン１０の荷重を受けるようにしたので、ポゴピ
ン荷重はパフォーマンスボード３に掛からなくなる。し
たがって、ポゴピン荷重に対するパフォーマンスボード
３の強度を小さくすることができ、ポゴピン荷重に耐え
るための補強がいらなくなる。その結果、ポゴピンの本
数が増加しても、構造を複雑にならず、パフォーマンス
ボード全体の重量を軽くすることができる。また、同様
に負荷が大きく、補強も必要で本数が多く大掛かりにな
っていた支柱１１も、ウェーハ測定用ボード４の重量に
耐える程度の強度でよい。テストヘッド１自体にもポゴ
ピン荷重に対する補強がいらなくなる。

【００３１】一方、係止部１２およびプローバ２のプレ
ート２ａは、新たにポゴピン荷重を受けることになる
が、可動系となるパフォーマンスボード３や支柱１１、
およびテストヘッド１と比べて、係止部１２およびプロ
ーバ２は固定系となるので、ポゴピン荷重強度に耐える
構造にすることは簡単であり、それほど支障はない。

【００３２】なお、上述したポゴピンリング５裏面のポ
ゴピン荷重とポゴピンリング５表面のポゴピン荷重とは
大きさが等しく向きが反対であるため、第１係止部２２
と第２係止部１２とをプローバ２上で一体化して、表裏
のポゴピン荷重を互いに相殺できるように構成すれば、
プローバ側の剛性も低くすることが可能となる。

【００３３】ところで、従来のものは、テストヘッド１
内部の回路基板をメンテナンスする等の場合において、
テストヘッド１をプローバ２から離脱させるとき、ウェ
ーハ測定用ボード４、パフォーマンスボード３も伴うの
で、ポゴピン１０のウェーハ測定用ボード４およびプロ
ーブカード６への圧接状態が解除されてしまう。このた
めメンテナンスを終了してテストヘッド１をプローバ２
に再度装着するとき、ポゴピン１０の圧接作業を改めて
行わなければならず、安全性、接触不良に十分な配慮が
必要となり、作業効率が悪い。

【００３４】この点で上記実施形態のものは、テストヘ
ッド１の助けを借りずに、前記圧接状態を保持できるの
で、図３に示すように、ウェーハ測定用ボード４および
これを支持するパフォーマンスボード３をプローバ２側
に残置して、テストヘッド１だけをプローバ２から離脱
させることができる。このようにすると、テストヘッド
１のメンテナンスの際、接触不良が起こりやすいポゴピ
ンリング５の周辺状態を維持し、またパフォーマンスボ
ード３、ウェーハ測定用ボード４の着脱作業回数を少な
くすることができ、安全性および作業性を向上できる。
また、メンテナンス後、テストヘッド１を上下または回
転させてプローバ２に復帰させる際に、高度な精度を要
求されることなしに、復帰精度を高めることができる。
なお、テストヘッド１と残置したパフォーマンスボード
３とのボート接続機構は、同じく残置したウェーハ測定
用ボード４の圧接状態に影響を与えず着脱を容易とする
ために、パフォーマンスボード３の接続端子（図示せ
ず）をテストヘッド側に引き込んで固定するゼロフォー
ス形コネクタを使うことが好ましい。

【００３５】また、上述した実施の形態では、係止部１
２を進退自在に設けたが、図４(a)〜(d) に示すように
係止部１４を回転自在に設けてもよい。すなわち、係止
部１４を構成する断面Ｌ字状のフックを起倒自在に設
け、フックを倒したときウェーハ測定用ボード４を拘束
し、起立したとき解放する。

【００３６】ところで、ウェーハ測定用ボード４を係止
部１２に係合するとき、テーパ面１２ａの作用によりウ
ェーハ測定用ボード４を下方に押し込むことから、ウェ
ーハ測定用ボード４が僅かであるが下方に変位する。テ
ストヘッド１が位置決め固定され、ウェーハ測定用ボー
ド４がパフォーマンスボード３に剛（リジッド）に接続
されていると、ウェーハ測定用ボード４の変位により、
パフォーマンスボード３が変位分の引張力を受け、その
分の強度が必要となる。そこで、そのような場合でも、
パフォーマンスボード３がポゴピン荷重を受けないよう
にした実施の形態を示したのが図５である。

