JP2023135623A - Ｘ線システムを使用して平坦なオブジェクトの空間的広がりを再構築するためのデータを生成する方法 - Google Patents

Abstract

【課題】２Ｄ検査の高分解能が達成可能であると同時に、深さの観点におけるオブジェクトの個々の構成要素の位置についての情報が取得可能である手順を提供すること。【解決手段】管１、検出器３、及び、それらの間に位置するオブジェクト４を有するＸ線システムを使用して、平坦なオブジェクト内の空間的広がりを再構築するためのデータを生成する。オブジェクトの回転と並進とを組み合わせたラミノグラフィー手順が実行され、このとき、水平方向と垂直方向とが互いに独立して観察されるため、結果として得られる軌跡が十字形状に類似する。【選択図】図３

Description

本発明は、管、検出器及びそれらの間に位置するオブジェクトを有するＸ線システムを使用して、平坦なオブジェクトの空間的広がり（Volumen）を再構築するためのデータを生成する方法に関する。

本発明の使用分野は、Ｘ線ベースの材料試験である。自動車産業や電子機器製造業者等の産業関係者は、オブジェクト（特に、構成部品）の特性を試験するために、Ｘ線ベースの材料試験のコンテキストでＸ線システムを利用している。ここで、撮像にＸ線を使用すると、オブジェクトを破壊することなく隠された構造を調査することができるようになる。

この試験は、撮像システムとしてＸ線管（以下、管と称する）及びＸ線検出器（以下、検出器とも称する）を有するＸ線システムにおいて実施される。検査対象となるオブジェクトは、それらの間に配置される。これら３つの指名された構成要素の一部又は全部は、Ｘ線システムに応じて、並進方式及び／又は回転方式で移動可能である。この装置全体は、放射線防護キャビン（以下、キャビンと称する）内に位置している。このＸ線システムで作成された画像のジオメトリは管の焦点に依存するため、以下では、管は単に焦点とも称される。

大型で平坦な構成部品（例えば、プリント回路基板）の非破壊試験では、２Ｄ画像において非常に高い倍率及び分解能が実現され得る。しかしながら、これはオブジェクト全体の投影にすぎないため、記録された画像ではオブジェクトに包含される全ての構造が重なり合っており、深さの観点では、個々の構成要素の位置について何の結論も出すことができない。３６０°にわたって分布する多くの異なる角度からオブジェクトが観察されるコンピュータトモグラフィーによれば、追加の深度情報を取得することができるようになる。その後、これらの画像から三次元オブジェクトが再構築され、その結果、空間内における全ての構成要素の位置が決定される。しかしながら、オブジェクトは、この記録中にシステムの構成要素と衝突することなく一回転する必要があるため、２Ｄ試験のように高い倍率Ｍを達成することは不可能であり、この倍率Ｍは、焦点から検出器までの距離（ＦＤＤ）及び焦点からオブジェクトまでの距離（ＦＯＤ）によって決定される（Ｍ＝ＦＤＤ／ＦＯＤ）。したがって、２Ｄ検査の場合は、オブジェクトの厚さが達成可能な分解能に決定的な影響を与える一方で、ＣＴ画像の場合は、何よりもオブジェクトの幅が制限効果を有している。

本出願の文脈において、オブジェクトとは、その第三次元（深さと称される）よりも（表面積の）二次元において何倍も広がる物品を意味する。

先行技術より、以下のラミノグラフィー手順が知られている：

円形／楕円形ラミノグラフィーでは、管及び検出器は、円形又は楕円形の経路に沿って移動し、それぞれの場合において互いに反対方向に、平行な平面上を移動する。そのため、このラミノグラフィー手順には、検出器と管との両方及び／又はオブジェクト（これらは同じように移動させられ得る）が、縦軸及び横軸を有するシステムが必要となる。これにより、フーリエ空間における良好なサンプリングが可能になるが、必要な軸の少なくとも１つが欠けているシステムでは使用できない。

並進ラミノグラフィーでは、管及び検出器は静止しているが、オブジェクトは、管から一定の距離にあるマニピュレーターによって、視野全体を一度完全に通って並進する。この移動は、オブジェクトが、平行ビームのジオメトリにおけるビームの出口角度だけ回転することに対応する。この角度は、（検出器が完全に照明されている場合）検出器の大きさ及び管と検出器との間の距離によって制限される。次のことが当てはまる：ビームの出口角度が大きいほど、システムの深さ分解能は良好になると共に、互いに重なり合った構造を互いに別々に画像化することをより良好に行うことができる。しかしながら、この角度は、特に検出器が管から最大の距離にある高倍率の場合に最小になり、その結果、このときのシステムの深さ分解能は最も低くなる。

スイングラミノグラフィーは、限定角度ＣＴとしても知られている。通常のＣＴとは異なり、オブジェクトはマニピュレーターによって制限された角度だけ回転し、その角度はジオメトリの状況によって制限される（オブジェクトは、回転中にシステムの構成要素と衝突してはならない）。ここで、回転できる角度の範囲が大きいほど、深さ分解能はより良好になる。しかしながら、特に高分解能では、オブジェクトを光源にできるだけ近づけることが正確に必要であるため、達成可能なラミノグラフィー角度が、またそれによって深さ分解能が非常に小さくなり得る。大きく平坦なオブジェクトでは、大きな角度が許容されないため、このスキャン手順が特に適している。ビームの無視できない開口角度により、オブジェクトの一部の領域が垂直にＸ線撮影されない可能性もあり、その結果、ここにある構造が正しく解像されない可能性がある。

線形ラミノグラフィーは、スイングラミノグラフィーに非常に似ている。オブジェクトの回転が存在せず、代わりに管及び検出器がリニアモーターを使用して並進され得る場合、回転は、（円状ラミノグラフィーの場合と同様に）管及び検出器とは反対の線形移動によっても達成され得る。スイングラミノグラフィーとは異なり、この場合には全ての構成要素の互いの距離が一定に保たれており、実際の回転も起こらないため、オブジェクトとシステム構成要素との間の衝突の可能性は大幅に低くなる。しかしながら、ラミノグラフィー角度は、管及び検出器の移動範囲によって制限されており、小型のＣＴシステムの場合、現実的には１５°～２０°より小さい範囲となる。さらに、オブジェクトのジオメトリによっては、角度範囲が非常に非対称ともなり得る。その結果、再構成された空間的広がり内の深さ分解能は大きく変化し、オブジェクトの一部の部分では、垂直にＸ線撮影されないため、構造がうまく解像されない可能性がある。この挙動は、スイングラミノグラフィーにおいても起こり得る。

回転ラミノグラフィーでは、平坦なオブジェクトが、オブジェクトの表面に垂直で光軸に対して（回転の軸を実際に傾けるか、検出器を傾けることによって）傾斜している軸の周りを完全に一回転する。したがって、この手順では、対応するオブジェクト回転軸又は対応する検出器傾斜軸のいずれかを備えたシステムが必要である。この設計に対応するシステムでは、約６０°の領域で非常に大きなラミノグラフィー角度を実現することができ、非常に良好な深さ分解能が可能になる。しかしながら、対応する傾斜軸を有さないシステムでは、このような手順を使用することができない。

