JP2019204843A - プリント配線板及びプリント配線板の製造方法 - Google Patents

プリント配線板及びプリント配線板の製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】 高いインダクタンスを有するプリント配線板の提供【解決手段】 磁性体樹脂38の設けられた直上領域には第2導体層40Bが配置されていないため、磁性体樹脂38と第2導体層40Bとの間の絶縁距離が問題とならない。このため、磁性体樹脂38の厚みhを厚くすることができ、高いインダクタンスを得ることができる。【選択図】 図1

Description

本発明は、磁性体樹脂で覆われた配線を有するプリント配線板、及び、プリント配線板プリント配線板の製造方法に関する。
特許文献1では、複数層のインダクパターン上にそれぞれ磁性体層と樹脂層とを設けたインダク部品を開示している。
特開2014−32978号公報
特許文献1では、インダクパターン上に上層インダクパターンを重ねるため、インダクパターン上に設ける磁性体層の厚みが制限される。
本発明に係るプリント配線板は、最下層の第1導体層と、前記第1導体層上の第2導体層と、前記第2導体層上の第3導体層と、前記第1導体層と前記第2導体層との間の第1樹脂絶縁層と、前記第2導体層と前記第3導体層との間の第2樹脂絶縁層と、前記第1樹脂絶縁層を貫通し前記第1導体層と前記第2導体層とを接続する第1ビア導体と、前記第2樹脂絶縁層を貫通し前記第2導体層と前記第3導体層とを接続する第2ビア導体と、前記第1樹脂絶縁層の下面側開口に設けられ、前記第1導体層の一部を被覆する磁性体樹脂と、を有する。そして、前記磁性体樹脂の設けられた領域には第2導体層が配置されていない。
本発明のプリント配線板の製造方法では、支持板上に第1導体層を形成することと、前記支持板及び前記第1導体層上に第1樹脂絶縁層を形成することと、前記第1樹脂絶縁層に、磁性体樹脂で被覆される部位の前記第1導体層を露出させる貫通孔を形成することと、前記第1樹脂絶縁層に、ビア形成用の開口を形成することと、前記開口に第1ビア導体を形成し、前記第1樹脂絶縁層上に前記第1ビア導体のビアランドを形成することと、前記貫通孔に磁性体樹脂を充填することと、前記第1樹脂絶縁層及び前記磁性体樹脂上に第2樹脂絶縁層を形成することと、前記第2樹脂絶縁層を貫通し、前記ビアランドに至る第2ビア導体を形成すると共に、前記第2樹脂絶縁層上に第3導体層を形成することと、を有する。
別の態様のプリント配線板の製造方法では、支持板上に第1導体層を形成することと、所定の前記第1導体層上に磁性体樹脂を形成することと、前記磁性体樹脂及び前記支持板上に第1樹脂絶縁層を形成することと、前記第1樹脂絶縁層にビア形成用の開口を形成することと、前記開口に第1ビア導体を形成し、前記第1樹脂絶縁層上に前記第1ビア導体のビアランドを形成することと、前記第1樹脂絶縁層上に第2樹脂絶縁層を形成することと、前記第2樹脂絶縁層を貫通し、前記ビアランドに至る第2ビア導体を形成すると共に、前記第2樹脂絶縁層上に第3導体層を形成することと、を有する。
[実施形態の効果]
本発明の実施形態のプリント配線板によれば、磁性体樹脂の設けられた領域には第2導体層が配置されていないため、磁性体樹脂と第2導体層との間の絶縁距離が問題とならない。このため、磁性体樹脂の厚みを厚くすることができ、高いインダクタンスを得ることができる。また、第1導体層と、第1導体層上の導体層となる第3導体層とを、第1ビア導体と第2ビア導体とで接続するため、第1ビア導体、第2ビア導体の高さを低くすることができ、接続信頼性を高めることができる。
本発明のプリント配線板の製造方法によれば、第1樹脂絶縁層に、磁性体樹脂で被覆される部位の第1導体層を露出させる貫通孔を形成し、貫通孔に磁性体樹脂を充填する。即ち、第1樹脂絶縁層の厚み分の磁性体樹脂を第1導体層上に被覆できるので、高いインダクタンスを得ることができる。また、第1導体層と、第1導体層上の導体層となる第3導体層とを、第1ビア導体と第2ビア導体とで接続するため、第1ビア導体、第2ビア導体の高さを低くすることができ、めっき時間を短縮させながら、接続信頼性を高めることができる。剛性の高い支持板上に予め磁性体樹脂を印刷等で搭載して、その上に第2樹脂絶縁層を被せるため、磁性体樹脂と第2樹脂絶縁層との密着性を改善することができる。
本発明の別の態様のプリント配線板の製造方法によれば、磁性体樹脂上に第1樹脂絶縁層を設け、更に、第2樹脂絶縁層を設ける。磁性体樹脂上に第2樹脂絶縁層を設けるのと異なり、第1樹脂絶縁層上に第2樹脂絶縁層が設けられ、密着性が高いため、第1樹脂絶縁層と第2樹脂絶縁層との信頼性が高い。剛性の高い支持板上に予め磁性体樹脂を印刷等で搭載して、その上に第1樹脂絶縁層を被せるため、磁性体樹脂と第1樹脂絶縁層との密着性を改善することができる。また、第1導体層と、第1導体層上の導体層となる第3導体層とを、第1ビア導体と第2ビア導体とで接続するため、第1ビア導体、第2ビア導体の高さを低くすることができ、めっき時間を短縮させながら、接続信頼性を高めることができる。
図1(A)は、本発明の第1実施形態に係るプリント配線板の断面図であり、図1(B)は、図1(A)のプリント配線板のb−b断面図である。 第1実施形態のプリント配線板の製造工程図 第1実施形態のプリント配線板の製造工程図 第1実施形態のプリント配線板の製造工程図 第1実施形態の第1改変例のプリント配線板の製造工程図 第1実施形態の第2改変例のプリント配線板の断面図 第1実施形態の第2改変例のプリント配線板の製造工程図 第1実施形態の第2改変例のプリント配線板の製造工程図 第2実施形態のプリント配線板の断面図 第2実施形態のプリント配線板の製造工程図 第2実施形態のプリント配線板の製造工程図
[第1実施形態]
図1(A)は、本発明の第1実施形態に係るプリント配線板の断面図であり、図1(B)は、図1(A)のプリント配線板のb−b断面図である。
プリント配線板10は、第1面Fと該第1面Fとの反対側の第2面Sとを有し、最下の第1樹脂絶縁層50Aと、第1樹脂絶縁層の第2面S側に形成された第1導体層40Aと、第1面F側に形成された第2導体層40Bと、第1樹脂絶縁層50Aを貫通して第1導体層40Aと第2導体層40Bを接続する第1ビア導体60Aとを有する。第1樹脂絶縁層50Aには貫通孔52が設けられ、貫通孔52内には磁性体樹脂38が充填されている。磁性体樹脂38の一部は、貫通孔52から溢れ突出し、フランジ部38aを形成する。第1導体層40Aに含まれるインダクパターン40Lは、貫通孔52内に充填された磁性体樹脂38で被覆されている。即ち、インダクパターン40Lの側面40s、上面40uは磁性体樹脂38内に埋め込まれ、インダクパターン40Lの下面40bは磁性体樹脂38から露出している。同様に、他の第1導体層40Aの側面40s、上面40uは第1樹脂絶縁層50A内に埋め込まれ、第1導体層40Aの下面40bは第1樹脂絶縁層50Aから露出している。第2導体層40Bは、第1ビア導体60Aのビアランド40BVを構成し、磁性体樹脂38の設けられた磁性体樹脂の直上領域には第2導体層が配置されない。
第1樹脂絶縁層50A及び第2導体層40B上には、第2樹脂絶縁層50Bが設けられ、第2樹脂絶縁層50B上には、第3導体層40Cが設けられている。第2導体層40Bと第3導体層40Cは、第2樹脂絶縁層50Bを貫通する第2ビア導体60Bで接続されている。第3導体層40Cには、第2ビア導体60Bのビアランド40CVと導体回路40CLとが含まれ、導体回路40CLは、磁性体樹脂38の設けられた磁性体樹脂の直上領域にも配置される。
第2樹脂絶縁層50B及び第3導体層40C上には、第3樹脂絶縁層50Cが設けられ、第3樹脂絶縁層50C上には、第4導体層40Dが設けられている。第3導体層40Cと第4導体層40Dは、第3樹脂絶縁層50Cを貫通する第3ビア導体60Cで接続されている。
第3樹脂絶縁層50C及び第4導体層40D上には、第4樹脂絶縁層50Dが設けられ、第4樹脂絶縁層50D上には、第5導体層40Eが設けられている。第4導体層40Dと第5導体層40Eは、第4樹脂絶縁層50Dを貫通する第4ビア導体60Dで接続されている。
