JP2944761B2 - 磨耗保護膜 - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】 本発明は、請求項１の上位概念に記載の磨耗保護膜に
関する。
関する。
この種の磨耗保護膜は、ドイツ連邦共和国特許第2917
348号明細書の記載から公知である。前記刊行物には、
母体物質並びに１つもしくは複数の多種多様に構成され
た複合金属を含有しないそれぞれ１〜50μｍの厚さの硬
質物質膜からなる複合体が記載されている。硬質物質膜
の１つは、それぞれ0.02〜0.1μｍ（20〜100nm）の厚さ
の極めて多くの薄い単膜から構成されており、この場
合、各単膜の硬質物質組成物は、２つの隣接した単膜の
硬質物質組成物と異なっている。磨耗保護膜の１つの有
利な実施態様は、母体物質の上に載置されている炭化チ
タンからなる第一膜があり、該第一膜に、一方では金属
性硬質物質、炭化チタン、窒化チタンまたはカルボ窒化
チタンおよび他方では異極性硬質物質、酸化アルミニウ
ムまたは酸化ジルコンからなる多数の膜が交互に並んで
続いている。最後の外側の膜は、僅かな窒素含量を有す
る酸化アルミニウムからなっていることができる。
348号明細書の記載から公知である。前記刊行物には、
母体物質並びに１つもしくは複数の多種多様に構成され
た複合金属を含有しないそれぞれ１〜50μｍの厚さの硬
質物質膜からなる複合体が記載されている。硬質物質膜
の１つは、それぞれ0.02〜0.1μｍ（20〜100nm）の厚さ
の極めて多くの薄い単膜から構成されており、この場
合、各単膜の硬質物質組成物は、２つの隣接した単膜の
硬質物質組成物と異なっている。磨耗保護膜の１つの有
利な実施態様は、母体物質の上に載置されている炭化チ
タンからなる第一膜があり、該第一膜に、一方では金属
性硬質物質、炭化チタン、窒化チタンまたはカルボ窒化
チタンおよび他方では異極性硬質物質、酸化アルミニウ
ムまたは酸化ジルコンからなる多数の膜が交互に並んで
続いている。最後の外側の膜は、僅かな窒素含量を有す
る酸化アルミニウムからなっていることができる。
もう１つの磨耗保護膜は、ドイツ連邦共和国特許第35
12986号A1明細書の記載から公知である。金属性硬質物
質からなる個々の層は、以下の金属性硬質物質の組合せ
物からなっていることができる:Ti/TiN、TiC/TiB2、TiN
/TiB2、TiB2/WC、TiB2/Ti（Ｃ、Ｎ）、TiB2（Ti、Ｖ）
Ｃ、TiB2/（Ti、Ｗ）Ｃ、（Ti、Ｖ）B2/（Ti、Ｖ）Ｃ、
（Ti、Nb）B2/（Ti、Nb）Ｃ、VB2/TiN、VB2/WC、HfB2/T
aC、ZrB2/TaCまたはZrB2/NbC。本質的に、多数の界面が
全膜中に存在している。これから、無張力で、靭性で、
支持体の上に良好に付着しており、かつ耐摩耗性である
保護膜が得られる。前記の磨耗保護膜は、殊に金属の機
械加工用原料の被覆に適している。磨耗保護膜は、陰極
スパッタリングの方法を用いて製造することができ、こ
の場合、種々の金属性硬質物質からなる複数の陰極が使
用され、かつ支持体が、回転盤を用いて周期的に陰極の
析出領域を穿孔している。
12986号A1明細書の記載から公知である。金属性硬質物
質からなる個々の層は、以下の金属性硬質物質の組合せ
物からなっていることができる:Ti/TiN、TiC/TiB2、TiN
/TiB2、TiB2/WC、TiB2/Ti（Ｃ、Ｎ）、TiB2（Ti、Ｖ）
Ｃ、TiB2/（Ti、Ｗ）Ｃ、（Ti、Ｖ）B2/（Ti、Ｖ）Ｃ、
（Ti、Nb）B2/（Ti、Nb）Ｃ、VB2/TiN、VB2/WC、HfB2/T
aC、ZrB2/TaCまたはZrB2/NbC。本質的に、多数の界面が
全膜中に存在している。これから、無張力で、靭性で、
支持体の上に良好に付着しており、かつ耐摩耗性である
保護膜が得られる。前記の磨耗保護膜は、殊に金属の機
械加工用原料の被覆に適している。磨耗保護膜は、陰極
スパッタリングの方法を用いて製造することができ、こ
の場合、種々の金属性硬質物質からなる複数の陰極が使
用され、かつ支持体が、回転盤を用いて周期的に陰極の
析出領域を穿孔している。
欧州特許第0006534号A2号明細書の記載から、少なく
とも２つが異なる組成である少なくとも５つ、有利に10
を上回る単層からなる磨耗保護膜は公知であり、この場
合、支持体上に存在する第一層は炭化物からなり、最後
の外側の層は硼化物または炭化物からなり、かつ中間層
