JP2929935B2 - 半導体装置の分類装置 - Google Patents
半導体装置の分類装置Info
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- JP2929935B2 JP2929935B2 JP6053439A JP5343994A JP2929935B2 JP 2929935 B2 JP2929935 B2 JP 2929935B2 JP 6053439 A JP6053439 A JP 6053439A JP 5343994 A JP5343994 A JP 5343994A JP 2929935 B2 JP2929935 B2 JP 2929935B2
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
- B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
- B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
- B07C5/36—Sorting apparatus characterised by the means used for distribution
- B07C5/361—Processing or control devices therefor, e.g. escort memory
- B07C5/362—Separating or distributor mechanisms
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/01—Subjecting similar articles in turn to test, e.g. "go/no-go" tests in mass production; Testing objects at points as they pass through a testing station
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の特性選別
装置で特性分類された半導体装置を特性毎に所定の収納
箱に収納する半導体装置の分類装置に関する。
装置で特性分類された半導体装置を特性毎に所定の収納
箱に収納する半導体装置の分類装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、一種類の多数の半導体装置を同
一の半導体基板を同一プロセスで処理し製造しても、そ
のロット内で基準値特性からかなりばらつきが生ずる。
しかしながらばらつきがあっても、基準値から外れた特
性値をもつ半導体装置の全部を不良品にせず、特性値に
よって分類しその特性値に適合した電気回路に使用され
ていた。この半導体装置を特性選別しで種分けする装置
は、選別装置と分類装置と結合した装置である。そし
て、この装置の選別速度と分類装置の分類速度とで処理
速度が決定ずけられていた。また、選別速度は分類速度
よりもともと早く、このため如何に装置の処理速度を早
めるかは、この分類装置の処理速度を如何に早くするか
にかかっていた。
一の半導体基板を同一プロセスで処理し製造しても、そ
のロット内で基準値特性からかなりばらつきが生ずる。
しかしながらばらつきがあっても、基準値から外れた特
性値をもつ半導体装置の全部を不良品にせず、特性値に
よって分類しその特性値に適合した電気回路に使用され
ていた。この半導体装置を特性選別しで種分けする装置
は、選別装置と分類装置と結合した装置である。そし
て、この装置の選別速度と分類装置の分類速度とで処理
速度が決定ずけられていた。また、選別速度は分類速度
よりもともと早く、このため如何に装置の処理速度を早
めるかは、この分類装置の処理速度を如何に早くするか
にかかっていた。
【0003】図6は従来の半導体装置の分類装置の一例
を示す図である。従来、この種の半導体装置の分類装置
は、例えば、図6に示すように、選別装置の測定部21
より排出される半導体装置(図示せず)を下方に落し込
む斜めシュート19と、斜めシュート19の下部に設け
られたファンネルシュート18と、駆動モータ17の回
転で所定の回転角度の位置に位置決めされるソータパイ
プ16と、ソータパイプ16の回転円周上に設けられた
複数のクラスシュート20と、これらクラスシュート2
0に対応する複数の収納箱6とを備えていた。
を示す図である。従来、この種の半導体装置の分類装置
は、例えば、図6に示すように、選別装置の測定部21
より排出される半導体装置(図示せず)を下方に落し込
む斜めシュート19と、斜めシュート19の下部に設け
られたファンネルシュート18と、駆動モータ17の回
転で所定の回転角度の位置に位置決めされるソータパイ
プ16と、ソータパイプ16の回転円周上に設けられた
複数のクラスシュート20と、これらクラスシュート2
0に対応する複数の収納箱6とを備えていた。
【0004】次に動作について説明する。まず、測定部
21において半導体装置の電気的特性の測定が終了する
と、駆動モータ17が回転し測定結果に対応し収納箱6
