JP2021190489A - Protection member formation device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ウェーハに保護部材を形成する保護部材形成装置に関する。 The present invention relates to a protective member forming apparatus for forming a protective member on a wafer.
例えば、特許文献1には、シリコンインゴット等からスライスしたアズスライスウェーハを研削砥石で研削してアズスライスウェーハの反り、及び切り出された面のうねりを除去するために、研削を実施する前にアズスライスウェーハの一方の面に液状樹脂を押し広げ硬化させ保護部材を形成する保護部材形成装置が開示されている。
For example, in
特許文献1に開示されているような保護部材形成装置は、ガラスステージに保持させたシートフィルムに液状樹脂を所定量供給し、その液状樹脂を保持手段に保持されたウェーハで上側から押圧してウェーハの下面に押し広げた後、紫外線を照射する等して硬化させ保護部材を形成している。この液状樹脂を押し広げる際に、保持手段とガラスステージとに荷重がかかる。その荷重によってウェーハを吸引保持する保持手段が傾くと、ウェーハに均一な厚みの保護部材が形成できないという問題が有る。
したがって、保護部材形成装置においては、保持手段が傾くことなく、均一な厚みの保護部材をウェーハに形成するという解決すべき課題がある。
In the protective member forming apparatus as disclosed in
Therefore, in the protective member forming apparatus, there is a problem to be solved that the protective member having a uniform thickness is formed on the wafer without tilting the holding means.
上記課題を解決するための本発明は、シートを載置する載置面を有するステージと、該ステージに載置した該シートの上に所定量の液状樹脂を供給する液状樹脂供給手段と、該載置面に対面しウェーハを保持する保持面を有する保持部と、該ステージと該保持部とを相対的に該載置面に垂直な方向に移動させ該液状樹脂を押し広げる押し広げ手段と、該載置面と該保持面とに挟まれウェーハの下面に押し広げられた該液状樹脂に外的刺激を与えて硬化させる硬化手段と、制御手段と、を備える保護部材形成装置であって、該押し広げ手段は、該ステージを下から支持する下ベース、及び該保持部を支持する支持ベースを少なくとも有し、該ステージの該載置面に対して垂直方向に延在するボールネジによって該保持部を該垂直方向に移動させ、該シート上に供給された該液状樹脂に該保持部が保持したウェーハを接触させる垂直移動機構と、該垂直移動機構により該液状樹脂に接触させたウェーハを保持する該保持部を該垂直方向に昇降自在に該ボールネジに接続する接続部と、該垂直方向に昇降自在な該保持部の該保持面を該載置面に平行な状態で該載置面に向かって下降させるために、該下ベースの上面、又は該支持ベースの下面の少なくともいずれか一方において、該載置面、又は該保持面の中心を中心として水平方向に形成する三角形の頂点それぞれに配設される電磁石と、を備え、該載置面、又は該保持面の中心を中心とし水平方向に形成する三角形の各頂点にそれぞれ配置され該載置面と該保持面との距離を測定する3つのスケールを備え、該制御手段は、該電磁石によりウェーハを保持した該保持面を該載置面に向かって下降させている際に、3つの該スケールの測定値が一致するように、各々の該電磁石に流す電流の値を制御する、保護部材形成装置である。 The present invention for solving the above problems includes a stage having a mounting surface on which a sheet is placed, a liquid resin supply means for supplying a predetermined amount of liquid resin on the sheet placed on the stage, and the like. A holding portion having a holding surface facing the mounting surface and holding the wafer, and a spreading means for moving the stage and the holding portion in a direction relatively perpendicular to the mounting surface to spread the liquid resin. A protective member forming device including a curing means for applying an external stimulus to cure the liquid resin sandwiched between the mounting surface and the holding surface and spread on the lower surface of the wafer, and a control means. The push-spreading means has at least a lower base that supports the stage from below and a support base that supports the holding portion, and is said to have a ball screw extending perpendicular to the mounting surface of the stage. A vertical moving mechanism that moves the holding portion in the vertical direction and brings the wafer held by the holding portion into contact with the liquid resin supplied on the sheet, and a wafer that is brought into contact with the liquid resin by the vertical moving mechanism. The mounting surface is parallel to the mounting surface with a connection portion that connects the holding portion to be held vertically to the ball screw and a holding surface of the holding portion that can be vertically lifted and lowered. Each of the vertices of a triangle formed horizontally about the center of the mounting surface or the holding surface on at least one of the upper surface of the lower base and the lower surface of the support base in order to lower toward. The mounting surface is provided with an electromagnet and is arranged at each apex of a triangle formed in the horizontal direction with the center of the mounting surface or the holding surface as the center, and the distance between the mounting surface and the holding surface is determined. The control means comprises three scales to be measured so that the measured values of the three scales match when the holding surface holding the wafer by the electromagnet is lowered toward the mounting surface. , A protective member forming device that controls the value of the current flowing through each of the electric magnets.
本発明に係る保護部材形成装置は、前記保持部を前記載置面から上方向に付勢する付勢部を備え、前記制御手段は、該付勢部による該保持部を上方向に付勢する力に反して、前記ステージと該保持部とを接近させるように前記電磁石に流す電流の値を制御すると好ましい。 The protective member forming apparatus according to the present invention includes an urging portion that urges the holding portion upward from the above-mentioned mounting surface, and the control means urges the holding portion by the urging portion upward. It is preferable to control the value of the current flowing through the electromagnet so that the stage and the holding portion are brought close to each other against the force of the force.