は炭化物、窒化物、酸化物、硼化物またはこれらの混合
物からなる。炭化物および窒化物としては、殊に元素H
f、Zr、Taおよびチタンの相応する化合物、従って、金
属性硬質物質が該当する。硼化物は、有利にHf、Ta、T
i、ZrおよびＮの相応する化合物からなる。酸化物とし
ては、異極性硬質物質、酸化アルミニウム、酸化ハフニ
ウム、酸化ジルコン、酸化ベリリウムおよび酸化チタン
が提案される。
とも２つが異なる組成である少なくとも５つ、有利に10
を上回る単層からなる磨耗保護膜は公知であり、この場
合、支持体上に存在する第一層は炭化物からなり、最後
の外側の層は硼化物または炭化物からなり、かつ中間層
は炭化物、窒化物、酸化物、硼化物またはこれらの混合
物からなる。炭化物および窒化物としては、殊に元素H
f、Zr、Taおよびチタンの相応する化合物、従って、金
属性硬質物質が該当する。硼化物は、有利にHf、Ta、T
i、ZrおよびＮの相応する化合物からなる。酸化物とし
ては、異極性硬質物質、酸化アルミニウム、酸化ハフニ
ウム、酸化ジルコン、酸化ベリリウムおよび酸化チタン
が提案される。
ドイツ連邦共和国特許第3152742号C2明細書の記載か
ら、多層状の被覆を有する機械加工用原料は公知であ
る。被膜は、周期律表の第IV（副）族の金属（Ti、Zr、
Hf）の窒化物または炭化物および第VI（副）族の金属
（Cr、Mo、Ｗ）の窒化物、炭化物、硼化物または珪化物
からなる。前記化合物は、金属性硬質物質の群の元素で
ある。膜は、多数が互いに順次続いており、この場合、
第IV族の金属の化合物の膜厚は0.05〜0.5μｍであり、
かつ第VI族の金属の化合物の膜厚は第IV族の金属の化合
物の膜厚の15〜40％である。被覆は、500までの単膜か
らなる。
ら、多層状の被覆を有する機械加工用原料は公知であ
る。被膜は、周期律表の第IV（副）族の金属（Ti、Zr、
Hf）の窒化物または炭化物および第VI（副）族の金属
（Cr、Mo、Ｗ）の窒化物、炭化物、硼化物または珪化物
からなる。前記化合物は、金属性硬質物質の群の元素で
ある。膜は、多数が互いに順次続いており、この場合、
第IV族の金属の化合物の膜厚は0.05〜0.5μｍであり、
かつ第VI族の金属の化合物の膜厚は第IV族の金属の化合
物の膜厚の15〜40％である。被覆は、500までの単膜か
らなる。
本発明の課題は、金属性硬質物質の機械的性質、物理
的性質および化学的性質と、別の硬質物質の機械的性
質、物理的性質および化学的性質とを組合せされるよう
な冒頭で挙げられた種類の多数の交互に並んだ単層から
なる別の磨耗保護膜を記載することである。磨耗保護膜
は、セラミック性摩擦成分および金属性摩擦成分に対し
て極めて低い摩擦係数および4000HV0.05を上回る硬度を
示さなければならない。
的性質および化学的性質と、別の硬質物質の機械的性
質、物理的性質および化学的性質とを組合せされるよう
な冒頭で挙げられた種類の多数の交互に並んだ単層から
なる別の磨耗保護膜を記載することである。磨耗保護膜
は、セラミック性摩擦成分および金属性摩擦成分に対し
て極めて低い摩擦係数および4000HV0.05を上回る硬度を
示さなければならない。
前記課題は、本発明によれば、請求項１に記載の特徴
部に挙げられた特徴によって解決される。本発明の有利
な実施態様は、他の請求項の対象である。
部に挙げられた特徴によって解決される。本発明の有利
な実施態様は、他の請求項の対象である。
金属性硬質物質の群には、遷移金属の硼化物、炭化物
および窒化物、殊に窒化チタンおよび炭化チタン並びに
これらの混合結晶体がある。共有結合の硬質物質には、
アルミニウム、珪素および硼素の硼化物、炭化物および
窒化物並びにダイヤモンドがある。
および窒化物、殊に窒化チタンおよび炭化チタン並びに
これらの混合結晶体がある。共有結合の硬質物質には、
アルミニウム、珪素および硼素の硼化物、炭化物および
窒化物並びにダイヤモンドがある。
膜中の金属性硬質物質および共有結合の硬質物質の組
合せ物は、前記硬質物質の異なる機械的性質、物理的性
質および化学的性質の利用を可能にする。前記硬質物質
からなる単層の周期的に交互に並んだ配置によって、多
層膜の機械的性質（硬度、粘性、付着）および化学的挙
動（熱腐食、拡散、酸化）は最適化される。
合せ物は、前記硬質物質の異なる機械的性質、物理的性
質および化学的性質の利用を可能にする。前記硬質物質
からなる単層の周期的に交互に並んだ配置によって、多
