JP2017531208A - 真空内で光学素子又はサンプルを配列調整するための調整システム - Google Patents
真空内で光学素子又はサンプルを配列調整するための調整システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017531208A JP2017531208A JP2017516152A JP2017516152A JP2017531208A JP 2017531208 A JP2017531208 A JP 2017531208A JP 2017516152 A JP2017516152 A JP 2017516152A JP 2017516152 A JP2017516152 A JP 2017516152A JP 2017531208 A JP2017531208 A JP 2017531208A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spatial direction
- vacuum chamber
- actuator
- aligning
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 49
- 238000013519 translation Methods 0.000 claims abstract description 29
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 claims abstract description 11
- 108010091769 Shiga Toxin 1 Proteins 0.000 claims description 4
- 108010090763 Shiga Toxin 2 Proteins 0.000 claims description 4
- 102100029932 Syntaxin-1A Human genes 0.000 claims description 4
- 102100035936 Syntaxin-2 Human genes 0.000 claims description 4
- 101100094821 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) SMX2 gene Proteins 0.000 claims description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 3
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 57
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 19
- 230000014616 translation Effects 0.000 description 16
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 10
- 230000008859 change Effects 0.000 description 7
- 241000238631 Hexapoda Species 0.000 description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021383 artificial graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 2
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 2
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1822—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
- G02B7/1827—Motorised alignment
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/003—Alignment of optical elements
- G02B7/005—Motorised alignment
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/20—Light-tight connections for movable optical elements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
Description
以下の図面を用いて、本発明を詳しく説明する。
(1)X方向における動き(並進−X)のためには、アクチュエータX1及びX2を同じ方向に動かすことが必要である(両方+1)。
(2)Y方向における動き(並進−Y)のためには、アクチュエータYだけを動かすことが必要である(+1)一方、このアクチュエータは、ビームパスに非常に小さい影響しか及ぼさない。
(3)Z方向における動き(並進−Z)のためには、アクチュエータZ1,Z2及びZ3を同じ方向に動かすことが必要である(全部+1)。
(4)xの周りの回転(回転−x)のためには、(アクチュエータZ1及びZ2から成る)アクチュエータ対Zを同じ方向に動かして、アクチュエータZ3をその逆方向に動かすことが必要である。
(5)yの周りの回転(回転−y)のためには、(アクチュエータZ1及びZ2から成る)アクチュエータ対Zを互いに逆方向に動かすことが必要である。
(6)zの周りの回転(回転−z)のためには、(アクチュエータX1及びX2から成る)アクチュエータ対Xを互いに逆方向に動かすことが必要である。
2 電磁放射線源の出口
3 調整システム
3’ ミラー
3’’ 真空室
4 ターゲット
5 格子
6 開口部
7 ビーム
8 基礎部
10 ケージ
A アンカー部
E1 構成部品
E2 構成部品
E3 構成部品
FG1 屈曲部
FG2 屈曲部
K 連結ロッド
K1 連結ロッド
K2 連結ロッド
K3 連結ロッド
K4 連結ロッド
K5 連結ロッド
K6 連結ロッド
X アクチュエータ対
X1 アクチュエータ
X1’ スピンドル駆動部
X2 アクチュエータ
X2’ スピンドル駆動部
Y 連結ロッド
Z アクチュエータ対
Z1 アクチュエータ
Z2 アクチュエータ
Z3 アクチュエータ
S ビームパス
SMX1 モータ
SMX2 モータ
SMZ1 モータ
SMZ2 モータ
SMZ3 モータ
STX1 スピンドル駆動部
STX2 スピンドル駆動部
STZ1 スピンドル駆動部