上のクラスシュート20の位置とソータパイプ16の位
置が一致する。そして、測定部21から測定済みの半導
体装置が斜めシュート19、ファンネルシュート18、
ソータパイプ16およびクラスシュート20を経て指定
の収納箱6に落ち込む。この収納箱6に落ち込む間で、
半導体装置がクラスシュート20を通過する際、光セン
サ(図示せず)により半導体装置の通過が確認される
と、次の半導体装置の測定が開始される。このように選
別装置で特性選別された半導体装置は特性分類され分類
別にそれぞれの収納箱6に収納される。
21において半導体装置の電気的特性の測定が終了する
と、駆動モータ17が回転し測定結果に対応し収納箱6
上のクラスシュート20の位置とソータパイプ16の位
置が一致する。そして、測定部21から測定済みの半導
体装置が斜めシュート19、ファンネルシュート18、
ソータパイプ16およびクラスシュート20を経て指定
の収納箱6に落ち込む。この収納箱6に落ち込む間で、
半導体装置がクラスシュート20を通過する際、光セン
サ(図示せず)により半導体装置の通過が確認される
と、次の半導体装置の測定が開始される。このように選
別装置で特性選別された半導体装置は特性分類され分類
別にそれぞれの収納箱6に収納される。
【0005】ここで、半導体装置の測定時間をt1,ソ
ータパイプ16の回転時間をt30,測定済みの半導体
装置が測定部21からファンネルシュート18を通過す
るまでの時間をt2,測定済みの半導体装置がソータパ
イプ16からクラスシュート20を経て収納箱6まで通
過する時間をt4とすれば、この半導体装置の分類装置
の1個当りの処理時間はt1+t30+t2+t4とな
っていた。
ータパイプ16の回転時間をt30,測定済みの半導体
装置が測定部21からファンネルシュート18を通過す
るまでの時間をt2,測定済みの半導体装置がソータパ
イプ16からクラスシュート20を経て収納箱6まで通
過する時間をt4とすれば、この半導体装置の分類装置
の1個当りの処理時間はt1+t30+t2+t4とな
っていた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】この従来の半導体装置
の分類装置では、測定終了後、測定結果に基づきソータ
パイプ16の位置を移動させ、移動終了後に測定済半導
体装置を落下させファンネルシュート18,ソータパイ
プ16,クラスシュート20を経由して収納箱6へ収納
させ、クラスシュート20を半導体装置が通過する際、
光センサで半導体装置の通過が確認されたのち、次の半
導体装置の測定を開始するという処理を行っているた
め、クラスシュート20までの落ち込む経路が長くそれ
に伴なう時間がかかるばかりかややもすると落下経路途
中に引掛かり(以下ジャミングと呼ぶ)円滑に半導体装
置が落下しない問題が生じた。
の分類装置では、測定終了後、測定結果に基づきソータ
パイプ16の位置を移動させ、移動終了後に測定済半導
体装置を落下させファンネルシュート18,ソータパイ
プ16,クラスシュート20を経由して収納箱6へ収納
させ、クラスシュート20を半導体装置が通過する際、
光センサで半導体装置の通過が確認されたのち、次の半
導体装置の測定を開始するという処理を行っているた
め、クラスシュート20までの落ち込む経路が長くそれ
に伴なう時間がかかるばかりかややもすると落下経路途
中に引掛かり(以下ジャミングと呼ぶ)円滑に半導体装
置が落下しない問題が生じた。
【0007】また、このような問題を解決するために、
半導体装置の落下経路に高圧エアー吹き付け手段を設
け、半導体装置を強制的に落下させその落下速度を上げ
ることを試みたが、ジャミングを解消するまでに至ら
ず、むしろ落下した際の衝撃が大きく半導体装置のリー
ドが曲ったり半導体装置の樹脂外郭体に欠けを生じたり
するという新たな問題を生じさせた。さらに、位置決め
時間を短縮するために、駆動モータの回転速度を上げソ
ータパイプの位置決め速度を早くすることを試みたが、
ソータパイプ16の位置決め停止時の反動による振動が
大きくなりソータパイプ16の先端が撓みファネルシュ
ート18の落し口と合わず、ファネルシュート18から
ソートタイプ16への半導体装置の落ち込みが円滑に行
かずしばしばソータパイプ16から外れて落下するとい
った問題が起った。結局、これらの手段はいずれもこの
問題を解消するまでに至らなかった。
半導体装置の落下経路に高圧エアー吹き付け手段を設
け、半導体装置を強制的に落下させその落下速度を上げ
ることを試みたが、ジャミングを解消するまでに至ら
ず、むしろ落下した際の衝撃が大きく半導体装置のリー
ドが曲ったり半導体装置の樹脂外郭体に欠けを生じたり
するという新たな問題を生じさせた。さらに、位置決め
時間を短縮するために、駆動モータの回転速度を上げソ
ータパイプの位置決め速度を早くすることを試みたが、
ソータパイプ16の位置決め停止時の反動による振動が
大きくなりソータパイプ16の先端が撓みファネルシュ
ート18の落し口と合わず、ファネルシュート18から
ソートタイプ16への半導体装置の落ち込みが円滑に行
