JP2013044550A - Resistance inspection device, resistance inspection method, and resistance inspection program - Google Patents

Resistance inspection device, resistance inspection method, and resistance inspection program Download PDF

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尚 山本
Koji Iwata
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resistance inspection device capable of efficiently performing inspection with the same inspection device even if a shape of pressure-sensitive sensors is changed.SOLUTION: In a resistance inspection device 1, a first bladder 14c presses pressure-sensitive sensors 201, so that the multiple pressure-sensitive sensors 201 can be pressed at the same pressure and the inspection of the pressure-sensitive sensors 201 can be efficiently performed with the same inspection device even when the arrangement of the pressure-sensitive sensors 201 is changed.

Description

本発明は、圧力により抵抗値が変化する感圧センサを、感圧センサの電気抵抗値の測定により検査する抵抗検査装置、抵抗検査方法、及び抵抗検査プログラムに関する。   The present invention relates to a resistance inspection apparatus, a resistance inspection method, and a resistance inspection program for inspecting a pressure sensitive sensor whose resistance value varies with pressure by measuring the electrical resistance value of the pressure sensitive sensor.

複数の感圧センサが配置されたセンサアレイにおいて、個々の感圧センサを検査する手法として、センサアレイに配置された感圧センサの形状に合わせた専用の抵抗検査装置を用意し、所定の圧力で個々の感圧センサを押圧した場合の感圧センサの電気抵抗値を測定することにより、感圧センサの良否を判断する技術が知られている。   As a method for inspecting individual pressure sensors in a sensor array in which a plurality of pressure sensors are arranged, a dedicated resistance inspection device that matches the shape of the pressure sensors arranged in the sensor array is prepared, and a predetermined pressure is provided. A technique for determining whether a pressure sensor is good or not by measuring the electric resistance value of the pressure sensor when each pressure sensor is pressed is known.

例えば、特許文献１に開示されているような感圧センサアレイの検査には、専用の抵抗検査装置を用意し、感圧センサに所定の圧力が加わった場合の電気抵抗値を測定することで、感圧センサの良否を判断している。   For example, for the inspection of the pressure-sensitive sensor array as disclosed in Patent Document 1, a dedicated resistance inspection device is prepared, and the electrical resistance value when a predetermined pressure is applied to the pressure sensor is measured. The quality of the pressure sensor is judged.

特開２００５−２７４５４９号公報JP 2005-274549 A

しかしながら、このような検査装置では、感圧センサの形状が異なる場合、それに対応した抵抗検査装置を個々に作成する必要があり、その作業は煩雑となる。   However, in such an inspection apparatus, when the shape of the pressure sensor is different, it is necessary to individually create a resistance inspection apparatus corresponding to the pressure sensor, and the work becomes complicated.

本発明の目的は、感圧センサの形状が変化しても同じ検査装置によりセンサアレイの検査を行うことができるような抵抗検査装置、抵抗検査方法および抵抗検査プログラムを提供することにある。   An object of the present invention is to provide a resistance inspection apparatus, a resistance inspection method, and a resistance inspection program that can inspect a sensor array with the same inspection apparatus even if the shape of a pressure-sensitive sensor changes.

本発明に係る抵抗検査装置は、感圧センサが複数配置されたセンサアレイにおいて、各々の前記感圧センサを検査する装置であって、複数の前記感圧センサを同時に押圧する第１のブラダと、前記第１のブラダの空気圧を調節する第１の圧力レギュレータと、前記第１のブラダの空気圧を検知する第１の圧力センサと、各々の前記感圧センサの電極端子に接続する接続手段と、各々の前記感圧センサの電気抵抗値を測定する抵抗測定手段と、前記第１の圧力レギュレータと前記抵抗測定手段を制御する制御手段と、各々の前記感圧センサの良否を判定する判定手段とを備えており、前記制御手段は、前記第１のブラダが、前記第１の圧力レギュレータおよび前記第１の圧力センサにより第１の圧力で前記感圧センサを押圧するように制御し、前記抵抗測定手段により各々の前記感圧センサの第１の電気抵抗値を測定すると共に、前記第１のブラダが、前記第１の圧力レギュレータおよび前記第１の圧力センサにより前記第１の圧力とは異なる第２の圧力で前記感圧センサを押圧するように制御し、前記抵抗測定手段により各々の前記感圧センサの第２の電気抵抗値を測定し、前記判定手段は、各々の前記感圧センサの前記第１の電気抵抗値および前記第２の電気抵抗値から、当該感圧センサの良否を判定することを特徴とする。   A resistance inspection apparatus according to the present invention is an apparatus for inspecting each of the pressure sensors in a sensor array in which a plurality of pressure sensors are arranged, and a first bladder that simultaneously presses the plurality of pressure sensors. A first pressure regulator for adjusting the air pressure of the first bladder, a first pressure sensor for detecting the air pressure of the first bladder, and connection means connected to the electrode terminals of each of the pressure sensors. Resistance measuring means for measuring the electric resistance value of each of the pressure sensors, control means for controlling the first pressure regulator and the resistance measuring means, and determination means for judging whether each of the pressure sensors is good or bad And the control means controls the first bladder to press the pressure sensor with a first pressure by the first pressure regulator and the first pressure sensor, A first electrical resistance value of each of the pressure-sensitive sensors is measured by the resistance measuring means, and the first bladder is connected to the first pressure by the first pressure regulator and the first pressure sensor. Controls the pressure sensors to be pressed with different second pressures, measures the second electric resistance value of each of the pressure sensors by the resistance measuring means, Whether the pressure sensor is good or bad is determined from the first electric resistance value and the second electric resistance value of the pressure sensor.