大きく平坦な部品の高分解能３Ｄ表現の場合では、２Ｄ検査とＣＴ手順の形式での３Ｄ再構築とには、それぞれ異なる利点及び欠点がある。２Ｄ画像の場合、オブジェクトの全ての構成要素が重ね合わされ、どの構造がどの平面にあるかを明確に視認することができない。例えばプリント回路基板の場合において、ＣＴの空間的広がり全体の層を見る場合、（小さな孔等の）多くの構造が解像され得ない。また、従来のラミノグラフィー手順の場合では、上述したように、ラミノグラフィーの空間的広がり内において、ＣＴとは異なり、上層又は下層からの構造もまた部分的に視認することができるが、ぼやけて表示されるだけである。

本発明の出発点となる既知のラミノグラフィー手順では、高倍率にて、オブジェクトの投影が種々異なる角度で記録されるが、ＣＴとは異なり、３６０°（又は、１８０°＋開口角度）からのオブジェクトの完全なデータは入手不可能であり、非常に狭い角度範囲からのデータのみ入手可能である。このことから、個々の構成要素の深さに沿った位置についての結論は得られるものの、この空間方向の分解能は低く、達成されたラミノグラフィー角度に依存している。投影を記録可能な角度範囲が大きいほど、深さ分解能は良好になる。特定のシステムにおいて、どの形式のラミノグラフィーが選択されるかは、システムの構造に大きく依存する。

本発明の目的は、２Ｄ検査の高分解能が達成可能であると同時に、深さの観点におけるオブジェクトの個々の構成要素の位置についての情報が取得可能である手順を提供することにある。

本発明に係る上記目的は、請求項１～４のいずれか１項に記載の特徴を備えた手順によって達成される。有利な設計は、従属請求項において特定されている。

これらによれば、上記目的は、Ｘ線システムの構成部分の全体軌道が、垂直部分軌道と水平部分軌道といった、２つの異なる部分軌道を含む手順によって達成される。それぞれの部分軌道では、互いに同等である２つの選択肢が可能である。例えば、第１の部分軌道は、コーンビームを通過するオブジェクトの２つの垂直移動によって形成され得る。これらの移動は、管及び検出器により構成される撮像システムの２つの異なる垂直に傾斜した位置にて順次行われ、このとき、管のコーンビームの中心放射線（zentrale Strahl）は、検出器の中心に衝突するが、直角には衝突しない。あるいは、第１の部分軌道は、コーンビームを通過する水平軸周りに２つの異なる角度で傾斜したオブジェクトの垂直経路でもあり得る。このとき、管及び検出器は、コーンビームの中心放射線（Zentralstrahl）がその座標ゼロ点にて検出器に垂直に衝突するように、互いに対向している。第２の部分軌道にもまた、２つの同等の移動がある。一方では、例えば、オブジェクトが垂直軸周りに２つの異なる角度で回転され得る。ここで、静止した撮像システムのジオメトリは、中心放射線がその座標ゼロ点にて検出器に垂直に衝突し、それぞれの場合に、２つの角度のそれぞれについて、オブジェクトが水平方向にコーンビームを通過して並進され得る。他方では、オブジェクトは、管及び検出器により構成される撮像システムの２つの異なる水平方向に傾斜した位置にて、水平方向にコーンビームを通過して順次移動させられ得る。このとき、管のコーンビームの中心放射線は、検出器の中心に衝突するが、直角には衝突しない。本発明に係る回転と並進との組み合わせによって、従来既知の方法と比較して、より良好な深さ分解能が達成される。独立請求項における４つの解決策は、それぞれの場合において、２つの第１部分軌道のうちの１つと、２つの第２部分軌道のうちの１つとの可能な組み合わせである。

本発明の有利な発展形態は、オブジェクトがｚ_ｏ軸に沿って移動可能であり、かつ、検出器がｚ_ｄ軸に沿って移動可能であることを提供する。その結果、倍率を検査対象に応じて変更することができる。

本発明の有利な発展形態は、各Ｘ線画像の撮影中に、検出器がコーンビームによって完全に照明されることを提供する。これにより、より広い視野が達成される。

本発明のさらに有利な発展形態は、管がｙ軸を中心に回転可能であり、かつ／又は、管がｘ軸周りに回転可能であり、かつ／又は、検出器（がｙ_ｄ軸周りに回転可能であり、かつ／又は、検出器（３）がｘ_ｄ軸周りに回転可能であることを提供することである。旋回角度が非常に大きく、それによってコーンビームの開口角度が検出器を完全に照明することができなくなったとしても、管の回転によって検出器を完全に照明することができる。

本発明の有利な発展形態は、中心放射線が検出器の表面に対して常に垂直であることを提供する。その結果、視野全体にわたって一定の倍率が達成される。

本発明の有利な発展形態は、オブジェクトが各部分軌道中にコーンビームを通過することを提供する。これにより、深さ分解能がオブジェクトの端部で大幅に減少することが防止される。

構成要素の対称的な移動は、種々異なる部分軌道により実施され得る。しかしながら、原則としては非対称の動きが実行され、それによって個々のケースに対して具体的に対応可能となり、それぞれの場合において最大のラミノグラフィー角度が使用され、それによって最大の深さ分解能が達成され得る。それぞれの場合において軸に割り当てられる座標（例えば、ｙ_１とｙ_２など）は、絶対的な意味ではなく、それぞれの場合において方向（すなわち、ベクトル）付けされている。したがって、本発明に斯かる軌道を実現できるようにするために、それらが反対向きである限り、それらの座標は絶対的に等しくてもよい。同様のことは、回転軸に割り当てられる角度（例えばθ_ｌとθ_ｒ）に対しても適用される。

本発明のさらなる詳細及び利点は、以下の図面に示された実施形態の例を参照して、より詳細に説明する。

図１は、Ｘ線システムのシステムジオメトリの概略図であり、可能な並進軸及び回転軸が示されている。 図２ａは、垂直軌跡の第１の代替例の概略図である。図２ｂは、２つの部品に分割された２つの構成を表す図であり、これらの部品は、図２ａでは依然として合体して示されている。図２ｃは、垂直軌跡の場合における、オブジェクトの記録中の周縁放射線（Randstrahl）の進路を表す図である。 図３ａは、水平軌跡の第１の代替例の概略図である。図３ｂは、２つの部品に分割された２つの構成の図であり、これらの部品は、図３ａでは依然として合体して示されている。図３ｃは、水平軌跡の場合における、オブジェクトの記録中の周縁放射線及び追加の放射線（weiteren Strahl）の進路を表す図である。 図４は、並進のみ、回転のみ、及び、並進と回転との組み合わせの場合における、プリント回路基板の横断層を示す。 図５は、並進のみ、回転のみ、及び、並進と回転との組み合わせの場合における、図４のプリント回路基板の水平層を示す。

図１には、Ｘ線システムのシステムジオメトリが概略的に図示されており、該Ｘ線システムは、管１と、オブジェクト４と、検出器３とを有し、ここでは、それぞれの可能な並進軸及び回転軸が図示されている。以下では、本発明にとって重要な並進軸及び回転軸のみを説明し、図１にも示されている他の軸については説明しない。回転軸は目盛り（Index）ｒを有しており、並進軸には並進を示す目盛りは存在しない。

管１は、焦点２から開始して第１のデカルト座標系を定義し、該座標系では、放出されたＸ線のコーンビーム１０の中心放射線１４が、ｚ軸を形成する。垂直方向がｙ軸であり、（同様に水平に延びるｚ軸に加えて）残りの水平方向がｘ軸である。このｙ軸は、並進軸としてだけでなく、回転軸としても形成され得る。そのため、回転されていない管１の場合において、検出器３がコーンビーム１０の外側にあるような非常に傾斜したジオメトリにある場合、コーンビーム１０は再配置される可能性がある。しかしながら、本発明の記載の実施例には回転が用いられないため、回転軸の表示は省略されている。本発明の実施形態の例に関して、管１の代表的な位置は、中心位置と称する。