層膜の機械的性質（硬度、粘性、付着）および化学的挙
動（熱腐食、拡散、酸化）は最適化される。
共有結合の硬質物質は、該硬質物質が金属性支持体上
に良好には付着せず、脆くかつ内力を有するので、それ
自体が金属性支持体上の単層膜としては金属加工に適し
ていないし、共有結合物の高い含量の結果、物質組成と
して実現できるものではない。共有結合の硬質物質層の
本発明による配置の場合、前記のマイナスの性質は解消
される。内力は、共有結合の硬質物質からなる単層の僅
かな厚さによって著しく減少され、このことによって、
該硬質物質の機械的安定性および付着は著しく改善され
る。共有結合の硬質物質からなる単層の厚さは、金属性
硬質物質からなる単層の厚さの多くとも半分、より良好
には５分の１を下回り、かつ有利に１〜30nm、より良好
には１〜5nmの間である。金属性硬質物質からなる単層
は、500nmまでの厚さであってもよい。共有結合の硬質
物質が周期的に配置された単層は、その相対的に僅かな
厚さにもかからず、全磨耗保護層は著しく硬度を増大さ
せる。
に良好には付着せず、脆くかつ内力を有するので、それ
自体が金属性支持体上の単層膜としては金属加工に適し
ていないし、共有結合物の高い含量の結果、物質組成と
して実現できるものではない。共有結合の硬質物質層の
本発明による配置の場合、前記のマイナスの性質は解消
される。内力は、共有結合の硬質物質からなる単層の僅
かな厚さによって著しく減少され、このことによって、
該硬質物質の機械的安定性および付着は著しく改善され
る。共有結合の硬質物質からなる単層の厚さは、金属性
硬質物質からなる単層の厚さの多くとも半分、より良好
には５分の１を下回り、かつ有利に１〜30nm、より良好
には１〜5nmの間である。金属性硬質物質からなる単層
は、500nmまでの厚さであってもよい。共有結合の硬質
物質が周期的に配置された単層は、その相対的に僅かな
厚さにもかからず、全磨耗保護層は著しく硬度を増大さ
せる。
磨耗保護膜の支持体上に存在する第一単層は、金属性
硬質物質、有利にTiNまたはTiCからなる。前記硬質物質
は、原料に使用された鋼および硬質金属の上に特に良好
に付着する。第一単層には、金属性硬質物質および共有
結合の硬質物質の他の単層が連続して接続している。全
ての単層は、第一の複合物には、他の複合物が接続し、
かつこの複合物には、３つの単層からなる少なくとも更
に１つの複合物が接続しているような３つの単層が数回
繰り返された複合物である。３つの単層からなる複合物
は、２つの異なる金属性硬質物質、例えばTiNおよびTiC
の２つの単層と共有結合の硬質物質からなる１つの単層
から構成されている。共有結合の硬質物質層の数は、少
なくとも３つでなければならず；従って、磨耗保護膜
は、少なくとも９つの単層からなることになる。共有結
合の硬質物質からなる単層には、化合物B4C、SiC、Si3N
4、BN、サイアロン（混合結晶体（SiAl）３（Ｎ、Ｏ）
４）、炭素、CBxNy、CNxおよびこれらの混合物が、それ
ぞれ重ねて、金属添加剤と一緒にかまたは金属添加剤な
しに使用される。
硬質物質、有利にTiNまたはTiCからなる。前記硬質物質
は、原料に使用された鋼および硬質金属の上に特に良好
に付着する。第一単層には、金属性硬質物質および共有
結合の硬質物質の他の単層が連続して接続している。全
ての単層は、第一の複合物には、他の複合物が接続し、
かつこの複合物には、３つの単層からなる少なくとも更
に１つの複合物が接続しているような３つの単層が数回
繰り返された複合物である。３つの単層からなる複合物
は、２つの異なる金属性硬質物質、例えばTiNおよびTiC
の２つの単層と共有結合の硬質物質からなる１つの単層
から構成されている。共有結合の硬質物質層の数は、少
なくとも３つでなければならず；従って、磨耗保護膜
は、少なくとも９つの単層からなることになる。共有結
合の硬質物質からなる単層には、化合物B4C、SiC、Si3N
4、BN、サイアロン（混合結晶体（SiAl）３（Ｎ、Ｏ）
４）、炭素、CBxNy、CNxおよびこれらの混合物が、それ
ぞれ重ねて、金属添加剤と一緒にかまたは金属添加剤な
しに使用される。
共有結合の硬質物質からなる単層の組込みによって、
結晶の成長ひいては金属性硬質物質のエピタキシーが中
断され、このことによって、界面の数が増大する。共有
結合の硬質物質層は、1000℃前後でのその高い高度およ
び化学的安定性によって顕著である。従って、前記の硬