本発明によれば、第１のブラダにより各々の感圧センサを同時に押圧できる。これにより感圧センサの配置が変化した検査対象に対しても同じ抵抗検査装置で検査を行うことができる。さらに２種類の圧力における感圧センサの電気抵抗値を測定することにより、確実に感圧センサの良否を判定できる。   According to the present invention, the pressure sensors can be simultaneously pressed by the first bladder. Thereby, it can test | inspect with the same resistance test | inspection apparatus also with respect to the test object which arrangement | positioning of the pressure sensor changed. Furthermore, the quality of the pressure sensor can be reliably determined by measuring the electric resistance value of the pressure sensor at two types of pressure.

また、第１のブラダにより各々の感圧センサを同時に押圧でき、同時に多数の感圧センサの検査が可能となる。   Further, the pressure sensors can be simultaneously pressed by the first bladder, and a number of pressure sensors can be inspected at the same time.

さらに、本発明に係る抵抗検査装置は、前記接続手段は、各々の前記感圧センサの電極端子に弾性的に接触する接触部を有し、前記抵抗検査装置は、前記接触部を各々の前記感圧センサの電極端子に対して同時に空気圧により押圧する第２のブラダと、前記第２のブラダの空気圧を調節する第２の圧力レギュレータと、前記第２のブラダの空気圧を検知する第２の圧力センサとをさらに備えており、前記制御手段は、前記抵抗測定手段が、前記第１の電気抵抗値および前記第２の電気抵抗値を測定する場合に、前記第２のブラダが、前記第２の圧力レギュレータおよび前記第２の圧力センサにより所定の圧力で前記接触部を各々の前記感圧センサの電極端子に対して押圧するように制御することが好ましい。   Furthermore, in the resistance test apparatus according to the present invention, the connection means has a contact portion that elastically contacts the electrode terminal of each of the pressure-sensitive sensors, and the resistance test device includes the contact section that is connected to each of the above-described contact portions. A second bladder that simultaneously presses against the electrode terminals of the pressure-sensitive sensor by air pressure; a second pressure regulator that adjusts the air pressure of the second bladder; and a second that detects air pressure of the second bladder. A pressure sensor; and when the resistance measuring means measures the first electrical resistance value and the second electrical resistance value, the control means is configured to provide the second bladder with the first electrical resistance value. It is preferable to control the contact portion to be pressed against the electrode terminal of each of the pressure-sensitive sensors with a predetermined pressure by the second pressure regulator and the second pressure sensor.

これによれば、抵抗検査装置の接続手段と感圧センサの電極端子との接続をすべての感圧センサに対して確実にできる。   According to this, the connection between the connection means of the resistance test apparatus and the electrode terminals of the pressure sensor can be ensured for all the pressure sensors.

また、別の観点では、本発明に係る抵抗検査方法は、感圧センサが複数配置されたセンサアレイにおいて、各々の前記感圧センサを検査する方法であって、各々の前記感圧センサを第１のブラダにより同時に第１の圧力で押圧しつつ、前記感圧センサの第１の電気抵抗値を測定する第１工程と、各々の前記感圧センサを前記第１のブラダにより同時に前記第１の圧力とは異なる第２の圧力で押圧しつつ、前記感圧センサの第２の電気抵抗値を測定する第２工程と、各々の前記感圧センサの前記第１の電気抵抗値および前記第２の電気抵抗値から当該感圧センサの良否を判断する第３工程とを含むことを特徴とする。   In another aspect, the resistance testing method according to the present invention is a method for testing each of the pressure sensitive sensors in a sensor array in which a plurality of pressure sensitive sensors are arranged. A first step of measuring the first electrical resistance value of the pressure-sensitive sensor while simultaneously pressing the first pressure with one bladder, and the first bladder simultaneously using the first bladder. A second step of measuring a second electric resistance value of the pressure sensor while pressing with a second pressure different from the first pressure, and the first electric resistance value and the first of the pressure sensor. And a third step of determining the quality of the pressure sensor from the electric resistance value of 2.

