JP2013161020A - 撮像装置及び顕微鏡、並びに、これらに用いられるプログラム - Google Patents
撮像装置及び顕微鏡、並びに、これらに用いられるプログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013161020A JP2013161020A JP2012024756A JP2012024756A JP2013161020A JP 2013161020 A JP2013161020 A JP 2013161020A JP 2012024756 A JP2012024756 A JP 2012024756A JP 2012024756 A JP2012024756 A JP 2012024756A JP 2013161020 A JP2013161020 A JP 2013161020A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- imaging
- unit
- thickness
- movement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
【解決手段】第2撮像部6に対する試料の相対位置を、載置面11に平行な方向に所定の移動量L1だけ移動させ、移動前及び移動後に第2撮像部6で撮像された画像に基づいて、当該画像の移動量L2を取得する。移動量L1、移動量L2、及び、これらの移動量と試料の厚みΔZとの関係を特定可能な第2撮像部6の固有の値(例えば、視野角θ及び視野長D1)に基づいて、試料の厚みΔZを算出する。これにより、第2撮像部6の固有の値を用いて、移動量L1、移動量L2及び試料の厚みΔZの関係を特定することができるため、移動量L1及び移動量L2のみを変数として、試料の厚みΔZを容易に算出することができる。
【選択図】 図3
Description
ΔZ={D1(1−L2/L1)/2}×tan(π/2−θ/2)
ただし、L1は前記移動手段による移動量、L2は前記画像移動量取得手段により取得した移動量、θは前記撮像手段の視野角、D1は前記撮像手段の視野長である。対象物の厚みΔZは、上記式により算出されるような構成に限らず、上記式に基づいて得られる他の式により算出されるような構成であってもよい。
K=ΔZ×tan(π/2−δ)
ただし、ΔZは対象物の厚み、δは前記撮像手段の対象物に対する傾斜角である。前記ずれ量Kは、上記式により算出されるような構成に限らず、上記式に基づいて得られる他の式により算出されるような構成であってもよい。
Metal Oxide Semiconductor)カメラなどにより構成することができる。
ΔZ=ΔX×tan(π/2−θ/2)
={(D1−D2)/2}×tan(π/2−θ/2) ・・・(1)
ΔZ={D1(1−L2/L1)/2}×tan(π/2−θ/2) ・・・(2)
K=ΔZ×tan(π/2−δ) ・・・(3)
2 試料
3 検出部
4 ビームスプリッタ
5 第1撮像部
6 第2撮像部
7 操作部
8 表示部
9 記憶部
10 制御部
11 載置面
12 ステージ駆動部
21 試料表面
110 第1画像処理部
120 第2画像処理部
121 射影変換処理部
122 画像移動量取得部
123 厚み算出部
124 画像ずれ量算出部
125 画像位置補正部
130 移動処理部
140 分析処理部
Claims (7)
- 載置面に配置された対象物の表面を撮像可能な撮像手段と、
前記撮像手段に対する対象物の相対位置を、前記載置面に平行な方向に移動させる移動手段と、
前記移動手段による移動前及び移動後に前記撮像手段で撮像された画像に基づいて、当該画像の移動量を取得する画像移動量取得手段と、
前記移動手段による移動量、前記画像移動量取得手段により取得した移動量、及び、これらの移動量と対象物の厚みとの関係を特定可能な前記撮像手段の固有の値に基づいて、対象物の厚みを算出する厚み算出手段とを備えたことを特徴とする撮像装置。 - 前記固有の値は、前記撮像手段の視野角及び視野長であることを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
- 前記撮像手段は、前記載置面に垂直な方向に対して傾斜した方向から対象物を撮像するものであり、
前記撮像手段により撮像された画像に対して射影変換処理を行う射影変換処理手段をさらに備え、
前記画像移動量取得手段は、前記射影変換処理が行われた画像に基づいて、当該画像の移動量を取得することを特徴とする請求項1又は2に記載の撮像装置。 - 前記厚み算出手段により算出した対象物の厚み、及び、前記撮像手段の対象物に対する傾斜角に基づいて、前記載置面に垂直な方向から対象物を撮像したときの画像に対する前記撮像手段で撮像された画像のずれ量を算出する画像ずれ量算出手段をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の撮像装置。
- 前記画像ずれ量算出手段により算出した前記ずれ量に基づいて、前記撮像手段により撮像される画像の位置を補正する画像位置補正手段をさらに備えたことを特徴とする請求項4に記載の撮像装置。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の撮像装置と、
前記載置面に配置された対象物に照射された光の反射光又は透過光を検出するための検出部とを備えたことを特徴とする顕微鏡。 - 載置面に配置された対象物の表面を撮像可能な撮像手段と、前記撮像手段に対する対象物の相対位置を、前記載置面に平行な方向に移動させる移動手段とを備えた撮像装置に用いられるプログラムであって、
前記移動手段による移動前及び移動後に前記撮像手段で撮像された画像に基づいて、当該画像の移動量を取得する画像移動量取得手段と、
前記移動手段による移動量、前記画像移動量取得手段により取得した移動量、及び、これらの移動量と対象物の厚みとの関係を特定可能な前記撮像手段の固有の値に基づいて、対象物の厚みを算出する厚み算出手段としてコンピュータを機能させることを特徴とするプログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012024756A JP5761061B2 (ja) | 2012-02-08 | 2012-02-08 | 撮像装置及び顕微鏡、並びに、これらに用いられるプログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012024756A JP5761061B2 (ja) | 2012-02-08 | 2012-02-08 | 撮像装置及び顕微鏡、並びに、これらに用いられるプログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013161020A true JP2013161020A (ja) | 2013-08-19 |
