JP2014010934A - 放電素子および放電デバイス - Google Patents
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Abstract
【課題】放電により生成される活性種を放電素子の外へ運ぶ効率を高め、電極の引き出しを容易にし、外部との接続を容易にした放電素子および放電デバイスを構成する。
【解決手段】複数の第1電極と複数の第2電極とが交互に平行に同一平面上に配列され、複数の第1電極と複数の第2電極がそれぞれ束ねられて、電気的に接続された引き出し端子31L,32L,31R,32Rを備える。電極織込領域DAは、第1電極および第2電極を緯糸、絹糸を経糸とする織物の一部である。第1電極および第2電極は例えば陽極酸化により表面に誘電体膜が形成されたアルミニウムワイヤーである。
【選択図】図5
【解決手段】複数の第1電極と複数の第2電極とが交互に平行に同一平面上に配列され、複数の第1電極と複数の第2電極がそれぞれ束ねられて、電気的に接続された引き出し端子31L,32L,31R,32Rを備える。電極織込領域DAは、第1電極および第2電極を緯糸、絹糸を経糸とする織物の一部である。第1電極および第2電極は例えば陽極酸化により表面に誘電体膜が形成されたアルミニウムワイヤーである。
【選択図】図5
Description
本発明は、イオンやオゾンの発生に用いられる放電素子、およびその放電素子と駆動電圧を発生させる電源回路とを備えた放電デバイスに関する。
放電空間に露出する誘電体を介して生じる放電現象は誘電体バリア放電と呼ばれる。誘電体バリア放電を用いて、空気清浄、消臭などを行う放電デバイスは広く用いられている。
誘電体板の表面と内部に形成された電極に電圧を印加することによってイオンを発生するイオン発生素子が特許文献1に示されている。
図1(A)は特許文献1に示されているイオン発生素子1の斜視図、図1(B)は図1(A)におけるA−A部分の断面図である。このイオン発生素子は、平板状の上部誘電体3の表面に設けられた表面電極5、上部誘電体3と下部誘電体2との間に埋設され且つ表面電極5に対し平行に設けられた埋設電極6、表面電極5に導通する上部導通部10、この上部導通部10に導通する、下部誘電体3の表面に形成された表面電極接点7、および埋設電極6に導通する、下部誘電体2の表面に形成された内部電極接点8を有している。
図1(A)は特許文献1に示されているイオン発生素子1の斜視図、図1(B)は図1(A)におけるA−A部分の断面図である。このイオン発生素子は、平板状の上部誘電体3の表面に設けられた表面電極5、上部誘電体3と下部誘電体2との間に埋設され且つ表面電極5に対し平行に設けられた埋設電極6、表面電極5に導通する上部導通部10、この上部導通部10に導通する、下部誘電体3の表面に形成された表面電極接点7、および埋設電極6に導通する、下部誘電体2の表面に形成された内部電極接点8を有している。
特許文献1には、前記表面電極5を格子状や線状など電界集中が起こりやすい形状とすることが記載されている。このように電界集中が起こりやすい形状とすることによって、印加電圧が低くても放電させることができる。
特許文献1に示されているイオン発生素子は、誘電体を挟んで電極を対向させている。プラズマは少なくとも片方の電極の表面で生じるため、図1に示される構造では、誘電体が板状であるため、発生したプラズマ中を空気などのガスが通り抜けることができず、放電により生成される活性種を素子の外へ運ぶ効率が悪い。また、表面電極接点7および内部電極接点8の引出しのために、表面電極用縦断導通部11および内部電極用縦断導通部12を設ける必要があり、構造が複雑で、製造工数も多いという問題がある。
本発明は上記問題を解決すべき課題とし、放電により生成される活性種を放電素子の外へ運ぶ効率を高め、電極の引き出しを容易にし、外部との接続を容易にした放電素子および放電デバイスを提供することを目的としている。
(1)本発明の放電素子は、第1の電位が印加される複数の第1電極と第2の電位が印加される複数の第2電極とが交互に平行に同一平面上に配列され、
前記複数の第1電極と前記複数の第2電極がそれぞれ束ねられて電気的に接続された引き出し端子を備えたことを特徴としている。
前記複数の第1電極と前記複数の第2電極がそれぞれ束ねられて電気的に接続された引き出し端子を備えたことを特徴としている。
