JP2020071142A - 異物検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】配置の自由度を向上させることができる異物検査装置を提供する。【解決手段】検知部と、捕集部と、により構成される検出部を備えた異物検査装置であって、検出部は、ケース１０に収容されており、ケース１０は、検知部が収容されるとともにケース１０の外部と連通する外気孔１１ａを有する第１収容部１１と、捕集部を出し入れ可能とする開口部１２ａを有し、開口部１２ａを密閉した状態で閉塞する蓋部材１３を有するとともに第１収容部１１の下側に設けられている第２収容部１２と、を備え、第１収容部１１と第２収容部１２とは、連通孔を介して連通しており、第２収容部１２には、第２収容部１２の内部とケース１０の外部とを連通し、ケース１０の内部の空気を吸引する通路となる吸気通路５０に接続される吸気孔１２ｃを有する。【選択図】図１

Description

本発明は、異物検査装置に関する。

半導体製造ラインなどでは、大気中に含まれる微粒子も、ワーク表面への付着により深刻な不良を引き起こす。このような場合、製造ラインをクリーンルーム内に設け、室内に浮遊する微粒子、又はワークに付着した微粒子を監視及び検査することが知られている。例えば、従来、特許文献１に記載されるような微粒子収集装置（異物検査装置）が知られている。

上記微粒子収集装置では、吸引機と、パーティクルカウンタ（検知部）と、フィルタ（捕集部）とを有している。パーティクルカウンタとフィルタとは、ホースにより接続されている。微粒子収集装置では、吸引機により微粒子が吸引され、パーティクルカウンタにより微粒子がカウントされ、カウントされた微粒子はホースを通じてフィルタに捕集される。

特開平１１−８３６９４号公報

特許文献１として、異物検査装置の構成及び使用例の一例を示したが、異物検査装置の利用では、微粒子の有無又は微粒子有の場合の多寡に加え、微粒子の種類の特定が有効なこともある。ワークを切断する、又は溶接する加工装置の近辺に異物検査装置を配置すると、検出される異物の増加により、加工装置及びワークの異常を検出することができる。また、異物の種類は、異常の原因を特定する上で重要な情報となる。よって、このような用途では、回収した異物を容易に取り出せて、且つ分析できるような回収装置を異物検査装置に付加することが有効である。一方、このような用途では、異物検査装置の高さが問題となることがある。すなわち、発生した異物が落下する過程で捕集する必要があり、ワークの加工位置よりも低い位置に異物検査装置を配置するため、異物検査装置の高さが制限される。また、特許文献１の如く、吸引機、パーティクルフィルタに加え、取り出し容易な回収装置を設けると、異物検査装置の全高が高くなり、より配置が難しくなる。なお、吸引機の能力を上げることにより異物を吸い上げることで、必ずしも落下する過程で捕集する必要がないとも考えられる。しかし、吸引機の能力を上げると、本体は検出対象ではない周囲の異物が吸引される量が増加し、誤検出を生じやすくなる。したがって、ワークの加工に由来する異物を検査対象とする場合、吸引機の能力を容易に上げることができない。

本発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものであり、その目的は、配置の自由度を向上させることができる異物検査装置を提供することである。

上記課題を解決する異物検査装置は、異物を検知する検知部と、前記異物を捕集する捕集部位を有する板状の捕集部とにより構成される検出部を備えた異物検査装置であって、前記検出部は、ケースに収容され、前記ケースは、前記検知部が収容されるとともに前記ケースの外部と連通する外気孔を有する第１収容部と、前記捕集部を出し入れ可能とする開口部を有し、前記開口部を密閉した状態で閉塞する蓋部材を有するとともに前記第１収容部の下側に設けられている第２収容部と、を備え、前記第１収容部と前記第２収容部とは、前記第２収容部に前記捕集部が収容された状態で前記捕集部位に対向する位置に設けられた連通孔を介して連通しており、前記第２収容部には、前記第２収容部の内部と前記ケースの外部とを連通し、前記ケースの内部の空気を吸引する通路となる吸気通路に接続される吸気孔を有する。

これによれば、吸引機、検知部、及び捕集部をケースに収容することで一体化させて異物検査装置を構成する場合と比較して、ケース内部には、検知部と捕集部とが収容されている。そのため、ケースから圧縮機を分離させてケースの高さを抑えることができる。したがって、異物検査装置の配置の自由度を向上させることができる。

上記の異物検査装置において、前記捕集部は、透明な材質によりなるプレートを有し、前記プレート上には、前記捕集部位としての粘着層が設けられているとよい。
これによれば、捕集部として粘着層を備えた透明なプレートを使用し、プレートをスライドさせて容易にケースから出し入れできる。したがって、フィルタ等により異物を回収した場合と比較し、異物を容易に分析可能な状態で取り出すことができる。

上記の異物検査装置において、前記第２収容部の内部の前記第１収容部と反対側の底部には、前記第１収容部に向けて突出するとともに前記第２収容部の前記開口部寄りから前記第２収容部の前記開口部と反対寄りに向けて延びるガイド部が設けられているとよい。

これによれば、捕集部を第２収容部に収容するときに捕集部の端部をガイド部に沿わせて挿入させることができる。よって、捕集部の出し入れが容易に実施できるようになる。
上記の異物検査装置において、前記吸気通路に接続され、空気を吸引する吸引機を備え、前記吸引機は、空気を吸引する吸引力を発生させる吸引機本体と、前記吸気通路と接続されるとともに前記吸気通路から送出される空気が導入されるケース部と、を有し、前記ケース部は、前記吸気通路と接続される吸引口を有し、前記吸引機寄りの前記吸引口は、前記吸引機本体に向かうにつれて、空気の流動方向に沿って切断したときの流路断面積が徐々に大きくなるように設定されているとよい。

吸引機が吸気通路を介してケースに接続されている。そのため、吸引機がケースから離間した分だけ吸引機の吸引圧力を上げる可能性がある。しかし、吸気通路から吸引機のケース部の内部に空気が導入されたとき、空気が流動する流路断面積が急激に大きくなると、吸引された空気が滞留する部分が形成されてしまい、吸引機の吸引圧力に損失が発生する。そのため、吸引機により空気を吸引してもケースの第１収容部の内部に外気孔を介して空気が流動しないことが考えられる。

その点、これによれば、吸気通路から吸引機本体に向けて空気が流動すると、空気は、ケース部の吸気口の内側面に沿って流れる。よって、空気が滞留する部分を少なくすることができる。そのため、吸引機の吸引圧力の損失を抑制できる。したがって、吸引機が検知部から離間した位置に設けられたとしても、吸引機による空気の吸引機能の低下を抑制できる。

上記課題を解決する異物検査装置は、異物を検知する検知部と、前記異物を捕集する捕集部位を有する板状の捕集部とにより構成される複数の検出部と、空気を供給する供給機とにより構成される異物検査装置であって、前記複数の検出部のそれぞれは、ケースに収容され、前記ケースは、前記検知部が収容されるとともに前記ケースの外部と連通する外気孔を有する第１収容部と、前記捕集部を出し入れ可能とする開口部を有し、前記開口部を密閉した状態で閉塞する蓋部材を有するとともに前記第１収容部の下側に設けられている第２収容部と、を備え、前記第１収容部と前記第２収容部とは、前記第２収容部に前記捕集部が収容された状態で前記捕集部位に対向する位置に設けられた連通孔を介して連通しており、前記第２収容部には、前記第２収容部の内部と前記ケースの外部とを連通し、前記ケースの内部の空気を吸引する通路となる吸気通路に接続される吸気孔を有し、前記供給機には、外部と連通する供給通路が接続され、前記供給通路は、前記供給機に接続される一端部及び外部に連通する他端部との間に設けられ、空気の流動方向に沿って切断したときの流路断面積が、前記一端部を空気の流動方向に沿って切断したときの流路断面積よりも小さくなる中間通路を有し、前記吸気通路は、前記中間通路に接続されている。

これによれば、ケース内部には、検知部と捕集部とが収容されている。そのため、ケースに吸引機を収容していない分だけケースのサイズを小型化することができる。したがって、異物検査装置の配置の自由度を向上させることができる。

また、供給機により供給される空気は、供給通路の一端部から中間通路及び他端部を介して外部に送出される。供給機により供給される空気が供給通路の一端部から中間通路に進入したとき、供給通路の流路断面積が小さくなる。そのため、供給通路の中間通路の空気の圧力は、ベンチュリー効果により供給通路の一端部の空気の圧力よりも低くなる。そのため、吸気通路における中間通路寄りの圧力は、吸気通路におけるケース寄りの圧力よりも小さくなる。吸気通路には、ケースから中間通路に向けて空気が流動する流れが発生する。よって、ケースの外気孔から空気が吸入され、第１収容部に収容された検知部、及び第２収容部に収容された捕集部、及びケースの吸気孔を介して吸気通路に空気を引き込むことができる。したがって、１つの供給機で複数の検出部の管理をすることができるため、異物管理の効率を維持できる。