JP5761061B2 JP5761061B2 (ja) | 2015-08-12 |
Family
ID=49173279
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012024756A Active JP5761061B2 (ja) | 2012-02-08 | 2012-02-08 | 撮像装置及び顕微鏡、並びに、これらに用いられるプログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5761061B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019511011A (ja) * | 2016-03-24 | 2019-04-18 | モレキュラー デバイシーズ, エルエルシー | サンプル場所のための補助画像検出器を有する撮像システム |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59218910A (ja) * | 1983-05-27 | 1984-12-10 | Toshiba Corp | 移動体の相対距離検出装置 |
JPS63222213A (ja) * | 1987-03-12 | 1988-09-16 | Opt:Kk | 距離計及び距離測定用標尺 |
US5781303A (en) * | 1997-08-29 | 1998-07-14 | Becton Dickinson And Company | Method for determining the thickness of an optical sample |
JPH11120279A (ja) * | 1997-10-13 | 1999-04-30 | Denso Corp | 光学情報読取装置 |
JP2002228421A (ja) * | 2001-02-02 | 2002-08-14 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型レーザ顕微鏡 |
JP2003195183A (ja) * | 2001-12-25 | 2003-07-09 | Nikon Corp | 顕微鏡および顕微鏡のスケール算出方法 |
US20050078879A1 (en) * | 2003-10-14 | 2005-04-14 | Casio Computer Co., Ltd. | Imaging apparatus, image processing apparatus, image processing method of imaging apparatus and computer program |
JP3121902U (ja) * | 2006-03-07 | 2006-06-01 | 株式会社島津製作所 | 赤外顕微鏡 |
JP2008276070A (ja) * | 2007-05-02 | 2008-11-13 | Olympus Corp | 拡大撮像装置 |
JP2009053398A (ja) * | 2007-08-27 | 2009-03-12 | Mitsutoyo Corp | 顕微鏡および三次元情報取得方法 |
JP2009526272A (ja) * | 2006-02-10 | 2009-07-16 | モノジェン インコーポレイテッド | 顕微鏡媒体ベースの標本からデジタル画像データを収集するための方法および装置およびコンピュータプログラム製品 |
US20100310139A1 (en) * | 2009-05-29 | 2010-12-09 | Olympus Corporation | Biological observation apparatus |
US20110299761A1 (en) * | 2010-06-02 | 2011-12-08 | Myokan Yoshihiro | Image Processing Apparatus, Image Processing Method, and Program |
US20120001070A1 (en) * | 2010-07-02 | 2012-01-05 | Keyence Corporation | Magnifying Observation Apparatus |
-
2012
- 2012-02-08 JP JP2012024756A patent/JP5761061B2/ja active Active
Patent Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59218910A (ja) * | 1983-05-27 | 1984-12-10 | Toshiba Corp | 移動体の相対距離検出装置 |
JPS63222213A (ja) * | 1987-03-12 | 1988-09-16 | Opt:Kk | 距離計及び距離測定用標尺 |
US5781303A (en) * | 1997-08-29 | 1998-07-14 | Becton Dickinson And Company | Method for determining the thickness of an optical sample |
JPH11120279A (ja) * | 1997-10-13 | 1999-04-30 | Denso Corp | 光学情報読取装置 |
JP2002228421A (ja) * | 2001-02-02 | 2002-08-14 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型レーザ顕微鏡 |
JP2003195183A (ja) * | 2001-12-25 | 2003-07-09 | Nikon Corp | 顕微鏡および顕微鏡のスケール算出方法 |
US20050078879A1 (en) * | 2003-10-14 | 2005-04-14 | Casio Computer Co., Ltd. | Imaging apparatus, image processing apparatus, image processing method of imaging apparatus and computer program |
US20090295963A1 (en) * | 2006-02-10 | 2009-12-03 | Pascal Bamford | Method and apparatus and computer program product for collecting digital image data from microscope media-based specimens |
JP2009526272A (ja) * | 2006-02-10 | 2009-07-16 | モノジェン インコーポレイテッド | 顕微鏡媒体ベースの標本からデジタル画像データを収集するための方法および装置およびコンピュータプログラム製品 |
JP3121902U (ja) * | 2006-03-07 | 2006-06-01 | 株式会社島津製作所 | 赤外顕微鏡 |
JP2008276070A (ja) * | 2007-05-02 | 2008-11-13 | Olympus Corp | 拡大撮像装置 |
US20080310016A1 (en) * | 2007-05-02 | 2008-12-18 | Olympus Corporation | Optical apparatus and imaging method |
JP2009053398A (ja) * | 2007-08-27 | 2009-03-12 | Mitsutoyo Corp | 顕微鏡および三次元情報取得方法 |
US8179599B2 (en) * | 2007-08-27 | 2012-05-15 | Mitutoyo Corporation | Microscope having an inclined optical axis and three-dimensional information acquisition method |
US20100310139A1 (en) * | 2009-05-29 | 2010-12-09 | Olympus Corporation | Biological observation apparatus |
US20110299761A1 (en) * | 2010-06-02 | 2011-12-08 | Myokan Yoshihiro | Image Processing Apparatus, Image Processing Method, and Program |
JP2011253376A (ja) * | 2010-06-02 | 2011-12-15 | Sony Corp | 画像処理装置、および画像処理方法、並びにプログラム |
US20120001070A1 (en) * | 2010-07-02 | 2012-01-05 | Keyence Corporation | Magnifying Observation Apparatus |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019511011A (ja) * | 2016-03-24 | 2019-04-18 | モレキュラー デバイシーズ, エルエルシー | サンプル場所のための補助画像検出器を有する撮像システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5761061B2 (ja) | 2015-08-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5941395B2 (ja) | 画像取得装置及び画像取得装置のフォーカス方法 | |
US8810799B2 (en) | Height-measuring method and height-measuring device | |
US9927371B2 (en) | Confocal line inspection optical system | |
US20150292866A1 (en) | Film thickness measurement device and method | |
JP5854680B2 (ja) | 撮像装置 | |
JP5074319B2 (ja) | 画像計測装置及びコンピュータプログラム | |
US11774706B2 (en) | Method for determining a deviation on a displacement path of an optical zoom lens and method for correction and image recording device | |
JP2015108582A (ja) | 3次元計測方法と装置 | |
JP2010181247A (ja) | 形状測定装置及び形状測定方法 | |
JP2016148569A (ja) | 画像測定方法、及び画像測定装置 | |
KR101826127B1 (ko) | 광학적 웨이퍼 검사 장치 | |
KR100926019B1 (ko) | 결함 입자 측정 장치 및 결함 입자 측정 방법 | |
JP2009058459A (ja) | 形状測定装置 | |
JP5761061B2 (ja) | 撮像装置及び顕微鏡、並びに、これらに用いられるプログラム | |
WO2014112085A1 (ja) | 画像取得装置及び画像取得装置のフォーカス方法 | |
JP2007271300A (ja) | 表面形状測定方法および測定装置 | |
JP4197340B2 (ja) | 三次元形状測定装置 | |
JP2016015371A (ja) | 厚さ測定装置、厚さ測定方法及び露光装置 | |
JP2020101743A (ja) | 共焦点顕微鏡、及びその撮像方法 | |
JP5191265B2 (ja) | 光学顕微鏡装置及び光学顕微鏡用データ処理装置 | |
JP2013088570A (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP4384446B2 (ja) | オートフォーカス方法及びその装置 | |
JP2003057553A (ja) | 共焦点走査型顕微鏡 | |
TWI286197B (en) | 2/3-dimensional synchronous image capturing system and method | |
KR20070015310A (ko) | 반도체 소자의 오버레이 측정장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140611 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150109 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150120 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150306 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150512 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150525 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5761061 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |