JP2017134004A - フィルム検査装置及びフィルム検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、光源と、前記光源から発せられた光の散乱光成分を除去する円形絞りと、前記円形絞りを通過した光を平行光にする厚みを有する板状で側面が凸状の凸レンズと、前記凸レンズと同一形状のレンズを対向するように設置し光を集光する凸レンズと、集光した光の焦点位置に散乱光成分を除去するナイフエッジと、前記集光した光を撮像する撮像レンズとを設け、前記平行光に検査対象であるフィルムを通過させ検査するフィルム検査装置とした。
【選択図】 図1
Description
また、凸レンズをガラスレンズではなく、アクリル製のレンズ若しくは樹脂製のフレネルレンズを用いることで、実用的であり大型化することができる。
フィルムの欠陥には、異物、虫、原材料の未溶解欠陥であるゲルやフィッシュアイ、傷、凹凸などがある。
フィルムの用途が高付加価値化するに伴い、フィルムの精度にも高いレベルが要求され、非常に浅く変形した小さな凹凸等の検査が必要とされている。
6は撮像レンズであり、画像をラインセンサカメラ7に結像する。
画像処理ボードにて、欠陥映像に応じた画像処理を行い、欠陥の場所の特定、形状による分類を行い、欠陥部分を特定する。
その後、二次元フィルターを介して、3値化処理を行う。
また、比較例として、従来の検査装置による検査結果(従来の光学系1透過、従来の光学系2乱透過、従来の光学系正反射)と顕微鏡(x30)での撮像の画像も示す。
これに対して、比較例(従来の光学系1透過、従来の光学系2乱透過、従来の光学系正反射、顕微鏡(x30))では、いずれも欠陥を示せていない。
従って、本発明では、従来検査できなかった欠陥についても検査できることとなり、高精度の検査を行うことができるようになった。
2 円形絞り
3 凸レンズ
4 凸レンズ
5 ナイフエッジ
6 撮像レンズ
7 ラインセンサカメラ
8 スライダー
Claims (4)
- 光源と、前記光源から発せられた光の散乱光成分を除去する円形絞りと、前記円形絞りを通過した光を平行光にする厚みを有する板状で側面が凸状である凸レンズと、前記凸レンズと同一形状のレンズを対向するように設置し光を集光する凸レンズと、集光した光の焦点位置に散乱光成分を除去するナイフエッジと、前記集光した光を撮像する撮像レンズとを設け、前記平行光に検査対象であるフィルムを通過させ検査することを特徴とするフィルム検査装置。
- 前記厚みを有する板状で側面が凸状の凸レンズをアクリル素材で形成したことを特徴とする請求項1記載のフィルム検査装置。
- 前記撮像レンズを単焦点レンズとしたことを特徴とする請求項1記載のフィルム検査装置。
- 光源と、前記光源から発せられた光の散乱光成分を除去する円形絞りと、前記円形絞りを通過した光を平行光にする厚みを有する板状で側面が凸状の凸レンズと、前記凸レンズと同一形状のレンズを対向するように設置し光を集光する凸レンズと、集光した光の焦点位置に散乱光成分を除去するナイフエッジと、前記集光した光を撮像する撮像レンズとを設けたフィルム検査装置を用いて、前記平行光に検査対象であるフィルムを通過させ、フィルムを移動させることによりフィルムを連続的に検査するフィルム検査方法。
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Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63261144A (ja) * | 1987-03-23 | 1988-10-27 | エルヴィン シック ゲーエムベーハー オプティック−エレクトロニック | 光学的ウエブモニター装置 |
JPH02216437A (ja) * | 1989-02-17 | 1990-08-29 | Konica Corp | シート状物の欠陥検出方法とその装置 |
JPH0783845A (ja) * | 1993-09-17 | 1995-03-31 | New Kurieishiyon:Kk | 検査装置 |
US5428452A (en) * | 1994-01-31 | 1995-06-27 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Optical fourier transform method for detecting irregularities upon two-dimensional sheet material such as film or tape |
JP2000275188A (ja) * | 1999-03-29 | 2000-10-06 | Fuji Photo Optical Co Ltd | フィルム傷検出装置 |
JP2005233695A (ja) * | 2004-02-17 | 2005-09-02 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 透明板欠陥検査装置 |
JP2015079009A (ja) * | 2014-12-25 | 2015-04-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査方法およびその装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53134776A (en) * | 1977-04-28 | 1978-11-24 | Kuraray Co Ltd | Method and apparatus for detecting leak portions in hollow fiber modules employed for liquid treatments |
JPH0827443B2 (ja) * | 1986-10-16 | 1996-03-21 | オリンパス光学工業株式会社 | シユリ−レン光学装置 |
US5619373A (en) * | 1995-06-07 | 1997-04-08 | Hasbro, Inc. | Optical system for a head mounted display |
JP2003121385A (ja) * | 2001-10-18 | 2003-04-23 | Tosoh Corp | 石英ガラス材内部の欠陥検査方法および検査装置 |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63261144A (ja) * | 1987-03-23 | 1988-10-27 | エルヴィン シック ゲーエムベーハー オプティック−エレクトロニック | 光学的ウエブモニター装置 |
JPH02216437A (ja) * | 1989-02-17 | 1990-08-29 | Konica Corp | シート状物の欠陥検出方法とその装置 |
JPH0783845A (ja) * | 1993-09-17 | 1995-03-31 | New Kurieishiyon:Kk | 検査装置 |
US5428452A (en) * | 1994-01-31 | 1995-06-27 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Optical fourier transform method for detecting irregularities upon two-dimensional sheet material such as film or tape |
JP2000275188A (ja) * | 1999-03-29 | 2000-10-06 | Fuji Photo Optical Co Ltd | フィルム傷検出装置 |
JP2005233695A (ja) * | 2004-02-17 | 2005-09-02 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 透明板欠陥検査装置 |
JP2015079009A (ja) * | 2014-12-25 | 2015-04-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査方法およびその装置 |
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