STZ2 スピンドル駆動部
STZ3 スピンドル駆動部
T 並進行程
p 寄生運動
Claims (10)
- 光線又は電磁放射線を照射するために真空内において光学素子及びサンプルを配列調整するための調整システム(3)であって、
少なくとも一つの真空室(3’’)と、
空間方向に対して調整可能な少なくとも一つのミラー(3’)、
空間方向に対して調整可能な少なくとも一つの光学素子、及び
空間方向に対して調整可能な少なくとも一つのサンプルの中の一つ以上と、
から構成され、
非偏移状態(アイドル状態)において、前記の空間方向に対して調整可能な少なくとも一つのミラー(3’)、空間方向に対して調整可能な少なくとも一つの光学素子、及び空間方向に対して調整可能な少なくとも一つのサンプルの中の一つ以上の最大三つの互いにほぼ直角の空間方向(X,Y,Z,x,y,z)における配列形態を調整するための並進用アクチュエータ(X1,X2,Z1,Z2,Z3)が配備されている、
真空内において光学素子及びサンプルを配列調整するための調整システムにおいて、
真空室(3’’)内の前記の空間方向(X,Y,Z,x,y,z)に対して調整可能な少なくとも一つのミラー(3’)、空間方向(X,Y,Z,x,y,z)に対して調整可能な少なくとも一つの光学素子、及びサンプルの中の一つ以上が、真空室(3’’)に対して固定位置に取り付けられており、
真空室(3’’)が、前記のミラー、光学素子及びサンプルの中の一つ以上の空間位置を配列調整するための並進用アクチュエータ(X1,X2,Z1,Z2,Z3)と直接的又は間接的に接続されている、
ことを特徴とする真空内において光学素子及びサンプルを配列調整するための調整システム。 - 並進用アクチュエータ(X1,X2,Z1,Z2,Z3)が屈曲部(FG)を介して真空室(3’’)と接続されていることを特徴とする請求項1に記載の真空内において光学素子及びサンプルを配列調整するための調整システム。
- 並進用アクチュエータ(X1,X2,Z1,Z2,Z3)が、二つのジンバル式屈曲部(FG)をそれぞれ備えた連結ロッド(K1,K2,K3,K4,K5)を有し、これらの連結ロッドを介して真空室(3’’)と接続されていることを特徴とする請求項2に記載の真空内において光学素子及びサンプルを配列調整するための調整システム。
- 第一の並進(X)と第一の回転(z)の配列調整のために、非偏移状態(アイドル状態)において互いにほぼ平行である第一の対(X)の並進用アクチュエータ(X1,X2)が配備され、
第二の並進(Z)と第一の回転(y)の配列調整のために、非偏移状態(アイドル状態)において互いにほぼ平行である第二の対(X)の別の並進用アクチュエータ(Z1,Z2)が配備され、
非偏移状態(アイドル状態)において、前記の第一の対(X)の空間方向が、第二の対(Z)の空間方向に対してほぼ直角に配列調整され、
第三の回転(x)の配列調整のために、更に別の並進用アクチュエータ(Z3)が配備され、その空間方向が、非偏移状態(アイドル状態)において、第一の対(X)又は第二の対(Z)の空間方向に対してほぼ平行であり、
最大二つのアクチュエータ(X2,Z1)の軸が接合交点を形成する、
ことを特徴とする請求項1から3までのいずれか一つに記載の真空内において光学素子及びサンプルを配列調整するための調整システム。 - 第六の構成部品(Y/K6)として、二つのアクチュエータ対(X,Z)の並進軸により境界を画定された平坦な突起部のほぼ中央の一つの空間固定点(A)と接続された少なくとも一つのジンバル式屈曲部が配備されていることを特徴とする請求項4に記載の真空内において光学素子及びサンプルを配列調整するための調整システム。
- 第六の構成部品として、二つのアクチュエータ対(X,Z)の並進軸により境界を画定された平坦な突起部のほぼ中央の一つの空間固定点(A)と接続された並進用アクチュエータ(Y)が配備されており、この構成部品の並進軸の空間方向が、非偏移状態(アイドル状態)において、二つのアクチュエータ対(X,Z)の配列形態に対してほぼ直角に配列調整されることを特徴とする請求項5に記載の真空内において光学素子及びサンプルを配列調整するための調整システム。
- 前記のミラー(3’)又は光学素子が、真空室(3’’)内に配置されており、真空室(3’’)と共に空間方向に対して調整可能であることを特徴とする請求項1から6までのいずれか一つに記載の真空内において光学素子及びサンプルを配列調整するための調整システム。
- 前記のアクチュエータ(X1,X2,Z1,Z2,Z3)が、それぞれ一つのスピンドル駆動部(STX1,STX2,STZ1,STZ2,STZ3)から構成され、これらのスピンドル駆動部が、ギヤボックスを介してモータ(SMX1,SMX2,SMZ1,SMZ2,SMZ3)により駆動され、それらの位置をそれぞれ前記の少なくとも一つの屈曲部(FG)を介して真空室(3’’)の位置に移動させることを特徴とする請求項2から7までのいずれか一つに記載の真空内において光学素子及びサンプルを配列調整するための調整システム。
- 少なくとも一つの屈曲部(FG)を備えた前記の連結ロッド(K1,K2,K3,K4,K5及びK6)が最大30cmの長さを有することを特徴とする請求項3から8までのいずれか一つに記載の真空内において光学素子及びサンプルを配列調整するための調整システム。
- 前記のアクチュエータ(X1,X2,Z1,Z2,Z3)が、100kg〜3tの大きな重量の基礎部(8)内に収容されていることを特徴とする請求項9に記載の真空内において光学素子及びサンプルを配列調整するための調整システム。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/IB2014/001905 WO2016046583A1 (en) | 2014-09-23 | 2014-09-23 | Adjustment system for aligning optical elements or samples in vacuum |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017531208A true JP2017531208A (ja) | 2017-10-19 |
JP6261813B2 JP6261813B2 (ja) | 2018-01-17 |
Family
ID=51830547
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017516152A Active JP6261813B2 (ja) | 2014-09-23 | 2014-09-23 | 真空内で光学素子又はサンプルを配列調整するための調整システム |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9846294B2 (ja) |