(2)前記複数の第1電極および前記複数の第2電極の配列領域は矩形状であり、この矩形の配列領域の対向する二辺に前記複数の第1電極と前記複数の第2電極がそれぞれ引き出されていることが好ましい。
(3)また、前記複数の第1電極および前記複数の第2電極の配列領域は矩形状であり、この矩形の配列領域の一辺に前記複数の第1電極と前記複数の第2電極がそれぞれ引き出されていることが好ましい。
(4)前記第1電極または前記第2電極の少なくとの一方は金属ワイヤー(糸状の導体)で構成されていることが好ましい。
(5)前記金属ワイヤーは金属表面に誘電体膜が形成されたものであることが好ましい。
(6)前記誘電体膜は金属表面の陽極酸化により形成されたものであることが好ましい。
(7)前記金属ワイヤーは陽極酸化により表面に誘電体膜が形成されたアルミニウムワイヤーであることが好ましい。
(8)前記第1電極および前記第2電極は、絶縁性の経糸とともに織られた緯糸であることが好ましい。
(9)前記第1電極および前記第2電極は、それぞれ絶縁性の経糸とともに織られ、前記第1電極と前記絶縁性の経糸とで織られた部分と、前記第2電極と前記絶縁性の経糸とで織られた部分とは、分離されて二層で引き出されたものであることが好ましい。
(10)本発明の放電デバイスは、上記(1)〜(9)のいずれかに記載の放電素子と、この放電素子に駆動電圧を印加する電源回路とを備える。
本発明によれば、放電により生成される活性種を素子の外へ効率良く運ぶことができる。また、電極の引き出しが容易になり、外部との接続を容易にできる。
《第1の実施形態》
第1の実施形態の放電素子について各図を参照して説明する。
図2は第1の実施形態の放電素子101の平面図である。この放電素子101は、複数の第1電極21a,21bおよび複数の第2電極22a,22bを備えている。これらの第1電極および第2電極は表面に誘電体膜が形成されている。第1電極と第2電極とは交互に平行に同一平面上に配列されている。図2においては、第1電極と第2電極についてそれぞれ2本分の電極のみを表している。
第1の実施形態の放電素子について各図を参照して説明する。
図2は第1の実施形態の放電素子101の平面図である。この放電素子101は、複数の第1電極21a,21bおよび複数の第2電極22a,22bを備えている。これらの第1電極および第2電極は表面に誘電体膜が形成されている。第1電極と第2電極とは交互に平行に同一平面上に配列されている。図2においては、第1電極と第2電極についてそれぞれ2本分の電極のみを表している。
複数の第1電極21a,21bは束ねられて、引き出し端子31に電気的に接続されている。同様に、複数の第2電極22a,22bは束ねられて、引き出し端子32に電気的に接続されている。この引き出し端子31に第1電位が印加され、引き出し端子32に第2電位が印加される。すなわち、引き出し端子31と32との間に所定の交流または直流の駆動電圧が印加される。このことにより、第1電極21aとそれに隣接する第2電極22aとの間、第1電極21bとそれに隣接する第2電極22a,22bとの間にそれぞれ前記駆動電圧が印加される。これらの第1電極21a,21bと第2電極22a,22bとの間が放電部DGである。各電極には誘電体膜が形成されているので、これらの放電部DGで誘電体バリア放電が生じる。
図3(A)は、放電素子101の第1電極21a,21bおよび第2電極22a,22bをジャガード織機で織ることにより構成された織物の斜視図である。図3(B)はその部分拡大図である。
この織物は、緯糸の途中領域を第1電極21a,21bおよび第2電極22a,22bとし、緯糸のその他の領域を電気的絶縁性の糸とし、経糸を電気的絶縁性の糸としてジャガード織機で平織りされたものである。
第1電極21a,21b等および第2電極22a,22b等は例えば直径200μmのアルミニウムワイヤーである。緯糸の一部および経糸である前記電気的絶縁性の糸は例えば絹撚糸である。
図3(A)において、電極織込領域DAは第1電極21a,21b等および第2電極22a,22b等と絹糸とで平織りされた矩形状の部分である。図3(B)に表れているように、電極織込領域DAにおいて、第1電極21a,21b,21c,21d等および第2電極22a,22b,22c,22d等であるアルミニウムワイヤーの剛性が、経糸である絹糸41の剛性より高いので、第1電極および第2電極はそれぞれほぼ直線状であり、第1電極と第2電極とが交互に平行に同一平面上に配列されている。そして、これらの第1電極および第2電極は絹糸41で一定間隔を隔てられて電気的に絶縁状態が保たれている。この電極間距離は例えば70〜80μmである。