検出器３は、フラットパネルの検出器であり、図１では正方形に形成されているが、これに限定されるものではない。管１の中心放射線１４は検出器３の中心を衝突し、その結果、第２のデカルト座標系の原点が規定される。この検出器座標系のそれぞれの軸は、目盛りｄを有する。該座標系の水平方向の表面に対して垂直に延びているのはｚ_ｄ軸であり、これは管１のｚ軸と同一である。検出器３内にて延びている垂直方向は、該座標系でもｙ_ｄ軸であり、検出器３内にて延びている水平方向は、ｘ_ｄ軸である。本発明の実施形態の例に関して、検出器３の代表的な位置は、中心位置と称する。

管１と検出器３との間にはオブジェクト４が位置しており、その軸は目盛りｏを有する。本発明の実施形態例に関して、オブジェクト４が表された位置は、中立位置５と称し、この中立位置５では、回転が（並進も）起こっていない。オブジェクト４には、第３のデカルト座標系が割り当てられ、該座標系の原点は、管１の中心放射線（すなわち、ｚ軸）上の点にある。ｚ_ｏ軸は、オブジェクト４の中立位置５において、ｚ軸に沿って水平方向に延びている。垂直方向には、ｙ_ｏ軸が延びており、ｘ_ｏ軸は、オブジェクト４の表現された中立位置５において、検出器３のｙ_ｄ軸と平行に、水平方向に延びている。３つの並進軸に加えて、オブジェクト４はまた、２つの回転軸をも有する。ｘ_ｏ軸及びｙ_ｏ軸はいずれも回転軸でもあるため、ｘ_ｒｏ軸及びｙ_ｒｏ軸でもある。これらの軸はまた、管１及び検出器３の同等の動きによって置換され得る。

図１には、焦点２からｙ_ｏ軸までの距離（ＦＯＤ）、及び、中心放射線１４に沿った焦点２から検出器３までの距離（ＦＤＤ）も示されており、これらに基づいて、表示されたジオメトリの倍率Ｍが決定され得る。既に上述したように、この倍率Ｍは、ＦＤＤ／ＦＯＤに等しい。

当業者にとって言うまでもないが、図１の軸の向きは限定的なものではなく、本発明は、他の全ての向きも含む。すなわち、本発明は、例えばｚ軸が垂直に延びている場合、又は、システム全体がｘ軸及び／又は他の２つの軸（ｙ軸及びｚ軸）のいずれかの周りに（望ましい）角度だけ傾いている場合における、他の全ての向きも含む。

該Ｘ線システムはさらに、個々のＸ線画像のデータが記憶される記憶装置と、前述のデータを使用してオブジェクト４の再構築が実行される処理装置と、該処理装置に接続された、該再構築を表示可能な表示装置（例えば、モニター等）とを有する。構成要素である管１、オブジェクト４及び検出器３は、使用されるＸ線が近くにいる人々の健康に害を及ぼさないように、放射線防護キャビン内に配置されている。前述の構成要素、並びに、それらの設計、協働及び配置は、当業者にとって周知であるため、これに関するさらなる説明は省略され得る。

図２及び図３に記載の本発明に係る軌道にとって、Ｘ線システムに求められる要件は以下の通りである。すなわち、管１がｙ並進（ｙ軸）を実行可能であり、検出器３がｙ並進（ｙ_ｄ軸）及びｚ並進（ｚ_ｄ軸）の両方を実行可能であり（このことは、倍率の調整に必要である）、かつ、オブジェクト４が、その３つの軸（ｘ_ｏ、ｙ_ｏ、ｚ_ｏ軸）のそれぞれに沿った並進に加えて、ｘ_ｏ軸（この点ではｘ_ｒｏ軸とも称される－この軸は、管１／オブジェクト４と検出器３との等価な並進によっても置換され得る）及びｙ_ｏ軸（この点ではｙ_ｒｏ軸とも称される－この軸は、管１／オブジェクト４と検出器３との等価な並進によっても置換され得る）の両方の周りの回転を実行可能であることが、Ｘ線システムにとって必要となる。

図２ａ及び図２ｂは、Ｘ線システムの３つの構成要素である管１、オブジェクト４及び検出器３が概略的に表された側面図（すなわち、実質的にｘ方向の視界）である。これらの図を参照して垂直軌跡を説明するが、２つの図の違いは、以下の通りである。すなわち、図２ａでは、２つの関連する位置はまだ一緒に表されているが、図２ｂでは、これら２つの位置は互いに別々に表されている。これらの図は、いずれもｙｚ平面に対応する。

管１は半開角度φを有するコーンビームを放射し、ｙ_ｄ軸に沿って検出器３全体を照明する。この全体の照明は、検出器３がその上部極点に位置する場合、及び、下部極点の両方に位置する場合の、両方の場合に存在する。検出器３の２つの極点はｙ_ｄ軸上にあり、それぞれｙ_ｄ１又はｙ_ｄ２だけ離れている。ここに表された実施例では、それらは反対方向かつ等しく、そのため、ｚ軸に関して対称的な設計となっている。同時に、管１は、その下部極点又は上部極点のいずれかへと移動させられている。検出器３の２つの極点の場合、第１のデカルト座標系の座標原点はｙ軸上にあり、それぞれ第２の距離ｙ_１又は第６の距離ｙ_２だけ離れている管１の中心位置のｙ軸に関して、それらは反対方向かつ等しく、そのため、ｚ軸に関して対称的な設計となっている。距離ｙ_ｄ１及びｙ_１、又は、距離ｙ_ｄ２及びｙ_２は、倍率Ｍ（ＦＤＤ／ＦＯＤ）に互いに依存して一致する。コーンビーム１０の中心放射線１１の軸は、ｚ軸に対してそれぞれ傾き角度θ又は－θ傾いている。実施形態の例では、以下の値となる：ＦＤＤ＝１２００ｍｍ、ＦＯＤ＝５００ｍｍ、ｙ_ｄ１＝＋５４７ｍｍ、ｙ_ｄ２＝－５４７ｍｍ、ｙ_１＝－３９１ｍｍ、ｙ_２＝＋３９１ｍｍ、θ＝３８°、θ１＝８°、θ’＝４６°。

図２ｂは、オブジェクト４の並進を良好に表している。オブジェクト４は、管１がその下部極点にあり、検出器３がその上部極点にある構成（図２ｂの左側）において一度、その鏡面反転配置において、すなわち、管１がその上部極点にあり、検出器３がその下部極点にある際において一度、ｙ_ｏ軸に沿ってコーンビーム１０を完全に通過するように移動させられる。これらの極点は、それらの距離と併せて、図２ａに係るものに対応している。この並進に沿って－上から下へと実行されるか、下から上へと実行されるかに関わらず－、約１０ｍｍの事前定義可能な間隔で、オブジェクト４のコーンビームを通過する移動ごとに５０のＸ線画像が（すなわち、垂直軌跡全体につき、１００のＸ線画像が）作成される。