また、上記課題を解決するための本発明は、シートを載置する載置面を有するステージと、該ステージに載置した該シートの上に所定量の液状樹脂を供給する液状樹脂供給手段と、該載置面に対面しウェーハを保持する保持面を有する保持部と、該ステージと該保持部とを相対的に該載置面に垂直な方向に移動させ該液状樹脂を押し広げる押し広げ手段と、該載置面と該保持面とに挟まれウェーハの下面に押し広げられた該液状樹脂に外的刺激を与えて硬化させる硬化手段と、制御手段と、を備える保護部材形成装置であって、該押し広げ手段は、該ステージを下から支持する下ベース、及び該保持部を支持する支持ベースを少なくとも有し、該ステージの該載置面に対して垂直方向に該保持部を移動させる垂直移動機構と、該載置面に対して該垂直方向に該保持部の該保持面を該載置面に平行な状態で下降させるために、該下ベースの上面、又は該支持ベースの下面の少なくともいずれか一方において、該載置面、又は該保持面の中心を中心として水平方向に形成する三角形の頂点それぞれに配設される電磁石と、を備え、該載置面、又は該保持面の中心を中心とし水平方向に形成する三角形の各頂点にそれぞれ配置され該載置面と該保持面との距離を測定する3つのスケールを備え、該制御手段は、該垂直移動機構を用いて該保持部を該載置面に向かって下降させる下降制御部と、3つの該スケールの測定値が一致するように、各々の該電磁石に流す電流の値を制御する電流制御部と、を備える保護部材形成装置である。 Further, the present invention for solving the above problems includes a stage having a mounting surface on which a sheet is placed, and a liquid resin supply means for supplying a predetermined amount of liquid resin on the sheet placed on the stage. , The holding portion having a holding surface facing the mounting surface and holding the wafer, and the stage and the holding portion are moved in a direction relatively perpendicular to the mounting surface to spread the liquid resin. A protective member forming device including means, curing means for curing the liquid resin sandwiched between the mounting surface and the holding surface and spread on the lower surface of the wafer by applying an external stimulus, and control means. Therefore, the spreading means has at least a lower base that supports the stage from below and a support base that supports the holding portion, and holds the holding portion in a direction perpendicular to the mounting surface of the stage. A vertical moving mechanism to be moved, and an upper surface of the lower base or a support base in order to lower the holding surface of the holding portion in the direction perpendicular to the mounting surface in a state parallel to the mounting surface. On at least one of the lower surfaces of the surface, the mounting surface or an electromagnet disposed at each of the apex of a triangle formed horizontally about the center of the holding surface is provided with the mounting surface or the mounting surface. It is provided with three scales arranged at each apex of a triangle formed horizontally around the center of the holding surface and measuring the distance between the mounting surface and the holding surface, and the control means controls the vertical movement mechanism. A lowering control unit that uses the holding unit to lower the holding unit toward the mounting surface, and a current control unit that controls the value of the current flowing through each of the electric magnets so that the measured values of the three scales match. It is a protective member forming device provided with.
例えば、前記垂直移動機構は、前記垂直方向に延在するボールネジと、該ボールネジを回転させるモータと、を少なくとも備えると好ましい。 For example, it is preferable that the vertical movement mechanism includes at least a ball screw extending in the vertical direction and a motor for rotating the ball screw.
例えば、前記垂直移動機構は、一方を前記下ベースに連結し、他方を前記垂直方向に移動させる該支持ベースに連結した伸縮シリンダであって、シリンダチューブと、該シリンダチューブ内を摺動するピストンと、該ピストンに連結させるロッドと、を備えると好ましい。 For example, the vertical movement mechanism is a telescopic cylinder connected to a support base that connects one to the lower base and moves the other in the vertical direction, and is a cylinder tube and a piston that slides in the cylinder tube. And a rod to be connected to the piston.
本発明に係る保護部材形成装置は、押し広げ手段は、ステージを下から支持する下ベース、及び保持部を支持する支持ベースを少なくとも有し、ステージの載置面に対して垂直方向に延在するボールネジによって保持部を垂直方向に移動させ、シート上に供給された液状樹脂に保持部が保持したウェーハを接触させる垂直移動機構と、垂直移動機構により液状樹脂に接触させたウェーハを保持する保持部を垂直方向に昇降自在にボールネジに接続する接続部と、該垂直方向に昇降自在な保持部の保持面を載置面に平行な状態で載置面に向かって下降させるために、下ベースの上面、又は支持ベースの下面の少なくともいずれか一方において、載置面、又は保持面の中心を中心として水平方向に形成する三角形の頂点それぞれに配設される電磁石と、を備え、載置面、又は保持面の中心を中心とし水平方向に形成する三角形の各頂点にそれぞれ配置され載置面と保持面との距離を測定する3つのスケールを備え、制御手段は、電磁石によりウェーハを保持した保持面を載置面上の液状樹脂に向かって接触させ下降させている際に、3つのスケールの測定値が一致するように、各々の電磁石に流す電流の値を制御することで、保護部材形成時にウェーハの押し付けにより保持部が荷重(ステージ側からの反力)を受けても、適切な電流がそれぞれ流された3つの電磁石が生み出す磁力によって、保持面を載置面に平行な状態(即ち、保持部が傾いていない状態)で載置面に近づけて液状樹脂をウェーハの下面全面に拡張させていくことが可能となるため、ウェーハに対する均一な厚みの保護部材の形成が可能になる。 In the protective member forming apparatus according to the present invention, the spreading means has at least a lower base that supports the stage from below and a support base that supports the holding portion, and extends in the direction perpendicular to the mounting surface of the stage. A vertical movement mechanism that moves the holding part in the vertical direction by the ball screw to bring the wafer held by the holding part into contact with the liquid resin supplied on the sheet, and a holding that holds the wafer in contact with the liquid resin by the vertical movement mechanism. A lower base for lowering the connection part that connects the part vertically to the ball screw and the holding surface of the vertically movable holding part toward the mounting surface in a state parallel to the mounting surface. On at least one of the upper surface and the lower surface of the support base, the mounting surface is provided with an electromagnet disposed at each of the apex of a triangle formed horizontally about the center of the mounting surface or the holding surface. , Or three scales that are arranged at each apex of a triangle formed horizontally around the center of the holding surface and measure the distance between the mounting surface and the holding surface, and the control means holds the wafer by an electromagnet. A protective member by controlling the value of the current flowing through each electromagnet so that the measured values of the three scales match when the holding surface is brought into contact with the liquid resin on the mounting surface and lowered. Even if the holding part receives a load (reaction force from the stage side) due to the pressing of the wafer during formation, the holding surface is parallel to the mounting surface due to the magnetic force generated by the three electromagnets to which appropriate currents are passed. That is, since the liquid resin can be expanded over the entire lower surface of the wafer by approaching the mounting surface in a state where the holding portion is not tilted), it is possible to form a protective member having a uniform thickness for the wafer. ..
また、本発明の係る保護部材形成装置は、保持部を載置面から上方向に付勢する付勢部を備え、制御手段は、付勢部による保持部を上方向に付勢する力に反して、ステージと保持部とを接近させるように電磁石に流す電流の値を制御することで、保持面を載置面に平行な状態(即ち、保持部が傾いていない状態)で載置面に近づけて液状樹脂をウェーハの下面全面に拡張させていくことが可能となるため、ウェーハに対する均一な厚みの保護部材の形成が可能になる。 Further, the protective member forming device according to the present invention is provided with an urging portion that urges the holding portion upward from the mounting surface, and the control means is a force that urges the holding portion by the urging portion upward. On the contrary, by controlling the value of the current flowing through the electromagnet so that the stage and the holding portion are brought close to each other, the mounting surface is parallel to the mounting surface (that is, the holding portion is not tilted). Since the liquid resin can be expanded over the entire lower surface of the wafer by approaching the wafer, it is possible to form a protective member having a uniform thickness with respect to the wafer.