この発明によれば、配置の自由度を向上させることができる。

異物検出部の第１の実施形態の斜視図。 第１の実施形態の断面図。 吸引機のケース部の断面図。 異物検査装置の第２の実施形態の概略図。

＜第１の実施形態＞
以下、異物検査装置を具体化した第１の実施形態を図１〜図３にしたがって説明する。本実施形態の異物検査装置は、蓄電装置の製造ラインにおいて使用される。より具体的には、積層型の電極組立体を有するリチウムイオン二次電池の製造ラインにおいて、ワークの加工位置で発生する異物の量を検査する手段として使用されるものである。

図１に示すように、異物検査装置１は、ケース１０と、吸引機４０とを備えている。
ケース１０は、製造ラインに沿って配置される加工装置の近辺にて、ワークの加工位置の下方に配置される。ケース１０は、第１収容部１１と、第２収容部１２とを備えている。第１収容部１１及び第２収容部１２の内部には空間が形成されており、第１収容部１１及び第２収容部１２の内部は互いに連通している。第１収容部１１には、ケース１０の外部と連通する外気孔１１ａを有している。第２収容部１２は、第１収容部１１の下側に設けられている。第２収容部１２は、第２収容部１２の内部とケース１０の外部とを連通する開口部１２ａと、開口部１２ａを密着した状態で閉塞する板状の蓋部材１３とを有している。開口部１２ａには、１つの切り欠き溝１２ｂが形成されている。蓋部材１３の一端には、切り欠き溝１２ｂに嵌合される突出部１３ａが設けられている。蓋部材１３は、開口部１２ａを閉塞する場合には、突出部１３ａを切り欠き溝１２ｂに嵌合させ、開口部１２ａを開口する場合には、突出部１３ａを切り欠き溝１２ｂから離脱させる。すなわち、蓋部材１３は開口部１２ａに対してスライド可能に設けられている。また、蓋部材１３及び第２収容部１２の開口部１２ａには、磁石が設けられており、互いの磁石の吸着力によって蓋部材１３は第２収容部１２の開口部１２ａに密着した状態になる。第２収容部１２には、第２収容部１２の内部とケース１０の外部とを連通する吸気孔１２ｃが設けられている。吸気孔１２ｃには、ケース１０の内部の空気を吸引する通路となる吸気通路５０が接続されている。吸気孔１２ｃには、吸気通路５０を介して吸引機４０が接続されている。すなわち、ケース１０と吸引機４０とは互いに分離した状態で吸気通路５０により接続された状態となる。吸引機４０は、空気を吸引する機能を有している。吸引機４０には、例えば羽根車を有する軸流ポンプが採用されている。吸引機４０は、空気を吸引する吸引力を発生させる吸引機本体４０ａと、吸引機本体４０ａと吸気通路５０とを接続する継手となるケース部４０ｂとを有している。吸引機４０のケース部４０ｂは、吸気通路５０と接続されている。ケース部４０ｂの内部には、吸引機本体４０ａの吸引力により吸気通路５０を通過する空気が導入されている。なお、吸気通路５０は、柔軟性のあるホース等で構成されている。そのため、吸引機４０は、ケース１０の高さに影響せず、ケース１０に隣接し、吸気通路５０が変形できる範囲では自由に配置できる。

図２に示すように、異物検査装置１は、検出部２０を備えている。検出部２０は、異物を検知する検知部２１と、検知部２１により検知された異物を捕集する板状の捕集部２２とにより構成されている。なお、本実施形態で検査対象とする異物は、蓄電装置の製造ライン上において、加工に由来する異物である。例えば、リチウムイオン二次電池の製造ラインにおいては、帯状金属箔の両面に活物質層を備えた電極母材より、個々の電極を切り出す際に生じる切り粉、金属製のケース本体と、同じく金属製にてケース本体の開口を閉塞する蓋とを溶接したときに発生する溶接異物（スパッタ）等が挙げられる。すなわち、空気中に浮遊する塵や埃等の異物よりも比較的大きいものである。

検知部２１は、ケース１０の第１収容部１１に収容されている。検知部２１は、例えば一般的なパーティクルカウンタと同様に光散乱方式又は光遮断方式を用いて本実施形態における検査対象となる異物の数を計測するものである。なお、検知部２１は、外部装置（図示略）に接続されており、異物の数が外部装置を介してモニターされている。