図２ｃには、２つの周縁放射線１３のパターンが表され、これらのパターンは、図２ｂの左側に示される状況に係るオブジェクト４の並進中に形成されるものである。オブジェクト４におけるこれらのパターンとｚ_ｏ軸との間の角度はθ’であり、図２ｂの左側の状況に係る上方周縁放射線１３では、該角度は、上述の傾き角度θとコーンビーム１０の上方の部分開角度θ_１（図２ｃの左側に表されている）との合計である。図２ｃの右側部分に表示されているのは、図２ｂの左側の構成に係る下方周縁放射線１３についての対応するパターンである。ここで得られる角度は、θと下方の部分開角度θ_２との差である。２つの部分開角度θ_１及びθ_２は、Ｘ線システムのジオメトリ、特にＦＯＤ、ＦＤＤ及びθに依存する。図２ｂの右側の状況に係る状況では、結果として図２ｃに示されるようなパターンの鏡面反転状況となる。（上記のように）θ’はθより８°大きいため、垂直軌跡のラミノグラフィー角度は４６°であり、その結果、深さ分解能が高くなる。

図２を参照して説明した垂直軌跡の設計に加えて、本発明によれば、水平軌跡も提供される。水平軌跡については、以下に図３を参照して説明する。

図３ａ及び図３ｂは、Ｘ線システムの３つの構成要素である管１、オブジェクト４及び検出器３が概略的に表された上面図（すなわち、実質的にｙ方向の視界）である。これらの図を参照して水平軌跡を説明するが、図３ａでは、並進運動を実行する２つの状況はまだ一緒に表されているが、図３ｂでは、互いに別々に表されている。これらの図は、ｘｚ平面に対応する。

水平軌跡を通過する間、ビームのジオメトリは常に、並進ラミノグラフィーについて上述したように、また図１に示されるように、半開角度φを備えている。ここで、検出器３全体が、ｘ_ｄ軸に沿って連続的に照明される。

オブジェクト４は、その中立位置から、ｙ_ｏ軸周りに第１の回転角度β_ｌ回転させられる（図３ｂの左側）。図３ｂの右側では、オブジェクト４は、（オブジェクト４の中立位置から開始して）反対方向に第２の回転角度β_ｒ回転させられる。図示の場合には、これら２つの回転角度は、絶対値（１５°）では同じ大きさであるが、互いに反対方向を向いている。その結果、より大きなラミノグラフィー角度が得られ、該角度は、半開角度φと第１回転角度β_ｌ／第２回転角度β_ｒとの合計に相当する。これにより、深さ分解能がより大きくなる。

図３ｂでは、ｘ_ｏ軸に沿った並進が明確に見られる。オブジェクト４は、オブジェクト４の中立位置５から、オブジェクト４が第１の回転角度β_ｌ回転させられた構成（図３ｂの左側に表されている）において一度、その鏡面反転配置において、すなわち、オブジェクト４の中立位置５からオブジェクト４が第２の回転角度β_ｒ回転される際（図３ｂの右側に表されている）において一度、ｘ軸と平行にコーンビーム１０を完全に通過するように移動させられる。この並進では、事前定義可能な間隔で－この実施形態の例でも、垂直起動の場合と同様に－移動方向に沿って約１０ｍｍの間隔で、オブジェクト４のコーンビームを通過する移動ごとに５０のＸ線画像が作成される。この移動方向－ｘ方向が正方向であるか負方向であるか－は無関係であるため、必要なＸ線画像は、例えば前後移動の両方において作成することができる。

図３ｃには、図３ｂにおける上方周縁放射線１３のパターンと、コーンビーム１０の内側に位置し、この図では中心放射線１１の下に表された追加の放射線１２のパターンとが表されている。オブジェクト４におけるこれらのパターンとｚ軸との間の角度は、図３ｂの右側の状況に係る上方周縁放射線１３では、φ＋β_ｌである。これは、図３ｃの左側に表されている。図３ｃの右側の部分に表されているのは、図３ｂの左側の部分において中心放射線１３のわずかに下方に延びており、実線で表されている放射線についての対応するパターンである。図３ｃの左側の部分について、結果として得られる角度は３０°である。したがって、ラミノグラフィー角度が半開角度φ（ここでは１５°）によって決定される並進ラミノグラフィーと比較すると、φと第１回転角度β_ｌ／第２回転角度β_ｒとの合計に対応するより大きなラミノグラフィー角度が得られる。これにより、より大きな深さ分解能が可能になる。

その後、この投影から当業者に知られている適切な再構成手順を利用して、空間的広がりデータが生成される。

図４は、図２に係る手順に対応する、３つの異なるラミノグラフィー手順で記録された、プリント回路基板－ここでは、オブジェクト４－の例示的な横断層（側面図）を示す。図示の構造（これらはＢＧＡである）は、この方向からであれば丸く見えるはずである。しかしながら、ラミノグラフィー手順の深さ分解能はＣＴスキャンと比較して低いため、構造が不鮮明になる。このことは、ラミノグラフィー角度が小さい場合において、より顕著である。左側には、並進ラミノグラフィー（水平及び垂直）の結果を示す。ここでは、深さ分解能は、Ｘ線の開角度（約２０°）によって制限されている。中央には、線形ラミノグラフィー（垂直）とスイングラミノグラフィー（水平）との組み合わせの結果を表す。この場合は可能な角度範囲が広いため、より良好な深さ分解能が可能になる（垂直：約２０°、水平：約５５°）。右側には、本発明に係る手順の場合における結果を示す。この場合は、結果として得られるラミノグラフィーの角度範囲が最大になる（垂直：約４０°、水平：約７５°）ため、最も高い深さ分解能が達成され得る。該構造における実際の上記円形形状は、並進と回転との組み合わせによって最も正確に達成される。

図５は、図３に係る手順に対応する、図４に示したものと同じラミノグラフィー手順で記録された、図４のプリント回路基板の例示的な再構成された側方層を示す。ここでも、種々異なる方法における種々異なる深さ分解能が明確に表されている。この層ではリング状の構造のみが見えるはずであるが、他の層における丸いＢＧＡの不鮮明な構造が、ラミノグラフィーの角度が（左から右へと）大きくなるにつれて見えにくくなっている。さらに、ここでは線形ラミノグラフィーに生じ得る欠点が表されており、この欠点は、非対称角度の場合に発生し得る（対応する角度範囲の場合、これはスイングラミノグラフィーの場合にも見られるはずである）。２つの角度のうち小さい方（他の方向の約１５°と比較して、約５°）がＸ線の開角度と組み合わさると、リング構造が画像の全領域において垂直にＸ線撮影されなくなり、その結果、正確に解像できなくなる。これは、中央の画像の上側領域に表されている。他の２つの方法にてオブジェクト４を並進させると、このアーチファクトの発生が抑制される。

要約すると、本発明では、以下のことが言える。ラミノグラフィーの角度範囲を大きくするために、２つの軌道は適切な方法で結合され、その結果、オブジェクト４は、回転された状態で、視野全体を通して水平方向と垂直方向との両方に並進させられる（垂直方向では、管１と検出器３とを同時に変位させることによって、オブジェクトを回転させることもできる－対応する軸が存在する場合、これは水平方向でも起こり得る）。オブジェクトの回転と並進とを組み合わせたラミノグラフィー手順が実行され、このとき、水平方向と垂直方向とが互いに独立して観察されるため、結果として得られる軌跡が十字形状に類似する。