EP (1) | EP3198321B1 (ja) |
JP (1) | JP6261813B2 (ja) |
CN (1) | CN107076956B (ja) |
CA (1) | CA2957870C (ja) |
ES (1) | ES2653554T3 (ja) |
PL (1) | PL3198321T3 (ja) |
WO (1) | WO2016046583A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018181747A1 (ja) * | 2017-03-31 | 2018-10-04 | 積水化学工業株式会社 | 合わせガラス用中間膜及び合わせガラス |
CN109374659B (zh) * | 2017-12-28 | 2020-12-29 | 中国兵器工业第五九研究所 | 一种短波长x射线衍射测试样品的定位方法 |
PL3633360T3 (pl) * | 2018-10-01 | 2022-11-14 | Scienta Omicron Ab | Układ i system do twardej rentgenowskiej spektroskopii fotoelektronów |
CN110243470B (zh) * | 2019-07-25 | 2024-02-27 | 桂林航天工业学院 | 一种灵敏度高的太赫兹近场探测器 |
CN114384103A (zh) * | 2021-12-08 | 2022-04-22 | 费勉仪器科技(上海)有限公司 | 可切换真空光学组件及真空光源*** |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04157399A (ja) * | 1990-10-19 | 1992-05-29 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Sor光装置の光取り出しライン |
JP2004506529A (ja) * | 2000-08-20 | 2004-03-04 | ベルリーナー エレクトローネンシュパイヒェリング−ゲゼルシャフト フュア ジンクロトロンシュトラールング ミット ベシュレンクテル ハフツング | 構成部材を多軸的に精密調整可能に支承するための装置 |
US7642523B1 (en) * | 2006-05-02 | 2010-01-05 | New Way Machine Components, Inc. | Vacuum chamber stage with application of vacuum from below |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100405132C (zh) * | 2005-08-22 | 2008-07-23 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种超高真空偏振器高精度定位装置 |
WO2013022892A1 (en) * | 2011-08-11 | 2013-02-14 | Nikon Corporation | Intermittent temperature control of movable optical elements |
US20130114157A1 (en) * | 2011-11-04 | 2013-05-09 | Alex K. Deyhim | Silicon focusing mirror system |
CN104049337B (zh) * | 2014-07-01 | 2016-07-06 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 超高真空试验腔中光路精密调节及转换装置 |
-
2014
- 2014-09-23 CN CN201480081977.9A patent/CN107076956B/zh active Active
- 2014-09-23 JP JP2017516152A patent/JP6261813B2/ja active Active
- 2014-09-23 CA CA2957870A patent/CA2957870C/en active Active
- 2014-09-23 US US15/509,681 patent/US9846294B2/en active Active
- 2014-09-23 ES ES14790292.8T patent/ES2653554T3/es active Active
- 2014-09-23 PL PL14790292T patent/PL3198321T3/pl unknown
- 2014-09-23 EP EP14790292.8A patent/EP3198321B1/en active Active
- 2014-09-23 WO PCT/IB2014/001905 patent/WO2016046583A1/en active Application Filing
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04157399A (ja) * | 1990-10-19 | 1992-05-29 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Sor光装置の光取り出しライン |
JP2004506529A (ja) * | 2000-08-20 | 2004-03-04 | ベルリーナー エレクトローネンシュパイヒェリング−ゲゼルシャフト フュア ジンクロトロンシュトラールング ミット ベシュレンクテル ハフツング | 構成部材を多軸的に精密調整可能に支承するための装置 |
US7642523B1 (en) * | 2006-05-02 | 2010-01-05 | New Way Machine Components, Inc. | Vacuum chamber stage with application of vacuum from below |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107076956B (zh) | 2018-07-10 |
WO2016046583A1 (en) | 2016-03-31 |
CN107076956A (zh) | 2017-08-18 |
CA2957870A1 (en) | 2016-03-31 |
US20170285298A1 (en) | 2017-10-05 |