かずしばしばソータパイプ16から外れて落下するとい
った問題が起った。結局、これらの手段はいずれもこの
問題を解消するまでに至らなかった。
【0008】従って、本発明の目的は、半導体装置にリ
ードの曲りや樹脂外郭体の欠けあるいはジャミングなど
を起すこと無くより早い処理速度で分類できる半導体装
置の分類装置を提供することである。
ードの曲りや樹脂外郭体の欠けあるいはジャミングなど
を起すこと無くより早い処理速度で分類できる半導体装
置の分類装置を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、選別装
置により分布数の異なる複数の特性別に分類された半導
体装置を該特性別に複数の収納箱にそれぞれ収納する半
導体装置の分類装置において、特性選別後の前記半導体
装置が前記選別装置の落し口から落し込まれる複数の穴
が円周上に並べ形成される回転ドラムと、落し込まれた
前記半導体装置を前記穴の開閉によって停留させるか落
下させるかするとともに複数の前記穴のそれぞれに独立
して設けられるシャッタ部材と、前記回転ドラムのそれ
ぞれの前記穴から前記シャッタ部材が開くことにより落
し込まれる前記半導体装置を収納する分類数に応じた複
数の収納箱と、前記回転ドラムを正逆回転させ前記半導
体装置が停留する前記穴を予じめ指定の収納箱に位置決
めするインデックス機構と、分類された該特性における
分布数の最も多い特性に分類された前記半導体装置を落
し込む前記穴を基準穴と指定するとともに前記分布数が
少なくなるにつれて前記基準穴に対して時計方向と反時
計方向とを交互に遠ざかる位置にある前記穴をそれぞれ
分類された前記半導体装置を落し込む穴として指定しか
つ前記インデックス機構の動作および前記シャッタの開
閉を制御し指定された前記穴に対応する前記収納箱にそ
れぞれ分類された前記半導体装置を収納させる制御手段
とを備える半導体装置の分類装置である。
置により分布数の異なる複数の特性別に分類された半導
体装置を該特性別に複数の収納箱にそれぞれ収納する半
導体装置の分類装置において、特性選別後の前記半導体
装置が前記選別装置の落し口から落し込まれる複数の穴
が円周上に並べ形成される回転ドラムと、落し込まれた
前記半導体装置を前記穴の開閉によって停留させるか落
下させるかするとともに複数の前記穴のそれぞれに独立
して設けられるシャッタ部材と、前記回転ドラムのそれ
ぞれの前記穴から前記シャッタ部材が開くことにより落
し込まれる前記半導体装置を収納する分類数に応じた複
数の収納箱と、前記回転ドラムを正逆回転させ前記半導
体装置が停留する前記穴を予じめ指定の収納箱に位置決
めするインデックス機構と、分類された該特性における
分布数の最も多い特性に分類された前記半導体装置を落
し込む前記穴を基準穴と指定するとともに前記分布数が
少なくなるにつれて前記基準穴に対して時計方向と反時
計方向とを交互に遠ざかる位置にある前記穴をそれぞれ
分類された前記半導体装置を落し込む穴として指定しか
つ前記インデックス機構の動作および前記シャッタの開
閉を制御し指定された前記穴に対応する前記収納箱にそ
れぞれ分類された前記半導体装置を収納させる制御手段
とを備える半導体装置の分類装置である。
【0010】
【0011】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【0012】図1(a)および(b)は本発明の関連技
術における半導体装置の分類装置の一例を示す斜視図お
よび断面図である。を示す断面である。この半導体装置
の分類装置は、図1に示すように、ファンネルシュート
7からの測定済みの半導体装置15が落ち込む複数の穴
3が円周上に形成された回転ドラム1と、これらの穴3
に落ち込む半導体装置を受け止め穴3内に停留させるシ
ャッタ機構2と、回転ドラム1を回転させ所定の穴3と
半導体装置15を収納箱6に落し込む管状のクラスシュ
ート4との位置合せるインデックス機構5および駆動用
のモータ8とを備えている。
術における半導体装置の分類装置の一例を示す斜視図お
よび断面図である。を示す断面である。この半導体装置
の分類装置は、図1に示すように、ファンネルシュート
7からの測定済みの半導体装置15が落ち込む複数の穴
3が円周上に形成された回転ドラム1と、これらの穴3
に落ち込む半導体装置を受け止め穴3内に停留させるシ
ャッタ機構2と、回転ドラム1を回転させ所定の穴3と
半導体装置15を収納箱6に落し込む管状のクラスシュ
ート4との位置合せるインデックス機構5および駆動用
のモータ8とを備えている。
【0013】また、シャッタ機構2は、回転ドラム1の
穴3を塞いだり連通させたりする穴2eを有するシャッ
タ2aと、このシャッタ2aの後端をハンマ2cで押す
ソレノイド2bと、シャッタ2aを押し戻すスプリング
2dとで構成されている。そして、このシャッタ機構2
で半導体装置15が停留しているか否かを確認するため
に、図面には示していないが、このシャッタ2aの上側
に半導体装置15の有無を確認する光センサを設けるこ
とが望ましい。
穴3を塞いだり連通させたりする穴2eを有するシャッ
タ2aと、このシャッタ2aの後端をハンマ2cで押す