ラミノグラフィーの角度範囲を大きくするために、本発明では、２つの軌道（垂直及び水平）が適切な方法で組み合わされ、その結果、オブジェクト４は、回転された状態で、視野全体を通して水平方向と垂直方向との両方に並進させられる。このプロセスでは、それぞれの場合において４つの空間方向（上、下、左、右）で可能な最大角度のみにアプローチし、その結果、最も単純な場合では、オブジェクト４は、視野全体を通して２回、水平方向と垂直方向との両方を移動する。それぞれの場合において、可能な最大の角度が水平方向と垂直方向でそれぞれ対称であることが絶対に必要というわけではない。達成可能な角度範囲がコーンビーム１０の開角度よりも大きい場合には、最大角度に加えて中間角度にもアプローチされ、視野全体を通した並進の数もまた、それに応じて増加する。

１ （Ｘ線）管
２ 焦点
３ （Ｘ線）検出器
４ オブジェクト
５ 中立位置
１０ コーンビーム
１１ 中心放射線（zentraler Strahl）
１２ 追加の放射線（weiteren Strahl）
１３ 周縁放射線（Randstrahl）
１４ 中心放射線（Zentralstrahl）

Claims (9)

1. Ｘ線システムを使用して平坦なオブジェクト（４）内の空間的広がりを再構築するためのデータを生成する方法であって、前記Ｘ線システムは、３つの撮像構成要素、すなわち、管（１）、検出器（３）、及び、前記管（１）と前記検出器（３）との間に位置するオブジェクト（４）を有しており、
   前記管（１）は、焦点（２）を有しており、前記焦点（２）は、前記管（１）の中心位置において、第１のデカルト座標系の座標原点を形成していると共に、コーンビーム（１０）を放射し、前記コーンビーム（１０）の中心放射線（１４）は、前記第１の座標系のｚ軸を形成し、前記第１の座標系のｘ軸は、水平方向に延びており、
   前記検出器（３）の中心位置において、前記中心放射線（１４）が前記検出器（３）に垂直に衝突し、この衝突点は、第２のデカルト座標系の原点を形成し、前記第２の座標系のｚ_ｄ軸は、前記検出器（３）の中心位置にある前記管（１）の中心位置のｚ軸と同一であり、前記第２の座標系のｘ_ｄ軸は、水平方向に延びており、
   前記オブジェクト（４）の中立位置（５）において、前記オブジェクト（４）は、第３のデカルト座標系を有しており、前記第３の座標系の原点は、前記管（１）の中心位置の前記中心放射線（１４）と、垂直方向に延びている前記オブジェクト（４）の回転軸との交点であり、前記オブジェクト（４）の中立位置（５）において、前記第３の座標系のｚ_ｏ軸は、前記管（１）の中心位置の前記中心放射線（１４）と一致しており、前記オブジェクト（４）の中立位置（５）において、前記第３の座標系のｘ_ｏ軸は、前記管（１）の前記中心位置においてｘ軸と平行に延びており、
   前記３つの撮像構成要素のうち少なくとも２つは、それらそれぞれのｙ軸に沿って、すなわち、前記管（１）は、該管（１）の中心位置に応じたｙ軸に沿って、前記検出器（３）は、該検出器（３）の中心位置に応じたｙ_ｄ軸に沿って、前記オブジェクト（４）は、該オブジェクト（４）の中立位置（５）に応じたｙ_ｏ軸に沿って、移動可能であり、
   前記オブジェクト（４）は、該オブジェクト（４）の中立位置（５）に応じたｘ_ｏ軸に沿って移動可能であり、かつ、該オブジェクト（４）の中立位置（５）に応じたｙ_ｏ軸周りに回転可能であり、
   ・以下のステップ：
   ａ１）前記３つの撮像構成要素のうちの少なくとも２つが基本位置の外側に位置し、ｚ軸、ｚ_ｏ軸及びｚ_ｄ軸が互いに平行に延びており、ｘ軸、ｘ_ｏ軸及びｘ_ｄ軸が互いに平行に延びており、かつ、ｙｚ平面において、中心放射線（１１）とｚ軸との間に第１の旋回角度θ_ｕが存在している構成となるように、前記３つの撮像構成要素のうちの少なくとも２つを移動させるステップであって、ここで、前記検出器（３）がｙ_ｄ１座標を有していると共に、前記管（１）がｙ_１座標を有しており、前記第２のデカルト座標系の原点において、中心放射線（１１）が前記検出器（３）に衝突する、ステップ、
   ｂ１）ａ１）の後、前記オブジェクト（４）をｙ_ｏ軸に沿って第１の極点から第２の極点に移動させるステップであって、記憶媒体内に格納されているＸ線画像は、前記移動に沿って事前定義可能な距離にて作成され、前記第１の極点は、ｙ_ｏ１座標を有しており、前記第２の極点は、ｙ_ｏ２座標を有しており、前記オブジェクト（４）は、少なくとも部分的に、前記Ｘ線を通過している、ステップ、
   ｃ１）ｂ１）の後、前記３つの撮像構成要素のうちの少なくとも２つが前記基本位置の外側に位置し、ｚ軸、ｚ_ｏ軸及びｚ_ｄ軸が互いに平行に延びており、ｘ軸、ｘ_ｏ軸及びｘ_ｄ軸が互いに平行に延びており、かつ、ｙｚ平面において、中心放射線（１１）とｚ軸との間に第２の旋回角度θ_ｏが存在している構成となるように、前記３つの撮像構成要素のうちの少なくとも２つを移動させるステップであって、ここで、前記検出器（３）がｙ_ｄ２座標を有していると共に、前記管（１）がｙ_２座標を有しており、前記第２のデカルト座標系の原点において、前記中心放射線（１１）が前記検出器（３）に衝突し、ここで、ｙ_２≠ｙ_１及びｙ_ｄ２≠ｙ_ｄ１である、ステップ、並びに、
   ｄ１）ｃ１）の後、前記オブジェクト（４）をｙ_ｏ軸に沿って第３の極点から第４の極点に移動させるステップであって、記憶媒体内に格納されているＸ線画像は、前記移動に沿って事前定義可能な距離にて作成され、前記第３の極点は、ｙ_ｏ３座標を有しており、前記第４の極点は、ｙ_ｏ４座標を有しており、前記オブジェクト（４）は、少なくとも部分的に、前記Ｘ線を通過している、ステップ、
   により垂直軌跡を通過すると共に、
   ・以下のステップ：
   ｅ１）前記管（１）と前記検出器（３）がそれぞれの中心位置に位置し、かつ、前記オブジェクト（４）が該オブジェクト（４）の中立位置（５）に位置する構成となるように、前記管（１）、前記検出器（３）及び前記オブジェクト（４）を移動させるステップ、
   ｆ１）ｅ１）の後、前記オブジェクト（４）を、該オブジェクト（４）の中立位置（５）から、ｙ_ｏ軸周りに第１の回転角度β_ｌ回転させると共に、前記オブジェクト（４）を、前記管（１）の中心位置において前記管（１）のｘ軸に平行に、第５の極点から第６の極点へと移動させるステップであって、記憶媒体内に格納されているＸ線画像は、前記移動に沿って事前定義可能な距離にて作成され、前記第５の極点は、ｘ_ｏ１座標を有しており、前記第６の極点は、ｘ_ｏ２座標を有しており、前記オブジェクト（４）は、少なくとも部分的に、前記Ｘ線を通過している、ステップ、並びに、
