JP2603209Y2 - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
- Publication number
- JP2603209Y2 JP2603209Y2 JP1993032446U JP3244693U JP2603209Y2 JP 2603209 Y2 JP2603209 Y2 JP 2603209Y2 JP 1993032446 U JP1993032446 U JP 1993032446U JP 3244693 U JP3244693 U JP 3244693U JP 2603209 Y2 JP2603209 Y2 JP 2603209Y2
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- Japan
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- tray
- substrate
- substrate transfer
- box
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】この考案は、CVD装置、スパッ
タリング装置等の基板処理装置へ基板を装入したり取り
出したりするのに用いられる基板搬送装置に関する。
タリング装置等の基板処理装置へ基板を装入したり取り
出したりするのに用いられる基板搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、スパッタリング装置やCVD装置
に対する基板搬送システムは、基板をトレイに装着し、
このトレイを前記スパッタリング装置やCVD装置の周
囲に設置したトレイ搬送機構を介して搬送するように
し、トレイに装着された基板は、トレイと共に、スパッ
タリング装置等の基板処理装置内を通過するようにして
いた。
に対する基板搬送システムは、基板をトレイに装着し、
このトレイを前記スパッタリング装置やCVD装置の周
囲に設置したトレイ搬送機構を介して搬送するように
し、トレイに装着された基板は、トレイと共に、スパッ
タリング装置等の基板処理装置内を通過するようにして
いた。
【0003】図4は従来装置の一例で、成膜装置50の
入口51と出口52の間で、方向変換機53、54、5
5、56と直線搬送機57、58、59を組合せて基板
を収容したトレイ60の完結した搬送路が構成されてい
た。
入口51と出口52の間で、方向変換機53、54、5
5、56と直線搬送機57、58、59を組合せて基板
を収容したトレイ60の完結した搬送路が構成されてい
た。
【0004】前記方向変換機のうち、一つの方向変換機
55は、基板の脱着部を構成し、該部でトレイ60に装
着された基板は、直線搬送機59、方向変換機56を経
て、成膜装置50の入口51を通して、トレイ60と共
に成膜装置50内に投入される。成膜装置50内で処理
された基板はトレイ60と共に出口52を通して排出さ
れ、方向変換機53、直線搬送機57、方向変換機5
4、直線搬送機58を経て、基板の脱着部を構成した方
向変換機55へと搬送され、該部でトレイ60より基板
が取り出され、別の基板が装着される。
55は、基板の脱着部を構成し、該部でトレイ60に装
着された基板は、直線搬送機59、方向変換機56を経
て、成膜装置50の入口51を通して、トレイ60と共
に成膜装置50内に投入される。成膜装置50内で処理
された基板はトレイ60と共に出口52を通して排出さ
れ、方向変換機53、直線搬送機57、方向変換機5
4、直線搬送機58を経て、基板の脱着部を構成した方
向変換機55へと搬送され、該部でトレイ60より基板
が取り出され、別の基板が装着される。
【0005】図4において61は成膜装置50に隣接し
て確保されるメンテナンススペースである。
て確保されるメンテナンススペースである。
【0006】
【考案が解決しようとする課題】前記のような従来の基
板搬送システムは、基板搬送の為の機構の占めるスペー
スが大きい、トレイを介して基板を搬送する際に、方向
変換機や直線搬送機で発生するパーティクルが基板に付
着し易い、メンテナンススペースへの通路が確保できな
い等、幾多の問題点があった。
板搬送システムは、基板搬送の為の機構の占めるスペー
スが大きい、トレイを介して基板を搬送する際に、方向
変換機や直線搬送機で発生するパーティクルが基板に付
着し易い、メンテナンススペースへの通路が確保できな
い等、幾多の問題点があった。
【0007】方向変換機や直線搬送機を使用することな
く、基板を装着したトレイを搬送する手段としては、自
走可能な搬送車を用いることが考えられ、これによっ
て、前記の占有スペースの問題や、メンテナンススペー
スへの通路確保の問題を解決できることが見込まれた
が、基板をパーティクルから保護できるものが無く、採
用が困難であった。
く、基板を装着したトレイを搬送する手段としては、自
走可能な搬送車を用いることが考えられ、これによっ
て、前記の占有スペースの問題や、メンテナンススペー
スへの通路確保の問題を解決できることが見込まれた
が、基板をパーティクルから保護できるものが無く、採
用が困難であった。
【0008】
【課題を解決するための手段】この考案は前記の如くの
問題点に鑑みてなされたもので、基板をパーティクルの
汚染から保護できるようにした、自走搬送車による基板
搬送装置を提供することを目的としている。
問題点に鑑みてなされたもので、基板をパーティクルの
汚染から保護できるようにした、自走搬送車による基板
搬送装置を提供することを目的としている。
【0009】斯る目的のもとになされたこの考案の基板
搬送装置は、基板をトレイ内に装着して搬送するように
した基板搬送装置において、トレイを縦に収容可能とし
た箱体の頂部に、清浄空気送風機を下向きに搭載し、箱