捕集部２２は、ケース１０の第２収容部１２に収容されている。捕集部２２は、第２収容部１２の開口部１２ａ（図１参照）から出し入れされる。捕集部２２は、透明な材質によりなるプレート２２ａと、プレート２２ａ上に設けられた捕集部位としての粘着層２２ｂとを備えている。プレート２２ａは、透明なガラス又は樹脂板よりなり、例えばマイクロスライド等のシャーレとして利用できるプレートであってもよい。粘着層２２ｂは、プレート２２ａ上に固定された例えば粘着シートである。そのため、捕集部２２は、検知部２１で検知された異物を粘着層２２ｂの粘着力で捕集し、第２収容部１２の開口部１２ａから取り出すことで、捕集された異物を検査に回す時間を短縮できる。

第１収容部１１と第２収容部１２とは、第２収容部１２に捕集部２２が収容された状態で粘着層２２ｂに対向する位置に設けられた連通孔１０ａを介して連通している。第２収容部１２の内部において、第１収容部１１と反対側の底部１２ｄには、第１収容部１１に向けて突出する一対の板状のガイド部１２ｅが設けられている。一対のガイド部１２ｅは、第２収容部１２の開口部１２ａから第２収容部１２の開口部１２ａと反対寄りに向けて延びている。一対のガイド部１２ｅは、粘着層２２ｂが連通孔１０ａに対向するように捕集部２２を第２収容部１２に収容した状態で、捕集部２２のプレート２２ａの両端部に沿う位置に設けられている。このように構成されることで、捕集部２２を第２収容部１２に収容するとき、捕集部２２のプレート２２ａは、ガイド部１２ｅに沿って収容される。

図３に示すように、吸引機４０のケース部４０ｂは、吸気通路５０と接続される吸引口４０ｃと、吸引口４０ｃと吸引機４０との間に配置される通気孔４０ｄとを有している。吸引口４０ｃは、吸気通路５０寄りの第１吸引口４０ｅと、吸引機本体４０ａ寄りの第２吸引口４０ｆとを有している。第１吸引口４０ｅ及び第２吸引口４０ｆは、空気の流動方向に沿って切断したときの流路断面が円形をなしている。第２吸引口４０ｆは、吸引機本体４０ａに向かうにつれて、空気の流動方向に沿って切断したときの流路断面積Ｓが徐々に大きくなるように設定されている。さらに詳しくは、第２吸引口４０ｆの内側面は、吸引機本体４０ａに向かうにつれてその直径Ｄが徐々に大きくなるように設定されている。

また、第１吸引口４０ｅと第２吸引口４０ｆとの境界部分Ｂ１には、第１吸引口４０ｅ及び第２吸引口４０ｆを滑らかに接続する曲面Ｒが形成されている。また、第２吸引口４０ｆと通気孔４０ｄとの境界部分Ｂ２には、第２吸引口４０ｆと通気孔４０ｄとを滑らかに接続する曲面Ｒが形成されている。

次に、本実施形態の作用について説明する。
異物検査装置１は、吸引機４０の吸引機本体４０ａにより空気を吸引する。吸引機４０による空気の吸引により吸引機４０のケース部４０ｂ、吸気通路５０、ケース１０の第２収容部１２、連通孔１０ａ、ケース１０の第１収容部１１、及びケース１０の外気孔１１ａを介してケース１０の外部で浮遊している可能性のある異物Ｍをケース１０に吸引する。ケース１０の第１収容部１１に吸引された異物Ｍは、検知部２１によりその数が検知される。検知部２１により検知された異物Ｍは、第２収容部１２に吸引され、捕集部２２の粘着層２２ｂにより捕集される。なお、検知部２１は、異物Ｍを検知するために第１収容部１１の内部の空気の流速を調整する必要がある。この第１収容部１１の内部の空気の流速は、吸引機４０の空気の吸引圧力を調整することで実現される。本実施形態では、第１収容部１１の内部での空気の流速を調整するために、吸気通路５０の流路径と、吸引機４０のケース部４０ｂにおける吸引口４０ｃの流路径とを調整することで第１収容部１１の内部の空気の流速を、検知部２１で異物Ｍを検知できる程度に調整している。

本実施形態では以下の効果を得ることができる。
（１）本実施形態では、吸引機４０、検知部２１、及び捕集部２２をケース１０に収容することで一体化させて異物検査装置を構成する場合と比較して、ケース１０内部には、検知部２１と捕集部２２とが収容されている。そのため、ケース１０から吸引機４０を分離させてケース１０の高さを抑えることができる。したがって、異物検査装置１の配置の自由度を向上させることができる。