   ｇ１）ｆ１）の後、前記オブジェクト（４）を、ｙ_ｏ軸周りに第２の回転角度β_ｒ（β_ｒ≠β_ｌ）回転させると共に、前記オブジェクト（４）を、前記管（１）の中心位置において前記管（１）のｘ軸に平行に、第７の極点から第８の極点へと移動させるステップであって、記憶媒体内に格納されているＸ線画像は、前記移動に沿って事前定義可能な距離にて作成され、前記第７の極点は、ｘ_ｏ３座標を有しており、前記第８の極点は、ｘ_ｏ４座標を有しており、前記オブジェクト（４）は、少なくとも部分的に、前記Ｘ線を通過している、ステップ、
   により水平軌跡を通過する、
   方法。
2. Ｘ線システムを使用して平坦なオブジェクト（４）内の空間的広がりを再構築するためのデータを生成する方法であって、前記Ｘ線システムは、前記３つの撮像構成要素、すなわち、管（１）、検出器（３）、及び、前記管（１）と前記検出器（３）との間に位置するオブジェクト（４）を有しており、
   前記管（１）は、焦点（２）を有しており、前記焦点（２）は、前記管（１）の中心位置において、第１のデカルト座標系の座標原点を形成していると共に、コーンビーム（１０）を放射し、前記コーンビーム（１０）の中心放射線（１４）は、前記第１の座標系のｚ軸を形成し、前記第１の座標系のｘ軸は、水平方向に延びており、
   前記検出器（３）の中心位置において、前記中心放射線（１４）が前記検出器（３）に垂直に衝突し、この衝突点は、第２のデカルト座標系の原点を形成し、前記第２の座標系のｚ_ｄ軸は、前記検出器（３）の中心位置にある前記管（１）の中心位置のｚ軸と同一であり、前記第２の座標系のｘ_ｄ軸は、水平方向に延びており、
   前記オブジェクト（４）の中立位置（５）において、前記オブジェクト（４）は、第３のデカルト座標系を有しており、前記第３の座標系の原点は、前記管（１）の中心位置の前記中心放射線（１４）と、垂直方向に延びている前記オブジェクト（４）の回転軸との交点であり、前記オブジェクト（４）の中立位置（５）において、前記第３の座標系のｚ_ｏ軸は、前記管（１）の中心位置の前記中心放射線（１４）と一致しており、前記オブジェクト（４）の中立位置（５）において、前記第３の座標系のｘ_ｏ軸は、前記管（１）の前記中心位置においてｘ軸と平行に延びており、
   前記３つの撮像構成要素のうち少なくとも２つは、それらそれぞれのｙ軸及びそれらそれぞれのｘ軸に沿って、すなわち、前記管（１）は、該管（１）の中心位置に応じたｙ軸／ｘ軸に沿って、前記検出器（３）は、該検出器（３）の中心位置に応じたｙ_ｄ軸／ｘ_ｄ軸に沿って、前記オブジェクト（４）は、該オブジェクト（４）の中立位置（５）に応じたｙ_ｏ軸／ｘ_ｏ軸に沿って、移動可能であり、
   ・以下のステップ：
   ａ２）前記３つの撮像構成要素のうちの少なくとも２つが基本位置の外側に位置し、ｚ軸、ｚ_ｏ軸及びｚ_ｄ軸が互いに平行に延びており、ｘ軸、ｘ_ｏ軸及びｘ_ｄ軸が互いに平行に延びており、かつ、ｙｚ平面において、中心放射線とｚ軸との間に第１の旋回角度θ_ｕが存在している構成となるように、前記３つの撮像構成要素のうちの少なくとも２つを移動させるステップであって、ここで、前記検出器（３）がｙ_ｄ１座標を有していると共に、前記管（１）がｙ_１座標を有しており、前記第２のデカルト座標系の原点において、中心放射線（１１）が前記検出器（３）に衝突する、ステップ、
   ｂ２）ａ２）の後、前記オブジェクト（４）をｙ_ｏ軸に沿って第１の極点から第２の極点に移動させるステップであって、記憶媒体内に格納されているＸ線画像は、前記移動に沿って事前定義可能な距離にて作成され、前記第１の極点は、ｙ_ｏ１座標を有しており、前記第２の極点は、ｙ_ｏ２座標を有しており、前記オブジェクト（４）は、少なくとも部分的に、前記Ｘ線を通過している、ステップ、
   ｃ２）ｂ２）の後、前記３つの撮像構成要素のうちの少なくとも２つが前記基本位置の外側に位置し、ｚ軸、ｚ_ｏ軸及びｚ_ｄ軸が互いに平行に延びており、ｘ軸、ｘ_ｏ軸及びｘ_ｄ軸が互いに平行に延びており、かつ、ｙｚ平面において、中心放射線とｚ軸との間に第２の旋回角度θ_ｏが存在している構成となるように、前記３つの撮像構成要素のうちの少なくとも２つを移動させるステップであって、ここで、前記検出器（３）がｙ_ｄ２座標を有していると共に、前記管（１）がｙ_２座標を有しており、前記第２のデカルト座標系の原点において、前記中心放射線（１１）が前記検出器（３）に衝突し、ここで、ｙ_２≠ｙ_１及びｙ_ｄ２≠ｙ_ｄ１である、ステップ、並びに、
   ｄ２）ｃ２）の後、前記オブジェクト（４）をｙ_ｏ軸に沿って第３の極点から第４の極点に移動させるステップであって、記憶媒体内に格納されているＸ線画像は、前記移動に沿って事前定義可能な距離にて作成され、前記第３の極点は、ｙ_ｏ３座標を有しており、前記第４の極点は、ｙ_ｏ４座標を有しており、前記オブジェクト（４）は、少なくとも部分的に、前記Ｘ線を通過している、ステップ、
   により垂直軌跡を通過すると共に、
   ・以下のステップ：
   ｅ２）前記３つの撮像構成要素のうちの少なくとも２つが基本位置の外側に位置し、ｚ軸、ｚ_ｏ軸及びｚ_ｄ軸が互いに平行に延びており、ｘ軸、ｘ_ｏ軸及びｘ_ｄ軸が互いに平行に延びており、かつ、ｘｚ平面において、中心放射線（１１）とｚ軸との間に第１の回転角β_ｌが存在している構成となるように、前記３つの撮像構成要素のうちの少なくとも２つを移動させるステップであって、ここで、前記検出器（３）がｘ_ｄ１座標を有していると共に、前記管（１）がｘ_１座標を有しており、前記第２のデカルト座標系の原点において、中心放射線（１１）が前記検出器（３）に衝突する、ステップ、
   ｆ２）ｅ２）の後、前記オブジェクト（４）を、ｘ_ｏ軸に沿って、第５の極点から第６の極点へと移動させるステップであって、記憶媒体内に格納されているＸ線画像は、前記移動に沿って事前定義可能な距離にて作成され、前記第５の極点は、ｘ_ｏ１座標を有しており、前記第６の極点は、ｘ_ｏ２座標を有しており、前記オブジェクト（４）は、少なくとも部分的に、前記Ｘ線を通過している、ステップ、