また、本発明に係る保護部材形成装置は、押し広げ手段は、ステージを下から支持する下ベース、及び保持部を支持する支持ベースを少なくとも有し、ステージの載置面に対して垂直方向に保持部を移動させ例えばシート上に供給された液状樹脂に保持部が保持したウェーハを接触させる垂直移動機構と、該載置面に対して該垂直方向に該保持部の該保持面を該載置面に平行な状態で下降させるために、下ベースの上面、又は支持ベースの下面の少なくともいずれか一方において、載置面、又は保持面の中心を中心として水平方向に形成する三角形の頂点それぞれに配設される電磁石と、を備え、載置面、又は保持面の中心を中心とし水平方向に形成する三角形の各頂点にそれぞれ配置され載置面と保持面との距離を測定する3つのスケールを備え、制御手段は、垂直移動機構を用いて保持部を載置面に向かって下降させる下降制御部と、3つのスケールの測定値が一致するように、各々の電磁石に流す電流の値を制御する電流制御部と、を備えることで、保護部材形成時にウェーハの押し付けにより保持部が荷重(ステージ側からの反力)を受けても、適切な電流がそれぞれ流された3つの電磁石が生み出す磁力によって、保持面を載置面に平行な状態(即ち、保持部が傾いていない状態)で載置面に近づけて液状樹脂をウェーハの下面全面に拡張させていくことが可能となるため、ウェーハに対する均一な厚みの保護部材の形成が可能になる Further, in the protective member forming apparatus according to the present invention, the spreading means has at least a lower base that supports the stage from below and a support base that supports the holding portion, and is perpendicular to the mounting surface of the stage. A vertical moving mechanism that moves the holding portion to bring the wafer held by the holding portion into contact with, for example, the liquid resin supplied on the sheet, and the holding surface of the holding portion in the direction perpendicular to the mounting surface. Each of the vertices of a triangle formed horizontally around the center of the mounting surface or holding surface on at least one of the upper surface of the lower base and the lower surface of the support base in order to lower in a state parallel to the mounting surface. It is equipped with an electromagnet and is arranged at each apex of a triangle formed horizontally around the center of the mounting surface or the holding surface, and measures the distance between the mounting surface and the holding surface. A scale is provided, and the control means is a descending control unit that lowers the holding unit toward the mounting surface using a vertical movement mechanism, and the value of the current flowing through each electromagnet so that the measured values of the three scales match. By providing a current control unit that controls the current, even if the holding unit receives a load (reaction force from the stage side) due to the pressing of the wafer during the formation of the protective member, the three electromagnets to which an appropriate current is passed are respectively. The generated magnetic force makes it possible to bring the holding surface closer to the mounting surface in a state parallel to the mounting surface (that is, in a state where the holding portion is not tilted) and expand the liquid resin over the entire lower surface of the wafer. , It is possible to form a protective member with a uniform thickness for the wafer.
図1は、シート82を載置する載置面3000を有するステージ30と、ステージ30に載置したシート82の上に所定量の液状樹脂を供給する液状樹脂供給手段18と、載置面3000にZ軸方向(鉛直方向)において対面しウェーハ80を保持する保持面601を有する保持部60と、ステージ30と保持部60とを相対的に載置面3000に垂直な方向(Z軸方向)に移動させ液状樹脂を押し広げる押し広げ手段2と、載置面3000と保持面601とに挟まれウェーハ80の下面800に押し広げられた液状樹脂に外的刺激(本実施形態においては紫外線照射)を与えて硬化させる硬化手段402(図2参照)と、制御手段9と、を備える保護部材形成装置1を示す斜視図である。
FIG. 1 shows a
図1に示すウェーハ80は、例えば、円柱状のシリコンインゴットをワイヤーソー等で薄く切断して形成された円形のアズスライスウェーハであるが、これに限定されるものではない。ウェーハ80は分割予定ラインに区画された領域にデバイスが形成された半導体ウェーハであってもよい。
図1に示すシート82は、例えば、ポリオレフィン系の樹脂等で構成されるシートであり、ウェーハ80よりも大径の円形となっているが、これに限定されるものではない。
The
The
ステージ30は、外形が平面視円形状であり、例えば、石英ガラス等の円形のガラス板300と、ガラス板300を支持する円形凹部を有する円筒状の枠体301とを備える。ガラス板300の平坦な上面である載置面3000には、シート82が載置され、シート82上に液状樹脂が溜められる。
The
例えば、所定の合金等で形成される枠体301の円環状の上面は、ガラス板300の載置面3000と同一の高さに設定されている。枠体301の直径は、例えば、保持するウェーハ80よりも大径に設定されている。
For example, the annular upper surface of the
図1、2に示すように、ステージ30は、押し広げ手段2を構成する下ベース40によって下側から支持されている。下ベース40は、例えば、平面視略正三角状に形成されており、下ベース40の上面にガラス板300を支持した枠体301が固定されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
