JP2017519971A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017519971A5 JP2017519971A5 JP2016564037A JP2016564037A JP2017519971A5 JP 2017519971 A5 JP2017519971 A5 JP 2017519971A5 JP 2016564037 A JP2016564037 A JP 2016564037A JP 2016564037 A JP2016564037 A JP 2016564037A JP 2017519971 A5 JP2017519971 A5 JP 2017519971A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- position detector
- filter
- line
- image sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical Effects 0.000 description 1
Images
Description
図1Aを参照すると、本開示の一つの実施形態に従ったウエハ検査システムの正面図が示される。いくつかの実施形態では、ライン走査光学検査システム100のようなウエハ検査システムは、3つの収集チャネル102、104、106を含み、ウエハ101における欠陥からの散乱光を収集して、その光を対応するアレイラインセンサ114、116、118上にイメージングする。位置検出器115、117、119は、各アレイラインセンサ114、116、118に関連付けられている。幾つかの実施形態では、照射光学系はウエハ101上の走査位置で、細いライン120を形成する。ウエハ101上の照射された走査位置からの散乱光は、3つの収集チャネル102、104、106によって集められて各アレイラインセンサ114、116、118上にフォーカスされる。ある例示的な実施形態では、この細いライン120は、ウエハ101上で1マイクロメータよりも細い幅を有し得るが、これに限定されるものではない。ウエハ101の形状及び欠陥からの散乱光は、各収集チャネル102、104、106内のアレイラインセンサ114、116、118上にイメージングされる。アレイラインセンサ114、116、118は、当該技術で既知の任意のイメージング技術を含み得る。いくつかの実施形態では、アレイラインセンサ114、116、118は電荷結合素子(CCD)又は時間遅延積分(TDI)デバイスを含む。
図1Bを参照すると、イメージセンサ及び位置検出器の一つの対の詳細な上面図が示されている。ある例示的な実施形態では、図1Aの第1の収集チャネルは、関連付けられたイメージセンサ116及び位置検出器117を有する。第1の収集チャネルからの照射ラインイメージ122は、イメージセンサ116及び位置検出器117の両方を照射する。照射ラインイメージ122のうちでイメージセンサを照射する部分は、対応するスリット開口フィルタ108によってフィルタリングされるが、位置検出器117を照射している部分はフィルタリングされない。位置検出器117は、走査方向(x方向)において照射ラインイメージ122の一部に対応する信号を生成する。いくつかの実施形態では、同様のイメージセンサ116/位置検出器117の対が、各収集チャネルに対して使用される。
少なくとも一つの実施形態では、第2のスリット開口フィルタ110は機械式フィルタを備えている。機械式フィルタは、より高い感度が必要とされる場合に、より大きなスリット開口を有してより多くの光を許容する機械式フィルタで置換可能であり得る。あるいは、少なくとも一つの実施形態では、第2のスリット開口フィルタ110は電子式フィルタを備える。電子式フィルタは、特定のアプリケーションに対するシステム感度について望まれるように、より大きい又はより小さい開口を作り出すように調整可能であり得る。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201461982754P | 2014-04-22 | 2014-04-22 | |
US61/982,754 | 2014-04-22 | ||
US14/691,966 US9927371B2 (en) | 2014-04-22 | 2015-04-21 | Confocal line inspection optical system |
US14/691,966 | 2015-04-21 | ||
PCT/US2015/027162 WO2015164540A1 (en) | 2014-04-22 | 2015-04-22 | Confocal line inspection optical system |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021000852A Division JP2021067697A (ja) | 2014-04-22 | 2021-01-06 | ウエハ検査システム及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017519971A JP2017519971A (ja) | 2017-07-20 |
JP2017519971A5 true JP2017519971A5 (ja) | 2018-05-31 |
Family
ID=54333152
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016564037A Pending JP2017519971A (ja) | 2014-04-22 | 2015-04-22 | 共焦点ライン検査光学システム |
JP2021000852A Pending JP2021067697A (ja) | 2014-04-22 | 2021-01-06 | ウエハ検査システム及び装置 |
JP2022167694A Pending JP2022183309A (ja) | 2014-04-22 | 2022-10-19 | ウエハ検査システム及び装置 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021000852A Pending JP2021067697A (ja) | 2014-04-22 | 2021-01-06 | ウエハ検査システム及び装置 |
JP2022167694A Pending JP2022183309A (ja) | 2014-04-22 | 2022-10-19 | ウエハ検査システム及び装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9927371B2 (ja) |
JP (3) | JP2017519971A (ja) |
KR (1) | KR20160146913A (ja) |
CN (1) | CN106233125B (ja) |
IL (1) | IL247812A0 (ja) |
WO (1) | WO2015164540A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AT516887B1 (de) * | 2015-02-27 | 2022-12-15 | Ait Austrian Inst Tech Gmbh | Bildaufnahmeeinheit |
US9860466B2 (en) | 2015-05-14 | 2018-01-02 | Kla-Tencor Corporation | Sensor with electrically controllable aperture for inspection and metrology systems |
US10778925B2 (en) | 2016-04-06 | 2020-09-15 | Kla-Tencor Corporation | Multiple column per channel CCD sensor architecture for inspection and metrology |
US10313622B2 (en) | 2016-04-06 | 2019-06-04 | Kla-Tencor Corporation | Dual-column-parallel CCD sensor and inspection systems using a sensor |