（２）本実施形態では、捕集部２２として粘着層２２ｂを備えた透明なプレート２２ａを使用し、プレート２２ａをスライドさせて容易にケース１０から出し入れできる。したがって、フィルタ等により異物Ｍを回収した場合と比較し、異物Ｍを容易に分析可能な状態で取り出すことができる。

（３）本実施形態では、捕集部２２を第２収容部１２に収容するときにプレート２２ａの両端部をガイド部１２ｅに沿わせて挿入させることができる。よって、捕集部２２の出し入れが容易に実施できるようになる。

（４）吸引機４０が吸気通路５０を介してケース１０に接続されている。そのため、吸引機４０が検知部２１から離間した分だけ吸引機４０の吸引圧力を上げる可能性がある。しかし、吸気通路５０から吸引機４０のケース部４０ｂの内部に空気が導入されたとき、空気が流動する流路断面積が急激に大きくなると、吸引された空気が滞留する部分が形成されてしまい、吸引機４０の吸引圧力に損失が発生する。そのため、吸引機４０により空気を吸引してもケース１０の第１収容部１１の内部に外気孔１１ａを介して空気が流動しないことが考えられる。

その点、本実施形態では、吸気通路５０から吸引機本体４０ａに向けて空気が流動すると、空気は、ケース部４０ｂの吸引口４０ｃの内側面に沿って流れる。よって、空気が滞留する部分を少なくすることができる。そのため、吸引機４０の吸引圧力の損失を抑制できる。したがって、吸引機４０が検知部２１から離間した位置に設けられたとしても、吸引機４０による空気の吸引機能の低下を抑制できる。

（５）（１）の効果に合わせて、吸引機４０は、柔軟性のあるホースを介してケース１０と接続されている。そのため、異物検査装置１の配置の自由度を向上させるだけでなく、吸引機４０の配置も自由度をもたせることができる。したがって、異物検査装置１の製造ラインの加工位置の近辺での配置の自由度を更に向上させることができる。

（６）（４）の効果に合わせて、各境界部分Ｂ１，Ｂ２に形成される曲面Ｒを形成することで、ケース部４０ｂに進入した空気が更に円滑にケース部４０ｂの内側面を流れる。よって、空気が滞留する部分が更に少なくなるため、吸引機４０による空気の吸引機能の低下を更に抑制できる。

（７）異物Ｍは、一般的な塵や埃等よりも比較的大きいものである。そのため、異物Ｍは、ケース１０の内部に外気孔１１ａを介して進入すると、重力方向に向けて落下するように移動する。

その点、本実施形態では、検知部２１の下側に捕集部２２が配置される構成としている。検知部２１により異物Ｍが検知された後、捕集部２２の粘着層２２ｂに異物Ｍが適切に捕集される。

＜第２の実施形態＞
次に、異物検査装置を具体化した第２の実施形態を図４にしたがって説明する。異物検査装置は、蓄電装置の製造ラインに沿って配置される加工装置において、検査対象とする加工装置が複数存在することを前提にしている。そのため、異物検査装置は、第１の実施形態におけるケース１０及び検出部２０を複数有していることを前提としている。ところで、ケース１０と検出部２０とを複数採用する場合、ケース１０に接続される吸引機４０が複数台必要となってしまう。吸引機４０が複数台採用されると、吸引機４０のそれぞれを管理する必要があり管理効率が低下してしまう。本実施形態の異物検査装置は、製造ラインに沿って配置される加工装置の近辺での配置の自由度を向上させつつ、異物管理の効率を維持することを目的としている。

異物検査装置１００に採用される吸引機は、ベンチュリーポンプである。異物検査装置１００は、空気を供給する供給機１０１を備えている。供給機１０１には、外部と連通する供給通路１０２が接続されている。ベンチュリーポンプは、供給機１０１と供給通路１０２とで構成されている。供給通路１０２は、供給機１０１に接続される一端部１０２ａと、外部に連通する１０２ｂと、一端部１０２ａと他端部１０２ｂとの間に設けられる中間通路１０２ｃとを有している。供給通路１０２の一端部１０２ａ、他端部１０２ｂ、及び中間通路１０２ｃは、空気の流動方向に沿って切断したときの断面が円形である。供給通路１０２の一端部１０２ａにおける中間通路１０２ｃ寄りの部分は、空気の流動方向に沿って中間通路１０２ｃに向かうにつれて徐々にその直径が小さくなるように構成されている。供給通路１０２の他端部１０２ｂにおける中間通路１０２ｃ寄りの部分は、空気の流動方向に沿って外部に向かうにつれて徐々にその直径が大きくなるように構成されている。供給通路１０２の中間通路１０２ｃを空気の流動方向に沿って切断したときの流路断面積Ｓ３は、供給通路１０２の一端部１０２ａ及び他端部１０２ｂを空気の流動方向に沿って切断したときの流路断面積Ｓ２よりも小さくなる。ケース１０の吸気孔１２ｃと、供給通路１０２の中間通路１０２ｃとは、ケース１０の内部の空気を吸引する通路となる吸気通路１０３により接続されている。