図2に示すように、例えば、下ベース40によって支持されたステージ30のガラス板300と下ベース40との間には円柱状の空間が設けられており、該空間内に硬化手段402が配設されている。そして、硬化手段402は例えば紫外線照射ランプであり、硬化手段402から上方に向かって照射されガラス板300やシート82を透過した紫外線によって、ステージ30の載置面3000に載置されたシート82上に溜められ上からウェーハ80によって押圧されウェーハ80の下面800全面に広げられた液状樹脂が硬化される。
As shown in FIG. 2, for example, a columnar space is provided between the
図1に示す液状樹脂供給手段18は、樹脂供給ノズル180と、樹脂供給ノズル180に所定量の液状樹脂188を送出する図示しないディスペンサと、可撓性を備える樹脂チューブ等を介して図示しないディスペンサに連通する樹脂供給源189とを備えている。
例えば側面視逆L字状の樹脂供給ノズル180は、ステージ30の載置面3000に向く供給口1800を有している。樹脂供給ノズル180は、軸方向がZ軸方向である回転軸回りに旋回可能となっており、ステージ30の上方から退避位置まで供給口1800を移動することができる。
樹脂供給源189が供給する液状樹脂188は、本実施形態においては紫外線が照射されることで硬化する紫外線硬化樹脂であるが、熱が加えられることで硬化する熱硬化樹脂であってもよい。この場合には、図2に示す硬化手段402は、ヒーターであってもよい。
The liquid resin supply means 18 shown in FIG. 1 includes a
For example, the
In the present embodiment, the
図1、2に示す保持部60は、本実施形態においては、例えば、平面視円形のホイール600と、ポーラス部材等からなりホイール600によって支持されウェーハ80を吸引保持する図示しないポーラス板とを備えている。円形板状の図示しないポーラス板は、例えば、ホイール600の下面側に嵌め込まれており、真空発生装置等の吸引源に連通している。そして、吸引源が吸引することで生み出された吸引力が、保持部60の下面であり水平面(X軸Y軸平面)に平行な平坦な保持面601に伝達されることで、保持面601でウェーハ80を吸引保持することができる。
ウェーハ80に保護部材を形成しておらず保持部60が傾いていない状態においては、水平面に平行な保持面601とステージ30の載置面3000とは平行となっている。また、保持面601の中心と載置面3000の中心とは合致している。
In the present embodiment, the holding
In a state where the protective member is not formed on the
保持部60のホイール600の上面には、図2に示すように、例えば、保持したウェーハ80をステージ30上にシート82を介して溜められた液状樹脂188に+Z方向側から押し付けた際に、ステージ30からウェーハ80に加わる荷重を測定する荷重センサ61が複数配設されている。荷重センサ61は、例えば、ホイール600の上面にホイール600の周方向に120度間隔を空けて、3つ配設されている。そして、本実施形態において、3つの荷重センサ61は、それぞれ、ホイール600と後述する保持部連結具66とにより上下から挟まれ、ステージ30からウェーハ80に加わる+Z方向の向きの荷重が作用する作用点部となるように配設されている。荷重センサ61は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等の圧電素子を用いたキスラー社製の薄型力センサ等で構成されている。
As shown in FIG. 2, on the upper surface of the
図1、2に示す押し広げ手段2は、ステージ30を下から支持する下ベース40、保持部60を支持する支持ベース42、及び例えば支持ベース42を下ベース40とによって挟むように下ベース40に対向して配置する上ベース44を有し、ステージ30の載置面3000に対して垂直方向(Z軸方向)に延在するボールネジ47(図2のみ図示)によって保持部60を垂直方向に移動させ、シート82上に供給された液状樹脂188に保持部60が保持したウェーハ80を接触させる垂直移動機構4を備えている。
The spreading means 2 shown in FIGS. 1 and 2 has a
保持部60を支持する支持ベース42は、例えば、図1に示すように外形が平面視略正三角形状に形成されており、また、図2に示すように保持部60を円板状の保持部連結具66及び図示しない固定ボルト等を介して、その下面の中央領域において支持している。
The
例えば、図1に示すように、上下方向に移動可能な支持ベース42には、各頂点側の領域に付勢部46がそれぞれ連結されている。3つの付勢部46は、カウンタバランスと呼ばれ、押し広げ手段2に保持部60及び支持ベース42の自重による大きな負荷が掛かるため、その負荷を軽減相殺するための機構である。なお、保護部材形成装置1は、上ベース44および付勢部46を備えてなくてもよい。
For example, as shown in FIG. 1, a biasing
付勢部46について具体的に説明する。付勢部46は、例えば、図1、2に示すようにエアシリンダで構成され、有底円筒状のシリンダ460と、シリンダ460内部に配設され該内部を垂直方向(Z軸方向)に移動可能なピストン462と、シリンダ460に挿入され上端がピストン462に連結されたロッド464とを備える。
The urging
図2に示すように各ロッド464の下端側には、持ち上げブロック467が形成されており、図1に示す支持ベース42から下方に突き出た持ち上げブロック467の上面に、支持ベース42の下面が当接し、持ち上げブロック467によって該下面が持ち上げられるように支持される。
As shown in FIG. 2, a
また、シリンダ460の上側部分は、上ベース44に連結されている。シリンダ460の側壁の下部側又は底板には、エア導入口461が貫通形成されており、各エア導入口461は、コンプレッサー等からなるエア源15が各エア配管466を介して連通している。そして、シリンダ460内にエア導入口461を通りエア源15が供給するエアの圧力を調整することで、付勢部46による支持ベース42及び保持部60を持ち上げる力を調整することが可能となる。
Further, the upper portion of the
支持ベース42の上方には、上ベース44が支持ベース42を下ベース40とで上下方向から挟むように配置されている。上ベース44の外形は、例えば、支持ベース42と平面視相似形の略正三角形状に形成されており、各付勢部46を3つの頂点側の各領域で支持している。
Above the
図1、2に示すように、上ベース44の中心にはボールネジ挿通孔440がZ軸方向に貫通形成されており、該ボールネジ挿通孔440には、例えば軸中心が保持部60の水平面内における中心を通る軸心を備えZ軸方向に延在するボールネジ47が挿通されている。ボールネジ47の上端側はカップリング480及び図示しない軸受け等を介してモータ48が連結しており、ボールネジ47が回転可能となっている。
As shown in FIGS. 1 and 2, a ball
図2に示すように、押し広げ手段2は、垂直移動機構4によりステージ30上に溜められた液状樹脂188に接触させたウェーハ80を保持する保持部60を垂直方向(Z軸方向)に昇降自在にボールネジ47に接続する接続部27を備えている。
As shown in FIG. 2, the spreading
本実施形態における接続部27は、例えば、ボールネジ47に螺合するナット270と、ナット270の外側面に一体的に形成された平面視円環平板状のツバ部271と、ツバ部271にツバ部271の周方向に均等間隔を空けて複数、例えば、120度間隔を空けて3つ貫通形成された可動ピン挿通孔272と、可動ピン挿通孔272に配設されたロック部材273と、可動ピン挿通孔272に挿通されロック部材273によってツバ部271に対して固定された状態とツバ部271に対してZ軸方向に上下動可能な状態とを切り換え可能な可動ピン274と、を備えている。
The