これによれば、第１のブラダにより個々の感圧センサに同じ圧力を加えて電気抵抗を測定することができ、多数の感圧センサの検査を効率良く行うことができる。   According to this, it is possible to measure the electric resistance by applying the same pressure to each pressure sensor by the first bladder, and it is possible to efficiently inspect a number of pressure sensors.

また、異なる形状のセンサアレイであっても、第１のブラダにより押圧することで検査することができる。   Moreover, even if it is a sensor array of a different shape, it can test | inspect by pressing with a 1st bladder.

また、本発明に係る抵抗検査方法は、前記第１工程、および前記第２工程において、抵抗検査装置の接続部を各々の前記感圧センサの電極端子に対して、第２のブラダにより所定の圧力で押圧することが好ましい。   Further, in the resistance inspection method according to the present invention, in the first step and the second step, the connection portion of the resistance inspection device is connected to the electrode terminal of each of the pressure-sensitive sensors by a second bladder. It is preferable to press with pressure.

これによれば、第２のブラダにより抵抗検査装置の接続部と個々の感圧センサの電極端子との接続を確実にできる。   According to this, the connection between the connection portion of the resistance inspection device and the electrode terminal of each pressure sensor can be ensured by the second bladder.

さらに、別の観点では、本発明に係る抵抗検査プログラムは、感圧センサが複数配置されたセンサアレイにおいて、前記感圧センサが接続される抵抗測定手段に接続されたコンピュータを用いて、各々の前記感圧センサを検査するためのプログラムであって、各々の前記感圧センサを第１のブラダにより同時に第１の圧力で押圧するように第１の圧力レギュレータを制御しつつ、前記感圧センサの第１の電気抵抗値を前記抵抗測定手段により測定する第１工程と、各々の前記感圧センサを前記第１のブラダにより同時に前記第１の圧力とは異なる第２の圧力で押圧するように前記第１の圧力レギュレータを制御しつつ、前記感圧センサの第２の電気抵抗値を前記抵抗測定手段により測定する第２工程と、各々の前記感圧センサの前記第１の電気抵抗値および前記第２の電気抵抗値から当該感圧センサの良否を判断する第３工程とを前記コンピュータに実行させるための抵抗検査プログラムである。   Furthermore, in another aspect, the resistance test program according to the present invention uses a computer connected to a resistance measuring unit to which the pressure sensitive sensor is connected in a sensor array in which a plurality of pressure sensitive sensors are arranged. A program for inspecting the pressure sensors, wherein the pressure sensors are controlled while controlling the first pressure regulator so that each of the pressure sensors is simultaneously pressed with a first pressure by a first bladder. A first step of measuring the first electric resistance value of the pressure sensor by the resistance measuring means, and pressing each of the pressure sensitive sensors simultaneously by the first bladder with a second pressure different from the first pressure. A second step of measuring the second electric resistance value of the pressure sensor by the resistance measuring means while controlling the first pressure regulator, and the first electric power of each of the pressure sensors. The resistance value and from the second electric resistance value and a third step of determining the quality of the pressure sensitive sensor is a resistance test program for causing the computer to perform.

これによれば、第１のブラダにより個々の感圧センサに同じ圧力を加えて感圧センサの電気抵抗を測定することができる。   According to this, it is possible to measure the electric resistance of the pressure sensor by applying the same pressure to each pressure sensor by the first bladder.

また、感圧センサの配置が異なるセンサアレイについても、第１のブラダにより圧力を加えることで他のセンサアレイと同様に検査することができる。   Also, sensor arrays having different pressure sensor arrangements can be inspected in the same manner as other sensor arrays by applying pressure with the first bladder.

また、本発明に係る抵抗検査プログラムは、前記第１工程、および前記第２工程において、抵抗検査装置の接続部を各々の前記感圧センサの電極端子に対して、第２のブラダにより同時に所定の圧力で押圧するように第２の圧力レギュレータを制御することが好ましい。   In the resistance inspection program according to the present invention, in the first step and the second step, the connection portion of the resistance inspection device is simultaneously specified by the second bladder with respect to the electrode terminals of the pressure sensors. It is preferable to control the second pressure regulator so as to press at a pressure of.

これによれば、抵抗検査装置の接続手段と感圧センサの電極端子の接触を確実にすることができる。   According to this, the contact of the connection means of the resistance inspection device and the electrode terminal of the pressure sensor can be ensured.

本発明の抵抗検査装置によれば、複数の感圧センサを有するセンサアレイに第１のブラダにより均一な圧力を加えることで、これらのセンサの検査を効率良く行うことができる。また、センサアレイの形状が異なっても第１のブラダにより圧力を加えることで感圧センサの良否の判定ができる。   According to the resistance inspection apparatus of the present invention, it is possible to efficiently inspect these sensors by applying a uniform pressure to the sensor array having a plurality of pressure sensitive sensors by the first bladder. Even if the sensor arrays have different shapes, it is possible to determine whether the pressure-sensitive sensor is good or not by applying pressure with the first bladder.

