JP2012021889A - 光照射装置及び調光方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査対象Wに光を照射する光照射機構1と、所定のPWM周期で点灯期間及び消灯期間を交互に繰り返すPWM制御により、前記光照射機構を所定の明るさに制御するPWM制御部2と、を備え、ラインセンサカメラの各ライン周期に含まれる前記点灯期間が、1期間分又は数期間分であり、前記PWM周期が、前記ライン周期と同期しているとともに、受光素子が1ライン周期に撮像する1画素のアスペクト比が大きくなるほど、1ライン周期に含まれる前記点灯期間の数が多くなるように設定した。
【選択図】図1
Description
1・・・光照射機構
21・・・PWM制御部
C1、C2、C3、C4・・・ラインセンサカメラ
Claims (5)
- 1ラインの撮像が行われる間隔である所定のライン周期を有するとともに、複数の受光素子を一列に並べて構成されたラインセンサカメラに対して相対移動する検査対象を所定の明るさで撮像するために用いられる光照射装置であって、
前記検査対象に光を照射する光照射機構と、
所定のPWM周期で点灯期間及び消灯期間を交互に繰り返すPWM制御により、前記光照射機構を所定の明るさに制御するPWM制御部と、を備え、
各ライン周期に含まれる前記点灯期間が、1期間分又は数期間分であり、
前記PWM周期が、前記ライン周期と同期しているとともに、前記受光素子が1ライン周期に撮像する1画素のアスペクト比が大きくなるほど、1ライン周期に含まれる前記点灯期間の数が多くなるように設定されていることを特徴とする光照射装置。 - 前記点灯期間が開始されるタイミングと、前記ラインセンサカメラが撮像を開始するタイミングと、が揃えられている請求項1記載の光照射装置。
- 前記受光素子が正方形状のものであり、当該受光素子が1ライン周期に撮像する1画素のアスクペクト比が1:nである場合に、1ライン周期に含まれる前記点灯期間の数がnの少数点以下を切り上げた数となるように前記PWM周期が設定される請求項1又は2記載の光照射装置。
- 1ライン周期に含まれる前記点灯期間の長さの合計が一定値となるように設定されている請求項1、2又は3記載の光照射装置。
- 1ラインの撮像が行われる間隔である所定のライン周期を有するとともに、複数の受光素子を一列に並べて構成されたラインセンサカメラに対して相対移動する検査対象を所定の明るさで撮像するために用いられる光照射装置であり、前記検査対象に光を照射する光照射機構と、所定のPWM周期で点灯期間及び消灯期間を交互に繰り返すPWM制御により、前記光照射機構を所定の明るさに制御するPWM制御部と、を備えた光照射装置の調光方法であって、
各ライン周期に含まれる前記点灯期間を、1期間分又は数期間分とし、
前記PWM周期が、前記ライン周期と同期するとともに、前記受光素子が1ライン周期に撮像する1画素のアスペクト比が大きくなるほど、1ライン周期に含まれる前記点灯期間の数が多くなるように設定される設定ステップを備えたことを特徴とする調光方法。
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