ロック部材273は、例えば、制御手段9から通電されると可動ピン274をロックしてモータ48のボールネジ47の回動に伴うナット270の上下動と共に上下動可能な状態とし、制御手段9からの通電が止められると可動ピン274のロックを解除してナット270の上下動とは独立した後述する上側電磁石452と下側電磁石451との間に発生する電磁力による可動ピン274の下降動作を可能とする。
例えば3つの可動ピン274の下端側は支持ベース42の上面に固定されており、これによって、支持ベース42及び保持部60が、ナット270の上下動と共に上下動する場合と、停止した状態のナット270及びツバ部271に対して支持ベース42及び保持部60が相対的に下降可能な場合とが実現される。
For example, the
For example, the lower end side of the three
図1、2に示すガイドレール49は、下ベース40と上ベース44との間で支持ベース42のステージ30に対する垂直方向(Z軸方向)の移動をガイドするための、垂直移動機構4の構成要件の一つである。本実施形態においては、ガイドレール49は、保持部60の保持面601の中心を中心として水平方向に形成した仮想的な正三角形の各頂点となる位置に1本ずつ、計3本配設されているが、計2本であってもよい。
The
ガイドレール49の上端は、ガイドレール固定ナット490によって上ベース44に固定されている。各ガイドレール49は支持ベース42の各頂点側に設けられた挿通孔を通り、その下端がガイドレール固定ナット405によって下ベース40に固定されている。
The upper end of the
押し広げ手段2は、載置面3000に対して垂直方向(Z軸方向)に昇降自在な保持部60の保持面601を載置面3000に平行な状態で下降させるために、下ベース40の上面、又は支持ベース42の下面の少なくともいずれか一方において、ステージ30の載置面3000、又は保持部60の保持面601の中心を中心として水平方向(X軸Y軸平面方向)に形成する例えば正三角形の頂点それぞれに配設される電磁石を備えている。
なお、下ベース40の上面の中心、載置面3000の中心、保持面601の中心、及び支持ベース42の下面の中心は合致している。
The pushing-spreading
The center of the upper surface of the
例えば、下ベース40の上面における仮想的な正三角形の各頂点に位置するように計3つの例えば円柱状の下側電磁石451が配設されている。また、下側電磁石451にZ軸方向において対向するように、支持ベース42の下面における仮想的な正三角形の各頂点に位置するように計3つの例えば円柱状の上側電磁石452が配設されている。なお、下側電磁石451及び上側電磁石452は、例えば軟鉄心にコイルを巻きつけて構成される従来のものであり、各下側電磁石451及び各上側電磁石452のコイルには、制御手段9から電力が供給され所望の電流が流される。
なお、3つの上側電磁石452、又は3つの下側電磁石451のいずれか一方が永久磁石であってもよい。
For example, a total of three, for example, columnar
Either one of the three
図1、2に示すように、保護部材形成装置1は、ステージ30の載置面3000、又は保持部60の保持面601の中心を中心とし水平方向に形成する正三角形の各頂点にそれぞれ配置され、載置面3000と保持面601とのZ軸方向における距離を測定する3つスケール、即ち、第1のスケール171(図1のみ図示)、第2のスケール172、及び第3のスケール173(図2のみ図示)を備えている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the protective
第1のスケール171〜第3のスケール173の構造は同様となっており、本実施形態においては、第1のスケール171〜第3のスケール173は、投光部と受光部とが例えば支持ベース42の下面に並べて配設された反射型光電センサである。そして、第1のスケール171の投光部が、例えば載置面3000と面一の枠体301の上面に対して測定光175を照射する。そして、枠体301の上面で反射した反射光を受光部が受けた際の光路差から、例えば三角測量の原理等によって枠体301の上面と支持ベース42の下面との距離が測定され、測定値が制御手段9に電気信号として送られる。制御手段9は、予め支持ベース42の下面と保持部60の下面である保持面601との装置構成における高さの差を把握しているため、制御手段9は、保持部60が下降することに伴って変化するステージ30の上面である載置面3000と保持部60の保持面601との距離を認識できる。
The structure of the
なお、保持部60の保持面601と支持ベース42の下面とが面一になっていてもよい。また、第1のスケール171〜第3のスケール173は、投光部と受光部とがステージ30の枠体301の上面に並べて配設されており支持ベース42の下面に測定光を照射する構成となっていてもよいし、投光部と受光部とがZ軸方向において上下で対向する光測長センサであってもよいし、静電容量変位センサ、超音波変位センサ等であってもよい。また、ガイドレール49に並行にZ軸方向に延在するメモリを備えた尺と、尺の目盛を読む読取り部を支持ベース42に配置するという構成で支持ベース42の高さを測定してもよい。
The holding
制御手段9は、各種の制御プログラムに従って演算処理するCPU及びメモリ等の記憶媒体等を備えており、有線又は無線の通信経路を介して、第1のスケール171〜第3のスケール173からそれぞれの測定情報を受け取る。また、制御手段9は、電力供給源としても機能して、図示しない配線を介して各下側電磁石451及び各上側電磁石452に接続されており、下側電磁石451及び各上側電磁石452に流す電流の値を制御することができる。
The control means 9 includes a storage medium such as a CPU and a memory that performs arithmetic processing according to various control programs, and is described from the
以下に、上述した保護部材形成装置1を用いて図1に示すウェーハ80に保護部材を形成する場合の、保護部材形成装置1の動作について説明する。
まず、保持部60が、保持面601の中心とウェーハ80の中心とが略合致するように、ウェーハ80の上面を吸引保持する。
Hereinafter, the operation of the protective
First, the holding
保持部60によるウェーハ80の吸引保持と並行して、ステージ30の載置面3000にシート82が載置される。さらに、図1に示す液状樹脂供給手段18の樹脂供給ノズル180が旋回移動し、供給口1800が載置面3000上のシート82の中央領域上方に位置付けられる。続いて、図示しないディスペンサが、樹脂供給ノズル180に基準温度に温度管理されている液状樹脂188を送り出して、供給口1800からステージ30に吸引保持されているシート82に向けて液状樹脂188を滴下する。そして、所定量の液状樹脂188がシート82上に堆積したら、液状樹脂供給手段18によるシート82への液状樹脂188の供給が停止され、樹脂供給ノズル180が旋回移動して載置面3000上から退避する。
The
図2に示す接続部27は、ロック部材273が可動ピン274をロックしており、ナット270の上下動と一体となって支持ベース42及び保持部60が上下動可能な状態になっている。そして、モータ48がボールネジ47を所定の回転速度で回動させると、ボールネジ47の回転運動がボールネジ47に螺合するナット270のZ軸方向における直線運動に変換される。これに伴い支持ベース42及びウェーハ80を保持する保持部60が、3本のガイドレール49にガイドされてZ軸方向に下降していく。
In the connecting
支持ベース42及び保持部60の下降が開始されるのと並行して、付勢部46によって、支持ベース42を+Z方向に付勢する力(持ち上げる力)が加えられる。すなわち、図1、2に示すエア源15が、例えば、支持ベース42及び保持部60の自重を相殺することができる程度の力を生み出す量のエアを、シリンダ460内にエア導入口461から供給する。ピストン462はシリンダ460内に供給されるエアによって+Z方向に上昇しようとするため、支持ベース42に対して、支持ベース42を+Z方向に持ち上げようとする所定の力が加えられる。
In parallel with the start of lowering of the
例えば、保持部60及び支持ベース42が下降し始めると、図1,2に示す第1のスケール171〜第3のスケール173が先に説明した通りの測定方法によって、保持面601の中心を中心とし水平方向に形成する仮想的な正三角形の各頂点となる各測定点において、ステージ30の上面である載置面3000と保持部60の保持面601との距離を測定し始め、測定情報を制御手段9に逐次送信する。この段階においては、保持部60にはステージ30からの荷重が掛かっていないため、第1のスケール171、第2のスケール172、及び第3のスケール173による測定距離は同値となる。
つまり、保護部材形成装置1は、予め上記のような保護部材の形成を開始する前の装置のセットアップにおいて、載置面3000に保持面601を接触させた際に、第1のスケール171、第2のスケール172、及び第3のスケール173の値を同値とする。その後、保持面601を載置面3000から離間させている。
For example, when the holding
That is, the protective
この状態で、支持ベース42及び保持部60が降下していき、そして、保持部60に吸引保持されたウェーハ80の下面800が、例えばシート82の中央で水滴上に溜められていた液状樹脂188に接触する。
In this state, the
例えば、図3に示すように、ウェーハ80の下面800が液状樹脂188に接触して液状樹脂188をある程度押し広げると、モータ48によるボールネジ47の回転が停止され接続部27のナット270の下降に伴う保持部60及び支持ベース42の下降が停止される。また、これに並行して、ロック部材273による可動ピン274のロックが解除され、支持ベース42及び保持部60が停止したナット270及びツバ部271に対して可動ピン274を介して昇降自在な状態になる。なお、この状態においても付勢部46によって保持部60及び支持ベース42に対して上方向に付勢する力が加えられている。
For example, as shown in FIG. 3, when the
そして、制御手段9から各下側電磁石451及び各上側電磁石452に電力が供給され、各下側電磁石451及び各上側電磁石452に所定の電流が流される制御が行われ、各下側電磁石451と各上側電磁石452との間に電磁力が発生して互いが引き合う。その結果、該電磁力によって保持部60及び支持ベース42が下降していき、ウェーハ80の下面800によって下方に押圧された液状樹脂188は、ウェーハ80の径方向にさらに押し広げられる。
Then, power is supplied from the control means 9 to each
上記のようにウェーハ80の下面800が液状樹脂188を押し始めると、ステージ30からの荷重が保持部60に掛かってくる。ここで、液状樹脂188のウェーハ80の下面800における径方向への広がり速度や量の偏り等を要因として、該荷重が保持部60の保持面601において均一とならず、該荷重によって保持部60が傾いてしまわないようにする必要がある。
When the
例えば、保持部60に保持されたウェーハ80の下面800に液状樹脂188が押し広げられている際に、制御手段9に送られてくる図3に示す第3のスケール173の測定値が、第1のスケール171(図1参照)及び第2のスケール172の測定値よりも大きな値になった場合を考える。この場合には、保持部60及び支持ベース42が、第3のスケール173側部分(図1においては、紙面奥側部分)が他よりも高くなるように傾きかけているため制御手段9は、例えば、図3に示す+X方向側の下側電磁石451と上側電磁石452、即ち、第3のスケール173側の下側電磁石451と上側電磁石452とに供給する電力を徐々に増加させて流れる電流の値を大きくする制御を行う。
For example, when the
これによって、第3のスケール173側の上側電磁石452と下側電磁石451との間に働く両者を引き合わせる電磁力が、第1のスケール171側の上側電磁石452と下側電磁石451との間に働く電磁力、及び第2のスケール172側の上側電磁石452と下側電磁石451との間に働く電磁力よりも大きくなるため、付勢部46による保持部60を上方向に付勢する力に反して、第3のスケール173側のステージ30と保持部60とが他の箇所よりもより接近する。そのため保持部60が傾くことなく、保持面601が水平方向に平行な面を維持し、第1のスケール171、第2のスケール172、及び第3のスケール173による測定距離が再び同じ値となる。例えば、第1のスケール171、第2のスケール172、及び第3のスケール173による測定距離が再び同じ値になると、制御手段9による第3のスケール173側の上側電磁石452及び下側電磁石451に供給する電力を徐々に増加させる制御が停止される。
なお、電磁石は、上側電磁石または下側電磁石のどちらか一方でもよく、他方の電磁石に代えて磁性体を配置してもよい。
As a result, the electromagnetic force that attracts both working between the
The electromagnet may be either an upper electromagnet or a lower electromagnet, and a magnetic material may be arranged in place of the other electromagnet.
上記のような第1のスケール171、第2のスケール172、及び第3のスケール173の測定値が一致するように、保持面601の中心を中心として水平方向に形成した正三角形の各頂点で下ベース40の上面及び支持ベース42の下面にそれぞれ3つずつ配設した下側電磁石451及び上側電磁石452に対する電力供給の制御、即ち、流す電流の値の制御が制御手段9により実施され、保持部60が所定の高さ位置まで降下することで、ウェーハ80の下面800全面に液状樹脂188の膜が形成される。該液状樹脂188の膜は、上記制御手段9による制御の下で、保持部60が荷重(ステージ30側からの反力)を受けても保持部60の傾きが変わることが無いように保持部60の傾き補正がなされ保持面601が水平方向に平行な面となった状態で形成されているため、均一な厚みとなっている。
なお、例えば、ウェーハ80の下面800にうねりや反りがある場合であっても、形成された膜によって該うねりや反りが吸収され、保護部材が形成されたウェーハ80は平坦な露出面(上面)を備えるため、後にウェーハ80が研削装置のチャックテーブルに搬送された場合等においても、ウェーハ80の被研削面である上面を研削砥石の下面に対して平行な状態にすることが可能となる。
At each vertex of an equilateral triangle formed horizontally around the center of the holding
For example, even if the
次いで、図3に示すように、硬化手段402が、液状樹脂188の均一な厚みの膜に向けて外的刺激となる紫外線を照射する。その結果、液状樹脂188の膜は、硬化するとともに均一な厚みの保護部材としてウェーハ80の下面800に形成される。
Next, as shown in FIG. 3, the curing means 402 irradiates the film of the
なお、本発明に係る保護部材形成装置は本実施形態に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。
以下に、上記に説明した保護部材形成装置1の別形態の図4に示す保護部材形成装置10について説明する。
Needless to say, the protective member forming apparatus according to the present invention is not limited to the present embodiment, and may be implemented in various different forms within the scope of the technical idea.