質物質層は、多層状の磨耗保護膜の内部で、拡散隔壁お
よび金属性硬質物質の酸化に対する効果的な保護を形成
している。
結晶の成長ひいては金属性硬質物質のエピタキシーが中
断され、このことによって、界面の数が増大する。共有
結合の硬質物質層は、1000℃前後でのその高い高度およ
び化学的安定性によって顕著である。従って、前記の硬
質物質層は、多層状の磨耗保護膜の内部で、拡散隔壁お
よび金属性硬質物質の酸化に対する効果的な保護を形成
している。
最終的な一番上の単層としては、使用分野に応じて、
金属性硬質物質もしくは共有結合の硬質物質からなる層
を備えさせることができる。一番上の単層としては、Si
3N4、サイアロン、炭素、BNまたは金属性硬質物質から
なる膜が有利である。
金属性硬質物質もしくは共有結合の硬質物質からなる層
を備えさせることができる。一番上の単層としては、Si
3N4、サイアロン、炭素、BNまたは金属性硬質物質から
なる膜が有利である。
単層全体の数は、有利に10〜1000の間である。品質的
に高価な磨耗保護膜は、約150の単層から達成される。
金属性硬質物質の厚さは、有利に30〜50nmであり、他
方、既に記載されたように、共有結合の硬質物質層の厚
さは、本質的により少なく、有利に１〜30nm、より良好
には１〜5nmである。良好な結果は、1nmの厚さの共有結
合の硬質物質層により達成される。磨耗保護膜の全厚
は、１〜10μｍであってもよい。
に高価な磨耗保護膜は、約150の単層から達成される。
金属性硬質物質の厚さは、有利に30〜50nmであり、他
方、既に記載されたように、共有結合の硬質物質層の厚
さは、本質的により少なく、有利に１〜30nm、より良好
には１〜5nmである。良好な結果は、1nmの厚さの共有結
合の硬質物質層により達成される。磨耗保護膜の全厚
は、１〜10μｍであってもよい。
本発明による磨耗保護膜は、公知の方法で、PVD法の
場合、支持体の上のそれぞれ望ましい膜材料からなる複
数の陰極から反応性または非反応性で除塵され、この場
合、支持体は、例えば回転盤の上で、陰極の下で周期的
に穿孔するようにして製造できる。支持体としては、殊
に全ての原料鋼並びに硬質金属（族:K、Ｐ、Ｍ）が適し
ている。
場合、支持体の上のそれぞれ望ましい膜材料からなる複
数の陰極から反応性または非反応性で除塵され、この場
合、支持体は、例えば回転盤の上で、陰極の下で周期的
に穿孔するようにして製造できる。支持体としては、殊
に全ての原料鋼並びに硬質金属（族:K、Ｐ、Ｍ）が適し
ている。
本発明は、以下に、６つの図面に基づき詳説される。
図１ 略図による本発明による磨耗保護膜の４つの異な
る実施態様（ａ）、（ｂ）、（ｃ）および（ｄ）； 図２ 本発明による磨耗保護膜の１つの実施態様の可使
時間と比較したTiCおよびTiNからなる磨耗保護膜の可使
時間； 図３ 公知の硬質物質膜と比較した本発明による磨耗保
護膜の１つの実施態様の付着； 図５ 公知の硬質物質膜と比較した本発明による磨耗保
護膜の１つの実施態様の微小硬度； 図６ 本発明による磨耗保護膜の１つの実施態様のTEM
写真。
る実施態様（ａ）、（ｂ）、（ｃ）および（ｄ）； 図２ 本発明による磨耗保護膜の１つの実施態様の可使
時間と比較したTiCおよびTiNからなる磨耗保護膜の可使
時間； 図３ 公知の硬質物質膜と比較した本発明による磨耗保
護膜の１つの実施態様の付着； 図５ 公知の硬質物質膜と比較した本発明による磨耗保
護膜の１つの実施態様の微小硬度； 図６ 本発明による磨耗保護膜の１つの実施態様のTEM
写真。
図１は、支持体１上の本発明による磨耗保護膜の４つ
の実地態様を略図的に示している。この図は、３つの単
層からなる複合物２が全磨耗保護膜を通して周期的に繰
り返されている方法で備え付けられている。全ての場合
に、TiCおよびTiNからなるそれぞれ２つの単層が、B4C
からなる２つの単層によって包囲されている。２つの実
施態様（ａ）および（ｃ）の場合、第一単層並びに最終
単層は、TiNもしくはTiCからなる。２つの実施態様
（ｂ）および（ｄ）の場合、第一単層はTiNもしくはTiC
からなり、最終層はB4Cからなる。記載された実施態様
の場合の層の全体数は、150である。金属性硬質物質の
厚さは、通常30〜50nmであり、他方、B4Cからなる層
は、４つの全ての実施態様の場合に１〜3nmの厚さであ
る。４つの実施態様の全厚は、２〜５μｍである。
の実地態様を略図的に示している。この図は、３つの単