本発明の実施形態に係る抵抗検査装置の機能ブロック図である。It is a functional block diagram of the resistance inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る抵抗検査装置の筐体の構成を説明する図である。It is a figure explaining the structure of the housing | casing of the resistance test apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る抵抗検査装置の筐体の上部に設けられたブラダの動作を説明するための図である。It is a figure for demonstrating operation | movement of the bladder provided in the upper part of the housing | casing of the resistance test apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る検査体の構成を説明する図である。It is a figure explaining the structure of the test body which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る検査体の組立図である。It is an assembly drawing of the test body which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る抵抗検査装置の断面図である。It is sectional drawing of the resistance inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る抵抗検査方法のフローチャートを示す図である。It is a figure which shows the flowchart of the resistance test method which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る抵抗検査プログラムの操作画面を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the operation screen of the resistance test | inspection program which concerns on embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態に係る抵抗検査装置について説明する。図１は、本発明に係る抵抗検査装置の機能ブロック図である。抵抗検査装置１は、検査体１２とのデータを送受信するための制御基板１１、検査対象となるセンサアレイが挿入される検査体１２、抵抗筐体１４の温度を測定するための温度センサ１３、検査体１２を収納する筐体１４、筐体１４に設けられた第１のブラダ１４ｃの圧力を測定する第１圧力センサ１５および第１のブラダ１４ｃに空気を送る第１圧力レギュレータ１７、同じく筐体１４に設けられた第２のブラダ１４ｄの圧力を測定する第２圧力センサ１６および第２のブラダ１４ｄに空気を送る第２圧力レギュレータ１８を備えている。そして、制御基板１１、温度センサ１３、第１圧力センサ１５、第２圧力センサ１６、第１圧力レギュレータ１７、及び第２圧力レギュレータ１８は、それぞれ電気的にＰＣ２に接続されている。   Hereinafter, a resistance inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 is a functional block diagram of a resistance inspection apparatus according to the present invention. The resistance inspection apparatus 1 includes a control board 11 for transmitting and receiving data to and from the inspection body 12, an inspection body 12 into which a sensor array to be inspected is inserted, a temperature sensor 13 for measuring the temperature of the resistance housing 14, A housing 14 for housing the test body 12, a first pressure sensor 15 for measuring the pressure of the first bladder 14c provided in the housing 14, and a first pressure regulator 17 for sending air to the first bladder 14c, A second pressure sensor 16 for measuring the pressure of the second bladder 14d provided in the body 14 and a second pressure regulator 18 for sending air to the second bladder 14d are provided. And the control board 11, the temperature sensor 13, the 1st pressure sensor 15, the 2nd pressure sensor 16, the 1st pressure regulator 17, and the 2nd pressure regulator 18 are each electrically connected to PC2.

ＰＣ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）２は、演算処理装置であるＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）と、ＣＰＵが実行する制御プログラム及び制御プログラムに使用されるデータが記憶されているＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）と、プログラム実行時にデータを一次記憶するためのＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）とを有している。   A PC (Personal Computer) 2 is a CPU (Central Processing Unit) that is an arithmetic processing unit, a ROM (Read Only Memory) in which data used for the control program executed by the CPU and the control program are stored, and program execution It sometimes has a RAM (Random Access Memory) for temporarily storing data.

検査対象となる感圧センサのアレイは、後述するように検査体１２に挿入されて検査が行われる。そして、検査体１２は、抵抗検査装置１の筐体１４に収納される。   An array of pressure-sensitive sensors to be inspected is inserted into the inspection body 12 and inspected as will be described later. The inspection body 12 is housed in the housing 14 of the resistance inspection apparatus 1.

温度センサ１３は、筐体１４の温度を測定する。温度センサ１３が設置される筐体１４上の位置は、検査対象となる感圧センサのアレイに最も近い場所とする。   The temperature sensor 13 measures the temperature of the housing 14. The position on the housing 14 where the temperature sensor 13 is installed is a place closest to the pressure-sensitive sensor array to be inspected.

図２および図３を参照しながら、筐体の構成について説明する。まず、図２に示すように筐体１４は、上部筐体１４ａと、下部筐体１４ｂとからなる。図３（ａ）に示すように上部筐体１４ａは、感圧センサが位置する中央部付近が高くなっており、その部分に第１のブラダ１４ｃが配置されている。また、中央部分の両側には、感圧センサの電極端子と、後述する接続基板の接続部とを押圧して接触させるための第２のブラダ１４ｄが配置されている。図３（ｂ）に示すように、これらのブラダは、圧力レギュレータから送られる空気圧によって膨張し、後述する検査体１２と筐体１４との隙間を埋めるように構成されている。   The configuration of the housing will be described with reference to FIGS. 2 and 3. First, as shown in FIG. 2, the housing 14 includes an upper housing 14a and a lower housing 14b. As shown in FIG. 3A, the upper casing 14a is high near the center where the pressure-sensitive sensor is located, and the first bladder 14c is disposed there. Further, on both sides of the central portion, second bladders 14d for pressing and contacting the electrode terminals of the pressure-sensitive sensor and a connection portion of a connection board described later are disposed. As shown in FIG. 3B, these bladders are configured to expand by the air pressure sent from the pressure regulator, and to fill a gap between the test body 12 and the housing 14 described later.