第4樹脂絶縁層50D及び第5導体層40E上には、第5樹脂絶縁層50Eが設けられ、第5樹脂絶縁層50E上には、第6導体層40Fが設けられている。第5導体層40Eと第6導体層40Fは、第5樹脂絶縁層50Eを貫通する第5ビア導体60Eで接続されている。
第5樹脂絶縁層50E及び第6導体層40F上には、第6樹脂絶縁層50Fが設けられ、第6樹脂絶縁層50F上には、第7導体層40Gが設けられている。第6導体層40Fと第7導体層40Gは、第6樹脂絶縁層50Fを貫通する第6ビア導体60Fで接続されている。
第6樹脂絶縁層50F及び第7導体層40G上には、第7樹脂絶縁層50Gが設けられ、第7樹脂絶縁層50G上には、第8導体層40Hが設けられている。第7導体層40Gと第8導体層40Hは、第7樹脂絶縁層50Gを貫通する第7ビア導体60Gで接続されている。
第7樹脂絶縁層50G及び第8導体層40H上に開口72Fを有する第1ソルダーレジスト層70Fが形成されている。第1ソルダーレジスト層70Fの開口72F内には、例えば、Ni/Pd/Au膜からなる耐食層74Fが形成されている。耐食層74F上に半田バンプ76Fが形成されている。
第1樹脂絶縁層50Aの第2面S及び第1導体層40Aの下面40b上には開口72Sを備える第2ソルダーレジスト層70Sが形成されている。開口72Sから露出される第1導体層40Aの下面40bは外部基板接続用のパッド73Sを構成する。パッド73S上には、例えば、Ni/Pd/Au膜からなる耐食層74Sが形成されている。図1(B)に示されるように、インダクパターン40Lは、磁性体樹脂38から露出する部位で第1ビア導体60Aに接続される。
第1実施形態のプリント配線板10によれば、磁性体樹脂38の設けられた直上領域には第2導体層40Bが配置されていないため、磁性体樹脂38と第2導体層40Bとの間の絶縁距離が問題とならない。このため、磁性体樹脂38の厚みhを厚くすることができ、高いインダクタンスを得ることができる。また、第1導体層40Aと、第1導体層上の導体層となる第3導体層40Cとを、第1ビア導体60Aと第2ビア導体60Bとで接続するため、第1樹脂絶縁層50Aと第2樹脂絶縁層50Bとを貫通する1個のビア導体を形成するのと比較して、第1ビア導体60A、第2ビア導体60Bの高さを低くすることができ、接続信頼性を高めることができる。
[第1実施形態の製造方法]
第1実施形態のプリント配線板の製造方法が図2〜図4に示される。
樹脂基板18に銅箔22を積層した銅張積層板(支持板)20と、銅箔24が準備される。銅張積層板20に銅箔24が接合され、銅箔24上に銅めっきから成る第1導体層40Aが形成される。第1導体層40Aには、インダクパターン40Lが含まれる。銅箔24及び第1導体層40A上に第1樹脂絶縁層50Aが形成される(図2(A))。
レーザで第1樹脂絶縁層50Aにインダクパターン40Lを露出させる貫通孔52が、第1樹脂絶縁層50Aを貫通するように形成される(図2(B))。レーザで第1樹脂絶縁層50Aにビア導体を形成するための第1導体層40Aに至るビア用開口54が形成される(図2(C))。貫通孔52内、ビア用開口54内及び第1樹脂絶縁層50Aの表面に無電解めっき膜56が形成される(図2(D))。更に、電解めっきでビア用開口54内に第1ビア導体60Aが形成され、図示しないめっきレジストから露出する無電解めっき膜56上に第2導体層40Bが形成される。めっきレジスト剥離後、電解めっき膜58から露出した無電解めっき膜56が除去される(図3(A))。インダクパターン40Lを露出させる第1樹脂絶縁層50Aの貫通孔52内に磁性体樹脂38が充填される(図3(B))。磁性体樹脂38は、第1樹脂絶縁層50Aの表面に一部38aが溢れ出る。これにより、磁性体樹脂38の厚みを第1樹脂絶縁層50Aよりも厚くできる。
第1樹脂絶縁層50A上、及び、第2導体層40B、磁性体樹脂38上に第2樹脂絶縁層50Bが形成される(図3(C))。第2樹脂絶縁層50B上に第3導体層40Cが形成され、第2樹脂絶縁層50Bを貫通する第2ビア導体60Bが形成される(図3(D))。