体の底部を有孔板としてトレイ収容体を構成し、このト
レイ収容体を自走搬送車に搭載したことを特徴としてい
る。
搬送装置は、基板をトレイ内に装着して搬送するように
した基板搬送装置において、トレイを縦に収容可能とし
た箱体の頂部に、清浄空気送風機を下向きに搭載し、箱
体の底部を有孔板としてトレイ収容体を構成し、このト
レイ収容体を自走搬送車に搭載したことを特徴としてい
る。
【0010】前記トレイ収容体は、自走搬送車に、昇降
可能かつ旋回可能に搭載して装置を構成することができ
る。又、この収容体を構成した箱体は、対向する二側壁
の一方又は両方に、トレイの通過を可能とした開口部を
設けるようにする。
可能かつ旋回可能に搭載して装置を構成することができ
る。又、この収容体を構成した箱体は、対向する二側壁
の一方又は両方に、トレイの通過を可能とした開口部を
設けるようにする。
【0011】
【作用】この考案の基板搬送装置によれば、基板を装着
したトレイを、トレイ収容体に縦に収容した状態で、自
走搬送車を介して所望の場所へ搬送することができる。
トレイ収容体内は、箱体の頂部から底部へ向けて、清浄
空気送風機による清浄な空気の流れを形成できるので、
基板をパーティクルの付着から保護することができる。
したトレイを、トレイ収容体に縦に収容した状態で、自
走搬送車を介して所望の場所へ搬送することができる。
トレイ収容体内は、箱体の頂部から底部へ向けて、清浄
空気送風機による清浄な空気の流れを形成できるので、
基板をパーティクルの付着から保護することができる。
【0012】
【実施例】以下この考案の実施例を図を参照して説明す
る。
る。
【0013】図1(a)(b)は実施例の基板搬送装置
1で、自走搬送車2にトレイ収容体3を搭載して構成し
てある。トレイ収容体3は自走搬送車2に設置した旋回
ユニット4および昇降ユニット5を介して設置されてお
り、昇降可能および旋回可能としてある。
1で、自走搬送車2にトレイ収容体3を搭載して構成し
てある。トレイ収容体3は自走搬送車2に設置した旋回
ユニット4および昇降ユニット5を介して設置されてお
り、昇降可能および旋回可能としてある。
【0014】前記トレイ収容体3は図2に示したような
箱体6で構成され、互いに対向する側壁6a、6bに形
成した縦長方形の開口部7を通して、トレイ8、8を内
部に縦に収容可能としてある。トレイ8、8は図1
(b)に示したようにハンガー9で吊下されており、ハ
ンガー9を箱体6側に設けたトレー搬送ローラ10、1
0上で走行させることにより、トレー8、8が箱体6へ
出し入れできるようにしてある。
箱体6で構成され、互いに対向する側壁6a、6bに形
成した縦長方形の開口部7を通して、トレイ8、8を内
部に縦に収容可能としてある。トレイ8、8は図1
(b)に示したようにハンガー9で吊下されており、ハ
ンガー9を箱体6側に設けたトレー搬送ローラ10、1
0上で走行させることにより、トレー8、8が箱体6へ
出し入れできるようにしてある。
【0015】前記箱体6の頂部には、清浄空気送風機1
1a、11b、11cが搭載してあると共に、箱体6の
底部はパンチングメタル板12で構成してあり、清浄空
気送風機11a、11b、11cから吹出した清浄空気
が、図1(b)の矢示13のように箱体6の底部へ向っ
て流れ、パンチングメタル板12を通して外部へ放出さ
れるようにしてある。
1a、11b、11cが搭載してあると共に、箱体6の
底部はパンチングメタル板12で構成してあり、清浄空
気送風機11a、11b、11cから吹出した清浄空気
が、図1(b)の矢示13のように箱体6の底部へ向っ
て流れ、パンチングメタル板12を通して外部へ放出さ
れるようにしてある。
【0016】上記実施例の基板搬送装置1によれば、ト
レイ8に基板(図示していない)を装着した状態で、基
板をトレイ収容体3内に収容して所望の場所へ、搬送す
ることができる。トレイ8に装着した基板に対しては、
清浄空気送風機11a、11b、11cから吹き出した
清浄空気が吹き付けられ、かつ箱体6内には矢示13の
如くの清浄空気の流れがある為、開口部7を通して箱体
内にパーティクルが侵入するのを防止すると共に、侵入
したとしても基板表面に付着するのを防止することがで
きる。この為、基板を清浄に保って搬送することができ
る。
レイ8に基板(図示していない)を装着した状態で、基
板をトレイ収容体3内に収容して所望の場所へ、搬送す
ることができる。トレイ8に装着した基板に対しては、
清浄空気送風機11a、11b、11cから吹き出した
清浄空気が吹き付けられ、かつ箱体6内には矢示13の
如くの清浄空気の流れがある為、開口部7を通して箱体
内にパーティクルが侵入するのを防止すると共に、侵入
したとしても基板表面に付着するのを防止することがで
きる。この為、基板を清浄に保って搬送することができ
る。
【0017】図3は実施例の基板搬送装置1を用いて構
成した成膜システムである。成膜装置14の入口15に
は、方向変換機16、直線搬送機17および基板の脱着
部を構成する方向変換機18による搬送機構が設置して
あり、基板搬送装置1は成膜装置14の出口19と基板
の脱着部である方向変換機18の間を走行するようにし
てある。又、成膜装置14の外部にはトレイバッファ2
0が設置してあり、清掃の必要が生じたトレイを交換す
る際には、トレイバッファ20へも走行するようにして
ある。
成した成膜システムである。成膜装置14の入口15に
は、方向変換機16、直線搬送機17および基板の脱着
部を構成する方向変換機18による搬送機構が設置して
あり、基板搬送装置1は成膜装置14の出口19と基板
の脱着部である方向変換機18の間を走行するようにし
てある。又、成膜装置14の外部にはトレイバッファ2
0が設置してあり、清掃の必要が生じたトレイを交換す