Hereinafter, the protective
別形態の保護部材形成装置10は、図2に示す保護部材形成装置1とは異なり接続部27を備えず、かつ、制御手段9の構成、及び制御手段9が行う制御が保護部材形成装置1とは異なる。そして、それ以外の構成は図1、2に示す保護部材形成装置1と略同様となっている。
Unlike the protective
保護部材形成装置10において、図4に示す垂直移動機構4のモータ48によって回転するボールネジ47には、ボールナット471が螺合しており、該ボールナット471の下面には支持ベース42の上面が直に接合されている。
In the protective
保護部材形成装置10の制御手段9は、図4に示すように、垂直移動機構4を用いて保持部60をステージ30の載置面3000に向かって−Z方向に下降させる下降制御部90と、保持部60で吸引保持したウェーハ80の下面800に液状樹脂188による保護部材を形成する際に、第1のスケール171(図1参照)、第2のスケール172、及び第3のスケール173の測定値が一致するように、各々の下側電磁石451と各々の上側電磁石452とに流す電流の値を制御する電流制御部91と、を備える。
As shown in FIG. 4, the control means 9 of the protective
以下に、上述した保護部材形成装置10を用いて図4に示すウェーハ80に保護部材を形成する場合の、保護部材形成装置10の動作について説明する。
保持部60がウェーハ80を吸引保持してから、載置面3000に載置されたシート82上に液状樹脂188が供給されるまでは、図1、2に示す保護部材形成装置1と同じである。
Hereinafter, the operation of the protective
It is the same as the protective
制御手段9の下降制御部90から垂直移動機構4のモータ48にパルス信号が送られ、モータ48がボールネジ47を所定の回転速度で回動させると、ボールネジ47の回転運動がボールネジ47に螺合するボールナット471のZ軸方向における直線運動に変換される。これに伴いボールナット471に連結された支持ベース42及びウェーハ80を保持する保持部60が、3本のガイドレール49にガイドされてZ軸方向に下降していく。
支持ベース42及び保持部60の下降が開始されるのと並行して、付勢部46によって、支持ベース42に対して+Z方向に付勢する力(持ち上げる力)が加えられる。なお、保護部材形成装置10は、付勢部46を備えてなくてもよい。
A pulse signal is sent from the
In parallel with the start of lowering of the
保持部60及び支持ベース42が下降し始めると、図1、4に示す第1のスケール171〜第3のスケール173が先に説明した通りの測定方法によって、保持面601の中心を中心とし水平方向に形成する仮想的な正三角形の各頂点となる各測定点において、載置面3000と保持部60の保持面601との距離を測定し始め、測定情報を制御手段9に逐次送信する。
When the holding
この状態で、支持ベース42及び保持部60が降下していき、そして、図5に示すように、保持部60に吸引保持されたウェーハ80の下面800が、例えばシート82の中央で水滴上に溜められていた液状樹脂188に接触して、ウェーハ80の下面800に液状樹脂188が押し広げられていく。
In this state, the
垂直移動機構4による保持部60及び支持ベース42の下降と共に、制御手段9の電流制御部91から各下側電磁石451及び各上側電磁石452に電力が供給され、各下側電磁石451及び各上側電磁石452に所定の電流が流される制御が行われ、各下側電磁石451と各上側電磁石452との間に電磁力が発生して互いが引き合う。
Power is supplied from the
上記のように図5に示すウェーハ80の下面800が液状樹脂188を押し始めると、ステージ30からの荷重が保持部60に掛かり、保持部60が傾く場合がある。そして、例えば、制御手段9に送られてくる図5に示す第3のスケール173の測定値が、第1のスケール171(図1参照)及び第2のスケール172の測定値よりも大きな値になった場合は、保持部60及び支持ベース42が、第3のスケール173側部分が他よりも高くなるように傾いているため、電流制御部91は、例えば、図5に示す+X方向側の下側電磁石451と上側電磁石452、即ち、第3のスケール173側の下側電磁石451と上側電磁石452とに供給する電力を徐々に増加させて流れる電流の値を大きくする制御を行う。
As described above, when the
これによって、第3のスケール173側の上側電磁石452と下側電磁石451との間に働く電磁力が、第1のスケール171側の上側電磁石452と下側電磁石451との間に働く電磁力、及び第2のスケール172側の上側電磁石452と下側電磁石451との間に働く電磁力よりも大きくなるため、付勢部46による保持部60を上方向に付勢する力に反して、第3のスケール173側のステージ30と保持部60とがより接近する。そのため保持部60の傾きが解消されて、保持面601が再び水平方向に平行な面となり、第1のスケール171、第2のスケール172、及び第3のスケール173による測定距離が再び同じ値となる。例えば、第1のスケール171、第2のスケール172、及び第3のスケール173による測定距離が再び同じ値になると、制御手段9による第3のスケール173側の上側電磁石452及び下側電磁石451に供給する電力を徐々に増加させる制御が停止される。
なお、上側電磁石452及び下側電磁石451に供給する電流は、大きい値を示す第1のスケール171、第2のスケール172、又は第3のスケール173に対応した上側電磁石452及び下側電磁石451にのみ供給するようにしてもよい。
また、上側電磁石452及び下側電磁石451との2つの電磁石に電流を供給するのではなく、一方の電磁石に電流を供給させ、他方の電磁石の代わりに磁性体を配置させてもよい。
また、ボールネジ47で保持面601を載置面3000接近する方向に移動させつつ上側電磁石452と下側電磁石451とが反発する磁力を発生させるように電流の極性を変えて供給してもよい。
As a result, the electromagnetic force acting between the
The current supplied to the
Further, instead of supplying a current to the two electromagnets of the
Further, the holding
下降制御部90による垂直移動機構4の制御、及び電流制御部91による各上側電磁石452及び各下側電磁石451に流す電流の値の制御の下で、保持部60が荷重(ステージ30側からの反力)を受けても保持部60の傾きが変わることが無いように保持部60の傾き補正がなされ保持面601が水平方向に平行な面となった状態で液状樹脂188が押し広げられていくため、所定時間押圧された図5に示す液状樹脂188からなる膜は均一な厚みとなっている。その後、硬化手段402によって、液状樹脂188の膜は、硬化されて均一な厚みの保護部材がウェーハ80の下面800に形成される。
Under the control of the
保護部材形成装置10において、垂直移動機構4は、上記のようなボールネジ機構に限定されず、下ベース40に一方側であるシリンダチューブを連結し、他方側であるロッドを垂直方向に移動させる支持ベース42に連結した伸縮シリンダであって、該シリンダチューブと、シリンダチューブ内を摺動するピストンと、ピストンに連結させる該ロッドと、を備えた構成となっていてもよい。
なお、伸縮シリンダの一方側であるシリンダチューブを支持ベース42に連結させ、他方側であるロッドを下ベース40に連結させてもよい。
また、例えば、保護部材形成装置10は、下ベース40側が図示しないボールネジ機構等によって保持部60に向かって上昇可能となっていてもよい。
In the protective
The cylinder tube on one side of the telescopic cylinder may be connected to the
Further, for example, the protective
80:ウェーハ 800:ウェーハの下面 82:シート
1:保護部材形成装置
18:液状樹脂供給手段 180:樹脂供給ノズル 189:樹脂供給源 188:液状樹脂
30:ステージ 300:ガラス板 3000:載置面 301:枠体
60:保持部 600:ホイール 601:保持面
61:荷重センサ 66:保持部連結具
2:押し広げ手段
40:下ベース 402:硬化手段
42:支持ベース 420:ボールナット 421:ボールネジ連結具
44:上ベース 440:ボールネジ挿通孔
46:付勢部460:シリンダ 462:ピストン 464:ロッド 467:持ち上げブロック 461:エア導入口 15:エア源
47:ボールネジ 48:モータ 480:カップリング
49:ガイドレール 27:接続部 270:ナット 271:ツバ部 274:可動ピン 273:ロック部材
451:下側電磁石 452:上側電磁石
171〜173:第1のスケール〜第3のスケール
9:制御手段
10:別形態の保護部材形成装置 9:制御手段 90:下降制御部 91:電流制御部
90:下降制御部 91:電流制御部 471:ボールナット
80: Wafer 800: Wafer lower surface 82: Sheet 1: Protective member forming device
18: Liquid resin supply means 180: Resin supply nozzle 189: Resin supply source 188: Liquid resin 30: Stage 300: Glass plate 3000: Mounting surface 301: Frame body 60: Holding portion 600: Wheel 601: Holding surface
61: Load sensor 66: Holding part connecting tool 2: Spreading means 40: Lower base 402: Hardening means 42: Supporting base 420: Ball nut 421: Ball screw connecting tool
44: Upper base 440: Ball screw insertion hole 46: Bouncer 460: Cylinder 462: Piston 464: Rod 467: Lifting block 461: Air inlet 15: Air source 47: Ball screw 48: Motor 480: Coupling
49: Guide rail 27: Connection part 270: Nut 271: Brim part 274: Movable pin 273: Lock member 451: Lower electromagnet 452:
Claims (5)
該押し広げ手段は、
該ステージを下から支持する下ベース、及び該保持部を支持する支持ベースを少なくとも有し、該ステージの該載置面に対して垂直方向に延在するボールネジによって該保持部を該垂直方向に移動させ、該シート上に供給された該液状樹脂に該保持部が保持したウェーハを接触させる垂直移動機構と、
該垂直移動機構により該液状樹脂に接触させたウェーハを保持する該保持部を該垂直方向に昇降自在に該ボールネジに接続する接続部と、
該垂直方向に昇降自在な該保持部の該保持面を該載置面に平行な状態で該載置面に向かって下降させるために、該下ベースの上面、又は該支持ベースの下面の少なくともいずれか一方において、該載置面、又は該保持面の中心を中心として水平方向に形成する三角形の頂点それぞれに配設される電磁石と、を備え、
該載置面、又は該保持面の中心を中心とし水平方向に形成する三角形の各頂点にそれぞれ配置され該載置面と該保持面との距離を測定する3つのスケールを備え、
