JP2018124217A - ノズル式電子線照射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ペットボトルOの開口部mに挿入され得る真空ノズル2を備え、真空ノズル2によりペットボトルOの内部に電子線Eを照射するノズル式電子線照射装置(以下、本装置1)である。本装置1は、真空チャンバ3と、真空チャンバ3の内部に配置された電子線発生器4とを備える。真空ノズル2は、真空チャンバ3に接続されて、電子線発生器4からの電子線Eを案内して外部に出射する。本装置1は、真空ノズル2に案内される電子線Eをさらに集束するネオジム磁石60(真空ノズル2を外方から囲う形状)と、開口部mから真空ノズル2を挿入および抜去するペットボトル昇降機7と、真空ノズル2およびネオジム磁石60を冷却する冷却機構8とを備える。
【選択図】図1
Description
真空チャンバと、この真空チャンバの内部に配置された電子線発生器とを備え、
上記真空ノズルが、上記真空チャンバに接続されて、上記電子線発生器からの電子線を案内して外部に出射するものであり、
上記真空ノズルを外方から囲う形状で、当該真空ノズルに案内される電子線を集束するネオジム磁石と、
上記照射対象物の開口部から真空ノズルを挿入および抜去する挿入抜去機構と、
上記真空ノズルを冷却する冷却機構とを備え、
上記冷却機構が、上記真空ノズルを冷却すると同時に、上記ネオジム磁石を不可逆減磁が生じない程度まで冷却するものである。
上記接続部材が、その内部にネオジム磁石を保持するものである。
冷却機構が、冷媒を通過させる冷媒路を有し、
上記冷媒路が、上記接続部材の内部において、上記真空ノズルとネオジム磁石との間で、上記真空ノズルを囲うように配置されたものである。
2 真空ノズル
3 真空チャンバ
4 電子線発生器
7 ペットボトル昇降機
8 冷却機構
60 ネオジム磁石
Claims (3)
- 開口部が形成された照射対象物の当該開口部に挿入され得る真空ノズルを備え、当該真空ノズルにより上記照射対象物の内部に電子線を照射するノズル式電子線照射装置であって、
真空チャンバと、この真空チャンバの内部に配置された電子線発生器とを備え、
上記真空ノズルが、上記真空チャンバに接続されて、上記電子線発生器からの電子線を案内して外部に出射するものであり、
上記真空ノズルを外方から囲う形状で、当該真空ノズルに案内される電子線を集束するネオジム磁石と、
上記照射対象物の開口部から真空ノズルを挿入および抜去する挿入抜去機構と、
上記真空ノズルを冷却する冷却機構とを備え、
上記冷却機構が、上記真空ノズルを冷却すると同時に、上記ネオジム磁石を不可逆減磁が生じない程度まで冷却するものであることを特徴とするノズル式電子線照射装置。 - 真空チャンバと真空ノズルとを接続する接続部材を備え、
上記接続部材が、その内部にネオジム磁石を保持するものであることを特徴とする請求項1に記載のノズル式電子線照射装置。 - 真空ノズルが、その基端部を接続部材に埋設するように配置されたものであり、
冷却機構が、冷媒を通過させる冷媒路を有し、
上記冷媒路が、上記接続部材の内部において、上記真空ノズルとネオジム磁石との間で、上記真空ノズルを囲うように配置されたものであることを特徴とする請求項2に記載のノズル式電子線照射装置。
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