次に、図４および図５を参照しながら検査体１２について説明する。図４は、検査体１２の構成を示す図である。検査体１２は、下敷き１２ａと、接続基板１２ｃとからなる。そして、検査対象となるセンサアレイ２０がその間に挿入される。下敷き１２ａには、これらの部材の位置決めのための４本のビス１２ａ１が配置されている。センサアレイ２０には、感圧センサ２０１および感圧センサ２０１の電極端子２０２が２４個ずつ２列に配置されている。接続基板１２ｃのセンサアレイ２０と対向する面には、電極端子２０２と接触する接触部１２ｃ１が配置されている。図５は、これらの部材を組み立てる様子を示している。下敷き１２ａの上に、センサアレイ２０および接続基板１２ｃをビス１２ａ１に沿って結合し図５（ｂ）に示す検査体１２にセンサアレイ２０が挿入されたものが形成される。   Next, the test body 12 will be described with reference to FIGS. 4 and 5. FIG. 4 is a diagram illustrating the configuration of the inspection body 12. The inspection body 12 includes an underlay 12a and a connection substrate 12c. Then, the sensor array 20 to be inspected is inserted between them. Four screws 12a1 for positioning these members are arranged on the underlay 12a. In the sensor array 20, the pressure sensor 201 and the electrode terminals 202 of the pressure sensor 201 are arranged in two rows of 24 each. A contact portion 12c1 that contacts the electrode terminal 202 is disposed on the surface of the connection substrate 12c that faces the sensor array 20. FIG. 5 shows how these members are assembled. On the underlay 12a, the sensor array 20 and the connection substrate 12c are coupled along the screw 12a1 to form the inspection body 12 shown in FIG. 5B in which the sensor array 20 is inserted.

この検査体１２を筐体１４に収納して抵抗検査装置１が完成する。この抵抗検査装置１の断面図を示したものが図６である。   The inspection body 12 is accommodated in the housing 14 to complete the resistance inspection apparatus 1. FIG. 6 shows a cross-sectional view of the resistance inspection apparatus 1.

図６に示すように、検査体１２は、上部筐体１４ａと下部筐体１４ｂとに上下から挟まれている。そして、第１のブラダ１４ｃおよび第２のブラダ１４ｄにそれぞれ第１圧力レギュレータ１７および第２圧力レギュレータ１８によりエアーが送られることにより空気圧で筐体１４と検査体１２との隙間を埋める。そして、第１圧力センサ１５は、感圧センサ２０１が第１のブラダ１４ｃにより押圧される圧力を検出し、第２圧力センサ１６は、接続基板１２ｃの接触部１２ｃ１と感圧センサ２０１の電極端子２０２が第２のブラダ１４ｄにより押圧される圧力を検出する。   As shown in FIG. 6, the test body 12 is sandwiched from above and below by an upper housing 14a and a lower housing 14b. Then, air is sent to the first bladder 14c and the second bladder 14d by the first pressure regulator 17 and the second pressure regulator 18, respectively, thereby filling the gap between the casing 14 and the test body 12 with air pressure. The first pressure sensor 15 detects the pressure with which the pressure sensor 201 is pressed by the first bladder 14c, and the second pressure sensor 16 includes the contact portion 12c1 of the connection substrate 12c and the electrode terminal of the pressure sensor 201. 202 detects the pressure pressed by the second bladder 14d.