ソレノイド2bと、シャッタ2aを押し戻すスプリング
2dとで構成されている。そして、このシャッタ機構2
で半導体装置15が停留しているか否かを確認するため
に、図面には示していないが、このシャッタ2aの上側
に半導体装置15の有無を確認する光センサを設けるこ
とが望ましい。
【0014】ここで、回転ドラム1は回転や停止によっ
て撓まないように剛性度が高くしかも慣性力が小さくな
るようにバランスとれた構造に製作してある。また、回
転ドラム1の穴3の数とクラスシュート4または収納箱
6の数は必ずしも一致する必要はなく、クラスシュート
4または収納箱6の数は穴3の数より少くとも良い。言
い換えれば、収納箱6の数は分類する数と同一にするこ
とである。
て撓まないように剛性度が高くしかも慣性力が小さくな
るようにバランスとれた構造に製作してある。また、回
転ドラム1の穴3の数とクラスシュート4または収納箱
6の数は必ずしも一致する必要はなく、クラスシュート
4または収納箱6の数は穴3の数より少くとも良い。言
い換えれば、収納箱6の数は分類する数と同一にするこ
とである。
【0015】なお、図面ではクラスシュート4と収納箱
6と切離されているが、収納箱6とクラスシュート4と
一体化されていても良いし、場合によっては、クラスシ
ュート4を無くし収納箱6の半導体装置15の落し込む
開口を直接回転ドラムの穴と対面させても良い。しか
し、この場合は、クラスシュート4と同じように収納箱
6の開口から底部に向けて傾斜部を設け、半導体装置1
5の落下衝撃を緩和し半導体装置15が底部に向って滑
るようすることが望ましい。また、クラスシュート4は
必要に応じて透明な管状部材に製作し、不透明な管状部
材であれば、管の長手方向にスリットなどを設け、ジャ
ミングを監視するようにすると良い。
6と切離されているが、収納箱6とクラスシュート4と
一体化されていても良いし、場合によっては、クラスシ
ュート4を無くし収納箱6の半導体装置15の落し込む
開口を直接回転ドラムの穴と対面させても良い。しか
し、この場合は、クラスシュート4と同じように収納箱
6の開口から底部に向けて傾斜部を設け、半導体装置1
5の落下衝撃を緩和し半導体装置15が底部に向って滑
るようすることが望ましい。また、クラスシュート4は
必要に応じて透明な管状部材に製作し、不透明な管状部
材であれば、管の長手方向にスリットなどを設け、ジャ
ミングを監視するようにすると良い。
【0016】インデックス機構5は市販のゼネバ機構を
利用したインデックス盤を用いると良い。勿論、ストッ
パとマイクロスイッチの組合せによる安価なインデック
ス機構でも良い。要は割り出し精度が0.3mm以内の
精度をもつインデックス機構であれば充分である。
利用したインデックス盤を用いると良い。勿論、ストッ
パとマイクロスイッチの組合せによる安価なインデック
ス機構でも良い。要は割り出し精度が0.3mm以内の
精度をもつインデックス機構であれば充分である。
【0017】図2は図1の回転ドラムの平面図である。
次に、図1および図2を参照してこの半導体装置の分類
装置の動作を説明する。ここで、回転ドラム1には、図
2に示すように、回転ドラム1の中心から一定の半径の
円弧上に等中心角で8個の穴3a〜3hとし、収納箱6
の位置をそれぞれA〜Hと仮定する。まず、選別されフ
ァネルシュート7から穴ト3aに入った半導体装置15
はGに位置する収納箱6に収納されるものとする。そし
て、測定済みの半導体装置15が穴3aに入った後、回
転ドラム2は一定角度(本例では45°)回転し、穴3
bが位置Aに移動し回転ドラム1の回転が完了する。こ
こで、穴3bに収納された半導体装置が、位置Hに位置
する収納箱6に収納されるべきものとする。回転ドラム
2が一定角度の回転を完了すると穴3aは位置Gに、穴
3bは位置Hに移動している。次に新しい半導体装置の
測定が開始されるわけであるが、この時点で穴3aに収
納されている半導体装置は収納されるべき位置Gに来て
いるので、図1に示すシャッタ2aが開き、クラスシュ
ート4を通ってGの収納箱6に収納される。
次に、図1および図2を参照してこの半導体装置の分類
装置の動作を説明する。ここで、回転ドラム1には、図
2に示すように、回転ドラム1の中心から一定の半径の
円弧上に等中心角で8個の穴3a〜3hとし、収納箱6
の位置をそれぞれA〜Hと仮定する。まず、選別されフ
ァネルシュート7から穴ト3aに入った半導体装置15
はGに位置する収納箱6に収納されるものとする。そし
て、測定済みの半導体装置15が穴3aに入った後、回
転ドラム2は一定角度(本例では45°)回転し、穴3
bが位置Aに移動し回転ドラム1の回転が完了する。こ
こで、穴3bに収納された半導体装置が、位置Hに位置
する収納箱6に収納されるべきものとする。回転ドラム
2が一定角度の回転を完了すると穴3aは位置Gに、穴
3bは位置Hに移動している。次に新しい半導体装置の
測定が開始されるわけであるが、この時点で穴3aに収
納されている半導体装置は収納されるべき位置Gに来て
いるので、図1に示すシャッタ2aが開き、クラスシュ
ート4を通ってGの収納箱6に収納される。