図3(C)、図3(D)の処理が繰り返され、第3樹脂絶縁層50C、第3ビア導体60C、第4導体層40Dが形成され、第4樹脂絶縁層50D、第4ビア導体60D、第5導体層40Eが形成され、第5樹脂絶縁層50E、第5ビア導体60E、第6導体層40Fが形成され、第6樹脂絶縁層50F、第6ビア導体60F、第7導体層40Gが形成され、第7樹脂絶縁層50G、第7ビア導体60G、第8導体層40Hが形成され、中間体110が完成する(図4(A))。
中間体110から銅箔22を積層した銅張積層板20が分離され、銅箔24がエッチングにより除去される(図4(B))。第7樹脂絶縁層50G及び第8導体層40H上に開口72Fを有する第1ソルダーレジスト層70Fが形成され、第1樹脂絶縁層50Aの第2面S及び第1導体層40Aの下面40b上には開口72Sを備える第2ソルダーレジスト層70Sが形成され、第1ソルダーレジスト層70Fの開口72F内に耐食層74Fが、耐食層74F上に半田バンプ76Fが形成され、開口72Sから露出されるパッド73S上に耐食層74Sが形成され、プリント配線板10が完成する(図1(A))。
第1実施形態のプリント配線板の製造方法によれば、第1樹脂絶縁層50Aに、磁性体樹脂で被覆される部位の第1導体層40Aを露出させる貫通孔52を形成し、貫通孔52に磁性体樹脂38を充填する。即ち、第1樹脂絶縁層50Aの厚み分の磁性体樹脂38を第1導体層40A上に被覆できる。また、第1導体層40Aと、第1導体層上の導体層となる第3導体層40Cとを、第1ビア導体60Aと第2ビア導体60Bとで接続するため、第1ビア導体60A、第2ビア導体60Bの高さを低くすることができ、めっき時間を短縮させながら、接続信頼性を高めることができる。剛性の高い銅張積層板20上に予め磁性体樹脂38を印刷等で搭載して、その上に第2樹脂絶縁層50Bを被せるため、磁性体樹脂38と第2樹脂絶縁層50Bとの密着性を改善することができる。また、第1樹脂絶縁層では、貫通孔52をレーザで形成するため、磁性体樹脂38の位置精度を高めることができる。
[第1実施形態の第1改変例の製造方法]
第1実施形態のプリント配線板の製造方法が図5に示される。
樹脂基板18に銅箔22を積層した銅張積層板(支持板)20と、銅箔24が準備される。銅張積層板20に銅箔24が接合され、銅箔24上に銅めっきから成る第1導体層40Aが形成される。第1導体層40Aには、インダクパターン40Lが含まれる。銅箔24及び第1導体層40A上に第1樹脂絶縁層50Aが形成される(図5(A))。
レーザで第1樹脂絶縁層50Aにビア導体を形成するための第1導体層40Aに至るビア用開口54が形成される(図5(B))。ビア用開口54内及び第1樹脂絶縁層50Aの表面に図示しない無電解めっき膜56が形成される。更に、電解めっきでビア用開口54内に第1ビア導体60Aが形成され、図示しないめっきレジストから露出する無電解めっき膜56上に第2導体層40Bが形成される。めっきレジスト剥離後、電解めっき膜58から露出した無電解めっき膜56が除去される(図5(C))。
レーザで第1樹脂絶縁層50Aにインダクパターン40Lを露出させる貫通孔52が、第1樹脂絶縁層50Aを貫通するように形成される(図5(D))。以降の工程は、図3(B)以降の第1実施形態の製造方法と同様である。
[ 第1実施形態の第2改変例のプリント配線板]
図6は実施形態に掛かるプリント配線板の断面を示す。
第1実施形態の第2改変例のプリント配線板は、第1樹脂絶縁層50A上に第8樹脂絶縁層(第3樹脂絶縁層)50Zが形成され、第1樹脂絶縁層50Aと第8樹脂絶縁層50Zを貫通する貫通孔52内に磁性体樹脂38が充填される。そして、第8樹脂絶縁層50Z及び第2樹脂絶縁層50Bを貫通する第2ビア導体60Bが形成されている。
[第1実施形態の第1改変例の製造方法]
第1実施形態のプリント配線板の製造方法が図7、図8に示される。
樹脂基板18に銅箔22を積層した銅張積層板(支持板)20と、銅箔24が準備される。銅張積層板20に銅箔24が接合され、銅箔24上に銅めっきから成る第1導体層40Aが形成される。第1導体層40Aには、インダクパターン40Lが含まれる。銅箔24及び第1導体層40A上に第1樹脂絶縁層50Aが形成される(図7(A))。