次に、図７を参照しながらこの抵抗検査装置１を用いた、感圧センサ２０１の抵抗検査方法について説明する。まず、検査が開始されると、第２のブラダ１４ｄを膨張させ（Ｓ１）、感圧センサ２０１の電極端子２０２と、接続基板１２ｃの接触部１２ｃ１が所定の圧力で接触しているか否かを判定する（Ｓ２）。この実施形態においては、所定の圧力は３５ｋＰａとする。そして、電極端子２０２と接触部１２ｃ１が所定の圧力で接触している場合、第１のブラダ１４ｃを膨張させ（Ｓ３）、第１圧力センサ１５により、感圧センサ２０１に第１の圧力が加わっているか否かを判定する（Ｓ４）。この実施形態においては、第１の圧力は３３ｋＰａとする。ステップＳ２およびＳ４においてそれぞれ所定の圧力、第１の圧力が加わっている場合、その状態での感圧センサの電気抵抗値を第１の電気抵抗値として測定する（Ｓ５）。この実施形態では、電気抵抗値の測定は、感圧センサに所定の電圧、例えば５Ｖの直流電圧、を印加してその場合に感圧センサに流れる電流を測定し、電圧値を電流値で割ることによって電気抵抗値を算出する。しかし、変形例として、電気抵抗値を算出せず、電流値のみを測定することで代用することも可能である。   Next, a resistance test method for the pressure-sensitive sensor 201 using the resistance test apparatus 1 will be described with reference to FIG. First, when the inspection is started, the second bladder 14d is expanded (S1), and it is determined whether or not the electrode terminal 202 of the pressure-sensitive sensor 201 and the contact portion 12c1 of the connection substrate 12c are in contact with each other at a predetermined pressure. Determine (S2). In this embodiment, the predetermined pressure is 35 kPa. When the electrode terminal 202 and the contact portion 12c1 are in contact with each other at a predetermined pressure, the first bladder 14c is expanded (S3), and the first pressure sensor 15 applies the first pressure to the pressure sensitive sensor 201. It is determined whether or not (S4). In this embodiment, the first pressure is 33 kPa. When the predetermined pressure and the first pressure are respectively applied in steps S2 and S4, the electric resistance value of the pressure sensor in that state is measured as the first electric resistance value (S5). In this embodiment, the electrical resistance value is measured by applying a predetermined voltage, for example, a DC voltage of 5 V, to the pressure sensor, measuring the current flowing through the pressure sensor in that case, and dividing the voltage value by the current value. Thus, the electric resistance value is calculated. However, as a modification, it is possible to substitute by measuring only the current value without calculating the electric resistance value.

その後第１のブラダ１４ｃを再び膨張させて（Ｓ６）、第１圧力センサ１５により、感圧センサ２０１に第２の圧力が加わっているか否かを判定する（Ｓ７）。この実施形態では、第２の圧力は０ｋＰａとする。感圧センサ２０１に第２の圧力が加わっている場合、感圧センサ２０１の電気抵抗値を第２の電気抵抗値として測定する（Ｓ８）。そして、第１の電気抵抗値および第２の電気抵抗値から感圧センサの良否を判定する（Ｓ９）。具体的には、例えば、第１の圧力である３３ｋＰａでは電気抵抗値が５０kΩ以下であり、第２の圧力である０ｋＰａでは５MΩ以上である場合にその感圧センサが正常であると判定する。   Thereafter, the first bladder 14c is expanded again (S6), and it is determined by the first pressure sensor 15 whether or not the second pressure is applied to the pressure sensitive sensor 201 (S7). In this embodiment, the second pressure is 0 kPa. When the second pressure is applied to the pressure sensor 201, the electric resistance value of the pressure sensor 201 is measured as the second electric resistance value (S8). And the quality of a pressure sensor is determined from a 1st electrical resistance value and a 2nd electrical resistance value (S9). Specifically, for example, when the first pressure is 33 kPa, the electric resistance value is 50 kΩ or less, and when the second pressure is 0 kPa, the pressure sensor is determined to be normal.

図８には、この抵抗検査方法を実現するためのプログラムを操作するためのソフトウェア画面を示す。作業者は、Ｌｏｔ＃の欄に検査対象のロット番号を入力し、Ｏｐｅｒａｔｏｒの欄に氏名を入力する。検査体１２を筐体１４に収納して、ソフトウェア画面にあるＳｅｔをクリックすると、プログラムが起動し、まず、感圧センサ２０１の電極端子２０２と接続基板１２ｃの接触部１２ｃ１とを第２のブラダ１４ｄにより所定の圧力で押圧する。この実施例ではこの圧力は２０ｋＰａであり、図８ではＴｅｒｍｉｎａｌ Ｐｒｅｓｓｕｒｅとして表示されている。そして、それと同時に第１のブラダ１４ｃにより感圧センサ２０１を第１の圧力で押圧する。この圧力は、図８ではＳｅｎｓｏｒ Ｐｒｅｓｓｕｒｅとして表示される。そして、その状態での各々の感圧センサの電気抵抗値を第１の電気抵抗値として測定する。次に、第１のブラダ１４ｃにより感圧センサ２０１を第２の圧力で押圧する。そして各々の感圧センサの電気抵抗値を第２の電気抵抗値として測定する。その後、プログラムは、第１の電気抵抗値および第２の電気抵抗値に基づき前述したように各々の感圧センサの良否を判定する。そして、感圧センサが不良であると判定された場合、対応するソフトウェア上の画面中の感圧センサを示すセルが変色し、その感圧センサが異常であることを示す。   FIG. 8 shows a software screen for operating a program for realizing this resistance inspection method. The operator inputs the lot number to be inspected in the Lot # column and the name in the Operator column. When the test body 12 is stored in the housing 14 and the user clicks Set on the software screen, the program is started. First, the electrode terminal 202 of the pressure sensor 201 and the contact portion 12c1 of the connection substrate 12c are connected to the second bladder. 14d is pressed at a predetermined pressure. In this embodiment, this pressure is 20 kPa, and is displayed as Terminal Pressure in FIG. At the same time, the pressure sensor 201 is pressed with the first pressure by the first bladder 14c. This pressure is displayed as Sensor Pressure in FIG. Then, the electric resistance value of each pressure sensor in that state is measured as the first electric resistance value. Next, the pressure sensor 201 is pressed with the second pressure by the first bladder 14c. Then, the electric resistance value of each pressure sensitive sensor is measured as the second electric resistance value. Thereafter, the program determines pass / fail of each pressure-sensitive sensor as described above based on the first electric resistance value and the second electric resistance value. When it is determined that the pressure sensor is defective, the cell indicating the pressure sensor in the corresponding software screen changes color, indicating that the pressure sensor is abnormal.