該制御手段は、該電磁石によりウェーハを保持した該保持面を該載置面に向かって下降させている際に、3つの該スケールの測定値が一致するように、各々の該電磁石に流す電流の値を制御する、保護部材形成装置。 A stage having a mounting surface on which a sheet is placed, a liquid resin supply means for supplying a predetermined amount of liquid resin on the sheet mounted on the stage, and a holding facing the mounting surface to hold a wafer. A holding portion having a surface, a spreading means for moving the stage and the holding portion in a direction relatively perpendicular to the mounting surface to spread the liquid resin, and the mounting surface and the holding surface. A protective member forming device including a curing means for applying an external stimulus to cure the liquid resin spread on the lower surface of the sandwiched wafer and a control means.
The spreading means is
It has at least a lower base that supports the stage from below and a support base that supports the holding portion, and the holding portion is vertically extended by a ball screw extending in the direction perpendicular to the mounting surface of the stage. A vertical moving mechanism that moves the wafer and brings the wafer held by the holding portion into contact with the liquid resin supplied on the sheet.
A connection portion that connects the holding portion that holds the wafer in contact with the liquid resin by the vertical movement mechanism to the ball screw so as to be vertically movable.
At least the upper surface of the lower base or the lower surface of the support base in order to lower the holding surface of the holding portion that can be raised and lowered in the vertical direction toward the mounting surface in a state parallel to the mounting surface. In either one, an electromagnet arranged at each apex of a triangle formed in the horizontal direction about the center of the mounting surface or the holding surface is provided.
It is provided with three scales arranged at each apex of the mounting surface or a triangle formed horizontally around the center of the holding surface and measuring the distance between the mounting surface and the holding surface.
When the holding surface holding the wafer by the electromagnet is lowered toward the mounting surface, the control means applies a current to each of the electromagnets so that the measured values of the three scales match. Protective member forming device that controls the value of.
前記制御手段は、該付勢部による該保持部を上方向に付勢する力に反して、前記ステージと該保持部とを接近させるように前記電磁石に流す電流の値を制御する請求項1記載の保護部材形成装置。 The holding portion is provided with an urging portion for urging the holding portion upward from the above-mentioned mounting surface.
The control means controls the value of the current flowing through the electromagnet so as to bring the stage and the holding portion close to each other against the force of the urging portion for urging the holding portion upward. The protective member forming apparatus according to the above.
該押し広げ手段は、
該ステージを下から支持する下ベース、及び該保持部を支持する支持ベースを少なくとも有し、該ステージの該載置面に対して垂直方向に該保持部を移動させる垂直移動機構と、
該載置面に対して該垂直方向に該保持部の該保持面を該載置面に平行な状態で下降させるために、該下ベースの上面、又は該支持ベースの下面の少なくともいずれか一方において、該載置面、又は該保持面の中心を中心として水平方向に形成する三角形の頂点それぞれに配設される電磁石と、を備え、
該載置面、又は該保持面の中心を中心とし水平方向に形成する三角形の各頂点にそれぞれ配置され該載置面と該保持面との距離を測定する3つのスケールを備え、
該制御手段は、
該垂直移動機構を用いて該保持部を該載置面に向かって下降させる下降制御部と、
3つの該スケールの測定値が一致するように、各々の該電磁石に流す電流の値を制御する電流制御部と、を備える保護部材形成装置。 A stage having a mounting surface on which a sheet is placed, a liquid resin supply means for supplying a predetermined amount of liquid resin on the sheet mounted on the stage, and a holding facing the mounting surface to hold a wafer. A holding portion having a surface, a spreading means for moving the stage and the holding portion in a direction relatively perpendicular to the mounting surface to spread the liquid resin, and the mounting surface and the holding surface. A protective member forming device including a curing means for applying an external stimulus to cure the liquid resin spread on the lower surface of the sandwiched wafer and a control means.
The spreading means is
A vertical movement mechanism that has at least a lower base that supports the stage from below and a support base that supports the holding portion, and moves the holding portion in a direction perpendicular to the mounting surface of the stage.
At least one of the upper surface of the lower base and the lower surface of the support base in order to lower the holding surface of the holding portion in the direction perpendicular to the mounting surface in a state parallel to the mounting surface. In the above, the electromagnets arranged at the vertices of the triangles formed in the horizontal direction about the center of the mounting surface or the holding surface are provided.
It is provided with three scales arranged at each apex of the mounting surface or a triangle formed horizontally around the center of the holding surface and measuring the distance between the mounting surface and the holding surface.
The control means is
A lowering control unit that lowers the holding unit toward the mounting surface using the vertical movement mechanism, and a lowering control unit.
A protective member forming device including a current control unit that controls the value of a current flowing through each of the electromagnets so that the measured values of the three scales match.
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