【0018】また、穴3bに入っている半導体装置につ
いても同様に、シャッタ2aが開き、Hの収納箱6に収
納される。このように半導体装置の収納動作は、別の半
導体装置の測定と同時に行われるため、半導体装置の分
類装置の処理速度に影響を及ぼさない。すなわち、1サ
イクルに要する時間は、半導体装置の測定時間をt1,
測定済みの半導体装置が測定部からファンネルシュート
1を経てシャッタ2aまでの通過する時間をt2,回転
ドラムが一定角度回転する時間をt3とすれば、t1+
t2+t3で常に一定となる。このことは、シャッタ2
aから収納箱6に落ち込む時間が無くなり、その分短縮
できることになる。
いても同様に、シャッタ2aが開き、Hの収納箱6に収
納される。このように半導体装置の収納動作は、別の半
導体装置の測定と同時に行われるため、半導体装置の分
類装置の処理速度に影響を及ぼさない。すなわち、1サ
イクルに要する時間は、半導体装置の測定時間をt1,
測定済みの半導体装置が測定部からファンネルシュート
1を経てシャッタ2aまでの通過する時間をt2,回転
ドラムが一定角度回転する時間をt3とすれば、t1+
t2+t3で常に一定となる。このことは、シャッタ2
aから収納箱6に落ち込む時間が無くなり、その分短縮
できることになる。
【0019】図3(a)および(b)は本発明の一実施
例における半導体装置の分類装置を示す斜視図および断
面図である。この半導体装置の分類装置は、図3に示す
ように、時計方向あるいは反時計方向に一ステップ毎に
割出して位置決めする前述の実施例のインデックス機構
と異なり正逆回転が可能で任意に指定された位置で停止
できるインデックス機構5aを設けたことである。
例における半導体装置の分類装置を示す斜視図および断
面図である。この半導体装置の分類装置は、図3に示す
ように、時計方向あるいは反時計方向に一ステップ毎に
割出して位置決めする前述の実施例のインデックス機構
と異なり正逆回転が可能で任意に指定された位置で停止
できるインデックス機構5aを設けたことである。
【0020】このインデックス機構5aは、回転ドラム
1を回転するモータ12と同軸に取付けられるインデッ
クスプレート9と、このインデックスプレート9の切欠
きにはめ込まれ係止し回転ドラム2を停止させるストッ
パ13と、このストッパ13を動作させるアクチュエー
タ14と、モータ12と同軸の歯車対10を介して取付
けられる角度計11で構成されている。
1を回転するモータ12と同軸に取付けられるインデッ
クスプレート9と、このインデックスプレート9の切欠
きにはめ込まれ係止し回転ドラム2を停止させるストッ
パ13と、このストッパ13を動作させるアクチュエー
タ14と、モータ12と同軸の歯車対10を介して取付
けられる角度計11で構成されている。
【0021】また、このインデックス機構5aの動作
は、まず、半導体装置が特性が検査されどの分類に所属
すべきかの信号で穴3の番地が指定される。この穴3の
番地指定によってファンネルシュート7に対面する基準
の穴3の位置から指定の収納箱6上の穴3位置までの回
転角度で回転方向にかかわらず小さい方の回転角度だけ
回転ドラム1を回転するようにする。そして、モータ1
2の回転による回転角度は角度計11によって読み込ま
れ、読み込み角度が指定の回転角度に達すると、モータ
12は停止しストッパ13が突出しインデックスプレー
ト9のV字状切欠きに入り込み回転ドラム1を停止させ
る。このことによって、指定番地の穴3の下に収納箱6
が位置決めされる。
は、まず、半導体装置が特性が検査されどの分類に所属
すべきかの信号で穴3の番地が指定される。この穴3の
番地指定によってファンネルシュート7に対面する基準
の穴3の位置から指定の収納箱6上の穴3位置までの回
転角度で回転方向にかかわらず小さい方の回転角度だけ
回転ドラム1を回転するようにする。そして、モータ1
2の回転による回転角度は角度計11によって読み込ま
れ、読み込み角度が指定の回転角度に達すると、モータ
12は停止しストッパ13が突出しインデックスプレー
ト9のV字状切欠きに入り込み回転ドラム1を停止させ
る。このことによって、指定番地の穴3の下に収納箱6
が位置決めされる。
【0022】図4は半導体装置の特性と分布数を示すグ
ラフ、図5は図3の回転ドラムの平面図である。通常、
半導体装置の特性値による派生数は、例えば、図3に示
すような分布になる。この中で最も分布数の多いのは特
性1である。次に多いのは分布数は特性2および3とな
る。このような分布は生産ロットによっては多少変るが
傾向としては略同じように正規分布となる。
ラフ、図5は図3の回転ドラムの平面図である。通常、
半導体装置の特性値による派生数は、例えば、図3に示
すような分布になる。この中で最も分布数の多いのは特
性1である。次に多いのは分布数は特性2および3とな
る。このような分布は生産ロットによっては多少変るが
傾向としては略同じように正規分布となる。
【0023】そこで、本実施例は、この派生分布を利用
して、分類された半導体装置を収納する収納箱6を予じ
め指定したことである。このことによって回転ドラム1