レーザで第1樹脂絶縁層50Aにビア導体を形成するための第1導体層40Aに至るビア用開口54が形成される(図7(B))。ビア用開口54内及び第1樹脂絶縁層50Aの表面に図示しない無電解めっき膜56が形成される。更に、電解めっきでビア用開口54内に第1ビア導体60Aが形成され、図示しないめっきレジストから露出する無電解めっき膜56上に第2導体層40Bが形成される。めっきレジスト剥離後、電解めっき膜58から露出した無電解めっき膜56が除去される(図7(C))。
第1樹脂絶縁層50A及び第2導体層40B上に第8樹脂絶縁層(第3樹脂絶縁層)50Zが形成される(図7(D))。レーザでインダクパターン40Lを露出させる貫通孔52が、第1樹脂絶縁層50Aを及び第8樹脂絶縁層50Z貫通するように形成される(図8(A))。インダクパターン40Lを露出させる第1樹脂絶縁層50Aの貫通孔52内に磁性体樹脂38が充填される(図8(B))。
第8樹脂絶縁層50Z上、及び、第2導体層40B、磁性体樹脂38上に第2樹脂絶縁層50Bが形成される(図8(C))。第2樹脂絶縁層50B上に第3導体層40Cが形成され、第2樹脂絶縁層50Bを貫通する第2ビア導体60Bが形成される(図8(D))。
以降の工程は、図4(A)以降の第1実施形態の製造方法と同様である。
[第2実施形態]
図9は第2実施形態のプリント配線板を示す。
第2実施形態では、第1樹脂絶縁層50Aを貫通しない断面形状台形の凹部48内に磁性体樹脂38が充填されている。磁性体樹脂38上に第1樹脂絶縁層50Aを介して第2樹脂絶縁層50Bが形成されている。
[第2実施形態の製造方法]
第2実施形態のプリント配線板の製造方法が図10、図11に示される。
樹脂基板18に銅箔22を積層した銅張積層板(支持板)20と、銅箔24が準備される。銅張積層板20に銅箔24が接合され、銅箔24上に銅めっきから成る第1導体層40Aが形成される。第1導体層40Aには、インダクパターン40Lが含まれる。インダクパターン40L上に磁性体樹脂38が形成される(図10(A))。磁性体樹脂38、銅箔24及び第1導体層40A上に第1樹脂絶縁層50Aが形成される(図10(B))。この際に、第1樹脂絶縁層50Aに凹部48が形成される。
レーザで第1樹脂絶縁層50Aにビア導体を形成するための第1導体層40Aに至るビア用開口54が形成される(図10(C))。ビア用開口54内及び第1樹脂絶縁層50Aの表面に無電解めっき膜56が形成される(図10(D))。更に、電解めっきでビア用開口54内に第1ビア導体60Aが形成され、図示しないめっきレジストから露出する無電解めっき膜56上に第2導体層40Bが形成される。めっきレジスト剥離後、電解めっき膜58から露出した無電解めっき膜56が除去される(図11(A))。
第1樹脂絶縁層50A上、及び、第2導体層40B上に第2樹脂絶縁層50Bが形成される(図11(B))。第2樹脂絶縁層50Bにビア用開口53が形成される(図11(C))。第2樹脂絶縁層50B上に第3導体層40Cが形成され、第2樹脂絶縁層50Bを貫通する第2ビア導体60Bが開口53内に形成される(図11(D))。第2実施形態の製造方法は、以降の工程は第1実施形態と同様である。
第2実施形態のプリント配線板の製造方法によれば、剛性の高い銅張積層板20上に予め磁性体樹脂38を印刷等で搭載して、その上に第1樹脂絶縁層50Aを被せるため、磁性体樹脂38と第1樹脂絶縁層50Aとの密着性を改善することができる。また、第1導体層40Aと、第1導体層上の導体層となる第3導体層40Cとを、第1ビア導体60Aと第2ビア導体60Bとで接続するため、第1ビア導体60A、第2ビア導体60Bの高さを低くすることができ、めっき時間を短縮させながら、接続信頼性を高めることができる。更に、磁性体樹脂38の厚みを第1樹脂絶縁層50Aの厚みとは関係なく設定できる。
10 プリント配線板
20 銅張積層板(支持板)
38 磁性体樹脂
40A 第1導体層
40B 第2導体層