US11662646B2 (en) | 2017-02-05 | 2023-05-30 | Kla Corporation | Inspection and metrology using broadband infrared radiation |
CN108519329B (zh) * | 2018-03-26 | 2021-01-15 | 华中科技大学 | 一种多路扫描与探测的线共聚焦成像装置 |
US11624710B2 (en) * | 2019-05-24 | 2023-04-11 | Lawrence Livermore National Security, Llc | Fast image acquisition system and method using pulsed light illumination and sample scanning to capture optical micrographs with sub-micron features |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61149812A (ja) * | 1984-12-24 | 1986-07-08 | Mitsubishi Electric Corp | 振動する物体の表面検査装置 |
JPH0749209A (ja) * | 1993-08-05 | 1995-02-21 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | ラインセンサの位置合せ方法 |
US5965910A (en) | 1997-04-29 | 1999-10-12 | Ohmeda Inc. | Large cell charge coupled device for spectroscopy |
US6201601B1 (en) | 1997-09-19 | 2001-03-13 | Kla-Tencor Corporation | Sample inspection system |
ATE272224T1 (de) | 1997-11-17 | 2004-08-15 | Max Planck Gesellschaft | Konfokales spektroskopiesystem und -verfahren |
KR20020084786A (ko) | 2001-05-04 | 2002-11-11 | 이재웅 | 선형 선 스캐닝을 이용하는 공초점 영상 형성 장치 및 방법 |
US7435941B2 (en) | 2003-03-14 | 2008-10-14 | Inphase Technologies, Inc. | Methods for measuring optical characteristics by differential diffractive scanning |
EP2434325A1 (en) | 2006-12-22 | 2012-03-28 | Nikon Corporation | Laser scan confocal microscope |
JP5489392B2 (ja) * | 2007-05-09 | 2014-05-14 | オリンパス株式会社 | 光学系評価装置、光学系評価方法および光学系評価プログラム |
US7525649B1 (en) | 2007-10-19 | 2009-04-28 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Surface inspection system using laser line illumination with two dimensional imaging |
JP2010019630A (ja) * | 2008-07-09 | 2010-01-28 | Tokyo Institute Of Technology | 顕微分光装置 |
TWI490444B (zh) * | 2009-01-23 | 2015-07-01 | Univ Nat Taipei Technology | 線型多波長共焦顯微方法與系統 |
WO2010126790A1 (en) * | 2009-04-27 | 2010-11-04 | The Arizona Board Of Regents On Behalf Of The University Of Arizona | A novel multi-point scan architecture |
CN104220932B (zh) * | 2012-02-21 | 2017-02-22 | Asml荷兰有限公司 | 检查设备和方法 |
-
2015
- 2015-04-21 US US14/691,966 patent/US9927371B2/en active Active
- 2015-04-22 JP JP2016564037A patent/JP2017519971A/ja active Pending
- 2015-04-22 WO PCT/US2015/027162 patent/WO2015164540A1/en active Application Filing
- 2015-04-22 CN CN201580020492.3A patent/CN106233125B/zh active Active
- 2015-04-22 KR KR1020167032599A patent/KR20160146913A/ko not_active Application Discontinuation
-
2016
- 2016-09-14 IL IL247812A patent/IL247812A0/en active IP Right Grant
-
2021
- 2021-01-06 JP JP2021000852A patent/JP2021067697A/ja active Pending
-
2022
- 2022-10-19 JP JP2022167694A patent/JP2022183309A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2017519971A5 (ja) | ||
TWI656338B (zh) | 暗場系統中之時間延遲積分感測器 | |
WO2019086550A3 (en) | Confocal scanning imaging systems with micro optical element arrays and methods of specimen imaging | |
JP2014524033A5 (ja) | ||
CN106233125B (zh) | 共聚焦线检验光学*** | |
JP5918009B2 (ja) | 欠陥検査方法および欠陥検査装置 | |
JP2016528557A5 (ja) | ||
JP6230395B2 (ja) | 撮像装置およびその駆動方法 | |
JP2019525180A5 (ja) | ||
JP2018063292A5 (ja) | ||
JP2012174896A5 (ja) | ||
EP2770478A3 (en) | Image processing unit, imaging device, and vehicle control system and program | |
JP2008198966A (ja) | ウエーハ欠陥検査装置 | |
JP6119784B2 (ja) | 異物検査方法 | |
US11085760B2 (en) | Shape measurement sensor | |
JP2012228544A5 (ja) | ||
JP6732240B2 (ja) | X線測定装置 | |
EP3007430B1 (de) | Kamerasystem und Verfahren zur Inspektion und/oder Vermessung von Objekten | |
JP2019080804A5 (ja) | ||
JP6212843B2 (ja) | 異物検査装置、異物検査方法 | |
JP6870262B2 (ja) | 板ガラスの検査方法および板ガラス検査装置 | |
JP2020003793A5 (ja) | ||
JP6355961B2 (ja) | 標本観察装置 | |
KR101688810B1 (ko) | 선형 디텍터를 이용한 면상 엑스선 촬영장치 | |
TWM482072U (zh) | 光學取像系統及光學檢測系統 |