層からなる複合物２が全磨耗保護膜を通して周期的に繰
り返されている方法で備え付けられている。全ての場合
に、TiCおよびTiNからなるそれぞれ２つの単層が、B4C
からなる２つの単層によって包囲されている。２つの実
施態様（ａ）および（ｃ）の場合、第一単層並びに最終
単層は、TiNもしくはTiCからなる。２つの実施態様
（ｂ）および（ｄ）の場合、第一単層はTiNもしくはTiC
からなり、最終層はB4Cからなる。記載された実施態様
の場合の層の全体数は、150である。金属性硬質物質の
厚さは、通常30〜50nmであり、他方、B4Cからなる層
は、４つの全ての実施態様の場合に１〜3nmの厚さであ
る。４つの実施態様の全厚は、２〜５μｍである。
以下の試験結果は、図１（ａ）中に略図的に記載され
たTiN/TiC/B4Cからなる磨耗保護膜並びにTiN/TiC/BN、T
iN/TiC/AlN、TiN/TiC/SiCまたはTiN/TiC/Ti（Ｂ、Ｃ）
からなる複合物が約2nmの厚さで周期的に連続している
共有結合の単層および約５μｍの全厚からなる磨耗保護
膜に関するものである。磨耗保護膜は、それぞれ硬質金
属からなる支持体上に施与されている。
たTiN/TiC/B4Cからなる磨耗保護膜並びにTiN/TiC/BN、T
iN/TiC/AlN、TiN/TiC/SiCまたはTiN/TiC/Ti（Ｂ、Ｃ）
からなる複合物が約2nmの厚さで周期的に連続している
共有結合の単層および約５μｍの全厚からなる磨耗保護
膜に関するものである。磨耗保護膜は、それぞれ硬質金
属からなる支持体上に施与されている。
図２は、連続回転試験の場合の［分］での種々の硬質
物質膜の場合の可使時間の比較を示している。切断速度
は毎分250mであり、送りは１回転当たり0.32mmであり、
かつ切り込み深さは2mmであった。回転試験を、平板が
損なわれるまで実施した。磨耗保護膜TiN/TiC/B4Cを用
いた場合に、硬質金属からなる支持体上のTiCまたはTiN
からなる５μｍの厚さの単層からなる磨耗保護膜のほぼ
２倍の可使時間が達成されることを示している。他の磨
耗保護膜は、同様の可使時間を示している。
物質膜の場合の可使時間の比較を示している。切断速度
は毎分250mであり、送りは１回転当たり0.32mmであり、
かつ切り込み深さは2mmであった。回転試験を、平板が
損なわれるまで実施した。磨耗保護膜TiN/TiC/B4Cを用
いた場合に、硬質金属からなる支持体上のTiCまたはTiN
からなる５μｍの厚さの単層からなる磨耗保護膜のほぼ
２倍の可使時間が達成されることを示している。他の磨
耗保護膜は、同様の可使時間を示している。
図３には、種々の硬質物質膜の摩擦係数［μ］が記載
されている。対象体（Gegenkoerper）は、100Cr6からな
る球体からなる。磨耗保護膜TiN/TiC/B4Cの摩擦係数
は、単層の５μｍの厚さのTiN膜もしくはTiC膜の摩擦係
数の一部にすぎない。磨耗保護膜TiN/TiC/B4Cの一番上
の層がTiCからなるとしても、該磨耗保護膜の摩擦係数
は、本質的に５μの厚さのTiC膜の摩擦係数よりも少な
い。極僅かに高い摩擦係数は、他の磨耗保護膜を用いた
場合に生じる。
されている。対象体（Gegenkoerper）は、100Cr6からな
る球体からなる。磨耗保護膜TiN/TiC/B4Cの摩擦係数
は、単層の５μｍの厚さのTiN膜もしくはTiC膜の摩擦係
数の一部にすぎない。磨耗保護膜TiN/TiC/B4Cの一番上
の層がTiCからなるとしても、該磨耗保護膜の摩擦係数
は、本質的に５μの厚さのTiC膜の摩擦係数よりも少な
い。極僅かに高い摩擦係数は、他の磨耗保護膜を用いた
場合に生じる。
図４は、硬質金属K10〜20からなる支持体上の硬質物
質膜の付着を示している（スクラッチテスト、［Ｎ］で
の限界荷重Lc）。磨耗保護膜TiN/TiC/B4C、TiN/TiC/Bn
およびTiN/TiC/Ti（Ｂ、Ｃ）の付着は、この磨耗保護膜
の場合には、第一単層がTiNからなるけれども、純粋なT
iN膜の付着よりも明らかに良好である。他の磨耗保護膜
の付着は、純粋なTiN膜の付着と比べて若干低下してい
る。
質膜の付着を示している（スクラッチテスト、［Ｎ］で
の限界荷重Lc）。磨耗保護膜TiN/TiC/B4C、TiN/TiC/Bn
およびTiN/TiC/Ti（Ｂ、Ｃ）の付着は、この磨耗保護膜
の場合には、第一単層がTiNからなるけれども、純粋なT
