JP2020092161A - 保護部材形成方法及び保護部材形成装置 - Google Patents
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Abstract
Description
また、ウェーハを介して周波数が大きい超音波振動を液状樹脂に伝達させると、ウェーハの一方の面上の液状樹脂にキャビテーションが発生し、液状樹脂内に気泡が生成されるという問題もある。そして、気泡が混入した箇所の液状樹脂は酸素阻害により十分に硬化しないこと(紫外線照射不良の発生)がある。
拡張手段51は、Z軸方向(鉛直方向)の軸心を有するボールネジ510と、ボールネジ510と平行に配設された一対のガイドレール511と、ボールネジ510に連結されボールネジ510を回動させるモータ512と、内部のナットがボールネジ510に螺合すると共に側部がガイドレール511に摺接する昇降ホルダ513とから構成され、モータ512がボールネジ510を回転させることに伴い昇降ホルダ513がガイドレール511にガイドされて昇降する構成となっている。昇降ホルダ513はウェーハ保持手段50を支持しており、昇降ホルダ513の昇降によってウェーハ保持手段50も昇降する。
本実施形態においては、ウェーハ保持手段50の吸引面501a側、即ち、保持部501内にスピーカー40と、振動センサー41とが配設されている。
スピーカー40は、保持部501の周方向に均等間隔を空けて複数(例えば、4つ)配設されており、図2に示すアンプ42に電気的に接続されている。なお、スピーカー40は、例えば、ドーム型のスピーカーやホーン型のスピーカーであってもよい。
円形のウェーハWは、例えば、円柱状のシリコンインゴットをワイヤーソーによってスライスして製造されたシリコンウェーハであり、その直径は300mm又は450mmであり、その厚みは約900μm〜約1100μmである。そして、ウェーハWは、反りやうねり等の変形要素を備えている。
まず、図1に示す第1ウェーハ搬送手段108aにより、カセット104cから保護部材が形成される前のウェーハWが取り出されて、第1支持台105a上に搬送される。ウェーハ検出部106がウェーハWの中心位置及び向きを検出したら、第2ウェーハ搬送手段109aが、保持ハンド109cでウェーハWの一方の面Wa(図1における下面)を吸引保持した状態で第1支持台105aからウェーハWを搬出して、−Y方向側へ移動してウェーハ保持手段50にウェーハWを受け渡す。
次いで、第2ウェーハ搬送手段109aの保持ハンド109cによるウェーハWの一方の面Waの吸引が解除され、保持ハンド109cがウェーハWの下方から退避する。
ウェーハWのウェーハ保持手段50への搬送と並行して、図1、5に示すシート載置手段21のクランプ部211がシートFをクランプして+Y方向側に移動して、所定長さのシートFをシートロールFR(図1参照)から引き出し、ステージ20のシート載置面200に載置する。そして、吸引源29が作動し、吸引源29により生み出された吸引力がシート載置面200に伝達されることで、シートFがシート載置面200上に吸引保持される。
その後、例えば、図示しないカッターによって、帯状のシートFがウェーハWよりも少しだけ大径の円形になるように切断される。
図1に示す液状樹脂供給手段30の樹脂供給ノズル300が旋回移動し、供給口300aがシート載置面200上のシートFの中央領域上方に位置付けられる。続いて、図1に示すディスペンサ301が、樹脂供給ノズル300に基準温度に温度管理されている液状樹脂Jを送り出して、図6に示すように、供給口300aからステージ20に吸引保持されているシートFに向けて液状樹脂Jを滴下する。そして、所定量の液状樹脂JがシートF上に堆積したら、液状樹脂供給手段30によるシートFへの液状樹脂Jの供給が停止され、樹脂供給ノズル300が旋回移動してシート載置面200上から退避する。
液状樹脂供給工程を実施した後、ウェーハ保持手段50が吸引面501aでウェーハWの他方の面Wbを吸引保持した状態で、図1に示す拡張手段51のモータ512がボールネジ510を回動させ、ウェーハ保持手段50が下降していく。そして、図7に示すように、ウェーハ保持手段50に吸引保持されたウェーハWの一方の面Waが液状樹脂Jに接触する。さらにウェーハ保持手段50が下降すると、ウェーハWの一方の面Waによって下方に押圧された液状樹脂Jは、ウェーハWの径方向に押し広げられる。その結果、ウェーハWの一方の面Wa全面に図8に示す液状樹脂Jの膜が形成される。
次いで、ウェーハ保持手段50をウェーハWから離間させる。即ち、第1の開閉弁591が閉じられ吸引源59が生み出す吸引力の吸引面501aに対する伝達が遮断される。さらに、第2の開閉弁581が開かれた状態でエア供給源58からエア供給路580にエアが供給される。該エアは、ウェーハ保持手段50の吸引面501aから下方に向かって噴出し、このエアの噴出圧力でウェーハWを吸引面501aから押し下げ、吸引面501aとウェーハWとの間に残存する真空吸着力を排除し、ウェーハWをウェーハ保持手段50から確実に離脱させる。