   ｇ２）ｆ２）の後、前記３つの撮像構成要素のうちの少なくとも２つが前記基本位置の外側に位置し、ｚ軸、ｚ_ｏ軸及びｚ_ｄ軸が互いに平行に延びており、ｘ軸、ｘ_ｏ軸及びｘ_ｄ軸が互いに平行に延びており、かつ、ｘｚ平面において、中心放射線（１１）とｚ軸との間に第２の回転角β_ｒが存在している構成となるように、前記３つの撮像構成要素のうちの少なくとも２つを移動させるステップであって、ここで、前記検出器（３）がｘ_ｄ２座標を有していると共に、前記管（１）がｘ_２座標を有しており、前記第２のデカルト座標系の原点において、前記中心放射線（１１）が前記検出器（３）に衝突し、ここで、ｘ_２≠ｘ_１及びｘ_ｄ２≠ｘ_ｄ１である、ステップ、並びに、
   ｈ２）ｇ２）の後、前記オブジェクト（４）を、ｘ_ｏ軸に沿って、第７の極点から第８の極点へと移動させるステップであって、記憶媒体内に格納されているＸ線画像は、前記移動に沿って事前定義可能な距離にて作成され、前記第７の極点は、ｘ_ｏ３座標を有しており、前記第８の極点は、ｘ_ｏ４座標を有しており、前記オブジェクト（４）は、少なくとも部分的に、前記Ｘ線を通過している、ステップ、
   により水平軌跡を通過する、
   とのステップを有する、
   方法。
3. Ｘ線システムを使用して平坦なオブジェクト（４）内の空間的広がりを再構築するためのデータを生成する方法であって、前記Ｘ線システムは、管（１）、検出器（３）、及び、前記管（１）と前記検出器（３）との間に位置するオブジェクト（４）を有しており、
   前記管（１）は、焦点（２）を有しており、前記焦点（２）は、前記管（１）の中心位置において、第１のデカルト座標系の座標原点を形成していると共に、コーンビーム（１０）を放射し、前記コーンビーム（１０）の中心放射線（１４）は、前記第１の座標系のｚ軸を形成し、前記第１の座標系のｘ軸は、水平方向に延びており、
   前記検出器（３）の中心位置において、前記中心放射線（１４）が前記検出器（３）に垂直に衝突し、この衝突点は、第２のデカルト座標系の原点を形成し、前記第２の座標系のｚ_ｄ軸は、前記検出器（３）の中心位置にある前記管（１）の中心位置のｚ軸と同一であり、前記第２の座標系のｘ_ｄ軸は、水平方向に延びており、
   前記オブジェクト（４）の中立位置（５）において、前記オブジェクト（４）は、第３のデカルト座標系を有しており、前記第３の座標系の原点は、前記管（１）の中心位置の前記中心放射線と、垂直方向に延びている前記オブジェクト（４）の回転軸との交点であり、前記オブジェクト（４）の中立位置において、前記第３の座標系のｚ_ｏ軸は、前記管（１）の中心位置の前記中心放射線（１４）と一致しており、前記オブジェクト（４）の中立位置（５）において、前記第３の座標系のｘ_ｏ軸は、前記管（１）の前記中心位置においてｘ軸と平行に延びており、
   前記管（１）は、該管（１）の中心位置に応じたｙ軸に沿って移動可能であり、
   前記３つの撮像構成要素のうち少なくとも２つは、それらそれぞれのｘ軸に沿って、すなわち、前記管（１）は、該管（１）の中心位置に応じたｘ軸に沿って、前記検出器（３）は、該検出器（３）の中心位置に応じたｘ_ｄ軸に沿って、前記オブジェクト（４）は、該オブジェクト（４）の中立位置（５）に応じたｘ_ｏ軸に沿って、移動可能であり、
   前記オブジェクト（４）は、該オブジェクト（４）の中立位置（５）に応じたｙ_ｏ軸周りに移動可能であり、かつ、それぞれの場合において該オブジェクト（４）の中立位置（５）に応じたｘ_ｏ軸に沿って回転可能であり、
   ・以下のステップ：
   ａ３）ｚ軸、ｚ_ｏ軸及びｚ_ｄ軸が一致しており、かつ、ｘ軸、ｘ_ｏ軸及びｘ_ｄ軸が互いに平行に延びている基本位置となるように、前記３つの撮像構成要素を移動させて、前記オブジェクト（４）をｘ_ｏ軸周りに第１の旋回角度θ_ｕ回転させる、ステップ、
   ｂ３）ａ３）の後、前記オブジェクト（４）をｙ_ｏ軸に沿って第１の極点から第２の極点に移動させるステップであって、記憶媒体内に格納されているＸ線画像は、前記移動に沿って事前定義可能な距離にて作成され、前記第１の極点は、ｙ_ｏ１座標を有しており、前記第２の極点は、ｙ_ｏ２座標を有しており、前記オブジェクト（４）は、少なくとも部分的に、前記Ｘ線を通過している、ステップ、
   ｃ３）ｂ３）の後、前記オブジェクト（４）を、ｘ_ｏ軸の周りに、第１の旋回角度θ_ｕとは異なる第２の旋回角度θ_ｏ回転させる、ステップ、並びに、
   ｄ３）ｃ３）の後、前記オブジェクト（４）をｙ_ｏ軸に沿って第３の極点から第４の極点に移動させるステップであって、記憶媒体内に格納されているＸ線画像は、前記移動に沿って事前定義可能な距離にて作成され、前記第３の極点は、ｙ_ｏ３座標を有しており、前記第４の極点は、ｙ_ｏ４座標を有しており、前記オブジェクト（４）は、少なくとも部分的に、前記Ｘ線を通過している、ステップ、
   により垂直軌跡を通過すると共に、
   ・以下のステップ：
   ｅ３）前記３つの撮像構成要素のうちの少なくとも２つが基本位置の外側に位置し、ｚ軸、ｚ_ｏ軸及びｚ_ｄ軸が互いに平行に延びており、ｘ軸、ｘ_ｏ軸及びｘ_ｄ軸が互いに平行に延びており、かつ、ｘｚ平面において、中心放射線（１１）とｚ軸との間に第１の回転角β_ｌが存在している構成となるように、３つの撮像構成要素のうちの少なくとも２つを移動させるステップであって、ここで、前記検出器（３）がｘ_ｄ１座標を有していると共に、前記管（１）がｘ_１座標を有しており、前記第２のデカルト座標系の原点において、中心放射線（１１）が前記検出器（３）に衝突する、ステップ、
   ｆ３）ｅ３）の後、前記オブジェクト（４）を、ｘ_ｏ軸に沿って、第５の極点から第６の極点へと移動させるステップであって、記憶媒体内に格納されているＸ線画像は、前記移動に沿って事前定義可能な距離にて作成され、前記第５の極点は、ｘ_ｏ１座標を有しており、前記第６の極点は、ｘ_ｏ２座標を有しており、前記オブジェクト（４）は、少なくとも部分的に、前記Ｘ線を通過している、ステップ、
   ｇ３）ｆ３）の後、前記３つの撮像構成要素のうちの少なくとも２つが前記基本位置の外側に位置し、ｚ軸、ｚ_ｏ軸及びｚ_ｄ軸が互いに平行に延びており、ｘ軸、ｘ_ｏ軸及びｘ_ｄ軸が互いに平行に延びており、かつ、ｘｚ平面において、中心放射線（１１）とｚ軸との間に第２の回転角β_ｒが存在している構成となるように、前記３つの撮像構成要素のうちの少なくとも２つを移動させるステップであって、ここで、前記検出器（３）がｘ_ｄ２座標を有していると共に、前記管（１）がｘ_２座標を有しており、前記第２のデカルト座標系の原点において、前記中心放射線（１１）が前記検出器（３）に衝突し、ここで、ｘ_２≠ｘ_１及びｘ_ｄ２≠ｘ_ｄ１である、ステップ、並びに、
