JP2603209Y2 - 基板搬送装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この考案は、ＣＶＤ装置、スパッ
タリング装置等の基板処理装置へ基板を装入したり取り
出したりするのに用いられる基板搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、スパッタリング装置やＣＶＤ装置
に対する基板搬送システムは、基板をトレイに装着し、
このトレイを前記スパッタリング装置やＣＶＤ装置の周
囲に設置したトレイ搬送機構を介して搬送するように
し、トレイに装着された基板は、トレイと共に、スパッ
タリング装置等の基板処理装置内を通過するようにして
いた。

【０００３】図４は従来装置の一例で、成膜装置５０の
入口５１と出口５２の間で、方向変換機５３、５４、５
５、５６と直線搬送機５７、５８、５９を組合せて基板
を収容したトレイ６０の完結した搬送路が構成されてい
た。

【０００４】前記方向変換機のうち、一つの方向変換機
５５は、基板の脱着部を構成し、該部でトレイ６０に装
着された基板は、直線搬送機５９、方向変換機５６を経
て、成膜装置５０の入口５１を通して、トレイ６０と共
に成膜装置５０内に投入される。成膜装置５０内で処理
された基板はトレイ６０と共に出口５２を通して排出さ
れ、方向変換機５３、直線搬送機５７、方向変換機５
４、直線搬送機５８を経て、基板の脱着部を構成した方
向変換機５５へと搬送され、該部でトレイ６０より基板
が取り出され、別の基板が装着される。

【０００５】図４において６１は成膜装置５０に隣接し
て確保されるメンテナンススペースである。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】前記のような従来の基
板搬送システムは、基板搬送の為の機構の占めるスペー
スが大きい、トレイを介して基板を搬送する際に、方向
変換機や直線搬送機で発生するパーティクルが基板に付
着し易い、メンテナンススペースへの通路が確保できな
い等、幾多の問題点があった。

【０００７】方向変換機や直線搬送機を使用することな
く、基板を装着したトレイを搬送する手段としては、自
走可能な搬送車を用いることが考えられ、これによっ
て、前記の占有スペースの問題や、メンテナンススペー
スへの通路確保の問題を解決できることが見込まれた
が、基板をパーティクルから保護できるものが無く、採
用が困難であった。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この考案は前記の如くの
問題点に鑑みてなされたもので、基板をパーティクルの
汚染から保護できるようにした、自走搬送車による基板
搬送装置を提供することを目的としている。

【０００９】斯る目的のもとになされたこの考案の基板
搬送装置は、基板をトレイ内に装着して搬送するように
した基板搬送装置において、トレイを縦に収容可能とし
た箱体の頂部に、清浄空気送風機を下向きに搭載し、箱
体の底部を有孔板としてトレイ収容体を構成し、このト
レイ収容体を自走搬送車に搭載したことを特徴としてい
る。

【００１０】前記トレイ収容体は、自走搬送車に、昇降
可能かつ旋回可能に搭載して装置を構成することができ
る。又、この収容体を構成した箱体は、対向する二側壁
の一方又は両方に、トレイの通過を可能とした開口部を
設けるようにする。

【００１１】

【作用】この考案の基板搬送装置によれば、基板を装着
したトレイを、トレイ収容体に縦に収容した状態で、自
走搬送車を介して所望の場所へ搬送することができる。
トレイ収容体内は、箱体の頂部から底部へ向けて、清浄
空気送風機による清浄な空気の流れを形成できるので、
基板をパーティクルの付着から保護することができる。

【００１２】

【実施例】以下この考案の実施例を図を参照して説明す
る。

【００１３】図１（ａ）（ｂ）は実施例の基板搬送装置
１で、自走搬送車２にトレイ収容体３を搭載して構成し
てある。トレイ収容体３は自走搬送車２に設置した旋回
ユニット４および昇降ユニット５を介して設置されてお
り、昇降可能および旋回可能としてある。

【００１４】前記トレイ収容体３は図２に示したような
箱体６で構成され、互いに対向する側壁６ａ、６ｂに形
成した縦長方形の開口部７を通して、トレイ８、８を内
部に縦に収容可能としてある。トレイ８、８は図１
（ｂ）に示したようにハンガー９で吊下されており、ハ
ンガー９を箱体６側に設けたトレー搬送ローラ１０、１
０上で走行させることにより、トレー８、８が箱体６へ
出し入れできるようにしてある。