１ 抵抗検査装置
２ ＰＣ
１１ 制御基板
１２ 検査体
１２ａ 下敷き
１２ａ１ ビス
１２ｃ 接続基板
１２ｃ１ 接触部
１３ 温度センサ
１４ 筐体
１４ａ 筐体上部
１４ｂ 筐体下部
１４ｃ 第１のブラダ
１４ｄ 第２のブラダ
１５ 第１圧力センサ
１６ 第２圧力センサ
１７ 第１圧力レギュレータ
１８ 第２圧力レギュレータ
２０ センサアレイ
２０１ 感圧センサ
２０２ 電極端子 1 Resistance inspection device 2 PC
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Control board 12 Test body 12a Underlay 12a1 Screw 12c Connection board 12c1 Contact part 13 Temperature sensor 14 Case 14a Case upper part 14b Case lower part 14c First bladder 14d Second bladder 15 First pressure sensor 16 Second pressure sensor 17 First pressure regulator 18 Second pressure regulator 20 Sensor array 201 Pressure sensitive sensor 202 Electrode terminal

Claims (6)

感圧センサが複数配置されたセンサアレイにおいて、各々の前記感圧センサを検査する装置であって、
複数の前記感圧センサを同時に押圧する第１のブラダと、
前記第１のブラダの空気圧を調節する第１の圧力レギュレータと、
前記第１のブラダの空気圧を検知する第１の圧力センサと、
各々の前記感圧センサの電極端子に接続する接続手段と、
各々の前記感圧センサの電気抵抗値を測定する抵抗測定手段と、
前記第１の圧力レギュレータと前記抵抗測定手段を制御する制御手段と、
各々の前記感圧センサの良否を判定する判定手段とを備えており、
前記制御手段は、
前記第１のブラダが、前記第１の圧力レギュレータおよび前記第１の圧力センサにより第１の圧力で前記感圧センサを押圧するように制御し、前記抵抗測定手段により各々の前記感圧センサの第１の電気抵抗値を測定すると共に、
前記第１のブラダが、前記第１の圧力レギュレータおよび前記第１の圧力センサにより前記第１の圧力とは異なる第２の圧力で前記感圧センサを押圧するように制御し、前記抵抗測定手段により各々の前記感圧センサの第２の電気抵抗値を測定し、
前記判定手段は、
各々の前記感圧センサの前記第１の電気抵抗値および前記第２の電気抵抗値から、当該感圧センサの良否を判定することを特徴とする抵抗検査装置。 In a sensor array in which a plurality of pressure sensors are arranged, an apparatus for inspecting each of the pressure sensors,
A first bladder that simultaneously presses the plurality of pressure sensitive sensors;
A first pressure regulator for adjusting the air pressure of the first bladder;
A first pressure sensor for detecting an air pressure of the first bladder;
Connection means for connecting to the electrode terminals of each of the pressure sensors;
Resistance measuring means for measuring an electric resistance value of each of the pressure sensors;
Control means for controlling the first pressure regulator and the resistance measuring means;
Determination means for determining the quality of each of the pressure sensors,
The control means includes
The first bladder controls the first pressure regulator and the first pressure sensor to press the pressure sensor with a first pressure, and the resistance measuring unit controls each of the pressure sensors. Measuring the first electrical resistance value;
The first bladder is controlled by the first pressure regulator and the first pressure sensor to press the pressure sensitive sensor at a second pressure different from the first pressure, and the resistance measuring means To measure the second electrical resistance value of each of the pressure sensitive sensors,
The determination means includes
A resistance inspection apparatus that determines whether the pressure sensitive sensor is good or bad from the first electric resistance value and the second electric resistance value of each of the pressure sensitive sensors. 前記接続手段は、各々の前記感圧センサの電極端子に弾性的に接触する接触部を有し、
前記抵抗検査装置は、
前記接触部を各々の前記感圧センサの電極端子に対して同時に空気圧により押圧する第２のブラダと、
前記第２のブラダの空気圧を調節する第２の圧力レギュレータと、
前記第２のブラダの空気圧を検知する第２の圧力センサとをさらに備えており、
前記制御手段は、
前記抵抗測定手段が、前記第１の電気抵抗値および前記第２の電気抵抗値を測定する場合に、前記第２のブラダが、前記第２の圧力レギュレータおよび前記第２の圧力センサにより所定の圧力で前記接触部を各々の前記感圧センサの電極端子に対して押圧するように制御することを特徴とする請求項１に記載の抵抗検査装置。 The connection means has a contact portion that elastically contacts an electrode terminal of each of the pressure sensors,
The resistance inspection apparatus includes:
A second bladder that simultaneously presses the contact portion against the electrode terminals of each of the pressure sensors by air pressure;
A second pressure regulator for adjusting the air pressure of the second bladder;
And a second pressure sensor for detecting an air pressure of the second bladder,
The control means includes
