JP2515437B2 - 誘電体磁器の製造方法 - Google Patents
誘電体磁器の製造方法Info
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- JP2515437B2 JP2515437B2 JP3034832A JP3483291A JP2515437B2 JP 2515437 B2 JP2515437 B2 JP 2515437B2 JP 3034832 A JP3034832 A JP 3034832A JP 3483291 A JP3483291 A JP 3483291A JP 2515437 B2 JP2515437 B2 JP 2515437B2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、例えばUHF帯域の
発振周波数を電圧値制御により自在に発振することが可
能な電圧制御発振器(VCO)、移動無線通信機または
マイクロ波回路の集積化等の高周波回路に使用される誘
電体共振器に好適な誘電体磁器の製造方法に関し、さら
に詳細には、良好な電磁界分布を得ることにより無負荷
Q値の向上を図り、誘電体共振器等を高性能且つ高品質
とするとともに、該誘電体共振器等の共振周波数を調整
するための研削加工を効率的且つ低コストにて行うこと
のできる誘電体磁器の製造方法に関するものである。
発振周波数を電圧値制御により自在に発振することが可
能な電圧制御発振器(VCO)、移動無線通信機または
マイクロ波回路の集積化等の高周波回路に使用される誘
電体共振器に好適な誘電体磁器の製造方法に関し、さら
に詳細には、良好な電磁界分布を得ることにより無負荷
Q値の向上を図り、誘電体共振器等を高性能且つ高品質
とするとともに、該誘電体共振器等の共振周波数を調整
するための研削加工を効率的且つ低コストにて行うこと
のできる誘電体磁器の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年の高度通信化時代を反映して通信形
態も多様化の様相を呈しており、殊に移動無線通信機た
る自動車電話等に代表される高周波通信網の発達並びに
構築が切望されている。
態も多様化の様相を呈しており、殊に移動無線通信機た
る自動車電話等に代表される高周波通信網の発達並びに
構築が切望されている。
【0003】該高周波通信に関しては、現在の一般的な
周波数帯域区分がほぼ限界であることより、例えば周波
数30〜300MHZ (VHF)または300〜300
0MHZ (UHF)或いはそれ以上の周波数帯域が充当
される傾向にある。
周波数帯域区分がほぼ限界であることより、例えば周波
数30〜300MHZ (VHF)または300〜300
0MHZ (UHF)或いはそれ以上の周波数帯域が充当
される傾向にある。
【0004】これにともない、従来の通信機器等に適用
されている電子回路仕様とは異なる高周波帯域であるこ
とに起因する高周波設計仕様等の付加が必要とされてい
る。
されている電子回路仕様とは異なる高周波帯域であるこ
とに起因する高周波設計仕様等の付加が必要とされてい
る。
【0005】なかでも、該高周波数帯域における周波数
を発振する高周波発振回路の役割は重要となっている。
を発振する高周波発振回路の役割は重要となっている。
【0006】該高周波発振回路の代表的なものの一つと
して、電圧値を制御することにより自在に高周波数を発
振することが可能な電圧制御発振器を挙げるこことがで
きる。
して、電圧値を制御することにより自在に高周波数を発
振することが可能な電圧制御発振器を挙げるこことがで
きる。
【0007】電圧制御発振器における発振周波数の発振
源としては、水晶振動子の圧電振動を利用した水晶発振
器或いは誘電成分と誘導成分との共振を利用した共振発
振器等があるが、このうち共振発振器には、誘電体材料
の高誘電率、低損失及び温度安定性等の特長を利用した
誘電体共振器の適用頻度が高くなっている。
源としては、水晶振動子の圧電振動を利用した水晶発振
器或いは誘電成分と誘導成分との共振を利用した共振発
振器等があるが、このうち共振発振器には、誘電体材料
の高誘電率、低損失及び温度安定性等の特長を利用した
誘電体共振器の適用頻度が高くなっている。
【0008】該誘電体共振器の主要部を成す誘電体材料
には、各種金属酸化物を所定の組成比に混合並びに焼成
を行うことにより生成される誘電体磁器が一般に適用さ
れており、該誘電体磁器の従来例並びに製造方法を以下
に記述する。
には、各種金属酸化物を所定の組成比に混合並びに焼成
を行うことにより生成される誘電体磁器が一般に適用さ
れており、該誘電体磁器の従来例並びに製造方法を以下
に記述する。
【0009】例えば、BaCO3、TiO2 、NdO3
及びBi2O3 等の各金属酸化物及び炭酸塩は、所定の
組成比に秤量され、混合され、例えば円柱形状に成型さ
れ、さらに所定の焼成温度において焼成されることによ
り焼結体が形成される。
及びBi2O3 等の各金属酸化物及び炭酸塩は、所定の
組成比に秤量され、混合され、例えば円柱形状に成型さ
れ、さらに所定の焼成温度において焼成されることによ
り焼結体が形成される。
【0010】なお、この状態であっても上記組成よりな
る焼結体は、誘電体磁器としての効を奏することができ
るが、本明細書においては製造過程における誘電体磁器
との判別を明確にするために焼結体と称する。
る焼結体は、誘電体磁器としての効を奏することができ
るが、本明細書においては製造過程における誘電体磁器
との判別を明確にするために焼結体と称する。
【0011】前記焼結体の形状寸法は、所望する高周波
数値に係わる共振周波数等に起因して決定されるもので
ある。
数値に係わる共振周波数等に起因して決定されるもので
ある。
【0012】然しながら、該焼結体の形状は、前記焼成
過程における各種要因により焼結収縮が不均一となり、
このままの状態で誘電体磁器として用いた場合、実際の
共振周波数が所望の共振周波数値から変遷する現象を回
避することは困難である。
過程における各種要因により焼結収縮が不均一となり、
このままの状態で誘電体磁器として用いた場合、実際の
共振周波数が所望の共振周波数値から変遷する現象を回
避することは困難である。
【0013】さらに、誘電体磁器の無負荷Qは、誘電体
磁器の周囲における電磁界分布を決定する主要因となる
該誘電体磁器の形状並びに表面の平滑度により左右され
ている。
磁器の周囲における電磁界分布を決定する主要因となる
該誘電体磁器の形状並びに表面の平滑度により左右され
ている。
【0014】上記のような理由により、前記円柱形状を
有する焼結体は、その底面及び外周面等の表面を適当な
外寸法を有するように、例えば砥石等による研削加工を
行い、誘電体磁器として所望の共振周波数並びに無負荷
Q等を得取している。
有する焼結体は、その底面及び外周面等の表面を適当な
外寸法を有するように、例えば砥石等による研削加工を
行い、誘電体磁器として所望の共振周波数並びに無負荷
Q等を得取している。
【0015】なお、本明細書においては、前記研削加工
等により所定特性が供与された焼結体を誘電体磁器と称
することとし、前記誘電体共振器の主機能は該誘電体磁
器が担任している。
等により所定特性が供与された焼結体を誘電体磁器と称
することとし、前記誘電体共振器の主機能は該誘電体磁
器が担任している。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の誘電体磁器
の製造方法によれば、焼結体の表面を研削加工すること
により、誘電体磁器を主構成要素とする誘電体共振器の
共振周波数を所望する値へ調整繰込を行っているが、該
誘電体共振器の特性を決定する無負荷Qは、該研削加工
が行われた加工面における電磁界分布に依存するため、
前記研削加工による加工面の平滑度が粗状態であると高
値の無負荷Qを得取することが不可能となる反面、高精
度の研磨加工を行い良好な電磁界分布を得取しようとす
ると、該研磨加工の効率が極めて悪化するとともにコス
トが高騰するという問題点があった。
の製造方法によれば、焼結体の表面を研削加工すること
により、誘電体磁器を主構成要素とする誘電体共振器の
共振周波数を所望する値へ調整繰込を行っているが、該
誘電体共振器の特性を決定する無負荷Qは、該研削加工
が行われた加工面における電磁界分布に依存するため、
前記研削加工による加工面の平滑度が粗状態であると高
値の無負荷Qを得取することが不可能となる反面、高精
度の研磨加工を行い良好な電磁界分布を得取しようとす