図3(A)、図3(B)に表れているように、ジャガード織機で風通織りにすると、緯糸である第1電極21a,21b等および第2電極22a,22b等は、経糸である絹糸とともに織られ、第1電極(21a,21b等の奇数番目の電極)と絹糸とで織られた部分と、第2電極(22a,22b等の偶数番目の電極)と絹糸とで織られた部分とは、電極織込領域の引き出し部LAで第1の電極織込領域LA1および第2の電極織込領域LA2の二層に分離されて引き出される。図3(A)において第1の電極織込領域LA1には第1電極21a,21b等が引き出され、第2の電極織込領域LA2には第2電極22a,22b等が引き出される。
前記二層の両辺(耳部)(図3(A)には一方の耳部F1が表れている。)は、緯糸も絹糸であるので絹糸と絹糸との平織り構造で一体化されている。そのため全体としては二つの袋状部分を有する織物として形成される。
図4は、図3に示した織物の全体を簡略化して表した図である。この織物の上下は二層が一体化された耳部F1,F2、織物の中央部の左右は袋状部Sである。電極織込領域DAは図4における左方向へ電極織込領域の引き出し部LA1,LA2として引き出されていて、右方向へ電極織込領域の引き出し部LB1,LB2として引き出されている。この第1の電極織込領域LA1,LB1には奇数番目の第1電極が引き出されていて、第2の電極織込領域LA2,LB2には偶数番目の第2電極が引き出されている。
このように、複数の第1電極および複数の第2電極の配列領域は矩形状であり、この矩形の配列領域の一辺に複数の第1電極と複数の第2電極がそれぞれ引き出されている。
電極織込領域DAの面積は例えば1〜2cm2 である。
電極織込領域DAの面積は例えば1〜2cm2 である。
このような織物にした後、電極織込領域DA、電極織込領域引き出し部LA1,LA2,LB1,LB2以外の領域を裁断により切り離し、電極織込領域引き出し部LA1,LA2,LB1,LB2の絹糸を選り分けて、アルミニウムワイヤーのみを束ねる。
図5(A)はこのアルミニウムワイヤーを束ねた後に引き出し端子31L,32L,31R,32Rを圧着した状態を示す図(写真)である。図5(B)は電極織込領域DAの拡大図(写真)である。
このように引き出し端子31L,32L,31R,32Rを圧着した後、アルミニウムワイヤー(第1電極および第2電極)を化成処理することによりアルミニウムワイヤー表面に酸化被膜を形成する。この化成処理の条件は例えば次のとおりである。
(1)アルカリ洗浄 0.1M水酸化ナトリウム水溶液 40℃ 5分
(2)化成処理 0.1mM ほう酸アンモニウム水溶液 15℃ 850V 1時間
(3)洗浄・乾燥
図6は以上に示した放電素子を備えた放電デバイスの回路図である。この放電デバイスは放電素子101、電流安定化用チョークコイルLおよび交流電源回路ACを備えている。この回路は引き出し端子31L(31R)と32L(32R)との間に所定の駆動電圧を印加して、誘電体バリア放電によりプラズマを発生させる回路である。図7は三種のガスにおける放電状態の写真である。図7(A)はHeガス、図7(B)はArガス、図7(C)はN2ガス、での例である。
(2)化成処理 0.1mM ほう酸アンモニウム水溶液 15℃ 850V 1時間
(3)洗浄・乾燥
図6は以上に示した放電素子を備えた放電デバイスの回路図である。この放電デバイスは放電素子101、電流安定化用チョークコイルLおよび交流電源回路ACを備えている。この回路は引き出し端子31L(31R)と32L(32R)との間に所定の駆動電圧を印加して、誘電体バリア放電によりプラズマを発生させる回路である。図7は三種のガスにおける放電状態の写真である。図7(A)はHeガス、図7(B)はArガス、図7(C)はN2ガス、での例である。
それぞれのガスを2L/min(窒素換算)で電極部に吹き付け、交流電圧を印加し、徐々に電圧を増加させた。この実験用の電源にはハイデン研究所製 PHF-2Kを使用した。目視およびオシロスコープの電圧波形をモニタすることで放電を確認した。
図7に示すように、いずれのガスでも電極全面でプラズマが生成していることが確認できる。電極表面には誘電体膜が形成されているので、誘電体バリア放電が生じていることが分かる。
放電開始電圧はいずれも450V程度であった。電極間隔が一定に保たれているため、低い電圧で放電できたものと考えられる。
以上に示した放電デバイスは気流を発生させる装置とともに機器内に設けられて、イオン発生装置やオゾン発生装置などが構成される。
第1の実施形態の放電素子によれば、放電により活性種は織物構造の空間に生成されるので、ブロアー等による気体の流れを電極織込領域に当てるだけで、活性種を放電素子の外へ効率良く運ぶことができる。また、電極の引き出しが容易になり、外部との接続を容易にできる。
《第2の実施形態》
図8は第2の実施形態の放電素子102の平面図である。この放電素子102は、複数の第1電極21a,21bおよび複数の第2電極22a,22bを備えている。これらの第1電極および第2電極は表面に誘電体膜が形成されている。第1電極と第2電極とは交互に平行に同一平面上に配列されている。図8においては、第1電極と第2電極についてそれぞれ2本分の電極のみを表している。
図8は第2の実施形態の放電素子102の平面図である。この放電素子102は、複数の第1電極21a,21bおよび複数の第2電極22a,22bを備えている。これらの第1電極および第2電極は表面に誘電体膜が形成されている。第1電極と第2電極とは交互に平行に同一平面上に配列されている。図8においては、第1電極と第2電極についてそれぞれ2本分の電極のみを表している。
複数の第1電極21a,21bは束ねられて、引き出し端子31に電気的に接続されている。同様に、複数の第2電極22a,22bは束ねられて、引き出し端子32に電気的に接続されている。第1電極21a,21b等と第2電極22a,22b等は互いに反対方向に引き出されている。そして引き出し端子31に第1電位が印加され、引き出し端子32に第2電位が印加される。すなわち、引き出し端子31と32との間に所定の交流または直流の駆動電圧が印加される。このことにより、第1電極21aとそれに隣接する第2電極22aとの間、第1電極21bとそれに隣接する第2電極22a,22bとの間にそれぞれ前記駆動電圧が印加される。これらの第1電極21a,21bと第2電極22a,22bとの間が放電部DGである。各電極には誘電体膜が形成されているので、これらの放電部DGで誘電体バリア放電が生じる。
図9(A)は、放電素子102の第1電極21a,21bおよび第2電極22a,22bを西陣織(登録商標)で平織りにより構成された織物の斜視図である。図9(B)はその部分拡大図である。
この織物は、緯糸の途中領域を第1電極21a,21bおよび第2電極22a,22bとし、緯糸のその他の領域を電気的絶縁性の糸とし、経糸を電気的絶縁性の糸として平織りされたものである。
第1電極21a,21b等および第2電極22a,22b等は例えば直径200μmのアルミニウムワイヤーである。緯糸の一部および経糸である前記電気的絶縁性の糸は例えば絹撚糸である。
図9(A)において、電極織込領域DAは第1電極21a,21b等および第2電極22a,22b等と絹糸とで平織りされた矩形状の部分である。図9(B)に表れているように、電極織込領域において、第1電極21a,21b,21c,21d等および第2電極22a,22b,22c,22d等であるアルミニウムワイヤーの剛性が、経糸である絹糸41の剛性より高いので、第1電極および第2電極はそれぞれほぼ直線状であり、第1電極と第2電極とが交互に平行に同一平面上に配列されている。そして、これらの第1電極および第2電極は絹糸41で一定間隔を隔てられて電気的に絶縁状態が保たれている。この電極間距離は例えば70〜80μmである。
前記平織の後に、第1電極(21a,21b等の奇数番目の電極)と第2電極(22a,22b等の偶数番目の電極)とがそれぞれ引き出されて束ねられる。その際、第1電極と第2電極とを左右別々に引き出される。
このように、複数の第1電極および複数の第2電極の配列領域は矩形状であり、この矩形の配列領域の対向する二辺に複数の第1電極と複数の第2電極がそれぞれ引き出されることによって、第1電極と第2電極とが放電部以外の位置で近接せず、絶縁状態の確保が容易となる。
アルミニウムワイヤー(第1電極および第2電極)の表面に酸化被膜(誘電体膜)を形成する方法については第1の実施形態で示した方法と同じである。
第2の実施形態の放電素子についても第1の実施形態の放電素子と同様の効果を奏する。