   ｈ３）ｇ３）の後、前記オブジェクト（４）を、ｘ_ｏ軸に沿って、第７の極点から第８の極点へと移動させるステップであって、記憶媒体内に格納されているＸ線画像は、前記移動に沿って事前定義可能な距離にて作成され、前記第７の極点は、ｘ_ｏ３座標を有しており、前記第８の極点は、ｘ_ｏ４座標を有しており、前記オブジェクト（４）は、少なくとも部分的に、前記Ｘ線を通過している、ステップ、
   により水平軌跡を通過する、
   とのステップを有する、
   方法。
4. Ｘ線システムを使用して平坦なオブジェクト（４）内の空間的広がりを再構築するためのデータを生成する方法であって、前記Ｘ線システムは、管（１）、検出器（３）、及び、前記管（１）と前記検出器（３）との間に位置するオブジェクト（４）を有しており、
   前記管（１）は、焦点（２）を有しており、前記焦点（２）は、前記管（１）の中心位置において、第１のデカルト座標系の座標原点を形成していると共に、コーンビーム（１０）を放射し、前記コーンビーム（１０）の中心放射線（１４）は、前記第１の座標系のｚ軸を形成し、前記第１の座標系のｘ軸は、水平方向に延びており、
   前記検出器（３）の中心位置において、前記中心放射線（１４）が前記検出器（３）に垂直に衝突し、この衝突点は、第２のデカルト座標系の原点を形成し、前記第２の座標系のｚ_ｄ軸は、前記検出器（３）の中心位置にある前記管（１）の中心位置のｚ軸と同一であり、前記第２の座標系のｘ_ｄ軸は、水平方向に延びており、
   前記オブジェクト（４）の中立位置（５）において、前記オブジェクト（４）は、第３のデカルト座標系を有しており、前記第３の座標系の原点は、前記管（１）の中心位置の前記中心放射線（１４）と、垂直方向に延びている前記オブジェクト（４）の回転軸との交点であり、前記オブジェクト（４）の中立位置（５）において、前記第３の座標系のｚ_ｏ軸は、前記管（１）の中心位置の前記中心放射線（１４）と一致しており、前記オブジェクト（４）の中立位置（５）において、前記第３の座標系のｘ_ｏ軸は、前記管（１）の前記中心位置においてｘ軸と平行に延びており、
   前記オブジェクト（４）は、それぞれの場合において該オブジェクト（４）の中立位置（５）に応じたｘ_ｏ軸及びｙ_ｏ軸に沿って移動可能であり、かつ、それぞれの場合において該オブジェクト（４）の中立位置（５）に応じたｘ_ｏ及びｙ_ｏ軸周りに回転可能であり、
   ・以下のステップ：
   ａ４）ｚ軸、ｚ_ｏ軸及びｚ_ｄ軸が一致しており、かつ、ｘ軸、ｘ_ｏ軸及びｘ_ｄ軸が互いに平行に延びている前記基本位置となるように、前記３つの撮像構成要素を移動させて、前記オブジェクト（４）をｘ_ｏ軸周りに第１の旋回角度θ_ｕ回転させる、ステップ、
   ｂ４）ａ４）の後、前記オブジェクト（４）をｙ_ｏ軸に沿って第１の極点から第２の極点に移動させるステップであって、記憶媒体内に格納されているＸ線画像は、前記移動に沿って事前定義可能な距離にて作成され、前記第１の極点は、ｙ_ｏ１座標を有しており、前記第２の極点は、ｙ_ｏ２座標を有しており、前記オブジェクト（４）は、少なくとも部分的に、前記Ｘ線を通過している、ステップ、
   ｃ４）ｂ４）の後、前記オブジェクト（４）を、ｘ_ｏ軸の周りに、第１の旋回角度θ_ｕとは異なる第２の旋回角度θ_ｏ回転させる、ステップ、並びに、
   ｄ４）ｃ４）の後、前記オブジェクト（４）をｙ_ｏ軸に沿って第３の極点から第４の極点に移動させるステップであって、記憶媒体内に格納されているＸ線画像は、前記移動に沿って事前定義可能な距離にて作成され、前記第３の極点は、ｙ_ｏ３座標を有しており、前記第４の極点は、ｙ_ｏ４座標を有しており、前記オブジェクト（４）は、少なくとも部分的に、前記Ｘ線を通過している、ステップ、
   により垂直軌跡を通過すると共に、
   ・以下のステップ：
   ｅ４）前記管（１）と前記検出器（３）がそれぞれの中心位置に位置し、かつ、前記オブジェクト（４）が該オブジェクト（４）の中立位置（５）に位置する構成となるように、前記管（１）、前記検出器（３）及び前記オブジェクト（４）を移動させるステップ、
   ｆ４）ｅ４）の後、前記オブジェクト（４）を、該オブジェクト（４）の中立位置（５）から、ｙ_ｏ軸周りに第１の回転角度β_ｌ回転させると共に、前記オブジェクト（４）を、前記管（１）の中心位置において前記管（１）のｘ軸に平行に、第５の極点から第６の極点へと移動させるステップであって、記憶媒体内に格納されているＸ線画像は、前記移動に沿って事前定義可能な距離にて作成され、前記第５の極点は、ｘ_ｏ１座標を有しており、前記第６の極点は、ｘ_ｏ２座標を有しており、前記オブジェクト（４）は、少なくとも部分的に、前記Ｘ線を通過している、ステップ、並びに、
   ｇ４）ｆ４）の後、前記オブジェクト（４）を、ｙ_ｏ軸周りに第２の回転角度β_ｒ（β_ｒ≠β_ｌ）回転させると共に、前記オブジェクト（４）を、前記管（１）の中心位置において前記管（１）のｘ軸に平行に、第７の極点から第８の極点へと移動させるステップであって、記憶媒体内に格納されているＸ線画像は、前記移動に沿って事前定義可能な距離にて作成され、前記第７の極点は、ｘ_ｏ３座標を有しており、前記第８の極点は、ｘ_ｏ４座標を有しており、前記オブジェクト（４）は、少なくとも部分的に、前記Ｘ線を通過している、ステップ、
   により水平軌跡を通過する、
   とのステップを有する、
   方法。
5. 前記オブジェクト（４）は、ｚ_ｏ軸に沿って移動可能であり、かつ、前記検出器（３）は、ｚ_ｄ軸に沿って移動可能である、請求項１～４のいずれか１項に記載の方法。
6. 各Ｘ線画像の撮影中に、前記検出器（３）は、前記コーンビーム（１０）によって完全に照明される、請求項１～５のいずれか１項に記載の方法。
7. 前記管（１）は、ｙ軸周りに回転可能であり、かつ／又は、前記管（１）は、ｘ軸周りに回転可能であり、かつ／又は、前記検出器（３）は、ｙ_ｄ軸周りに回転可能であり、かつ／又は、前記検出器（３）は、ｘ_ｄ軸周りに回転可能である、請求項１～６のいずれか１項に記載の方法。
8. 前記中心放射線（１１）は、前記検出器（３）の表面に対して常に垂直である、請求項７に記載の方法。
9. 前記オブジェクト（４）は、各部分軌道中に前記コーンビーム（１０）を通過する、請求項１～８のいずれか１項に記載の方法。

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