ると、該研磨加工の効率が極めて悪化するとともにコス
トが高騰するという問題点があった。
【0017】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、良好な電磁界分布を得ることにより無負荷Q値
の向上を図り、誘電体共振器等を高性能且つ高品質とす
るとともに、該誘電体共振器等の共振周波数を調整する
ための研削加工を効率的且つ低コストにて行うことので
きる誘電体磁器の製造方法を提供するものである。
であり、良好な電磁界分布を得ることにより無負荷Q値
の向上を図り、誘電体共振器等を高性能且つ高品質とす
るとともに、該誘電体共振器等の共振周波数を調整する
ための研削加工を効率的且つ低コストにて行うことので
きる誘電体磁器の製造方法を提供するものである。
【0018】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、BaO−TiO2−Nd2O3−Bi2O
3 系焼結体を準備する工程と、該焼結体の表面を研削加
工する工程と、該研削加工が行われた焼結体を焼結開始
温度よりも高く焼成温度よりも低い温度にて熱処理を施
して研削面を活性化して平滑にする工程と、を有するこ
とにより、上記目的を達成するものである。
に、この発明は、BaO−TiO2−Nd2O3−Bi2O
3 系焼結体を準備する工程と、該焼結体の表面を研削加
工する工程と、該研削加工が行われた焼結体を焼結開始
温度よりも高く焼成温度よりも低い温度にて熱処理を施
して研削面を活性化して平滑にする工程と、を有するこ
とにより、上記目的を達成するものである。
【0019】
【作用】本発明においては、BaO−TiO2−Nd2O
3−Bi2O3 系焼結体を準備し、該焼結体の表面を研削
加工し、該研削加工が行われた後に、焼結体を焼結開始
温度よりも高く焼成温度よりも低い温度にて熱処理を施
す工程が行われることにより、前記焼結体の検索加工し
た研削面が研削による粗状態から、熱処理による粒子表
面の活性化の発現により、該研削面に相当する粒子表面
が平滑化され、該誘電体磁器の表面形状に関係する電磁
界分布が良好となり、従って無負荷Q値を向上すること
が可能となる。
3−Bi2O3 系焼結体を準備し、該焼結体の表面を研削
加工し、該研削加工が行われた後に、焼結体を焼結開始
温度よりも高く焼成温度よりも低い温度にて熱処理を施
す工程が行われることにより、前記焼結体の検索加工し
た研削面が研削による粗状態から、熱処理による粒子表
面の活性化の発現により、該研削面に相当する粒子表面
が平滑化され、該誘電体磁器の表面形状に関係する電磁
界分布が良好となり、従って無負荷Q値を向上すること
が可能となる。
【0020】また、上記熱処理工程は、高精度の研磨加
工に比較して極めて容易に行うことができるため、高精
度な研磨加工という煩雑な工程を踏襲することなく、高
効率且つ低コストにて誘電体共振器に適用される誘電体
磁器を形成することができる。
工に比較して極めて容易に行うことができるため、高精
度な研磨加工という煩雑な工程を踏襲することなく、高
効率且つ低コストにて誘電体共振器に適用される誘電体
磁器を形成することができる。
【0021】
【実施例】本発明の実施例を、図面に基いて詳細に説明
する。
する。
【0022】図1は本発明に係わる誘電体磁器の製造方
法における各工程の実施例を示すフローチャート、表1
は同実施例における誘電体磁器の製造方法に適用される
各種材料の組成比率を示す表、表2は同実施例における
各種組成分率にて組成焼成された試料番号毎の焼結体の
研削加工後または熱処理後の比誘電率εr 及び無負荷Q
を示す表、表3は同実施例における各種組成分率にて組
成焼成された焼結体を各種熱処理温度にて熱処理を行っ
た場合の比誘電率εr 及び無負荷Qを示す表である。
法における各工程の実施例を示すフローチャート、表1
は同実施例における誘電体磁器の製造方法に適用される
各種材料の組成比率を示す表、表2は同実施例における
各種組成分率にて組成焼成された試料番号毎の焼結体の
研削加工後または熱処理後の比誘電率εr 及び無負荷Q
を示す表、表3は同実施例における各種組成分率にて組
成焼成された焼結体を各種熱処理温度にて熱処理を行っ
た場合の比誘電率εr 及び無負荷Qを示す表である。