の回転に費やす時間の短縮を図ったことである。従っ
て、半導体装置の分類数が少ない場合に適用することで
ある。
して、分類された半導体装置を収納する収納箱6を予じ
め指定したことである。このことによって回転ドラム1
の回転に費やす時間の短縮を図ったことである。従っ
て、半導体装置の分類数が少ない場合に適用することで
ある。
【0024】例えば、図5の穴3aの下にある収納箱6
を最も分布数の多い特性1の半導体装置とし、次の特性
2を穴3bの下の収納箱6、さらに、次の特性3を3
c、そして、特性4、特性5、特性6および特性7をそ
れぞれ3d、3e、3fおよび3gの順に予じめ指定す
る。ただし、穴3hの下の収納箱が無いと仮定する。
を最も分布数の多い特性1の半導体装置とし、次の特性
2を穴3bの下の収納箱6、さらに、次の特性3を3
c、そして、特性4、特性5、特性6および特性7をそ
れぞれ3d、3e、3fおよび3gの順に予じめ指定す
る。ただし、穴3hの下の収納箱が無いと仮定する。
【0025】まず、ファンネルシュート7と基準である
穴3aと一致させておく、言い換えれば、この位置が回
転ドラム1の原位置となる。次に、選別装置の特性値が
特性1という検査結果が出たなら、指定収納箱は穴3a
の下にあることが確認される。そして、半導体装置15
はファンネルシュート7から穴3aに落し込まれ一時的
にシャッタ2aで停留する。そして、次の半導体装置の
検査が開始されるとき、シャッタ2aが開き検査済みの
半導体装置は指定の収納箱6に落し込む。
穴3aと一致させておく、言い換えれば、この位置が回
転ドラム1の原位置となる。次に、選別装置の特性値が
特性1という検査結果が出たなら、指定収納箱は穴3a
の下にあることが確認される。そして、半導体装置15
はファンネルシュート7から穴3aに落し込まれ一時的
にシャッタ2aで停留する。そして、次の半導体装置の
検査が開始されるとき、シャッタ2aが開き検査済みの
半導体装置は指定の収納箱6に落し込む。
【0026】次に、次の半導体装置の特性の信号が特性
2であったと仮定すると、回転ドラム1が時計方向に回
転し回転ドラム1の穴3bが原位置に位置決めされる。
位置決めが完了すると、ファンネルシュート7より検査
済みの半導体装置15が落ち込みシャッタ2aで停留さ
れる。次に、回転ドラム1が反時計方向に回転し原位置
に穴3aが位置決めされると同時に穴3bは指定の収納
箱6の上に来る。そしてシャッタ2aが開き検査済みの
半導体装置は穴3bの下にある収納箱6に落ち込み収納
される。このシャッタ機構2の動作と同時に次の半導体
装置の特性検査が行なわれる。
2であったと仮定すると、回転ドラム1が時計方向に回
転し回転ドラム1の穴3bが原位置に位置決めされる。
位置決めが完了すると、ファンネルシュート7より検査
済みの半導体装置15が落ち込みシャッタ2aで停留さ
れる。次に、回転ドラム1が反時計方向に回転し原位置
に穴3aが位置決めされると同時に穴3bは指定の収納
箱6の上に来る。そしてシャッタ2aが開き検査済みの
半導体装置は穴3bの下にある収納箱6に落ち込み収納
される。このシャッタ機構2の動作と同時に次の半導体
装置の特性検査が行なわれる。
【0027】次に、半導体装置の特性が特性5であった
とすると、回転ドラム1が反時計方向に回転し穴3eを
原位置に位置決めする。そして、ファンネルシュート7
より検査済みの半導体装置15を穴3eに落し込みシャ
ッタ2eに停留させる。それと同時に選別装置は次の半
導体装置の特性を検査する。一方回転ドラム1は半導体
装置の停留を確認後に時計方向に回転し原位置に穴3a
を位置決めする。これと同時に必然的に半導体装置の入
った穴3eは指定の収納箱6の上に来る。そして、シャ
ッタ2aが開き半導体装置15は指定の収納箱に納ま
る。
とすると、回転ドラム1が反時計方向に回転し穴3eを
原位置に位置決めする。そして、ファンネルシュート7
より検査済みの半導体装置15を穴3eに落し込みシャ
ッタ2eに停留させる。それと同時に選別装置は次の半
導体装置の特性を検査する。一方回転ドラム1は半導体
装置の停留を確認後に時計方向に回転し原位置に穴3a
を位置決めする。これと同時に必然的に半導体装置の入
った穴3eは指定の収納箱6の上に来る。そして、シャ
ッタ2aが開き半導体装置15は指定の収納箱に納ま
る。
【0028】このように落し込む穴3と収納すべき穴3
の下の収納箱6の間を回転ドラムを無段で往復回転させ
ることによって任意の指定の収納箱6に収納できること
から、前述の実施例のように、一方向に一定角度でステ
ップ状に送り、所定の収納箱位置でシャッタを開いて収
納箱6に収納するのに比べ、回転ドラム1による半導体
装置の送りに要する時間がトータル的に短くて済む。特
に、分類数が少ない場合は有利である。
の下の収納箱6の間を回転ドラムを無段で往復回転させ
ることによって任意の指定の収納箱6に収納できること
から、前述の実施例のように、一方向に一定角度でステ
ップ状に送り、所定の収納箱位置でシャッタを開いて収
納箱6に収納するのに比べ、回転ドラム1による半導体
装置の送りに要する時間がトータル的に短くて済む。特
に、分類数が少ない場合は有利である。