iN膜の付着よりも明らかに良好である。他の磨耗保護膜
の付着は、純粋なTiN膜の付着と比べて若干低下してい
る。
図５には、種々の硬質物質膜の微小硬度HV0.05（ビカ
ー硬度）の比較が記載されている。磨耗保護膜TiN/TiC/
B4CおよびTiN/TiC/Ti（Ｂ、Ｃ）の硬度は、B4Cの硬度に
近く、TiN膜もしくはTiC膜の硬度を著しく上回ってい
る。
ー硬度）の比較が記載されている。磨耗保護膜TiN/TiC/
B4CおよびTiN/TiC/Ti（Ｂ、Ｃ）の硬度は、B4Cの硬度に
近く、TiN膜もしくはTiC膜の硬度を著しく上回ってい
る。
図６は、磨耗保護膜TiN/TiC/B4CのTEM写真を示してい
る。これにより、TiN/TiC単層のエピタキシーがB4C単層
によって中断されていることが明白に認識される。
る。これにより、TiN/TiC単層のエピタキシーがB4C単層
によって中断されていることが明白に認識される。
Claims (6)
- 【請求項１】支持体上に直接施与されている金属性硬質
物質からなる第一単層および第一単層の上に施与された
周期的に繰り返されて連続している金属性硬質物質およ
び別の硬質物質からなる他の単層を有する多数の単層か
らなる磨耗保護膜において、別の硬質物質が共有結合の
硬質物質であり、３つの単層からなる複合物が周期的に
繰り返されて連続するように単層が構成されており、こ
の場合、複合物は、２つの異なる金属性硬質物質の２つ
の単層および共有結合の硬質物質からなる１つの単層か
らなることを特徴とする、磨耗保護膜。 - 【請求項２】複合物が窒化チタンおよび炭化チタンから
なる２つの単層および共有結合の硬質物質炭化硼素から
なる１つの単層から構成されている、請求項１に記載の
磨耗保護膜。 - 【請求項３】単層の数が10〜1000である、請求項１また
は２に記載の磨耗保護膜。 - 【請求項４】共有結合の硬質物質からなる単層の厚さ
が、多くとも、金属性硬質物質からなる単層の厚さの半
分である、請求項１から３までのいずれか１項に記載の
磨耗保護膜。 - 【請求項５】共有結合の硬質物質からなる単層の厚さが
１〜30nmである、請求項１から４までのいずれか１項に
記載の磨耗保護膜。 - 【請求項６】全体の厚さが１〜10μｍである、請求項１
から５までのいずれか１項に記載の磨耗保護膜。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19503070.2 | 1995-02-01 | ||
| DE19503070A DE19503070C1 (de) | 1995-02-01 | 1995-02-01 | Verschleißschutzschicht |
| PCT/EP1995/004968 WO1996023911A1 (de) | 1995-02-01 | 1995-12-15 | Verschleissschutzschicht |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10503553A JPH10503553A (ja) | 1998-03-31 |
| JP2944761B2 true JP2944761B2 (ja) | 1999-09-06 |
Family
ID=7752787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8523195A Expired - Fee Related JP2944761B2 (ja) | 1995-02-01 | 1995-12-15 | 磨耗保護膜 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6245446B1 (ja) |
| EP (1) | EP0804634B1 (ja) |
| JP (1) | JP2944761B2 (ja) |
| AT (1) | ATE174972T1 (ja) |
| DE (2) | DE19503070C1 (ja) |
| WO (1) | WO1996023911A1 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6214473B1 (en) * | 1998-05-13 | 2001-04-10 | Andrew Tye Hunt | Corrosion-resistant multilayer coatings |