EP3198321B1 (en) | 2017-12-06 |
JP6261813B2 (ja) | 2018-01-17 |
ES2653554T3 (es) | 2018-02-07 |
EP3198321A1 (en) | 2017-08-02 |
US9846294B2 (en) | 2017-12-19 |
CA2957870C (en) | 2018-10-23 |
PL3198321T3 (pl) | 2018-02-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6261813B2 (ja) | 真空内で光学素子又はサンプルを配列調整するための調整システム | |
Ogurreck et al. | The nanotomography endstation at the PETRA III imaging beamline | |
KR102082846B1 (ko) | 구동 시스템과 구동 방법, 노광 장치와 노광 방법, 및 구동 시스템 설계 방법 | |
DiFabio et al. | The life science x-ray scattering beamline at NSLS-II | |
JP2017534084A (ja) | 副鏡位置決め機構 | |
JP6843864B2 (ja) | コンポーネントを位置合わせするデバイス | |
Carbone et al. | Design and performance of a dedicated coherent X-ray scanning diffraction instrument at beamline NanoMAX of MAX IV | |
CN102472891A (zh) | 用于反射元件阵列的旋转的安装部件以及包括所述安装部件的光刻设备 | |
Salmaso et al. | BEaTriX: the Beam Expander Testing X-Ray facility for testing ATHENA's SPO modules: progress in the realization | |
US11835699B2 (en) | Focusing device and EUV radiation generating device having same | |
JP4465194B2 (ja) | 固定構造体に対する物体の角方向位置を操るための装置 | |
US11747612B2 (en) | Instrument for moving and positioning of optical elements with nanometric mechanical stabiling and resolution in synchrotron light source beamlines | |
JP2007271595A (ja) | X線集光装置 | |
EP3511756B1 (en) | Instrument for moving and positioning optical elements with nanometric mechanical stability and resolution in light lines | |
Sinn et al. | X-ray optics and beam transport | |
Shu et al. | Nanopositioning flexure stages development for synchrotron radiation instrumentation at the advanced photon source | |
Li et al. | Current status of the hard x-ray nanoprobe beamline at the SSRF | |
Salmaso et al. | Progress in the realization of the beam expander testing x-ray facility (BEaTriX) for testing ATHENA's SPO modules | |
Thompson | Pivoting a beam about a fixed point with steering mirrors | |
Thomasset et al. | In-situ metrology for the optimization of bent crystals used in hard-X-ray monochromators: Comparison between measurement and simulation | |
Nam et al. | Development of a fast steering mirror of large diameter | |
Bollanti et al. | New technique for aberration diagnostics and alignment of an extreme ultraviolet Schwarzschild objective | |
Narikovich et al. | X-ray Transfocators: Tunable X-Ray Focusing Apparatus Based on Compound Refractive Lenses | |
KR20100125049A (ko) | 더블 멀티레이어 모노크로미터 | |
Comeaga et al. | Optomechatronic scanning systems used in vibration compensation for laser systems |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20170724 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170802 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171031 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171115 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171212 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6261813 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |