JP2017513221A - 基板処理のためのシステム、基板処理のためのシステム用の真空回転モジュール、及び基板処理システムを操作する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
第1の真空チャンバ内で、基板を第1の運搬軌道から第2の運搬軌道へ、又はその逆に側方変位させるように構成された少なくとも1つの側方変位機構と、
第2の真空チャンバを有する真空回転モジュールであって、第2の真空チャンバ内の垂直回転軸の周りで基板を回転させるための垂直回転軸を備え、第1の回転軌道と第2の回転軌道とを有する第2のデュアル軌道運搬システムを有し、第1の回転軌道は、第1の運搬軌道と共に線形運搬路を形成するように回転可能であり、第2の回転軌道は、第2の運搬軌道と共に線形運搬路を形成するように回転可能であり、垂直回転軸は、第1の回転軌道と第2の回転軌道との間にある真空回転モジュールとを含む。本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせうる幾つかの実施形態によれば、第1の真空チャンバは、第1の堆積チャンバに配設された第1の堆積源を有する第1の堆積チャンバであってよく、第1の真空チャンバは真空回転モジュールに連結され、第1の真空チャンバと真空回転モジュールは、第1の真空密閉バルブによって分離されており、例えば第2の堆積チャンバである第3の真空チャンバが含まれ、第3の真空チャンバは第2の堆積チャンバに配設された第2の堆積源を有し且つ真空回転モジュールに連結されており、第2の真空チャンバと真空回転モジュールは、第2の真空密閉バルブによって分離されている。
Claims (15)
- 基本的に垂直に配向された基板を処理するための基板処理システムであって、
第1の運搬軌道と第2の運搬軌道とを有する第1のデュアル軌道運搬システムを有する第1の真空チャンバと、
前記第1の真空チャンバ内で、前記基板を前記第1の運搬軌道から前記第2の運搬軌道へ、又はその逆に側方変位させるように構成された少なくとも1つの側方変位機構と、
第2の真空チャンバを有する真空回転モジュールであって、前記第2の真空チャンバ内の垂直回転軸の周りで前記基板を回転させるための前記垂直回転軸を備え、第1の回転軌道と第2の回転軌道とを有する第2のデュアル軌道運搬システムを有し、前記第1の回転軌道は、前記第1の運搬軌道と共に線形運搬路を形成するように回転可能であり、前記第2の回転軌道は、前記第2の運搬軌道と共に線形運搬路を形成するように回転可能であり、前記垂直回転軸は、前記第1の回転軌道と前記第2の回転軌道との間にある、真空回転モジュールと
を備える、基板処理システム。 - 前記第1の真空チャンバは、第1の堆積チャンバに配設された第1の堆積源を有する前記第1の堆積チャンバであり、前記第1の真空チャンバは前記真空回転モジュールに連結され、前記第1の真空チャンバと前記真空回転モジュールは、第1の真空密閉バルブによって分離されている、請求項1に記載の基板処理システム。
- 第2の堆積チャンバである第3の真空チャンバであって、前記第2の堆積チャンバに配設された第2の堆積源を有し且つ前記真空回転モジュールに連結されている第3の真空チャンバ
を更に備え、前記第2の真空チャンバと前記真空回転モジュールは、第2の真空密閉バルブによって分離されている、請求項2に記載の基板処理システム。 - 前記第1の堆積チャンバは、第1の材料を含む第1の層を堆積させるように構成され、前記第2の堆積チャンバは、前記第1の層の上に第2の層を堆積させるように構成され、前記第2の層は第2の材料を含み、前記基板処理システムは更に、
前記第2の材料を含む層を堆積させるように構成された第3の堆積チャンバと、
別の第1の運搬軌道と別の第2の運搬軌道とを有する別のデュアル軌道運搬システムを備え、前記別のデュアル軌道運搬システムは、前記第1のデュアル軌道運搬システムと共に線形運搬路を形成する、別のチャンバと
を備え、
前記第1の堆積チャンバは、前記真空回転モジュールから前記基板を受け入れて、前記第2の層の上に前記第1の材料を含む別の層を堆積させるように適合されている、
請求項3に記載の基板処理システム。 - 前記第1のデュアル軌道運搬システムと共に線形運搬路を形成するロードロックデュアル軌道運搬システムを有する、少なくとも1つのロードロックチャンバ
を更に備える、請求項1から4のいずれか一項に記載のシステム。 - 前記真空回転モジュールは、請求項9から12のいずれか一項に記載の真空回転モジュールである、請求項1から5のいずれか一項に記載の基板処理システム。
- 少なくとも4つの側壁のうちの3又はそれ以上の側壁が、シングル真空チャンバのみに連結されている、請求項6に記載の基板処理システム。
- 第1の真空チャンバと第1のデュアル軌道運搬システムを有する基板処理システム、特に、請求項1から7のいずれか一項に記載の基板処理システムのために構成された真空回転モジュールであって、
第2の真空チャンバと、
第1の回転軸と第2の回転軸が500mm以下の間隔を有する第1の回転軌道と第2の回転軌道とを有する第2のデュアル軌道運搬システムと、
前記第1の回転軌道と前記第2の回転軌道との間にある垂直回転軸であって、前記第2のデュアル軌道運搬システム上で前記第2の真空チャンバ内の垂直回転軸の周りで前記基板を回転させるための前記垂直回転軸と
を備える、真空回転モジュール。 - 前記真空回転モジュールは少なくとも4つの側壁を有し、各側壁が真空チャンバに連結されるように構成されており、特に、前記真空回転モジュールは少なくとも8つの側壁を有し、各側壁が真空チャンバに連結されるように構成されている、請求項8に記載の真空回転モジュール。
- 前記真空回転モジュールは、2つの基板を同時に、1つの隣接する真空チャンバにロードする、及び/又は1つの隣接する真空チャンバからアンロードするように構成されている、請求項8又は9に記載の真空回転モジュール。
- 前記第1の回転軸と前記第2の回転軸は、200mm以下の間隔を有する、請求項8から10のいずれか一項に記載の真空回転モジュール。
- 前記真空回転モジュールは、10mbarを下回る圧力下で前記基板を回転させるように構成されている、請求項8から11のいずれか一項に記載の真空回転モジュール。
- 第1の堆積チャンバと、第2の堆積チャンバと、真空回転モジュールとを有する基板処理システム、特に、請求項1から8のいずれか一項に記載の基板処理システムにおいて、層のスタックを堆積させる方法であって、
前記第1の堆積チャンバにおいて、第1の材料を含む第1の層を基本的に垂直に配向された基板上に堆積させることと、
別の基板が前記第1の堆積チャンバから前記真空回転モジュールへ、又はその逆に移送されている間に、前記基板を前記第1の堆積チャンバから前記真空回転モジュールへ移送することと、
特に、別の基板が前記真空回転モジュールから前記第2の堆積チャンバへ、又はその逆に移送されている間に、前記基板を前記真空回転モジュールから前記第2の堆積チャンバへ移送することと、
前記第2の堆積チャンバにおいて、第2の材料を含む第2の層を堆積させることと
を含む方法。 - 前記真空回転モジュールと前記第2の堆積チャンバとの間の真空密閉バルブを閉じることと、
他のシステムが動作中に、前記第2の堆積チャンバにメンテナンスを実施することと
を更に含む、請求項13に記載の方法。 - 前記第1の堆積チャンバ内で、第1の運搬軌道から第2の運搬軌道へ、又はその逆に前記基板を側方変位させることを更に含む、請求項13又は14に記載の方法。
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