流路断面積Ｓ２，Ｓ３の大きさは、供給通路１０２を空気が流動したとき、ベンチュリー効果により、中間通路１０２ｃの圧力が、吸気通路１０３の圧力よりも低くなるように設定されている。このようにすることで、吸気通路１０３には、中間通路１０２ｃ寄りの圧力とケース１０寄りの圧力との差圧が生じ、ケース１０側から空気が流動するようになる。また、吸気通路１０３にケース１０から中間通路１０２ｃに向けて空気が流動するようになったとしても、ケース１０の内部の空気の流速が検知部２１により異物Ｍを検知できる流速にならない可能性がある。そのため、流路断面積Ｓ２，Ｓ３は、吸気通路１０３に生じる上記差圧が検知部２１で異物Ｍを検知できる程度の空気の流速を発生させることができるように設定されている。なお、供給通路１０２の中間通路１０２ｃ及び吸気通路１０３は、柔軟性のあるホースで構成されている。

本実施形態では、第１の実施形態と同様の効果を得られるとともに以下の作用効果を得ることができる。
（８）本実施形態では、供給機１０１により供給される空気は、供給通路１０２の一端部１０２ａから中間通路１０２ｃ及び他端部１０２ｂを介して外部に送出される。供給機１０１により供給される空気が供給通路１０２の一端部１０２ａから中間通路１０２ｃに進入したとき、供給通路１０２の流路断面積が小さくなる。そのため、供給通路１０２の中間通路１０２ｃの空気の圧力は、ベンチュリー効果により供給通路１０２の一端部１０２ａの空気の圧力よりも低くなる。そのため、吸気通路１０３における中間通路１０２ｃ寄りの圧力は、吸気通路１０３におけるケース１０寄りの圧力よりも小さくなる。吸気通路１０３には、ケース１０から中間通路１０２ｃに向けて空気が流動する流れが発生する。よって、ケース１０の外気孔１１ａから空気が吸入され、第１収容部１１に収容された検知部２１、及び第２収容部１２に収容された捕集部２２、及びケース１０の吸気孔１２ｃを介して吸気通路１０３に空気を引き込むことができる。したがって、１つの供給機１０１で複数の検出部２０の管理をすることができるため、異物管理の効率を維持できる。

（９）１台の供給機１０１により複数の検出部２０を管理することができるため、吸引機を複数台採用する必要がなく、設備投資費用を抑制できる。
（１０）例えば、製造ラインの加工位置が複数存在し、複数の検出部のそれぞれに吸引機４０が採用されると、吸引機４０が発生させる振動が吸引機４０の数の分だけ増大してしまい、ひいては製造ラインの加工位置の近辺で必要以上に異物を巻き上げてしまう可能性がある。

その点、本実施形態では１台の供給機１０１で複数の検出部２０を管理することができるため、製造ラインの加工位置の近辺での異物の巻き上げを抑制できる。
（１１）吸引機を１台とした場合、各ケース１０につながる吸気通路１０３の長さが各々異なり、吸気通路１０３の流路抵抗が異なる。しかし、吸引機にベンチュリーポンプが採用されているため、各吸気通路１０３と中間通路１０２ｃとの接続箇所における流路断面積Ｓ３を適宜変更することで流路抵抗に対応した負圧に調整することができる。

（１２）（１０）の効果に合わせて、例えば、供給機１０１を複数台採用した場合、巻き上げられた異物がケース１０の外気孔１１ａからケース１０の内部に進入すると、検知部２１で過検出となってしまい、製造ラインの加工位置の近辺に発生する電極の切り粉や溶接異物の検出精度が低下してしまうことが考えられる。

その点、本実施形態では、製造ラインの加工位置の近辺での異物検査装置１の配置の自由度を向上させつつ、異物Ｍの検出精度を維持することができる。
なお、第１及び第２の実施形態は、以下のように変更して実施することができる。第１及び第２の実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。

〇 供給通路１０２の他端部１０２ｂの流路断面積Ｓ２は、中間通路１０２ｃの流路断面積Ｓ３より大きく設定されていたが、例えば同じ流路断面積であってもよい。少なくとも、供給通路１０２の一端部１０２ａの流路断面積Ｓ２が中間通路１０２ｃの流路断面積Ｓ３より小さく設定されていればよい。

〇 供給通路１０２の一端部１０２ａにおける中間通路１０２ｃ寄りの部分は、空気の流動方向に沿って中間通路１０２ｃに向かうにつれて徐々にその直径が小さくなるように構成されているが、これに限らない。例えば、中間通路１０２ｃの流路断面積Ｓ３が供給通路１０２の一端部１０２ａの流路断面積Ｓ２よりも小さく設定されるのであれば、供給通路１０２の一端部１０２ａを一定としてもよい。

〇 ケース部４０ｂの吸引口４０ｃにおける第２吸引口４０ｆは、空気の流動方向に沿って切断したときの流路断面が円形であったが、これに限らない。例えば、正方形であってもよいし、その他多角形状であってもよい。ただし、第２吸引口４０ｆを空気の流動方向に沿って切断したときの流路断面積Ｓが吸引機本体４０ａに向かうにつれて徐々に大きくなるように設定されていればよい。

〇 上記変更例において、吸引口４０ｃは、第１吸引口４０ｅを有し、第２吸引口４０ｆを備えない構成としてもよい。この場合、例えば、ケース部４０ｂの内部に形成される角部を曲面Ｒに変更することで少なくともケース部４０ｂの内部で空気が滞留する部分を少なくすることができる。よって、吸引機４０の吸引効率の低下を抑制することができる。

〇 第２収容部１２の一対のガイド部１２ｅは板状をなしていたが、例えば複数のピンを第２収容部１２の開口部１２ａ寄りから第２収容部１２の開口部１２ａと反対寄りに向けて並べて配置するようにしてもよい。また、ピンに限らず、捕集部２２を第２収容部１２に収容したときに捕集部２２の粘着層２２ｂが連通孔１０ａに対向する位置に適切に配置できるような構成であれば、どのように変更してもよい。また、ガイド部１２ｅを備えない異物検査装置１としてもよい。このとき、第２収容部１２の開口部１２ａから捕集部２２を挿入するときには、連通孔１０ａに捕集部２２の粘着層２２ｂが対向するようにさせる。

〇 例えば第１収容部１１が第２収容部１２の吸気孔１２ｃと反対側の壁部に向けて寄った状態で設けられる場合、一対のガイド部１２ｅの一方を第２収容部１２の吸気孔１２ｃと反対側の壁部に代替してもよい。

〇 捕集部２２は、透明な材質よりなるプレート２２ａと、捕集部位としての粘着層２２ｂとを備えていたが、これに限らない。例えば、プレート２２ａは、透明な材質でなくてもよい。また捕集部位は、粘着テープ等の粘着層２２ｂにより構成されていたが、例えばフィルタ等をプレートに張り付けてもよい。

〇 吸気通路５０，１０３は、異物検査装置１の第２収容部１２における吸気孔１２ｃに着脱可能に接続されていてもよいし、固定されていてもよい。例えば、第１の実施形態において、吸気通路５０を着脱可能に吸気孔１２ｃに接続している場合、異物検査装置１の配置を決めてから吸引機４０の配置、及び吸気通路５０の長さを決定するとよい。このようにすることで、異物検査装置１の配置の自由度を更に向上させることができる。

〇 蓋部材１３は、開口部１２ａを密閉した状態で閉塞できるのであれば、開口部１２ａに対してスライド可能でなくてもよい。また、本実施形態では、磁石の吸着力により蓋部材１３を開口部１２ａに密着させていたが、例えば、蓋部材１３と開口部１２ａのとの間を埋めるようにゴム等の弾性部材を介在させるようにしてもよい。要するに、第２収容部１２の内部を密閉した状態にできればどのように変更してもよい。

〇 第１の実施形態では、異物検査装置１は、吸引機４０を備えていたが、例えば割愛してもよい。この場合、製造ライン上に複数の加工位置があれば、任意の場所に異物検査装置１を移動させて配置し、その近傍にある吸引機に接続するようにすればよい。異物検査装置１は、自在に持ち運べるようになるため、製造ライン上の加工位置での配置の自由度をより向上させることができる。

〇 第１収容部１１と第２収容部１２は、ケース１０として一体化していたが、これに限らない。検知部２１を収容する第１収容部１１を有する第１ケースと、捕集部２２を収容する第２収容部１２を有する第２ケースとによりケース１０を構成するようにしてもよい。このとき、連通孔１０ａは、第１ケース及び第２ケースを貫通するように構成するとよい。

〇 第１及び第２実施形態において、蓄電装置の製造ラインにおける加工位置の近辺に配置されることを前提としたが、例えば、蓄電装置の製造ラインに限らず、その他製品の製造ラインの加工位置の近辺に配置されることを前提としてもよい。

１…異物検査装置、１０…ケース、１０ａ…連通孔、１１…第１収容部、１１ａ…外気孔、１２…第２収容部、１２ａ…開口部、１２ｃ…吸気孔、１２ｄ…第２収容部の底部、１２ｅ…ガイド部、１３…蓋部材、２０…検出部、２１…検知部、２２…捕集部、２２ａ…プレート、２２ｂ…粘着層、４０…吸引機、４０ａ…吸引機本体、４０ｂ…ケース部、４０ｃ…吸引口、５０…吸気通路、１００…異物検査装置、１０１…供給機、１０２…供給通路、１０２ａ…供給通路の一端部、１０２ｂ…供給通路の他端部、１０２ｃ…供給通路の中間通路、１０３…吸気通路、Ｓ…吸引口の流路断面積、Ｓ２…供給通路の一端部及び他端部の流路断面積、Ｓ３…中間通路の断面積、Ｍ…異物。

Claims (5)

1. 異物を検知する検知部と、前記異物を捕集する捕集部位を有する板状の捕集部とにより構成される検出部を備えた異物検査装置であって、
   前記検出部は、ケースに収容され、
   前記ケースは、
   前記検知部が収容されるとともに前記ケースの外部と連通する外気孔を有する第１収容部と、
   前記捕集部を出し入れ可能とする開口部を有し、前記開口部を密閉した状態で閉塞する蓋部材を有するとともに前記第１収容部の下側に設けられている第２収容部と、を備え、
   前記第１収容部と前記第２収容部とは、前記第２収容部に前記捕集部が収容された状態で前記捕集部位に対向する位置に設けられた連通孔を介して連通しており、
   前記第２収容部には、前記第２収容部の内部と前記ケースの外部とを連通し、前記ケースの内部の空気を吸引する通路となる吸気通路に接続される吸気孔を有することを特徴とする異物検査装置。
2. 前記捕集部は、透明な材質によりなるプレートを有し、
   前記プレート上には、前記捕集部位としての粘着層が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の異物検査装置。
3. 前記第２収容部の内部の前記第１収容部と反対側の底部には、前記第１収容部に向けて突出するとともに前記第２収容部の前記開口部寄りから前記第２収容部の前記開口部と反対寄りに向けて延びるガイド部が設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の異物検査装置。
4. 前記吸気通路に接続され、空気を吸引する吸引機を備え、
   前記吸引機は、空気を吸引する吸引力を発生させる吸引機本体と、前記吸気通路と接続されるとともに前記吸気通路から送出される空気が導入されるケース部と、を有し、
   前記ケース部は、前記吸気通路と接続される吸引口を有し、
   前記吸引機寄りの前記吸引口は、前記吸引機本体に向かうにつれて、空気の流動方向に沿って切断したときの流路断面積が徐々に大きくなるように設定されていることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の異物検査装置。
5. 異物を検知する検知部と、前記異物を捕集する捕集部位を有する板状の捕集部とにより構成される複数の検出部と、空気を供給する供給機とにより構成される異物検査装置であって、
   前記複数の検出部のそれぞれは、ケースに収容され、前記ケースは、前記検知部が収容されるとともに前記ケースの外部と連通する外気孔を有する第１収容部と、前記捕集部を出し入れ可能とする開口部を有し、前記開口部を密閉した状態で閉塞する蓋部材を有するとともに前記第１収容部の下側に設けられている第２収容部と、を備え、前記第１収容部と前記第２収容部とは、前記第２収容部に前記捕集部が収容された状態で前記捕集部位に対向する位置に設けられた連通孔を介して連通しており、前記第２収容部には、前記第２収容部の内部と前記ケースの外部とを連通し、前記ケースの内部の空気を吸引する通路となる吸気通路に接続される吸気孔を有し、
   前記供給機には、外部と連通する供給通路が接続され、
   前記供給通路は、前記供給機に接続される一端部及び外部に連通する他端部との間に設けられ、空気の流動方向に沿って切断したときの流路断面積が、前記一端部を空気の流動方向に沿って切断したときの流路断面積よりも小さくなる中間通路を有し、
   前記吸気通路は、前記中間通路に接続されていることを特徴とする異物検査装置。