JP2014526980A - ロボット移送装置の時間最適軌道 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (21)
- 少なくとも1つの経路セグメントを備えた搬送経路を有するロボットマニピュレータの時間最適軌道の生成方法であって、
前記少なくとも1つの経路セグメントの始点から前記少なくとも1つの経路セグメントの終点の方に向かって、前記少なくとも1つの経路セグメントに沿って、前記マニピュレータの前方時間最適軌道を生成することと、
前記少なくとも1つの経路セグメントの終点から前記少なくとも1つの経路セグメントの始点の方に向かって、前記少なくとも1つの経路セグメントに沿って、前記マニピュレータの後方時間最適軌道を生成することと、
完全な時間最適軌道を得るために時間最適前方軌道と時間最適後方軌道を結合させることとを備え、
前記少なくとも1つの経路セグメントの前方軌道および後方軌道は、位置・速度基準座標系において前記時間最適前方軌道と前記時間最適後方軌道を、前記時間最適前方軌道と前記時間最適後方軌道との間に実質的に不連続を有さずに接続する平滑化ブリッジとともに一体化される、時間最適軌道の生成方法。 - 前記完全な時間最適軌道が、パラメーター化されていない請求項1記載の方法。
- 前記時間最適前方軌道および前記時間最適後方軌道のうち少なくとも1つは、前記ロボットマニピュレータの最大モータトルクによって画定される請求項1記載の方法。
- 前記平滑化ブリッジは、前記平滑化ブリッジのそれぞれの終点において、前記時間最適前方軌道および前記時間最適後方軌道のそれぞれに接続され、前記平滑化ブリッジのそれぞれの終点は、前記位置・速度基準座標系における前記それぞれの終点において、前記時間最適前方軌道および前記時間最適後方軌道のそれぞれに接する請求項1記載の方法。
- 前記平滑化ブリッジにおける全ての点において、前記平滑化ブリッジの軌道の特徴は、前記それぞれの終点からそれぞれ前方および後方に伸長する前記前方軌道および前記後方軌道の対応する特徴と同等かまたは下回る請求項4記載の方法。
- 前記完全な時間最適軌道が、実質的に前記搬送経路から独立している請求項1記載の方法。
- 前記搬送経路に沿った加速は、前記時間最適前方軌道、前記時間最適後方軌道および前記平滑化ブリッジで、ならびにそれらの間で実質的に連続的である請求項1記載の方法。
- 前記平滑化ブリッジは、前記前方軌道と前記後方軌道との間に曲線をあてはめる数値解である請求項1記載の方法。
- 前記平滑化ブリッジは、二次ベジエ曲線、三次ベジエ曲線または三次スプラインを備える請求項8記載の方法。
- それぞれの平滑化ブリッジを含むそれぞれの完全な時間最適軌道は、前記少なくとも1つの経路セグメントのそれぞれに対して生成される請求項1記載の方法。
- 前記少なくとも1つの経路セグメントの隣接セグメントの終点を平滑化ブリッジとともに一体化することをさらに含む請求項1記載の方法。
- 少なくとも1つの経路セグメントを有する搬送経路に沿って移動する基板ホルダーを含むロボットマニピュレータと、
前記ロボットマニピュレータに接続された制御装置とを備える基板処理ツールであって、
前記制御装置は、
前記少なくとも1つの経路セグメントの始点から前記少なくとも1つの経路セグメントの終点の方に向かって、前記少なくとも1つの経路セグメントに沿って、前記ロボットマニピュレータの時間最適前方軌道を生成し、
前記少なくとも1つの経路セグメントの前記終点から前記少なくとも1つの経路セグメントの前記始点の方に向かって、前記少なくとも1つの経路セグメントに沿って、前記ロボットマニピュレータの時間最適後方軌道を生成し、
完全な時間最適軌道を得るために前記時間最適前方軌道および前記時間最適後方軌道を結合させるように構成され、
前記少なくとも1つの経路セグメントの前記時間最適前方軌道および前記時間最適後方軌道は、位置・速度基準座標系において前記時間最適前方軌道および前記時間最適後方軌道を、前記時間最適前方軌道と前記時間最適後方軌道との間に実質的に不連続を有さずに接続する平滑化ブリッジによって互いに一体化される、基板処理ツール。 - 前記完全な時間最適軌道は、パラメーター化されていない請求項12記載の装置。
- 前記時間最適前方軌道および前記時間最適後方軌道のうち少なくとも1つは、前記ロボットマニピュレータの最大モータトルクによって画定される請求項12記載の装置。
- 前記制御装置はさらに、前記平滑化ブリッジを、前記平滑化ブリッジのそれぞれの終点において、前記時間最適前方軌道および前記時間最適後方軌道のそれぞれに接続するように構成され、前記平滑化ブリッジのそれぞれの終点は、前記位置・速度基準座標系における前記それぞれの終点において、前記時間最適前方軌道および前記時間最適後方軌道のそれぞれに接する請求項12記載の装置。
- 前記平滑化ブリッジにおける全ての点において、前記平滑化ブリッジの軌道の特徴は、前記それぞれの終点からそれぞれ前方および後方に伸長する前方軌道および後方軌道の対応する特徴と同等かまたは下回る請求項15記載の装置。
- 前記搬送経路に沿った加速は、前記時間最適前方軌道、前記時間最適後方軌道および前記平滑化ブリッジで、ならびにそれらの間で実質的に連続的である請求項12記載の装置。
- 前記平滑化ブリッジは、二次ベジエ曲線、三次ベジエ曲線または三次スプラインを備える請求項12記載の装置。
- 前記制御装置はさらに、それぞれの平滑化ブリッジを含むそれぞれの完全な時間最適軌道を、前記少なくとも1つの経路セグメントのそれぞれに対して生成するように構成される請求項12記載の装置。
- 前記制御装置はさらに、前記少なくとも1つの経路セグメントの隣接セグメントの終点を平滑化ブリッジとともに一体化するように構成される請求項12記載の装置。
- 前記完全な時間最適軌道は、前記搬送経路から実質的に独立している請求項12記載の装置。
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