【0029】すなわち、最も分布数の多い特性のものを
収納する収納箱6をファンネルシュート7の下に置き、
派生頻度の少ない順にファンネルシュート7より遠ざか
った位置に指定の収納箱を置けば、回転ドラム1の回転
位置決めに費やす時間がトータル的には短かくなるから
である。また、分類数が少なければ、回転ドラムの回転
角が小さくなり、それに要する時間も短かくなる。
収納する収納箱6をファンネルシュート7の下に置き、
派生頻度の少ない順にファンネルシュート7より遠ざか
った位置に指定の収納箱を置けば、回転ドラム1の回転
位置決めに費やす時間がトータル的には短かくなるから
である。また、分類数が少なければ、回転ドラムの回転
角が小さくなり、それに要する時間も短かくなる。
【0030】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、選別済み
の半導体装置の落し口に面し同一円周上に複数の穴が形
成された回転ドラムと、各穴のそれぞれを独立して開閉
し落ち込む半導体装置を停留させるか落すかを行なうシ
ャッタ機構と、回転ドラムの下部に配置し回転ドラムの
各穴に対応した複数の収納箱と、回転ドラムを回転させ
半導体装置が停留する穴を予じめ指定の収納箱に位置決
めするインデックス機構とを設け、選別済みの半導体装
置の落し込む経路を前記落し口から穴のシャッタ機構ま
での経路とシャッタ機構から収納箱への経路に分割し、
シャッタ機構で一時的に停留する半導体装置が収納箱に
落ち込む時間を選別動作時間内に含ませることによって
全体の処理時間を短縮することができた。
の半導体装置の落し口に面し同一円周上に複数の穴が形
成された回転ドラムと、各穴のそれぞれを独立して開閉
し落ち込む半導体装置を停留させるか落すかを行なうシ
ャッタ機構と、回転ドラムの下部に配置し回転ドラムの
各穴に対応した複数の収納箱と、回転ドラムを回転させ
半導体装置が停留する穴を予じめ指定の収納箱に位置決
めするインデックス機構とを設け、選別済みの半導体装
置の落し込む経路を前記落し口から穴のシャッタ機構ま
での経路とシャッタ機構から収納箱への経路に分割し、
シャッタ機構で一時的に停留する半導体装置が収納箱に
落ち込む時間を選別動作時間内に含ませることによって
全体の処理時間を短縮することができた。
【0031】また、経路が分割されてはいるものの前記
落し口から半導体装置の落し込む経路を短くしたので、
経路途中でジャミングを起すこと無く円滑に収納箱に半
導体装置を納めることができた。さらに、シャッタ機構
より落し込む経路に衝撃を緩和するための傾斜路を設け
ることによって、半導体装置のリードの曲りや樹脂外郭
体の欠けなどの発生が皆無となった。
落し口から半導体装置の落し込む経路を短くしたので、
経路途中でジャミングを起すこと無く円滑に収納箱に半
導体装置を納めることができた。さらに、シャッタ機構
より落し込む経路に衝撃を緩和するための傾斜路を設け
ることによって、半導体装置のリードの曲りや樹脂外郭
体の欠けなどの発生が皆無となった。
【図1】本発明の関連技術における半導体装置の分類装
置の一例を示す斜視図および断面図である。
置の一例を示す斜視図および断面図である。
【図2】図1の回転ドラムの平面図である。
【図3】本発明の一実施例における半導体装置の分類装
置を示す斜視図および断面図である。
置を示す斜視図および断面図である。
【図4】半導体装置の特性と分布数を示すグラフであ
る。
る。
【図5】図3の回転ドラムの平面図である。
【図6】従来の半導体装置の分類装置の一例を示す図で
ある。
ある。
1 回転ドラム 2 シャッタ機構 2a シャッタ 2b ソレノイド 2c ハンマ 2d スプリング 2e,3,3a,3b,3c,3d,3e,3f,3
g,3h 穴 4,20 クラスシュート 5,5a インデックス機構 6 収納箱 7,18 ファンネルシュート 8,12 モータ 9 インデックスプレート 10 歯車対 11 角度計 13 ストッパ 14 アクチュエータ 15 半導体装置 16 ソータパイプ 17 駆動モータ 19 斜めシュート 21 測定部
g,3h 穴 4,20 クラスシュート 5,5a インデックス機構 6 収納箱 7,18 ファンネルシュート 8,12 モータ 9 インデックスプレート 10 歯車対 11 角度計 13 ストッパ 14 アクチュエータ 15 半導体装置 16 ソータパイプ 17 駆動モータ 19 斜めシュート 21 測定部
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01R 31/26 B07C 1/00 - 9/00 H01L 21/64 - 21/66
Claims (1)
- 【請求項1】 選別装置により分布数の異なる複数の特
性別に分類された半導体装置を該特性別に複数の収納箱
にそれぞれ収納する半導体装置の分類装置において、特
性選別後の前記半導体装置が前記選別装置の落し口から
落し込まれる複数の穴が円周上に並べ形成される回転ド
ラムと、落し込まれた前記半導体装置を前記穴の開閉に
よって停留させるか落下させるかするとともに複数の前