【0023】本発明に係わる誘電体磁器の製造方法の実
施例を、図1を参照することにより説明する。
施例を、図1を参照することにより説明する。
【0024】出発原料として、 BaCO3,TiO2,
Nd2O3,Bi2O3 等の材料粉末を、組成比秤量工程
10にて所定の組成比に秤量し、湿式混合工程11並び
に第1脱水・乾燥工程12を経て、仮焼成工程13にて
1100℃の仮焼成を行い、得られた仮焼粉末に湿式粉
砕工程14並びに第2脱水・乾燥工程15を経て、添加
造粒工程16にてバインダを添加することにより造粒
し、所定の形状に成型し、一担800℃で脱脂した後、
本焼成工程17にて約1260℃で2時間の焼成を行い
焼結体を形成し、該焼結体の表面を研削加工工程18に
て研削加工し、さらに熱処理工程19にて所定の温度で
熱処理を行うことにより誘電体磁器が形成される。
Nd2O3,Bi2O3 等の材料粉末を、組成比秤量工程
10にて所定の組成比に秤量し、湿式混合工程11並び
に第1脱水・乾燥工程12を経て、仮焼成工程13にて
1100℃の仮焼成を行い、得られた仮焼粉末に湿式粉
砕工程14並びに第2脱水・乾燥工程15を経て、添加
造粒工程16にてバインダを添加することにより造粒
し、所定の形状に成型し、一担800℃で脱脂した後、
本焼成工程17にて約1260℃で2時間の焼成を行い
焼結体を形成し、該焼結体の表面を研削加工工程18に
て研削加工し、さらに熱処理工程19にて所定の温度で
熱処理を行うことにより誘電体磁器が形成される。
【0025】(第1工程)組成比秤量工程10は、前記
出発原料を、下記の表1に示すように試料番号1の如く
モル百分率〔mol%〕 による組成比に秤量している。
出発原料を、下記の表1に示すように試料番号1の如く
モル百分率〔mol%〕 による組成比に秤量している。
【0026】
【表1】
【0027】(第2工程)湿式混合工程11は、前記試
料番号1の出発原料に、水を加えてボールミルで15時
間湿式混合を行う。
料番号1の出発原料に、水を加えてボールミルで15時
間湿式混合を行う。
【0028】(第3工程)第1脱水・乾燥工程12は、
湿式混合された各材料を、フィルタプレス等により濾過
し固形分を分離するとともに、得られた脱脂ケーキを、
さらに電気乾燥炉等を使用して100℃程で含水率1〜
2%程に乾燥する。
湿式混合された各材料を、フィルタプレス等により濾過
し固形分を分離するとともに、得られた脱脂ケーキを、
さらに電気乾燥炉等を使用して100℃程で含水率1〜
2%程に乾燥する。
【0029】(第4工程)仮焼成工程13は、前記脱水
並びに乾燥が行われた試料を解砕した後、電気焼成炉等
を使用して、1100℃程にて仮焼成を行う。
並びに乾燥が行われた試料を解砕した後、電気焼成炉等
を使用して、1100℃程にて仮焼成を行う。
【0030】(第5工程)湿式粉砕工程14は、前記仮
焼成工程13で得られた仮焼済粉末に水を加えてボール
ミルで湿式撹袢し微粒子状に粉砕を行う。
焼成工程13で得られた仮焼済粉末に水を加えてボール
ミルで湿式撹袢し微粒子状に粉砕を行う。
【0031】(第6工程)第2脱水・乾燥工程15は、
前記工程により湿式粉砕されたものを、フィルタプレス
等により濾過して固形分を分離し、さらに電気乾燥炉等
を使用して100℃程で乾燥を行い、前記所定の組成比
を有する微粉末を形成する。
前記工程により湿式粉砕されたものを、フィルタプレス
等により濾過して固形分を分離し、さらに電気乾燥炉等
を使用して100℃程で乾燥を行い、前記所定の組成比
を有する微粉末を形成する。
【0032】(第7工程)添加造粒工程16は、前記工
程における微粉末にポリビニルアルコール等の有機系の
バインダを添加し造粒を行い、さらに単発プレス等を使
用することにより直径12.5mm、厚さ6mmの寸法の円
柱状に加圧成型して成型体を形成する。
程における微粉末にポリビニルアルコール等の有機系の
バインダを添加し造粒を行い、さらに単発プレス等を使
用することにより直径12.5mm、厚さ6mmの寸法の円
柱状に加圧成型して成型体を形成する。
【0033】(第8工程)本焼成工程17は、前記成型
体試料を、電気焼成炉等を使用して、1260℃程で2
時間程の焼成を行う。
体試料を、電気焼成炉等を使用して、1260℃程で2
時間程の焼成を行う。
【0034】本工程により、表1に示される組成比率を
有する焼結体が得られる。
有する焼結体が得られる。
【0035】(第9工程)研削加工工程18は、前記円
柱状の焼結体が誘電体共振器として所望の共振周波数を
得取するように、外周面及び底面を例えば平面研削盤或
いはセンタレス研摩機等により研削加工を行う。
柱状の焼結体が誘電体共振器として所望の共振周波数を
得取するように、外周面及び底面を例えば平面研削盤或
いはセンタレス研摩機等により研削加工を行う。
【0036】本工程により、研削加工が行われた焼結体
が得られる。
が得られる。
【0037】(第10工程)熱処理工程19は、前記研
削加工が行われたものに、電気加熱炉等を使用して、所
定の温度で熱処理を行う。
削加工が行われたものに、電気加熱炉等を使用して、所
定の温度で熱処理を行う。
【0038】本工程における熱処理温度は、前記出発原
料の構成種類及び組成比率等により決定される本焼成工
程17における焼成温度より低温であり、且つ該出発原
料の焼結反応開始温度より高温である必要がある。
料の構成種類及び組成比率等により決定される本焼成工
程17における焼成温度より低温であり、且つ該出発原
料の焼結反応開始温度より高温である必要がある。
【0039】即ち、1260℃よりも低く、焼結反応開
始温度約1150℃よりも高い温度で熱処理する。
始温度約1150℃よりも高い温度で熱処理する。
【0040】また、熱処理時間には特に制限はないが、
作業性等を考えると2時間程度が好ましい。
作業性等を考えると2時間程度が好ましい。
【0041】本工程により、前記試料番号1に相当する
焼結体に熱処理が施された誘電体磁器が得られる。
焼結体に熱処理が施された誘電体磁器が得られる。
【0042】上記のようにして得られた焼結体と、該焼
結体に熱処理が施された誘電体磁器とに就いて、比誘電
率εr 及び無負荷Qを下記に記述する方法により測定し
た対比結果を下記の表2に示している。
結体に熱処理が施された誘電体磁器とに就いて、比誘電
率εr 及び無負荷Qを下記に記述する方法により測定し
た対比結果を下記の表2に示している。
【0043】
【表2】
【0044】前記比誘電率εr 及び無負荷Qは、マイク
ロ波における誘電特性を計測するための誘電体共振器法
により測定した。
ロ波における誘電特性を計測するための誘電体共振器法
により測定した。
【0045】該誘電体共振器法は、前記焼結体及び誘電
体磁器を一対の銅板により挟装し、ネットワークアナラ
イザにより4GHZ の周波数を印加する透過法にて測定
するものである。
体磁器を一対の銅板により挟装し、ネットワークアナラ
イザにより4GHZ の周波数を印加する透過法にて測定
するものである。
【0046】前記誘電体共振器法に則って比誘電率εr
は、各試料におけるTE011モードにおける共振周波
数fO を計測し、該試料寸法を勘案して算出した。
は、各試料におけるTE011モードにおける共振周波
数fO を計測し、該試料寸法を勘案して算出した。
【0047】また、無負荷Qは、前記共振周波数fO
と、該共振周波数fO におけるピーク値から3dB降下
の周波数を計測し算出した。
と、該共振周波数fO におけるピーク値から3dB降下
の周波数を計測し算出した。
【0048】従って、表2を参照しても明解なように、
比誘電率εr は熱処理工程19を経ることにより略不変
であるが、無負荷Qにおいては230程の上昇が発現し
ている。
比誘電率εr は熱処理工程19を経ることにより略不変
であるが、無負荷Qにおいては230程の上昇が発現し
ている。
【0049】即ち、前記熱処理工程19が、研削加工工
程18が行われた焼結体に施されると、該研削加工によ
り焼結体の研削面における焼結粒子に形成された粗削部
に、該熱処理工程19による加熱による活性化が発現し
該粒子表面が平滑化される。
程18が行われた焼結体に施されると、該研削加工によ
り焼結体の研削面における焼結粒子に形成された粗削部
に、該熱処理工程19による加熱による活性化が発現し
該粒子表面が平滑化される。
【0050】これにともない、前記TE011モードの
電磁界分布が良好となり、該電磁界分布及び誘電体磁器
の形状に影響される無負荷Qが、熱処理工程19が施さ