る際には、トレイバッファ20へも走行するようにして
ある。
【0018】成膜システムをこのように構成することが
可能で、成膜システムの占有するスペースを小さくでき
ると共に、メンテナンススペース21への通路も問題な
く確保することができる。
可能で、成膜システムの占有するスペースを小さくでき
ると共に、メンテナンススペース21への通路も問題な
く確保することができる。
【0019】尚、実施例では箱体6の二側壁に開口部7
を形成したが一側壁のみとすることもできる。又、旋回
ユニット4は、自走搬送車2で旋回動作することも可能
であるので、設置しない場合もある。更に昇降ユニット
5は、トレイの受渡しの高さが全て同一レベルの場合に
は、設置しないで構成することができる。
を形成したが一側壁のみとすることもできる。又、旋回
ユニット4は、自走搬送車2で旋回動作することも可能
であるので、設置しない場合もある。更に昇降ユニット
5は、トレイの受渡しの高さが全て同一レベルの場合に
は、設置しないで構成することができる。
【0020】
【考案の効果】この考案によれば、トレイに装着した基
板をパーティクルの汚染から保護できる搬送装置を提供
できる効果がある。この結果、占有スペースの小さい成
膜システムを構成できると共に、成膜装置のメンテナン
ススペースへの通路も確保し、保守・点検等に障害の無
い成膜システムを構成することが可能となる。また昇降
ユニットと旋回ユニットを介してトレイ収容体を搭載し
たので、トレイの受渡し高さ及び方向の如何に拘らず、
容易に受渡しできる効果がある。
板をパーティクルの汚染から保護できる搬送装置を提供
できる効果がある。この結果、占有スペースの小さい成
膜システムを構成できると共に、成膜装置のメンテナン
ススペースへの通路も確保し、保守・点検等に障害の無
い成膜システムを構成することが可能となる。また昇降
ユニットと旋回ユニットを介してトレイ収容体を搭載し
たので、トレイの受渡し高さ及び方向の如何に拘らず、
容易に受渡しできる効果がある。
【図1】(a)はこの考案の実施例の正面図、(b)は
同じく一部を破切した側面図である。
同じく一部を破切した側面図である。
【図2】この考案の実施例のトレイ収容体の概略斜視図
である。
である。
【図3】この考案の実施例を用いた成膜システムの平面
図である。
図である。
【図4】従来の成膜システムの平面図である。
1 基板搬送装置 2 自走搬送車 3 トレイ収容体 4 旋回ユニット 5 昇降ユニット 6 箱体 7 開口部 8 トレイ 9 ハンガー 10 トレー搬送ローラ 11a、b、c 清浄空気送風機 12 パンチングメタル
Claims (3)
- 【請求項1】 基板をトレイ内に装着して搬送するよう
にした基板搬送装置において、トレイを縦に収容可能と
した箱体の頂部に、清浄空気送風機を下向きに搭載し、
箱体の底部を有孔板としてトレイ収容体を構成し、この
トレイ収容体を自走搬送車に昇降ユニットを介して搭載
したことを特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項2】 トレイ収容体は、自走搬送車に、旋回ユ
ニットを介して搭載したことを特徴とする請求項1記載
の基板搬送装置。 - 【請求項3】 トレイ収容体は、箱体の対向する二側壁
の一方又は両方に、トレイの通過を可能とした開口部が
設けたことを特徴とする請求項1記載の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993032446U JP2603209Y2 (ja) | 1993-06-16 | 1993-06-16 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993032446U JP2603209Y2 (ja) | 1993-06-16 | 1993-06-16 | 基板搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH072463U JPH072463U (ja) | 1995-01-13 |
JP2603209Y2 true JP2603209Y2 (ja) | 2000-03-06 |
Family
ID=12359197
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1993032446U Expired - Lifetime JP2603209Y2 (ja) | 1993-06-16 | 1993-06-16 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2603209Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006043343A1 (ja) * | 2004-10-22 | 2006-04-27 | Showa Shinku Co., Ltd. | 薄膜形成装置及びその方法 |
-
1993
- 1993-06-16 JP JP1993032446U patent/JP2603209Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006043343A1 (ja) * | 2004-10-22 | 2006-04-27 | Showa Shinku Co., Ltd. | 薄膜形成装置及びその方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH072463U (ja) | 1995-01-13 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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