《第3の実施形態》
第3の実施形態では第1電極および第2電極であるアルミニウムワイヤーに対する誘電体膜の他の形成方法について示す。
第3の実施形態では第1電極および第2電極であるアルミニウムワイヤーに対する誘電体膜の他の形成方法について示す。
第1の実施形態では化成処理により酸化被膜を形成したが、第3の実施形態ではアルマイト処理によって酸化被膜(誘電体膜)を形成する。この処理の条件は例えば次のとおりである。
(1)アルカリ洗浄 0.1M水酸化ナトリウム水溶液 40℃ 5分
(2)陽極酸化(アルマイト)処理 1.0M硫酸水溶液 5℃ 22V 100Hz 6分
(3)化成処理 0.1mM ほう酸アンモニウム水溶液 15℃ 850V 1時間
(4)洗浄・乾燥
このように陽極酸化処理したアルミニウムワイヤーを第1電極および第2電極とした放電素子についても、第1の実施形態と同様の条件でプラズマが生成されることを確認した。
(2)陽極酸化(アルマイト)処理 1.0M硫酸水溶液 5℃ 22V 100Hz 6分
(3)化成処理 0.1mM ほう酸アンモニウム水溶液 15℃ 850V 1時間
(4)洗浄・乾燥
このように陽極酸化処理したアルミニウムワイヤーを第1電極および第2電極とした放電素子についても、第1の実施形態と同様の条件でプラズマが生成されることを確認した。
第3の実施形態によれば、アルマイト処理することにより、化成処理による酸化被膜(誘電体膜)を被覆した場合に比べてより長寿命の放電電極が得られる。
なお、以上に示した例では、アルミニウムワイヤーを用いた例を示したが、延性が高く、誘電体膜が形成でき、低抵抗の金属材料であれば、他の金属ワイヤーを用いることもできる。
AC…交流電源回路
DA…電極織込領域
DG…放電部
F1,F2…耳部
L…電流安定化用チョークコイル
LA1,LB1…第1の電極織込領域
LA2,LB2…第2の電極織込領域
S…袋状部
21a,21b,21c,21d…第1電極
22a,22b,22c,22d…第2電極
31,32…端子
31L,32L,31R,32R…端子
41…絹糸
101,102…放電素子
DA…電極織込領域
DG…放電部
F1,F2…耳部
L…電流安定化用チョークコイル
LA1,LB1…第1の電極織込領域
LA2,LB2…第2の電極織込領域
S…袋状部
21a,21b,21c,21d…第1電極
22a,22b,22c,22d…第2電極
31,32…端子
31L,32L,31R,32R…端子
41…絹糸
101,102…放電素子
Claims (10)
- 複数の第1電極と複数の第2電極とが交互に平行に同一平面上に配列され、
前記複数の第1電極と前記複数の第2電極がそれぞれ束ねられて電気的に接続された引き出し端子を備えた放電素子。 - 前記複数の第1電極および前記複数の第2電極の配列領域は矩形状であり、この矩形の配列領域の対向する二辺に前記複数の第1電極と前記複数の第2電極がそれぞれ引き出されている、請求項1に記載の放電素子。
- 前記複数の第1電極および前記複数の第2電極の配列領域は矩形状であり、この矩形の配列領域の一辺に前記複数の第1電極と前記複数の第2電極がそれぞれ引き出されている、請求項1に記載の放電素子。
- 前記第1電極または前記第2電極の少なくとの一方は金属ワイヤーで構成されている、請求項1〜3のいずれかに記載の放電素子。
- 前記金属ワイヤーは金属表面に誘電体膜が形成されたものである、請求項4に記載の放電素子。
- 前記誘電体膜は金属表面の陽極酸化により形成されたものである、請求項5に記載の放電素子。
- 前記金属ワイヤーはアルミニウムの陽極酸化により表面に誘電体膜が形成されたアルミニウムワイヤーである、請求項6に記載の放電素子。
- 前記第1電極および前記第2電極は、絶縁性の経糸とともに織られた緯糸である、請求項4〜7のいずれかに記載の放電素子。
- 前記第1電極および前記第2電極は、それぞれ絶縁性の経糸とともに織られ、前記第1電極と前記絶縁性の経糸とで織られた部分と、前記第2電極と前記絶縁性の経糸とで織られた部分とは、分離されて二層で引き出されている、請求項8に記載の放電素子。
- 請求項1〜9のいずれかに記載の放電素子と、この放電素子に駆動電圧を印加する電源回路とを備えた放電デバイス。
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