また、ウェーハ保持手段50が+Z方向へ上昇して停止して、ウェーハWと吸引面501aとの間に所定の隙間が形成される。
次いで、図8に示す振動供給手段4が作動して、図示しない電源から供給された電力がアンプ42から各スピーカー40に対して出力され、スピーカー40からウェーハWの他方の面Wbに向かって周波数10Hz〜15kHzの音波が供給される。そして、該音波が空気を介して非接触でウェーハWに伝播し、該音波を受けたウェーハW全体が振動する。その結果、ウェーハWを介して液状樹脂Jに振動が伝達されることで液状樹脂Jが移動され、これに伴い他方の面Wbに現れていなかったウェーハWのうねりや反り等の変形要素が復元される。
次いで、図9に示すように、硬化手段22が、液状樹脂Jの膜に向けて外的刺激となる紫外線を照射する。その結果、液状樹脂Jの膜は、硬化するとともに所定の厚みの保護部材J1としてウェーハWの一方の面Waに形成される。
1:保護部材形成装置 100:筐体 101:装置ベース 102:コラム
103:支持ベース
104:カセット収容本体 104a、104b:収容スペース
104c、104d:カセット 105a:第1支持台 105b:第2支持台
106:ウェーハ検出部 107:シートカッター
108a:第1ウェーハ搬送手段 108b:X軸方向移動手段
109a:第2ウェーハ搬送手段 109b:Y軸方向移動手段
11:シート供給手段 F:シート FR:シートロール
20:ステージ 200:シート載置面 200c:吸引孔
21:シート載置手段 210:アーム部 211:クランプ部
22:硬化手段 29:吸引源
30:液状樹脂供給手段 300:樹脂供給ノズル 300a:供給口 301:ディスペンサ 302:接続管
50:ウェーハ保持手段 500:ホイール 501:保持部 501a:吸引面 502:ホイール支持部
51:拡張手段 510:ボールネジ 511:ガイドレール 512:モータ 513:昇降ホルダ
59:吸引源 590:吸引路 591:第1の開閉弁
58:エア供給源 580:エア供給路 581:第2の開閉弁 582:絞り弁
57:イオナイザー
4:振動供給手段
40:スピーカー 41:振動センサー 42:アンプ 43:制御部
Claims (6)
- 変形要素を備えたウェーハの一方の面に保護部材を形成する保護部材形成方法であって、
ウェーハの他方の面を吸引保持する吸引面を有するウェーハ保持手段がウェーハを吸引保持するウェーハ保持工程と、
該ウェーハ保持手段の下方に配設されるステージの上にシートを載置するシート載置工程と、
該シートの上に所定量の液状樹脂を供給する液状樹脂供給工程と、
該ウェーハの一方の面に該液状樹脂を押し広げる拡張工程と、
該ウェーハ保持手段を該ウェーハから離間させる離間工程と、
該ウェーハの他方の面に向かって周波数10Hz〜15kHzの音波を供給してウェーハを振動させ、ウェーハを介して該液状樹脂を流動させ、該ウェーハの変形要素を復元させる復元工程と、
該復元工程後の該液状樹脂に外的刺激を与えて該液状樹脂を硬化させる硬化工程と、を備える保護部材形成方法。 - 前記液状樹脂の粘性は1000cp以上5000cp以下である請求項1記載の保護部材形成方法。
- 請求項1記載の保護部材形成方法を実施可能とする保護部材形成装置であって、
シートが載置されるステージと、
該ステージに該シートを載置するシート載置手段と、
該ステージに載置した該シートの上に所定量の液状樹脂を供給する液状樹脂供給手段と、
該ステージの上方でウェーハの他方の面を吸引保持する吸引面を有するウェーハ保持手段と、
該ステージに対して該ウェーハ保持手段を昇降する方向に移動させ、該液状樹脂にウェーハを押し付け、該液状樹脂をウェーハの一方の面に押し広げる拡張手段と、
該液状樹脂を押し広げたウェーハの他方の面側から非接触でウェーハに振動を与えウェーハ全体を振動させるとともに該液状樹脂を振動させる振動供給手段と、
該ウェーハの一方の面に拡張された該液状樹脂に外的刺激を与え該液状樹脂を硬化させる硬化手段と、を備えた保護部材形成装置。 - 前記振動供給手段は、非接触でウェーハの他方の面に周波数10Hz〜15kHzの音波を供給するスピーカーと、
該音波を受けたウェーハの振幅量を測定する振動センサーと、
該スピーカーに供給する出力信号を増減させるアンプと、
該振動センサーが測定した振幅量が予め設定した振幅量と一致するように該アンプを制御する制御部と、を備える請求項3記載の保護部材形成装置。 - 前記ウェーハ保持手段の前記吸引面側に、前記スピーカーと、前記振動センサーとを配設する請求項4記載の保護部材形成装置。
- 前記シートに供給した前記液状樹脂にイオン化された気体を吹き掛けるイオナイザーを備えた請求項3、4、又は5記載の保護部材形成装置。
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