記穴のそれぞれに独立して設けられるシャッタ部材と、
前記回転ドラムのそれぞれの前記穴から前記シャッタ部
材が開くことにより落し込まれる前記半導体装置を収納
する分類数に応じた複数の収納箱と、前記回転ドラムを
正逆回転させ前記半導体装置が停留する前記穴を予じめ
指定の収納箱に位置決めするインデックス機構と、分類
された該特性における分布数の最も多い特性に分類され
た前記半導体装置を落し込む前記穴を基準穴と指定する
とともに前記分布数が少なくなるにつれて前記基準穴に
対して時計方向と反時計方向とを交互に遠ざかる位置に
ある前記穴をそれぞれ分類された前記半導体装置を落し
込む穴として指定しかつ前記インデックス機構の動作お
よび前記シャッタの開閉を制御し指定された前記穴に対
応する前記収納箱にそれぞれ分類された前記半導体装置
を収納させる制御手段とを備えることを特徴とする半導
体装置の分類装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6053439A JP2929935B2 (ja) | 1994-03-24 | 1994-03-24 | 半導体装置の分類装置 |
US08/407,663 US5584395A (en) | 1994-03-24 | 1995-03-21 | High speed sorting apparatus for semiconductor device equipped with rotatable sorting drum |
MYPI95000730A MY112449A (en) | 1994-03-24 | 1995-03-23 | High speed sorting apparatus for semiconductor device equipped with rotatable sorting drum |
CN95104529A CN1054783C (zh) | 1994-03-24 | 1995-03-23 | 具有可转动分检鼓轮的半导体器件快速分检装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6053439A JP2929935B2 (ja) | 1994-03-24 | 1994-03-24 | 半導体装置の分類装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07260880A JPH07260880A (ja) | 1995-10-13 |
JP2929935B2 true JP2929935B2 (ja) | 1999-08-03 |
Family
ID=12942890
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6053439A Expired - Lifetime JP2929935B2 (ja) | 1994-03-24 | 1994-03-24 | 半導体装置の分類装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5584395A (ja) |
JP (1) | JP2929935B2 (ja) |
CN (1) | CN1054783C (ja) |
MY (1) | MY112449A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101868615B1 (ko) * | 2016-01-29 | 2018-06-18 | 이석정 | 이형 제품 중량별 분류장치 |
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RU2009102660A (ru) | 2006-06-28 | 2010-08-10 | Монсанто Текнолоджи Ллс (Us) | Установка и способ сортировки мелких предметов |
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1994
- 1994-03-24 JP JP6053439A patent/JP2929935B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-03-21 US US08/407,663 patent/US5584395A/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-03-23 CN CN95104529A patent/CN1054783C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1995-03-23 MY MYPI95000730A patent/MY112449A/en unknown
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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