JP2012059928A - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シート貼付装置10は、半導体ウエハWを支持可能な支持面21を有する支持手段11と、接着シートSを支持面21に臨むように繰り出す繰出手段12と、接着シートSに形成された凹部Cの位置を検出する凹部検出手段13と、支持面21に半導体ウエハWを載置するための多関節ロボット15及び搬送アーム82と、支持手段11に支持された半導体ウエハWに接着シートSを押圧して貼付する押圧手段18と備えて構成されている。多関節ロボット15は、凹部検出手段13の検出結果に基づいて作動することにより、凹部中心位置DCと半導体ウエハ中心位置WCとが一致するよう半導体ウエハWを支持面21上に載置する。
【選択図】図1
Description
ここで、特許文献3では、接着シートがウエハの外形に予め切断され、当該接着シートの繰り出し中、検出手段により接着シートの位置ずれを検出し、そのずれ量を補正してウエハと接着シートの外形を略一致させて貼付している。しかしながら、かかる特許文献3にあっては、ずれ量を補正すべくウエハを支持するテーブルを移動させるので、テーブル周りの移動機構等の構成が複雑になる、という不都合を招来する。
本発明の目的は、構造の簡略化を図りつつ、凹部を有する接着シートの当該凹部を被着体の所定の位置に正確に配置し、当該接着シートを被着体に貼付することができるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
前記被着体の他方の面側から当該被着体を支持可能な支持面を有する支持手段と、前記接着シートを前記支持面に臨むように繰り出す繰出手段と、前記支持面に臨むように繰り出された接着シートにおける前記凹部の位置を検出する凹部検出手段と、前記支持面に被着体を載置可能な搬送手段と、前記接着シートを基材シート側から押圧して前記被着体に貼付する押圧手段とを備え、
前記搬送手段は、前記凹部検出手段の検出結果に基づいて、前記凹部が前記被着体の所定の位置に配置されて前記接着シートが貼付されるように当該被着体を前記支持面上に載置する、という構成を採っている。
前記搬送手段は、前記被着体検出手段の検出結果に基づいて、前記凹部が前記被着体の所定の位置に貼付されるように当該被着体を前記支持面上に載置する、という構成も好ましくは採用される。
前記接着シートを支持面に臨むように繰り出す工程と、
前記支持面に臨むように繰り出された接着シートにおける前記凹部の位置を検出する工程と、
前記凹部の検出結果に基づいて、前記凹部が前記被着体の所定の位置に配置されて前記接着シートが貼付されるように当該被着体を前記支持面上に載置する工程と、
前記接着シートを基材シート側から押圧して前記被着体に貼付する工程とを備える、という方法を採っている。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「上」、「下」は、図1を基準として用いる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
また、接着シートSが所定の間隔を隔てて剥離シートRLの一方の面に仮着された原反であって、当該接着シートSに凹部Cが形成されている場合、凹部検出手段の替わりに凹部Cの外周に形成された凸部を検出可能な凸部検出手段を採用することもできる。
11 支持手段
12 繰出手段
13 凹部検出手段
15 多関節ロボット
18 押圧手段
78 カッター刃
82 搬送アーム
90 被着体検出手段
AD 接着剤層
BS 基材シート
C 凹部
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (5)
- 基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、当該接着剤層に所定間隔毎に凹部が形成された接着シートを被着体の一方の面に貼付するシート貼付装置において、
前記被着体の他方の面側から当該被着体を支持可能な支持面を有する支持手段と、前記接着シートを前記支持面に臨むように繰り出す繰出手段と、前記支持面に臨むように繰り出された接着シートにおける前記凹部の位置を検出する凹部検出手段と、前記支持面に被着体を載置可能な搬送手段と、前記接着シートを基材シート側から押圧して前記被着体に貼付する押圧手段とを備え、
前記搬送手段は、前記凹部検出手段の検出結果に基づいて、前記凹部が前記被着体の所定の位置に配置されて前記接着シートが貼付されるように当該被着体を前記支持面上に載置することを特徴とするシート貼付装置。 - 前記被着体に貼付された接着シートを切断可能な切断手段を有することを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。
- 前記被着体の位置を検出する被着体検出手段を含み、
前記搬送手段は、前記被着体検出手段の検出結果に基づいて、前記凹部が前記被着体の所定の位置に貼付されるように当該被着体を前記支持面上に載置することを特徴とする請求項1又は2記載のシート貼付装置。 - 前記切断手段は、前記凹部検出手段又は前記被着体検出手段の検出結果に基づいた形状に前記接着シートを切断可能に設けられていることを特徴とする請求項2又は3記載のシート貼付装置。
- 基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、当該接着剤層に所定間隔毎に凹部が形成された接着シートを被着体の一方の面に貼付するシート貼付方法において、
前記接着シートを支持面に臨むように繰り出す工程と、
前記支持面に臨むように繰り出された接着シートにおける前記凹部の位置を検出する工程と、
前記凹部の検出結果に基づいて、前記凹部が前記被着体の所定の位置に配置されて前記接着シートが貼付されるように当該被着体を前記支持面上に載置する工程と、
前記接着シートを基材シート側から押圧して前記被着体に貼付する工程とを備えていることを特徴とするシート貼付方法。
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