| US20070228664A1 (en) * | 2006-03-31 | 2007-10-04 | Krishnamurthy Anand | Mechanical seals and methods of making |
| EP2056004A1 (en) * | 2007-10-29 | 2009-05-06 | General Electric Company | Mechanical seals and methods of making |
| DE102007058564A1 (de) * | 2007-11-30 | 2009-06-04 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verschleißschutzbeschichtung für Bauteile oder Werkzeuge |
| DE102009002868A1 (de) | 2009-05-06 | 2010-11-18 | Inncoa Gmbh | Verfahren zum Aufbringen einer viellagigen Schichtstruktur auf ein Substrat sowie Substrat mit einer viellagigen Schichtstruktur |
| DE102010039035A1 (de) | 2010-08-06 | 2012-02-09 | Walter Ag | Schneidwerkzeug mit mehrlagiger Beschichtung |
| AT511605B1 (de) * | 2011-12-12 | 2013-01-15 | High Tech Coatings Gmbh | Kohlenstoffbasierende beschichtung |
| DE102012107129A1 (de) | 2012-08-03 | 2014-02-06 | Walter Ag | TiAIN-beschichtetes Werkzeug |
| US9476114B2 (en) | 2012-08-03 | 2016-10-25 | Walter Ag | TiAlN-coated tool |
| DE102012109254A1 (de) | 2012-09-28 | 2014-04-03 | Walter Ag | Werkzeug mit TiAlCrSiN-PVD-Beschichtung |
| CN115677351B (zh) * | 2022-11-08 | 2023-06-09 | 长沙湘锐赛特新材料有限公司 | 一种强结合界面的多叠层碳化硼复合陶瓷及其制备方法 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4594294A (en) * | 1983-09-23 | 1986-06-10 | Energy Conversion Devices, Inc. | Multilayer coating including disordered, wear resistant boron carbon external coating |
| DE3512986A1 (de) * | 1985-04-11 | 1986-10-16 | Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe | Viellagige, hochverschleissfeste hartstoffschutzschicht fuer metallische, stark beanspruchte oberflaechen oder substrate |
| US4677817A (en) * | 1985-12-19 | 1987-07-07 | Kanai Juyo Kogyo Kabushiki Kaisha | Travellers for spinning machinery |
| DE3811907C1 (ja) * | 1988-04-09 | 1989-08-03 | Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe, De | |
| DD298003A5 (de) * | 1990-04-24 | 1992-01-30 | Krupp Widia Gmbh,De | Verfahren zum beschichten eines metallischen grundkoerpers mit einem nichtleitenden beschichtungsmaterial |