When the resistance measuring unit measures the first electric resistance value and the second electric resistance value, the second bladder is controlled by the second pressure regulator and the second pressure sensor. The resistance inspection apparatus according to claim 1, wherein the contact portion is controlled to be pressed against the electrode terminal of each pressure sensor by pressure. 感圧センサが複数配置されたセンサアレイにおいて、各々の前記感圧センサを検査する方法であって、
各々の前記感圧センサを第１のブラダにより同時に第１の圧力で押圧しつつ、前記感圧センサの第１の電気抵抗値を測定する第１工程と、
各々の前記感圧センサを前記第１のブラダにより同時に前記第１の圧力とは異なる第２の圧力で押圧しつつ、前記感圧センサの第２の電気抵抗値を測定する第２工程と、
各々の前記感圧センサの前記第１の電気抵抗値および前記第２の電気抵抗値から当該感圧センサの良否を判断する第３工程とを含むことを特徴とする抵抗検査方法。 In a sensor array in which a plurality of pressure sensors are arranged, a method for inspecting each of the pressure sensors,
A first step of measuring a first electrical resistance value of the pressure sensitive sensor while simultaneously pressing each pressure sensitive sensor with a first bladder with a first pressure;
A second step of measuring a second electric resistance value of the pressure-sensitive sensor while simultaneously pressing each of the pressure-sensitive sensors with the first bladder at a second pressure different from the first pressure;
And a third step of determining pass / fail of the pressure sensitive sensor from the first electric resistance value and the second electric resistance value of each of the pressure sensitive sensors. 前記第１工程、および前記第２工程において、抵抗検査装置の接続部を各々の前記感圧センサの電極端子に対して、第２のブラダにより所定の圧力で押圧することを特徴とする請求項３に記載の抵抗検査方法。   The first step and the second step are characterized in that the connection portion of the resistance inspection device is pressed against the electrode terminal of each of the pressure-sensitive sensors with a predetermined pressure by a second bladder. 3. The resistance inspection method according to 3. 感圧センサが複数配置されたセンサアレイにおいて、前記感圧センサが接続される抵抗測定手段に接続されたコンピュータを用いて、各々の前記感圧センサを検査するためのプログラムであって、
各々の前記感圧センサを第１のブラダにより同時に第１の圧力で押圧するように第１の圧力レギュレータを制御しつつ、前記感圧センサの第１の電気抵抗値を前記抵抗測定手段により測定する第１工程と、
各々の前記感圧センサを前記第１のブラダにより同時に前記第１の圧力とは異なる第２の圧力で押圧するように前記第１の圧力レギュレータを制御しつつ、前記感圧センサの第２の電気抵抗値を前記抵抗測定手段により測定する第２工程と、
各々の前記感圧センサの前記第１の電気抵抗値および前記第２の電気抵抗値から当該感圧センサの良否を判断する第３工程とを前記コンピュータに実行させるための抵抗検査プログラム。 In a sensor array in which a plurality of pressure sensors are arranged, a program for inspecting each of the pressure sensors using a computer connected to resistance measuring means to which the pressure sensors are connected,
A first electrical resistance value of the pressure sensitive sensor is measured by the resistance measuring means while controlling the first pressure regulator so that each of the pressure sensitive sensors is simultaneously pressed by the first bladder with the first pressure. A first step of
While controlling the first pressure regulator so that each of the pressure sensors is simultaneously pressed by the first bladder with a second pressure different from the first pressure, the second pressure sensor A second step of measuring an electrical resistance value by the resistance measuring means;
A resistance inspection program for causing the computer to execute a third step of determining whether the pressure sensitive sensor is good or bad from the first electric resistance value and the second electric resistance value of each of the pressure sensitive sensors. 前記第１工程、および前記第２工程において、抵抗検査装置の接続部を各々の前記感圧センサの電極端子に対して、第２のブラダにより同時に所定の圧力で押圧するように第２の圧力レギュレータを制御する請求項５に記載の抵抗検査プログラム。   In the first step and the second step, a second pressure is applied so that the connection portion of the resistance inspection device is simultaneously pressed with a predetermined pressure by the second bladder against the electrode terminals of the pressure sensors. 6. The resistance inspection program according to claim 5, which controls a regulator.
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