れる以前の焼結体のそれに比較して向上されるのであ
る。
電磁界分布が良好となり、該電磁界分布及び誘電体磁器
の形状に影響される無負荷Qが、熱処理工程19が施さ
れる以前の焼結体のそれに比較して向上されるのであ
る。
【0051】この際、前記熱処理工程19における加熱
温度は、該誘電体磁器を構成する組成に依存しており、
焼結反応開始温度から焼結温度までの範囲に設定される
ことが必要であるが、この状況を下記の表3を参照する
ことにより説明する。
温度は、該誘電体磁器を構成する組成に依存しており、
焼結反応開始温度から焼結温度までの範囲に設定される
ことが必要であるが、この状況を下記の表3を参照する
ことにより説明する。
【0052】表3は、表1における試料番号1に相当す
る組成比にて五つの試料を制作し、前記熱処理工程19
における加熱温度を1100℃〜1280℃の範囲で段
階的に増加させた場合の比誘電率εr 及び無負荷Qを比
較したものである。
る組成比にて五つの試料を制作し、前記熱処理工程19
における加熱温度を1100℃〜1280℃の範囲で段
階的に増加させた場合の比誘電率εr 及び無負荷Qを比
較したものである。
【0053】
【表3】
【0054】これによると、無負荷Qは、熱処理温度が
高くなるにつれて増加し、1200℃付近で最大とな
り、さらに温度が高くなると減少しはじめる傾向にあ
る。
高くなるにつれて増加し、1200℃付近で最大とな
り、さらに温度が高くなると減少しはじめる傾向にあ
る。
【0055】即ち、前記熱処理工程19における加熱温
度は、略1200℃が最適温度であり、殊に前記本焼成
工程17における焼成温度である1260℃を超過する
加熱温度にて熱処理を施すと、無負荷Qの向上が図れな
いばかりか逆に低下を招く恐れがある。
度は、略1200℃が最適温度であり、殊に前記本焼成
工程17における焼成温度である1260℃を超過する
加熱温度にて熱処理を施すと、無負荷Qの向上が図れな
いばかりか逆に低下を招く恐れがある。
【0056】上記のように研削加工工程18の後に焼結
体に熱処理工程19を施すことにより形成される誘電体
磁器は、該熱処理により研削加工面が平滑化されて、該
誘電体磁器に発生するTE011モードの電磁界分布が
良好となり、従って無負荷Qを向上することができるた
め、高性能且つ高品質の誘電体共振器を構成することが
可能となる。
体に熱処理工程19を施すことにより形成される誘電体
磁器は、該熱処理により研削加工面が平滑化されて、該
誘電体磁器に発生するTE011モードの電磁界分布が
良好となり、従って無負荷Qを向上することができるた
め、高性能且つ高品質の誘電体共振器を構成することが
可能となる。
【0057】また、前記研削加工工程18において焼結
体の表面を研削加工して所定の共振周波数を得取する
際、高度な加工精度を有する研磨加工を行う必要がなく
なる。
体の表面を研削加工して所定の共振周波数を得取する
際、高度な加工精度を有する研磨加工を行う必要がなく
なる。
【0058】なお、本実施例においては、誘電体磁器の
形状を円柱形状としたが、これに限ることはなく、本発
明においては特定されない。
形状を円柱形状としたが、これに限ることはなく、本発
明においては特定されない。
【0059】また、焼結体の製造工程についても、実施
例に特定されない。
例に特定されない。
【0060】
【発明の効果】本発明に係わる誘電体磁器の製造方法
は、上記のように構成されているため、以下に記載する
ような効果を有する。
は、上記のように構成されているため、以下に記載する
ような効果を有する。
【0061】(1)BaO−TiO2−Nd2O3−Bi2
O3 系焼結体を準備する工程と、該焼結体の表面を研削
加工する工程と、該研削加工が行われた焼結体に熱処理
を施す工程と、を有することにより誘電体磁器を形成し
ている。
O3 系焼結体を準備する工程と、該焼結体の表面を研削
加工する工程と、該研削加工が行われた焼結体に熱処理
を施す工程と、を有することにより誘電体磁器を形成し
ている。
【0062】従って、該熱処理により誘電体磁器におけ
る研削加工部が平滑化されるため、該誘電体磁器の電磁
界分布が良好となり、従って無負荷Q値を向上すること
ができ、該誘電体磁器を主構成要素とする誘電体共振器
