JP2014025789A - 検査治具及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】隣り合う2つの第1プランジャー1の先端側円柱部19をそれぞれ摺動自在に支持する2つのガイド孔部33(隣り合う2つのガイド孔部33)の間の壁部33aには、スリット33bが設けられている。スリット33bは、第1プランジャー1の先端側円柱部19の外径よりも小さい幅で、第1プランジャー1の長さ方向(Z軸方向)にガイド孔部33の全長に渡って延びる。スリット33bの幅方向(X軸方向)の中心位置と先端側円柱部19の同方向の中心位置は好ましくは相互に一致する。スリット33bにより隣り合う2つのガイド孔部33が相互に連通する。
【選択図】図1
Description
P1=E+(F×2)+(G×2)+(H×2) …式1
E:絶縁支持体831の最小肉厚
F:絶縁支持体831とフランジ部812の側面との隙間
G:フランジ部812と先端側円柱部824との半径差
H:先端側円柱部824の側面(隣の先端側円柱部824と最も距離が近い側面)から先端面の山の頂点までの距離。※距離は、隣り合うコンタクトプローブ800同士を結ぶ方向に沿う距離である。先端側円柱部824の回転角度次第ではゼロになることもあるが、ここでは最大距離(図16(A)の状態)とする。
P2=E+(F×2) …式2
E:絶縁支持体731の最小肉厚
F:絶縁支持体731と先端側円柱部719の側面との隙間
複数のコンタクトプローブと、前記複数のコンタクトプローブを並列に支持する絶縁支持体とを備え、
各々のコンタクトプローブは、一方が検査対象物との接続用で他方が検査用基板との接続用の第1及び第2プランジャーと、前記第1及び第2プランジャーを互いに離れる方向に付勢するスプリングとを有し、
前記絶縁支持体は、前記複数のコンタクトプローブがそれぞれ内側に延在する複数の貫通孔部を有し、
各々の貫通孔部は、各々のコンタクトプローブの第1プランジャーの先端部を摺動自在にガイドするガイド孔部を含み、
隣り合う所定の2つのガイド孔部の間の壁部に前記第1プランジャーの前記先端部の外径よりも小さい幅で前記第1プランジャーの長さ方向に延びる連結部が設けられて前記2つのガイド孔部が相互に連通している。
互いに重ならない大径貫通孔を絶縁体に複数形成し、隣り合う所定の2つの大径貫通孔の双方と部分的に重なる小径貫通孔を前記2つの大径貫通孔の間に形成して第1の絶縁支持体を成す工程と、
第2の絶縁支持体の複数の貫通孔の各々にコンタクトプローブを挿通する工程と、
各々のコンタクトプローブのうち前記第2の絶縁支持体から突出した部分が各々の大径貫通孔を貫通するように前記第1の絶縁支持体を前記第2の絶縁支持体に組み付ける工程とを含む。
P4=E3+(F×2) …式3
E3:スリット33bが無いと仮定した場合の2つの第1のガイド孔部33、33の側面間距離
F:第1のガイド孔部33と先端側円柱部19の側面との隙間
P6=P4−F2×2 …式4
P4:通常時のコンタクトピッチ(式3)
F2:第1のガイド孔部33の中心にある先端側円柱部19が隣の先端側円柱部19に最も接近するときの移動距離(図5)
2 第2プランジャー
3 コイルスプリング
4 チューブ
5 検査対象物
5a 電極バンプ
6 検査用基板
14 フランジ部
19,29 先端側円柱部
30 検査治具
31 絶縁支持体
100 コンタクトプローブ
Claims (5)
- 複数のコンタクトプローブと、前記複数のコンタクトプローブを並列に支持する絶縁支持体とを備え、
各々のコンタクトプローブは、一方が検査対象物との接続用で他方が検査用基板との接続用の第1及び第2プランジャーと、前記第1及び第2プランジャーを互いに離れる方向に付勢するスプリングとを有し、
前記絶縁支持体は、前記複数のコンタクトプローブがそれぞれ内側に延在する複数の貫通孔部を有し、
各々の貫通孔部は、各々のコンタクトプローブの第1プランジャーの先端部を摺動自在にガイドするガイド孔部を含み、
隣り合う所定の2つのガイド孔部の間の壁部に前記第1プランジャーの前記先端部の外径よりも小さい幅で前記第1プランジャーの長さ方向に延びる連結部が設けられて前記2つのガイド孔部が相互に連通している、検査治具。 - 前記2つのガイド孔部は互いに重ならない範囲で近接している請求項1に記載の検査治具。
- 前記連結部の内面が丸穴の側面の一部である請求項1又は2に記載の検査治具。
- 前記絶縁支持体は、前記ガイド孔部が形成された第1の絶縁支持体と、各々のガイド孔部に軸方向から連通して各々のコンタクトプローブの一部を収納する収納孔部が形成された第2の絶縁支持体とを組み合わせたものである、請求項1から3のいずれか一項に記載の検査治具。
- 互いに重ならない大径貫通孔を絶縁体に複数形成し、隣り合う所定の2つの大径貫通孔の双方と部分的に重なる小径貫通孔を前記2つの大径貫通孔の間に形成して第1の絶縁支持体を成す工程と、
第2の絶縁支持体の複数の貫通孔の各々にコンタクトプローブを挿通する工程と、
各々のコンタクトプローブのうち前記第2の絶縁支持体から突出した部分が各々の大径貫通孔を貫通するように前記第1の絶縁支持体を前記第2の絶縁支持体に組み付ける工程とを含む、検査治具の製造方法。
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