JP2013044550A - Resistance inspection device, resistance inspection method, and resistance inspection program - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、圧力により抵抗値が変化する感圧センサを、感圧センサの電気抵抗値の測定により検査する抵抗検査装置、抵抗検査方法、及び抵抗検査プログラムに関する。 The present invention relates to a resistance inspection apparatus, a resistance inspection method, and a resistance inspection program for inspecting a pressure sensitive sensor whose resistance value varies with pressure by measuring the electrical resistance value of the pressure sensitive sensor.
複数の感圧センサが配置されたセンサアレイにおいて、個々の感圧センサを検査する手法として、センサアレイに配置された感圧センサの形状に合わせた専用の抵抗検査装置を用意し、所定の圧力で個々の感圧センサを押圧した場合の感圧センサの電気抵抗値を測定することにより、感圧センサの良否を判断する技術が知られている。 As a method for inspecting individual pressure sensors in a sensor array in which a plurality of pressure sensors are arranged, a dedicated resistance inspection device that matches the shape of the pressure sensors arranged in the sensor array is prepared, and a predetermined pressure is provided. A technique for determining whether a pressure sensor is good or not by measuring the electric resistance value of the pressure sensor when each pressure sensor is pressed is known.
例えば、特許文献1に開示されているような感圧センサアレイの検査には、専用の抵抗検査装置を用意し、感圧センサに所定の圧力が加わった場合の電気抵抗値を測定することで、感圧センサの良否を判断している。
For example, for the inspection of the pressure-sensitive sensor array as disclosed in
しかしながら、このような検査装置では、感圧センサの形状が異なる場合、それに対応した抵抗検査装置を個々に作成する必要があり、その作業は煩雑となる。 However, in such an inspection apparatus, when the shape of the pressure sensor is different, it is necessary to individually create a resistance inspection apparatus corresponding to the pressure sensor, and the work becomes complicated.
本発明の目的は、感圧センサの形状が変化しても同じ検査装置によりセンサアレイの検査を行うことができるような抵抗検査装置、抵抗検査方法および抵抗検査プログラムを提供することにある。 An object of the present invention is to provide a resistance inspection apparatus, a resistance inspection method, and a resistance inspection program that can inspect a sensor array with the same inspection apparatus even if the shape of a pressure-sensitive sensor changes.
本発明に係る抵抗検査装置は、感圧センサが複数配置されたセンサアレイにおいて、各々の前記感圧センサを検査する装置であって、複数の前記感圧センサを同時に押圧する第1のブラダと、前記第1のブラダの空気圧を調節する第1の圧力レギュレータと、前記第1のブラダの空気圧を検知する第1の圧力センサと、各々の前記感圧センサの電極端子に接続する接続手段と、各々の前記感圧センサの電気抵抗値を測定する抵抗測定手段と、前記第1の圧力レギュレータと前記抵抗測定手段を制御する制御手段と、各々の前記感圧センサの良否を判定する判定手段とを備えており、前記制御手段は、前記第1のブラダが、前記第1の圧力レギュレータおよび前記第1の圧力センサにより第1の圧力で前記感圧センサを押圧するように制御し、前記抵抗測定手段により各々の前記感圧センサの第1の電気抵抗値を測定すると共に、前記第1のブラダが、前記第1の圧力レギュレータおよび前記第1の圧力センサにより前記第1の圧力とは異なる第2の圧力で前記感圧センサを押圧するように制御し、前記抵抗測定手段により各々の前記感圧センサの第2の電気抵抗値を測定し、前記判定手段は、各々の前記感圧センサの前記第1の電気抵抗値および前記第2の電気抵抗値から、当該感圧センサの良否を判定することを特徴とする。 A resistance inspection apparatus according to the present invention is an apparatus for inspecting each of the pressure sensors in a sensor array in which a plurality of pressure sensors are arranged, and a first bladder that simultaneously presses the plurality of pressure sensors. A first pressure regulator for adjusting the air pressure of the first bladder, a first pressure sensor for detecting the air pressure of the first bladder, and connection means connected to the electrode terminals of each of the pressure sensors. Resistance measuring means for measuring the electric resistance value of each of the pressure sensors, control means for controlling the first pressure regulator and the resistance measuring means, and determination means for judging whether each of the pressure sensors is good or bad And the control means controls the first bladder to press the pressure sensor with a first pressure by the first pressure regulator and the first pressure sensor, A first electrical resistance value of each of the pressure-sensitive sensors is measured by the resistance measuring means, and the first bladder is connected to the first pressure by the first pressure regulator and the first pressure sensor. Controls the pressure sensors to be pressed with different second pressures, measures the second electric resistance value of each of the pressure sensors by the resistance measuring means, Whether the pressure sensor is good or bad is determined from the first electric resistance value and the second electric resistance value of the pressure sensor.