を高性能且つ高品質とすることができるという優れた効
果を有する。
る研削加工部が平滑化されるため、該誘電体磁器の電磁
界分布が良好となり、従って無負荷Q値を向上すること
ができ、該誘電体磁器を主構成要素とする誘電体共振器
を高性能且つ高品質とすることができるという優れた効
果を有する。
【0063】(2)また、研削加工後に簡易な熱処理を
行うことで良好な電磁界分布を発現することができるた
め、高精度の研磨加工を行う必要がなく、従って誘電体
共振器等を構成する誘電体磁器を高効率且つ低コストに
て製造することが可能となるという優れた効果を有す
る。
行うことで良好な電磁界分布を発現することができるた
め、高精度の研磨加工を行う必要がなく、従って誘電体
共振器等を構成する誘電体磁器を高効率且つ低コストに
て製造することが可能となるという優れた効果を有す
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係わる誘電体磁器の製造方法におけ
る各工程の実施例を示すフローチャート
る各工程の実施例を示すフローチャート
10 組成比秤量工程 11 湿式混合工程 12 第1脱水・乾燥工程 13 仮焼成工程 14 湿式粉砕工程 15 第2脱水・乾燥工程 16 添加造粒工程 17 本焼成工程 18 研削加工工程 19 熱処理工程
Claims (1)
- 【請求項1】 BaO−TiO2−Nd2O3−Bi2O3
系焼結体を準備する工程と、該焼結体の表面を研削加工
する工程と、該研削加工が行われた焼結体を焼結開始温
度よりも高く焼成温度よりも低い温度にて熱処理を施し
て研削面を活性化して平滑にする工程と、を有すること
を特徴とする誘電体磁器の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3034832A JP2515437B2 (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | 誘電体磁器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3034832A JP2515437B2 (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | 誘電体磁器の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04274108A JPH04274108A (ja) | 1992-09-30 |
JP2515437B2 true JP2515437B2 (ja) | 1996-07-10 |
Family
ID=12425175
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3034832A Expired - Lifetime JP2515437B2 (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | 誘電体磁器の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2515437B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2006085624A1 (ja) * | 2005-02-10 | 2008-06-26 | 双信電機株式会社 | 電子部品 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5520602B2 (ja) * | 1973-03-23 | 1980-06-04 | ||
JPS5951091A (ja) * | 1982-09-16 | 1984-03-24 | シ−ケ−デイ株式会社 | 液体充填用充填ヘツド及び充填装置 |
-
1991
- 1991-02-28 JP JP3034832A patent/JP2515437B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH04274108A (ja) | 1992-09-30 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960326 |