【００３７】前述した進退自在形と回転自在形の係止部
１２、１４を備えた両実施形態に適用した図５に示すよ
うに、パフォーマンスボード３とウェーハ測定用ボード
４との連結に緩衝部材１５を介在して、連結部を柔構造
とする。緩衝部材１５は一般的にはコイルスプリングで
構成する。支柱１１の一部または全部を緩衝部材１５と
してもよい。パフォーマンスボード３とウェーハ測定用
ボード４との機械的な連係を確保しながら、ウェーハ測
定用ボード４からパフォーマンスボード３におよぶ変位
を吸収して、引張力がパフォーマンスボード３やテスト
ヘッド１に加わるのを有効に断つようにする。このよう
に構成すると、一層テストヘッド１およびパフォーマン
スボード３の強度を下げることができ、より軽量化が図
れる。

【００３８】なお、全くの柔構造とするのではなく、ウ
ェーハ測定用ボード４がプローバ２から離脱したフロー
ティング時でも、あまり大きく揺動しない程度の強度は
必要である。また、緩衝部材１５にコイルスプリングを
用いずとも、ゴム、空気などのクッション材等を用いる
ことができ、引張力を吸収できるものであればいずれで
もよい。なお、緩衝部材１５はテストヘッド１をプロー
バ２に装着するときに、振動を吸収できるから、ウェー
ハ測定用ボード４をポゴピンリング５のポゴピン１０上
にソフトランディングできるという効果もある。

【００３９】図６はパフォーマンスボード３に垂下する
被係止部材１８を連結して、この被係止部材１８をプロ
ーバ２に設けた係止部１７に係止するように構成したも
のである。パフォーマンスボード３にはポゴピン荷重が
加わるが、テストヘッド１には加わらないので、テスト
ヘッドの機械的強度を小さくすることができる。

【００４０】なお、実施形態で測定対象をウェーハとし
たが、これにはガラス基板も含まれる。

【００４１】

【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、プロー
バ側に係止部を備えるだけの簡単な構造で、ポゴピン荷
重をプローブ側で受け取ることができる。

【００４２】請求項２に記載の発明によれば、ポゴピン
荷重を相殺できるように第１係止部と第２係止部とを連
係させることにより、プローバ側の強度も小さくでき
る。

【００４３】請求項３に記載の発明によれば、係止部に
テーパ面を設け、ウェーハ測定用ボードをテーパ面と接
触させて押し下げるようにしたので、下降用のアクチュ
エータを設けずに、進退用のアクチュエータを設けるだ
けで、ウェーハ測定用ボードを押し下げることができ
る。

【００４４】請求項４に記載の発明によれば、係止部を
回転してウェーハ測定用ボードに係止するようにしたの
で、係止した後も余計に回転させるだけでウェーハ測定
用ボードを押し下げることができる。

【００４５】請求項５に記載の発明によれば、ウェーハ
測定装置によれば、プローバ側に設けた係止部でポゴピ
ン荷重を受けるようにしたので、パフォーマンスボード
でポゴピン荷重を受ける必要がなくなり、パフォーマン
スボードの剛性を低くでき、それに伴ってパフォーマン
スボードを軽量化できる。

【００４６】請求項６に記載の発明によれば、パフォー
マンスボードとウェーハ測定用ボードとの間に緩衝部材
を介在したので、ウェーハ測定用ボードの押下げ荷重は
緩衝部材によって吸収され、ウェーハ測定用ボードが押
下げられてもパフォーマンスボードに荷重がかからなく
なる。したがって、パフォーマンスボードの剛性をさら
に低減でき、一層の軽量化が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施形態によるウェーハ測定装置の概略構成
図。

【図２】実施形態によるウェーハ測定装置の動作説明図
であり、(a) はテストヘッドの下降開始、(b) は下降停
止、(c) は係止部によるウェーハ測定用ボードの係止、
(d) は離脱のための上昇を示す。

【図３】実施形態によるウェーハ測定用ボードおよびパ
フォーマンスボードを残置させてテストヘッドを離脱さ
せたときのウェーハ測定装置の状態説明図。

【図４】他の実施形態によるウェーハ測定装置の動作説
明図であり、(a) はテストヘッドの下降開始、(b) は下
降停止、(c) は係止部によるウェーハ測定用ボードの係
止、(d) は離脱のための上昇を示す。