本発明によれば、第1のブラダにより各々の感圧センサを同時に押圧できる。これにより感圧センサの配置が変化した検査対象に対しても同じ抵抗検査装置で検査を行うことができる。さらに2種類の圧力における感圧センサの電気抵抗値を測定することにより、確実に感圧センサの良否を判定できる。 According to the present invention, the pressure sensors can be simultaneously pressed by the first bladder. Thereby, it can test | inspect with the same resistance test | inspection apparatus also with respect to the test object which arrangement | positioning of the pressure sensor changed. Furthermore, the quality of the pressure sensor can be reliably determined by measuring the electric resistance value of the pressure sensor at two types of pressure.
また、第1のブラダにより各々の感圧センサを同時に押圧でき、同時に多数の感圧センサの検査が可能となる。 Further, the pressure sensors can be simultaneously pressed by the first bladder, and a number of pressure sensors can be inspected at the same time.
さらに、本発明に係る抵抗検査装置は、前記接続手段は、各々の前記感圧センサの電極端子に弾性的に接触する接触部を有し、前記抵抗検査装置は、前記接触部を各々の前記感圧センサの電極端子に対して同時に空気圧により押圧する第2のブラダと、前記第2のブラダの空気圧を調節する第2の圧力レギュレータと、前記第2のブラダの空気圧を検知する第2の圧力センサとをさらに備えており、前記制御手段は、前記抵抗測定手段が、前記第1の電気抵抗値および前記第2の電気抵抗値を測定する場合に、前記第2のブラダが、前記第2の圧力レギュレータおよび前記第2の圧力センサにより所定の圧力で前記接触部を各々の前記感圧センサの電極端子に対して押圧するように制御することが好ましい。 Furthermore, in the resistance test apparatus according to the present invention, the connection means has a contact portion that elastically contacts the electrode terminal of each of the pressure-sensitive sensors, and the resistance test device includes the contact section that is connected to each of the above-described contact portions. A second bladder that simultaneously presses against the electrode terminals of the pressure-sensitive sensor by air pressure; a second pressure regulator that adjusts the air pressure of the second bladder; and a second that detects air pressure of the second bladder. A pressure sensor; and when the resistance measuring means measures the first electrical resistance value and the second electrical resistance value, the control means is configured to provide the second bladder with the first electrical resistance value. It is preferable to control the contact portion to be pressed against the electrode terminal of each of the pressure-sensitive sensors with a predetermined pressure by the second pressure regulator and the second pressure sensor.
これによれば、抵抗検査装置の接続手段と感圧センサの電極端子との接続をすべての感圧センサに対して確実にできる。 According to this, the connection between the connection means of the resistance test apparatus and the electrode terminals of the pressure sensor can be ensured for all the pressure sensors.
また、別の観点では、本発明に係る抵抗検査方法は、感圧センサが複数配置されたセンサアレイにおいて、各々の前記感圧センサを検査する方法であって、各々の前記感圧センサを第1のブラダにより同時に第1の圧力で押圧しつつ、前記感圧センサの第1の電気抵抗値を測定する第1工程と、各々の前記感圧センサを前記第1のブラダにより同時に前記第1の圧力とは異なる第2の圧力で押圧しつつ、前記感圧センサの第2の電気抵抗値を測定する第2工程と、各々の前記感圧センサの前記第1の電気抵抗値および前記第2の電気抵抗値から当該感圧センサの良否を判断する第3工程とを含むことを特徴とする。 In another aspect, the resistance testing method according to the present invention is a method for testing each of the pressure sensitive sensors in a sensor array in which a plurality of pressure sensitive sensors are arranged. A first step of measuring the first electrical resistance value of the pressure-sensitive sensor while simultaneously pressing the first pressure with one bladder, and the first bladder simultaneously using the first bladder. A second step of measuring a second electric resistance value of the pressure sensor while pressing with a second pressure different from the first pressure, and the first electric resistance value and the first of the pressure sensor. And a third step of determining the quality of the pressure sensor from the electric resistance value of 2.
これによれば、第1のブラダにより個々の感圧センサに同じ圧力を加えて電気抵抗を測定することができ、多数の感圧センサの検査を効率良く行うことができる。 According to this, it is possible to measure the electric resistance by applying the same pressure to each pressure sensor by the first bladder, and it is possible to efficiently inspect a number of pressure sensors.
また、異なる形状のセンサアレイであっても、第1のブラダにより押圧することで検査することができる。 Moreover, even if it is a sensor array of a different shape, it can test | inspect by pressing with a 1st bladder.
また、本発明に係る抵抗検査方法は、前記第1工程、および前記第2工程において、抵抗検査装置の接続部を各々の前記感圧センサの電極端子に対して、第2のブラダにより所定の圧力で押圧することが好ましい。 Further, in the resistance inspection method according to the present invention, in the first step and the second step, the connection portion of the resistance inspection device is connected to the electrode terminal of each of the pressure-sensitive sensors by a second bladder. It is preferable to press with pressure.
これによれば、第2のブラダにより抵抗検査装置の接続部と個々の感圧センサの電極端子との接続を確実にできる。 According to this, the connection between the connection portion of the resistance inspection device and the electrode terminal of each pressure sensor can be ensured by the second bladder.
さらに、別の観点では、本発明に係る抵抗検査プログラムは、感圧センサが複数配置されたセンサアレイにおいて、前記感圧センサが接続される抵抗測定手段に接続されたコンピュータを用いて、各々の前記感圧センサを検査するためのプログラムであって、各々の前記感圧センサを第1のブラダにより同時に第1の圧力で押圧するように第1の圧力レギュレータを制御しつつ、前記感圧センサの第1の電気抵抗値を前記抵抗測定手段により測定する第1工程と、各々の前記感圧センサを前記第1のブラダにより同時に前記第1の圧力とは異なる第2の圧力で押圧するように前記第1の圧力レギュレータを制御しつつ、前記感圧センサの第2の電気抵抗値を前記抵抗測定手段により測定する第2工程と、各々の前記感圧センサの前記第1の電気抵抗値および前記第2の電気抵抗値から当該感圧センサの良否を判断する第3工程とを前記コンピュータに実行させるための抵抗検査プログラムである。 Furthermore, in another aspect, the resistance test program according to the present invention uses a computer connected to a resistance measuring unit to which the pressure sensitive sensor is connected in a sensor array in which a plurality of pressure sensitive sensors are arranged. A program for inspecting the pressure sensors, wherein the pressure sensors are controlled while controlling the first pressure regulator so that each of the pressure sensors is simultaneously pressed with a first pressure by a first bladder. A first step of measuring the first electric resistance value of the pressure sensor by the resistance measuring means, and pressing each of the pressure sensitive sensors simultaneously by the first bladder with a second pressure different from the first pressure. A second step of measuring the second electric resistance value of the pressure sensor by the resistance measuring means while controlling the first pressure regulator, and the first electric power of each of the pressure sensors. The resistance value and from the second electric resistance value and a third step of determining the quality of the pressure sensitive sensor is a resistance test program for causing the computer to perform.
これによれば、第1のブラダにより個々の感圧センサに同じ圧力を加えて感圧センサの電気抵抗を測定することができる。 According to this, it is possible to measure the electric resistance of the pressure sensor by applying the same pressure to each pressure sensor by the first bladder.
また、感圧センサの配置が異なるセンサアレイについても、第1のブラダにより圧力を加えることで他のセンサアレイと同様に検査することができる。 Also, sensor arrays having different pressure sensor arrangements can be inspected in the same manner as other sensor arrays by applying pressure with the first bladder.
また、本発明に係る抵抗検査プログラムは、前記第1工程、および前記第2工程において、抵抗検査装置の接続部を各々の前記感圧センサの電極端子に対して、第2のブラダにより同時に所定の圧力で押圧するように第2の圧力レギュレータを制御することが好ましい。 In the resistance inspection program according to the present invention, in the first step and the second step, the connection portion of the resistance inspection device is simultaneously specified by the second bladder with respect to the electrode terminals of the pressure sensors. It is preferable to control the second pressure regulator so as to press at a pressure of.
これによれば、抵抗検査装置の接続手段と感圧センサの電極端子の接触を確実にすることができる。 According to this, the contact of the connection means of the resistance inspection device and the electrode terminal of the pressure sensor can be ensured.
本発明の抵抗検査装置によれば、複数の感圧センサを有するセンサアレイに第1のブラダにより均一な圧力を加えることで、これらのセンサの検査を効率良く行うことができる。また、センサアレイの形状が異なっても第1のブラダにより圧力を加えることで感圧センサの良否の判定ができる。 According to the resistance inspection apparatus of the present invention, it is possible to efficiently inspect these sensors by applying a uniform pressure to the sensor array having a plurality of pressure sensitive sensors by the first bladder. Even if the sensor arrays have different shapes, it is possible to determine whether the pressure-sensitive sensor is good or not by applying pressure with the first bladder.
以下、本発明の実施形態に係る抵抗検査装置について説明する。図1は、本発明に係る抵抗検査装置の機能ブロック図である。抵抗検査装置1は、検査体12とのデータを送受信するための制御基板11、検査対象となるセンサアレイが挿入される検査体12、抵抗筐体14の温度を測定するための温度センサ13、検査体12を収納する筐体14、筐体14に設けられた第1のブラダ14cの圧力を測定する第1圧力センサ15および第1のブラダ14cに空気を送る第1圧力レギュレータ17、同じく筐体14に設けられた第2のブラダ14dの圧力を測定する第2圧力センサ16および第2のブラダ14dに空気を送る第2圧力レギュレータ18を備えている。そして、制御基板11、温度センサ13、第1圧力センサ15、第2圧力センサ16、第1圧力レギュレータ17、及び第2圧力レギュレータ18は、それぞれ電気的にPC2に接続されている。
Hereinafter, a resistance inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 is a functional block diagram of a resistance inspection apparatus according to the present invention. The
PC(Personal Computer)2は、演算処理装置であるCPU(Central Processing Unit)と、CPUが実行する制御プログラム及び制御プログラムに使用されるデータが記憶されているROM(Read Only Memory)と、プログラム実行時にデータを一次記憶するためのRAM(Random Access Memory)とを有している。 A PC (Personal Computer) 2 is a CPU (Central Processing Unit) that is an arithmetic processing unit, a ROM (Read Only Memory) in which data used for the control program executed by the CPU and the control program are stored, and program execution It sometimes has a RAM (Random Access Memory) for temporarily storing data.
検査対象となる感圧センサのアレイは、後述するように検査体12に挿入されて検査が行われる。そして、検査体12は、抵抗検査装置1の筐体14に収納される。
An array of pressure-sensitive sensors to be inspected is inserted into the
温度センサ13は、筐体14の温度を測定する。温度センサ13が設置される筐体14上の位置は、検査対象となる感圧センサのアレイに最も近い場所とする。
The
図2および図3を参照しながら、筐体の構成について説明する。まず、図2に示すように筐体14は、上部筐体14aと、下部筐体14bとからなる。図3(a)に示すように上部筐体14aは、感圧センサが位置する中央部付近が高くなっており、その部分に第1のブラダ14cが配置されている。また、中央部分の両側には、感圧センサの電極端子と、後述する接続基板の接続部とを押圧して接触させるための第2のブラダ14dが配置されている。図3(b)に示すように、これらのブラダは、圧力レギュレータから送られる空気圧によって膨張し、後述する検査体12と筐体14との隙間を埋めるように構成されている。
The configuration of the housing will be described with reference to FIGS. 2 and 3. First, as shown in FIG. 2, the
次に、図4および図5を参照しながら検査体12について説明する。図4は、検査体12の構成を示す図である。検査体12は、下敷き12aと、接続基板12cとからなる。そして、検査対象となるセンサアレイ20がその間に挿入される。下敷き12aには、これらの部材の位置決めのための4本のビス12a1が配置されている。センサアレイ20には、感圧センサ201および感圧センサ201の電極端子202が24個ずつ2列に配置されている。接続基板12cのセンサアレイ20と対向する面には、電極端子202と接触する接触部12c1が配置されている。図5は、これらの部材を組み立てる様子を示している。下敷き12aの上に、センサアレイ20および接続基板12cをビス12a1に沿って結合し図5(b)に示す検査体12にセンサアレイ20が挿入されたものが形成される。
Next, the
この検査体12を筐体14に収納して抵抗検査装置1が完成する。この抵抗検査装置1の断面図を示したものが図6である。
The
図6に示すように、検査体12は、上部筐体14aと下部筐体14bとに上下から挟まれている。そして、第1のブラダ14cおよび第2のブラダ14dにそれぞれ第1圧力レギュレータ17および第2圧力レギュレータ18によりエアーが送られることにより空気圧で筐体14と検査体12との隙間を埋める。そして、第1圧力センサ15は、感圧センサ201が第1のブラダ14cにより押圧される圧力を検出し、第2圧力センサ16は、接続基板12cの接触部12c1と感圧センサ201の電極端子202が第2のブラダ14dにより押圧される圧力を検出する。
As shown in FIG. 6, the
次に、図7を参照しながらこの抵抗検査装置1を用いた、感圧センサ201の抵抗検査方法について説明する。まず、検査が開始されると、第2のブラダ14dを膨張させ(S1)、感圧センサ201の電極端子202と、接続基板12cの接触部12c1が所定の圧力で接触しているか否かを判定する(S2)。この実施形態においては、所定の圧力は35kPaとする。そして、電極端子202と接触部12c1が所定の圧力で接触している場合、第1のブラダ14cを膨張させ(S3)、第1圧力センサ15により、感圧センサ201に第1の圧力が加わっているか否かを判定する(S4)。この実施形態においては、第1の圧力は33kPaとする。ステップS2およびS4においてそれぞれ所定の圧力、第1の圧力が加わっている場合、その状態での感圧センサの電気抵抗値を第1の電気抵抗値として測定する(S5)。この実施形態では、電気抵抗値の測定は、感圧センサに所定の電圧、例えば5Vの直流電圧、を印加してその場合に感圧センサに流れる電流を測定し、電圧値を電流値で割ることによって電気抵抗値を算出する。しかし、変形例として、電気抵抗値を算出せず、電流値のみを測定することで代用することも可能である。
Next, a resistance test method for the pressure-
その後第1のブラダ14cを再び膨張させて(S6)、第1圧力センサ15により、感圧センサ201に第2の圧力が加わっているか否かを判定する(S7)。この実施形態では、第2の圧力は0kPaとする。感圧センサ201に第2の圧力が加わっている場合、感圧センサ201の電気抵抗値を第2の電気抵抗値として測定する(S8)。そして、第1の電気抵抗値および第2の電気抵抗値から感圧センサの良否を判定する(S9)。具体的には、例えば、第1の圧力である33kPaでは電気抵抗値が50kΩ以下であり、第2の圧力である0kPaでは5MΩ以上である場合にその感圧センサが正常であると判定する。
Thereafter, the
図8には、この抵抗検査方法を実現するためのプログラムを操作するためのソフトウェア画面を示す。作業者は、Lot#の欄に検査対象のロット番号を入力し、Operatorの欄に氏名を入力する。検査体12を筐体14に収納して、ソフトウェア画面にあるSetをクリックすると、プログラムが起動し、まず、感圧センサ201の電極端子202と接続基板12cの接触部12c1とを第2のブラダ14dにより所定の圧力で押圧する。この実施例ではこの圧力は20kPaであり、図8ではTerminal Pressureとして表示されている。そして、それと同時に第1のブラダ14cにより感圧センサ201を第1の圧力で押圧する。この圧力は、図8ではSensor Pressureとして表示される。そして、その状態での各々の感圧センサの電気抵抗値を第1の電気抵抗値として測定する。次に、第1のブラダ14cにより感圧センサ201を第2の圧力で押圧する。そして各々の感圧センサの電気抵抗値を第2の電気抵抗値として測定する。その後、プログラムは、第1の電気抵抗値および第2の電気抵抗値に基づき前述したように各々の感圧センサの良否を判定する。そして、感圧センサが不良であると判定された場合、対応するソフトウェア上の画面中の感圧センサを示すセルが変色し、その感圧センサが異常であることを示す。
FIG. 8 shows a software screen for operating a program for realizing this resistance inspection method. The operator inputs the lot number to be inspected in the Lot # column and the name in the Operator column. When the
1 抵抗検査装置
2 PC
11 制御基板
12 検査体
12a 下敷き
12a1 ビス
12c 接続基板
12c1 接触部
13 温度センサ
14 筐体
14a 筐体上部
14b 筐体下部
14c 第1のブラダ
14d 第2のブラダ
15 第1圧力センサ
16 第2圧力センサ
17 第1圧力レギュレータ
18 第2圧力レギュレータ
20 センサアレイ
201 感圧センサ
202 電極端子
1
DESCRIPTION OF
Claims (6)
複数の前記感圧センサを同時に押圧する第1のブラダと、
前記第1のブラダの空気圧を調節する第1の圧力レギュレータと、
前記第1のブラダの空気圧を検知する第1の圧力センサと、
各々の前記感圧センサの電極端子に接続する接続手段と、
各々の前記感圧センサの電気抵抗値を測定する抵抗測定手段と、
前記第1の圧力レギュレータと前記抵抗測定手段を制御する制御手段と、
各々の前記感圧センサの良否を判定する判定手段とを備えており、
前記制御手段は、
前記第1のブラダが、前記第1の圧力レギュレータおよび前記第1の圧力センサにより第1の圧力で前記感圧センサを押圧するように制御し、前記抵抗測定手段により各々の前記感圧センサの第1の電気抵抗値を測定すると共に、
前記第1のブラダが、前記第1の圧力レギュレータおよび前記第1の圧力センサにより前記第1の圧力とは異なる第2の圧力で前記感圧センサを押圧するように制御し、前記抵抗測定手段により各々の前記感圧センサの第2の電気抵抗値を測定し、
前記判定手段は、
各々の前記感圧センサの前記第1の電気抵抗値および前記第2の電気抵抗値から、当該感圧センサの良否を判定することを特徴とする抵抗検査装置。 In a sensor array in which a plurality of pressure sensors are arranged, an apparatus for inspecting each of the pressure sensors,
A first bladder that simultaneously presses the plurality of pressure sensitive sensors;
A first pressure regulator for adjusting the air pressure of the first bladder;
A first pressure sensor for detecting an air pressure of the first bladder;
Connection means for connecting to the electrode terminals of each of the pressure sensors;
Resistance measuring means for measuring an electric resistance value of each of the pressure sensors;
Control means for controlling the first pressure regulator and the resistance measuring means;
Determination means for determining the quality of each of the pressure sensors,
The control means includes
The first bladder controls the first pressure regulator and the first pressure sensor to press the pressure sensor with a first pressure, and the resistance measuring unit controls each of the pressure sensors. Measuring the first electrical resistance value;
The first bladder is controlled by the first pressure regulator and the first pressure sensor to press the pressure sensitive sensor at a second pressure different from the first pressure, and the resistance measuring means To measure the second electrical resistance value of each of the pressure sensitive sensors,
The determination means includes
A resistance inspection apparatus that determines whether the pressure sensitive sensor is good or bad from the first electric resistance value and the second electric resistance value of each of the pressure sensitive sensors.
前記抵抗検査装置は、
前記接触部を各々の前記感圧センサの電極端子に対して同時に空気圧により押圧する第2のブラダと、
前記第2のブラダの空気圧を調節する第2の圧力レギュレータと、
前記第2のブラダの空気圧を検知する第2の圧力センサとをさらに備えており、
前記制御手段は、
前記抵抗測定手段が、前記第1の電気抵抗値および前記第2の電気抵抗値を測定する場合に、前記第2のブラダが、前記第2の圧力レギュレータおよび前記第2の圧力センサにより所定の圧力で前記接触部を各々の前記感圧センサの電極端子に対して押圧するように制御することを特徴とする請求項1に記載の抵抗検査装置。 The connection means has a contact portion that elastically contacts an electrode terminal of each of the pressure sensors,
The resistance inspection apparatus includes:
A second bladder that simultaneously presses the contact portion against the electrode terminals of each of the pressure sensors by air pressure;
A second pressure regulator for adjusting the air pressure of the second bladder;
And a second pressure sensor for detecting an air pressure of the second bladder,
The control means includes
When the resistance measuring unit measures the first electric resistance value and the second electric resistance value, the second bladder is controlled by the second pressure regulator and the second pressure sensor. The resistance inspection apparatus according to claim 1, wherein the contact portion is controlled to be pressed against the electrode terminal of each pressure sensor by pressure.
各々の前記感圧センサを第1のブラダにより同時に第1の圧力で押圧しつつ、前記感圧センサの第1の電気抵抗値を測定する第1工程と、
各々の前記感圧センサを前記第1のブラダにより同時に前記第1の圧力とは異なる第2の圧力で押圧しつつ、前記感圧センサの第2の電気抵抗値を測定する第2工程と、
各々の前記感圧センサの前記第1の電気抵抗値および前記第2の電気抵抗値から当該感圧センサの良否を判断する第3工程とを含むことを特徴とする抵抗検査方法。 In a sensor array in which a plurality of pressure sensors are arranged, a method for inspecting each of the pressure sensors,
A first step of measuring a first electrical resistance value of the pressure sensitive sensor while simultaneously pressing each pressure sensitive sensor with a first bladder with a first pressure;
A second step of measuring a second electric resistance value of the pressure-sensitive sensor while simultaneously pressing each of the pressure-sensitive sensors with the first bladder at a second pressure different from the first pressure;
And a third step of determining pass / fail of the pressure sensitive sensor from the first electric resistance value and the second electric resistance value of each of the pressure sensitive sensors.
各々の前記感圧センサを第1のブラダにより同時に第1の圧力で押圧するように第1の圧力レギュレータを制御しつつ、前記感圧センサの第1の電気抵抗値を前記抵抗測定手段により測定する第1工程と、
各々の前記感圧センサを前記第1のブラダにより同時に前記第1の圧力とは異なる第2の圧力で押圧するように前記第1の圧力レギュレータを制御しつつ、前記感圧センサの第2の電気抵抗値を前記抵抗測定手段により測定する第2工程と、
各々の前記感圧センサの前記第1の電気抵抗値および前記第2の電気抵抗値から当該感圧センサの良否を判断する第3工程とを前記コンピュータに実行させるための抵抗検査プログラム。 In a sensor array in which a plurality of pressure sensors are arranged, a program for inspecting each of the pressure sensors using a computer connected to resistance measuring means to which the pressure sensors are connected,
A first electrical resistance value of the pressure sensitive sensor is measured by the resistance measuring means while controlling the first pressure regulator so that each of the pressure sensitive sensors is simultaneously pressed by the first bladder with the first pressure. A first step of
While controlling the first pressure regulator so that each of the pressure sensors is simultaneously pressed by the first bladder with a second pressure different from the first pressure, the second pressure sensor A second step of measuring an electrical resistance value by the resistance measuring means;
A resistance inspection program for causing the computer to execute a third step of determining whether the pressure sensitive sensor is good or bad from the first electric resistance value and the second electric resistance value of each of the pressure sensitive sensors.
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