40C 第3導体層
48 凹部(下面側開口)
50A 第1樹脂絶縁層
50B 第2樹脂絶縁層
52 貫通孔(下面側開口)
60A 第1ビア導体
60B 第2ビア導体

Claims (10)

  1. 最下層の第1導体層と、前記第1導体層上の第2導体層と、前記第2導体層上の第3導体層と、
    前記第1導体層と前記第2導体層との間の第1樹脂絶縁層と、前記第2導体層と前記第3導体層との間の第2樹脂絶縁層と、
    前記第1樹脂絶縁層を貫通し前記第1導体層と前記第2導体層とを接続する第1ビア導体と、前記第2樹脂絶縁層を貫通し前記第2導体層と前記第3導体層とを接続する第2ビア導体と、
    前記第1樹脂絶縁層の下面側開口に設けられ、前記第1導体層の一部を被覆する磁性体樹脂と、を有するプリント配線板であって、
    前記磁性体樹脂の設けられた領域には第2導体層が配置されていない。
  2. 請求項1のプリント配線板であって、
    前記第2導体層は、前記第1ビア導体のビアランドである。
  3. 請求項1又は請求項2のプリント配線板であって、
    前記第1導体層の上面及び側面は、前記第1樹脂絶縁層又は前記磁性体樹脂に埋め込まれ、前記第1導体層の下面は、前記第1樹脂絶縁層又は前記磁性体樹脂から露出している。
  4. 請求項1のプリント配線板であって、
    前記下面側開口は、前記第1樹脂絶縁層を貫通する貫通孔である。
  5. 請求項4のプリント配線板であって、
    前記磁性体樹脂は、前記貫通孔から突出したフランジ部を有する。
  6. 請求項1のプリント配線板であって、
    前記下面側開口は、前記第1樹脂絶縁層を貫通しない凹部である。
  7. 請求項1〜請求項6のいずれか1のプリント配線板であって、
    前記第1ビア導体の直上に前記第2ビア導体が配置されるスタックビア構造を有する。
  8. 支持板上に第1導体層を形成することと、
    前記支持板及び前記第1導体層上に第1樹脂絶縁層を形成することと、
    前記第1樹脂絶縁層に、磁性体樹脂で被覆される部位の前記第1導体層を露出させる貫通孔を形成することと、
    前記第1樹脂絶縁層に、ビア形成用の開口を形成することと、
    前記開口に第1ビア導体を形成し、前記第1樹脂絶縁層上に前記第1ビア導体のビアランドを形成することと、
    前記貫通孔に磁性体樹脂を充填することと、
    前記第1樹脂絶縁層及び前記磁性体樹脂上に第2樹脂絶縁層を形成することと、
    前記第2樹脂絶縁層を貫通し、前記ビアランドに至る第2ビア導体を形成すると共に、前記第2樹脂絶縁層上に第3導体層を形成することと、を有するプリント配線板の製造方法。
  9. 請求項8のプリント配線板の製造方法であって、
    前記第1ビア導体形成後に、前記第1樹脂絶縁層上に第3樹脂絶縁層を形成することと、
    前記第1樹脂絶縁層及び前記第3樹脂絶縁層に前記第1導体層を露出させる貫通孔を形成することと、
    前記貫通孔に磁性体樹脂を充填することと、
    前記第3樹脂絶縁層及び前記磁性体樹脂上に第2樹脂絶縁層を形成することと、
    前記第2樹脂絶縁層を貫通し、前記ビアランドに至る第2ビア導体を形成すると共に、前記第2樹脂絶縁層上に第3導体層を形成することと、を有する。
  10. 支持板上に第1導体層を形成することと、
    所定の前記第1導体層上に磁性体樹脂を形成することと、
    前記磁性体樹脂及び前記支持板上に第1樹脂絶縁層を形成することと、
    前記第1樹脂絶縁層にビア形成用の開口を形成することと、
    前記開口に第1ビア導体を形成し、前記第1樹脂絶縁層上に前記第1ビア導体のビアランドを形成することと、
    前記第1樹脂絶縁層上に第2樹脂絶縁層を形成することと、
    前記第2樹脂絶縁層を貫通し、前記ビアランドに至る第2ビア導体を形成すると共に、前記第2樹脂絶縁層上に第3導体層を形成することと、を有するプリント配線板の製造方法。
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