【図５】他の実施形態によるウェーハ測定装置の概略構
成図であり、(a) は係止部が進退形の場合、(b) は係止
部が回転形の場合を示す。

【図６】他の実施形態によるウェーハ測定装置の概略構
成図である。

【符号の説明】

１ テストヘッド ２ プローバ ３ パフォーマンスボード ４ ウェーハ測定用ボード ５ ポゴピンリング（ポゴピン支持体） ６ プローブカード ７ プローブ針 ８ ウェーハ ９ ステージ １０ ポゴピン １２ 第２係止部 １４ 係止部 １５ 緩衝部材 ２２ 第１係止部

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】表裏面にポゴピンを設けたポゴピン支持体
   を係合固定する係合孔を有するプレートと、 前記プレートの裏面の係合孔の周縁部に設けられ、前記
   ポゴピン支持体の裏面側に配置されるプローブカードに
   係合して前記プローブカードを前記ポゴピン支持体の裏
   面に設けたポゴピンにポゴピン荷重に抗して圧接する第
   １係止部と、 前記プレートの表面の係合孔の周縁部に設けられ、前記
   ポゴピン支持体の表面側に配置されるウェーハ測定用ボ
   ードに係合して前記ウェーハ測定用ボードを前記ポゴピ
   ン支持体の表面に設けた前記ポゴピンにポゴピン荷重に
   抗して圧接する第２係止部と、 前記係合孔に対応したプレートの内部に設けられ、ウェ
   ーハを保持して前記プローブカードのプローブ針にウェ
   ーハを接触させるステージとを備えたプローバ。
2. 【請求項２】前記第１係止部と第２係止部とを連係して
   前記ポゴピン支持体の表裏のポゴピン荷重を相殺できる
   ように構成した請求項１に記載のプローバ。
3. 【請求項３】前記第２係止部が前記ウェーハ測定用ボー
   ドに対して進退自在に設けられ、前記ウェーハ測定用ボ
   ードとの接触部にテーパ面を有し、前記第２係止部の前
   進時にテーパ面が前記ウェーハ測定用ボードを押し下
   げ、後進時に前記ウェーハ測定ボードの離脱を許容する
   位置まで退避するように構成されている請求項１または
   ２に記載のプローバ。
4. 【請求項４】前記第２係止部が前記ウェーハ測定用ボー
   ド面に対して平行な軸を中心に回転自在に設けられ、正
   回転時に前記ウェーハ測定用ボードに係合して前記ウェ
   ーハ測定用ボードを押し下げ、逆回転時に前記ウェーハ
   測定ボードの離脱を許容する位置まで退避するように構
   成されている請求項１または２に記載のプローバ。
5. 【請求項５】請求項１ないし４のいずれかに記載のプロ
   ーバと、 前記プローバに備えたプレートの係合孔に係合固定さ
   れ、表裏面にポゴピンを設けたポゴピン支持体と、 前記ポゴピン支持体の裏面側に配置され、前記ウェーハ
   に接触するプローブ針を有するとともに、前記ポゴピン
   支持体の裏面に設けたポゴピンに前記第１係止部により
   圧接されるプローブカードと、 前記プローバに対して着脱自在に取り付けられるテスト
   ヘッドと、 前記テストヘッド内の回路に前記プローバ内のウェーハ
   を前記プローブカードを介して接続するための端子を前
   記テストヘッド内から導出するパフォーマンスボード
   と、 前記パフォーマンスボードに取り付けられ、ウェーハを
   測定するために前記端子をさらに導出するとともに、前
   記テストヘッドの移動により前記ポゴピン支持体の表面
   側に配置され、前記ポゴピン支持体の表面に設けたポゴ
   ピンに前記第２係止部により圧接されて前記プローブカ
   ードと電気的に接続されるウェーハ測定用ボードとを備
   えたウェーハ測定装置。
6. 【請求項６】前記ウェーハ測定用ボードが緩衝部材を介
   してパフォーマンスボードに取り付けられている請求項
   ５に記載のウェーハ測定装置。