JP2013251432A - 搬送ロボットおよび搬送ロボットを備えた局所クリーン装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上記の課題を解決するために、アーム部と、基台部と、ガイド部と、昇降部と、通気部とを備えるように搬送ロボットを構成する。アーム部は、被搬送物を保持可能なロボットハンドを有する。基台部は、略箱状に形成される。ガイド部は、上記基台部の内部に立設された鉛直軸を含む。昇降部は、上記鉛直軸に沿って昇降可能に設けられ、上端部において上記アーム部を支持する。通気部は、上記基台部の上面に開口され、かかる基台部の外部から内部へダウンフローを通気させる。
【選択図】図1
Description
11 ハンド
12 昇降部
12B 昇降ベース
12Ba ボールナット
12Bb 昇降ブロック
12a 開口部
13 第1アーム
14 第2アーム
15 基台部
15S ガイド部
15SR ガイドレール
15SS ボールねじ
15a 通気部
15b 排気部
15ba ファン
15bb 排気カバー
15c カバー部材
15d 吸気口
M モータ
P パーティクル
Claims (9)
- 被搬送物を保持可能なロボットハンドを有するアーム部と、
略箱状に形成された基台部と、
前記基台部の内部に立設された鉛直軸を含むガイド部と、
前記鉛直軸に沿って昇降可能に設けられ、上端部において前記アーム部を支持する昇降部と、
前記基台部の上面に開口され、該基台部の外部から内部へダウンフローを通気させる通気部と
を備えることを特徴とする搬送ロボット。 - 前記通気部は、
前記基台部の上面に前記昇降部の外周に沿って形成されること
を特徴とする請求項1に記載の搬送ロボット。 - 前記昇降部は、
前記基台部を形成する側壁のうち、一つの側壁に寄せて配設されており、
前記通気部は、
前記一つの側壁以外の側壁に沿って形成されること
を特徴とする請求項2に記載の搬送ロボット。 - 前記通気部は、
表面に複数個の孔部が形成されたカバー部材によって覆われること
を特徴とする請求項1、2または3に記載の搬送ロボット。 - 前記通気部は、
前記基台部の上面において前記ガイド部の上部にあたる部位の幅が該ガイド部の上部にあたらない部位の幅よりも大きくとられること
を特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の搬送ロボット。 - 前記ガイド部は、
前記基台部を形成する側壁のうち、一つの側壁に近接させて設けられており、
前記通気部は、
上面視した場合に、前記ガイド部の一部が該通気部と重なるように形成されること
を特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の搬送ロボット。 - 前記基台部の側壁に設けられるファンと、前記ファンに覆設され、前記ファンからの排気流を鉛直下向きへ排気させる形状に形成された排気カバーとを具備する排気部
をさらに備えることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の搬送ロボット。 - 前記排気部は、
前記ガイド部が近接される側壁と対向する側の側壁に設けられること
を特徴とする請求項7に記載の搬送ロボット。 - 請求項1〜8のいずれか一つに記載の搬送ロボット
を備えることを特徴とする局所クリーン装置。
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