| DE4115616C2 (de) * | 1991-03-16 | 1994-11-24 | Leybold Ag | Hartstoff-Mehrlagenschichtsystem für Werkzeuge |
| EP0589641A3 (en) * | 1992-09-24 | 1995-09-27 | Gen Electric | Method of producing wear resistant articles |
| EP0592986B1 (en) * | 1992-10-12 | 1998-07-08 | Sumitomo Electric Industries, Limited | Ultra-thin film laminate |
| SE503038C2 (sv) * | 1993-07-09 | 1996-03-11 | Sandvik Ab | Diamantbelagt skärande verktyg av hårdmetall eller keramik |
| GB9405744D0 (en) * | 1994-03-23 | 1994-05-11 | Rolls Royce Plc | A multilayer erosion resistant coating and a method for its production |
| EP0695731B1 (en) * | 1994-08-01 | 2000-11-08 | Sumitomo Electric Industries, Limited | Super hard composite material for tools |
| EP0701982B1 (en) * | 1994-09-16 | 2002-07-03 | Sumitomo Electric Industries, Limited | Layered film made of ultrafine particles and a hard composite material for tools possessing the film |
-
1995
- 1995-02-01 DE DE19503070A patent/DE19503070C1/de not_active Expired - Fee Related
- 1995-12-15 DE DE59504656T patent/DE59504656D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-12-15 EP EP95942671A patent/EP0804634B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-12-15 AT AT95942671T patent/ATE174972T1/de not_active IP Right Cessation
- 1995-12-15 WO PCT/EP1995/004968 patent/WO1996023911A1/de active IP Right Grant
- 1995-12-15 JP JP8523195A patent/JP2944761B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-07-31 US US08/903,682 patent/US6245446B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| ATE174972T1 (de) | 1999-01-15 |
| EP0804634A1 (de) | 1997-11-05 |
| JPH10503553A (ja) | 1998-03-31 |
| DE59504656D1 (de) | 1999-02-04 |
| DE19503070C1 (de) | 1996-08-14 |
| EP0804634B1 (de) | 1998-12-23 |
| WO1996023911A1 (de) | 1996-08-08 |
| US6245446B1 (en) | 2001-06-12 |
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