【００１５】前記箱体６の頂部には、清浄空気送風機１
１ａ、１１ｂ、１１ｃが搭載してあると共に、箱体６の
底部はパンチングメタル板１２で構成してあり、清浄空
気送風機１１ａ、１１ｂ、１１ｃから吹出した清浄空気
が、図１（ｂ）の矢示１３のように箱体６の底部へ向っ
て流れ、パンチングメタル板１２を通して外部へ放出さ
れるようにしてある。

【００１６】上記実施例の基板搬送装置１によれば、ト
レイ８に基板（図示していない）を装着した状態で、基
板をトレイ収容体３内に収容して所望の場所へ、搬送す
ることができる。トレイ８に装着した基板に対しては、
清浄空気送風機１１ａ、１１ｂ、１１ｃから吹き出した
清浄空気が吹き付けられ、かつ箱体６内には矢示１３の
如くの清浄空気の流れがある為、開口部７を通して箱体
内にパーティクルが侵入するのを防止すると共に、侵入
したとしても基板表面に付着するのを防止することがで
きる。この為、基板を清浄に保って搬送することができ
る。

【００１７】図３は実施例の基板搬送装置１を用いて構
成した成膜システムである。成膜装置１４の入口１５に
は、方向変換機１６、直線搬送機１７および基板の脱着
部を構成する方向変換機１８による搬送機構が設置して
あり、基板搬送装置１は成膜装置１４の出口１９と基板
の脱着部である方向変換機１８の間を走行するようにし
てある。又、成膜装置１４の外部にはトレイバッファ２
０が設置してあり、清掃の必要が生じたトレイを交換す
る際には、トレイバッファ２０へも走行するようにして
ある。

【００１８】成膜システムをこのように構成することが
可能で、成膜システムの占有するスペースを小さくでき
ると共に、メンテナンススペース２１への通路も問題な
く確保することができる。

【００１９】尚、実施例では箱体６の二側壁に開口部７
を形成したが一側壁のみとすることもできる。又、旋回
ユニット４は、自走搬送車２で旋回動作することも可能
であるので、設置しない場合もある。更に昇降ユニット
５は、トレイの受渡しの高さが全て同一レベルの場合に
は、設置しないで構成することができる。

【００２０】

【考案の効果】この考案によれば、トレイに装着した基
板をパーティクルの汚染から保護できる搬送装置を提供
できる効果がある。この結果、占有スペースの小さい成
膜システムを構成できると共に、成膜装置のメンテナン
ススペースへの通路も確保し、保守・点検等に障害の無
い成膜システムを構成することが可能となる。また昇降
ユニットと旋回ユニットを介してトレイ収容体を搭載し
たので、トレイの受渡し高さ及び方向の如何に拘らず、
容易に受渡しできる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）はこの考案の実施例の正面図、（ｂ）は
同じく一部を破切した側面図である。

【図２】この考案の実施例のトレイ収容体の概略斜視図
である。

【図３】この考案の実施例を用いた成膜システムの平面
図である。

【図４】従来の成膜システムの平面図である。

【符号の説明】

１ 基板搬送装置 ２ 自走搬送車 ３ トレイ収容体 ４ 旋回ユニット ５ 昇降ユニット ６ 箱体 ７ 開口部 ８ トレイ ９ ハンガー １０ トレー搬送ローラ １１ａ、ｂ、ｃ 清浄空気送風機 １２ パンチングメタル

Claims (3)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板をトレイ内に装着して搬送するよう
   にした基板搬送装置において、トレイを縦に収容可能と
   した箱体の頂部に、清浄空気送風機を下向きに搭載し、
   箱体の底部を有孔板としてトレイ収容体を構成し、この
   トレイ収容体を自走搬送車に昇降ユニットを介して搭載
   したことを特徴とする基板搬送装置。
2. 【請求項２】 トレイ収容体は、自走搬送車に、旋回ユ
   ニットを介して搭載したことを特徴とする請求項１記載
   の基板搬送装置。
3. 【請求項３】 トレイ収容体は、箱体の対向する二側壁
   の一方又は両方に、トレイの通過を可能とした開口部が
   設けたことを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。