JP2011151222A - 印刷装置および印刷方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】1つの印刷ステージ20に対して互いに異なる2つの搬送レーン(つまり、コンベア31A、21A、32Aの搬送経路と、コンベア31B、21B、32Bの搬送経路)が設けられた、いわゆるデュアルレーン構造を有しており、この印刷ステージ20に2つの基板1A、1Bを固定することが可能となっている。そして、基板1Aに対する被印刷パターンの位置ズレと、基板1Bに対する被印刷パターンの位置ズレとの相対差(相対精度差)が許容範囲内である、しかも、印刷ステージ20に固定された基板1A、1Bの相対的な位置ズレ量(相対位置ズレ量)が許容値以下であるときには、1回のスキージ移動により基板1A、1Bへのペースト印刷が一括して行われる。
【選択図】図1
Description
dX=XA−XB
dY=YA−YB
dθ=θA−θB
にしたがって演算する。なお、こうして演算された結果は基板1A、1Bに形成された被印刷パターンの相対的なズレを正確に示していることから、後述するように一括印刷の可否判定基準に利用することができる。
XA=X1A+X2A
YA=Y1A+Y2A
θA=θ1A+θ2A
XB=X1B+X2B
YB=Y1B+Y2B
θB=θ1B+θ2B
に設定することができる。
dXS=XSA−XSB
dYS=YSA−YSB
dθS=θSA−θSB
にしたがって相対位置ズレ量を演算する。
図6は第1交互印刷処理の動作を示すフローチャートである。この第1交互印刷処理では、図6および図9に示すように、搬入コンベア31A、31Bに設けられたストッパのうち搬入コンベア31Aのストッパを搬入コンベア31Aによる基板1Aの搬送路よりも下方に退避させて基板1Aのみを印刷ステージ20の搬送部21Aに搬送する。印刷ステージ20では、搬送部21Aにより搬送される基板1Aが搬送部21Aのストッパで係止されて固定位置で移動停止させられた後、図9(a)の下段に示すように印刷ステージ20の保持機構部により固定される(ステップS401)。
図7は第2交互印刷処理の動作を示すフローチャートである。第2交互印刷処理(ステップS9)を開始する時点では、図10(a)に示すように、印刷ステージ20には2枚の基板1A、1Bがそれぞれ固定位置で固定されているが、上記したように基板1A、1B間で大きな位置ズレが生じている。そこで、図7に示す動作フローで装置各部が制御される。まず、保持機構部による基板1Bの固定を解除した(ステップS901)後、既にステップS6、S7を実行した際に取得されたマスク51下面のフィデューシャルマークと基板1AのフィデューシャルマークFM1、FM2に関する位置情報に基づき印刷ステージ20をX軸方向、Y軸方向およびR軸方向に移動させてマスク51下面のフィデューシャルマークと基板1AのフィデューシャルマークFM1、FM2とが一致するように水平面内でのマスク51に対する基板1Aの位置を補正する。また、マスク51に対する基板1Aの位置決め開始と同時に、可動板22を上昇させて基板1Aを印刷位置に向けて上昇させ、マスク51に対する基板1Aの位置決めが完了した状態で、基板1Aをマスク51下面に密着させる(ステップS902)。その後、第1交互印刷処理におけるステップS404〜S408と同様にして基板1Aへのペースト印刷、基板1Aの搬出を行う(ステップS903〜S907:図10(b)、(c))。
図8は一括印刷処理の動作を示すフローチャートである。この一括印刷処理(ステップS10)を開始する時点では、相対位置ズレ量が許容値以下であり、2枚の基板1A、1Bは互いに大きな位置ズレもなく印刷ステージ20に固定されている。また、相対精度差dX、dY、dθがそれぞれ許容値X0、Y0、θ0以下となっている。したがって、基板1A、1Bをマスク51に対して容易に、しかも高精度に位置合せすることが可能となっている。より具体的には、既に算出された種々の情報(マスク51下面のフィデューシャルマークと基板1A、1BのフィデューシャルマークFM1、FM2に関する位置情報、相対位置ズレ量、ズレ情報など)に基づき印刷ステージ20をX軸方向、Y軸方向およびR軸方向に移動させてマスク51下面のフィデューシャルマークと基板1A、1BのフィデューシャルマークFM1、FM2とが一致するように水平面内でのマスク51に対する基板1A、1Bの位置を補正する。
条件(1):基板1Aに対する被印刷パターンの位置ズレと、基板1Bに対する被印刷パターンの位置ズレとの相対差(相対精度差)が許容範囲内である、
条件(2):印刷ステージ20に固定された基板1A、1Bの相対的な位置ズレ量(相対位置ズレ量)が許容値以下である、
がともに満足されるとき、1回のスキージ移動により基板1A、1Bへのペースト印刷を一括して行っている。したがって、特許文献1に記載の装置に比べて簡素な構成で、高精度で、しかも効率的な印刷を行うことができる。
A:歪み量は小のランク、
BR:歪み量は中で、形成方向に対し右奥方向にオフセットしているランク、
BC:歪み量は中で、形成方向奥行き方向にオフセットしているランク、
BL:歪み量は中で、形成方向に対し左奥方向にオフセットしているランク、
CR:歪み量は大で、形成方向に対し右奥方向にオフセットしているランク、
CL:歪み量は大で、形成方向に対し左奥方向にオフセットしているランク、
にクラス分けすることができる。そこで、基板1A、1Bを作成した際に、上記ランク情報を「基板のズレ情報」としてズレ情報画像MIに反映させてもよい。この場合、ズレ情報画像MIを撮像し、そのズレ情報画像MIを解析することで各基板1A、1Bのランクを正確に読み取ることが可能となっており、ランクの組み合わせ(基板1Aのランク、基板1Bのランク)により基板1A、1Bに形成された被印刷パターンの相対的なズレを正確に求めることができる。例えば組み合わせ(A、A)、(BC、BC)、(BR、BR)、(CR、CR)などの場合、基板1Aに対する被印刷パターンの位置ズレと、基板1Bに対する被印刷パターンの位置ズレとの相対差(相対精度差)が小さく、許容範囲内にあると判定することができる。一方、組み合わせ(CR、CL)などの場合、相対精度差が大きく、許容範囲を超えていると判定することができる。
20…印刷ステージ
21A,21B…搬送部
23…駆動ユニット群(位置決め機構部)
40…制御ユニット(制御手段)
41…演算処理部(制御手段)
53a、53b…開口パターン
50…マスククランプユニット(マスク保持手段)
61…基板カメラ部(第2撮像手段)
64A、64B…待機位置カメラ(第1撮像手段)
70…スキージユニット(印刷手段)
FM1、FM2…フィデューシャルマーク
MI…ズレ情報画像
P…ペースト
Claims (6)
- 第1被印刷パターンを有する第1基板を第1方向に搬送する第1基板搬送手段と、
第2被印刷パターンを有する第2基板を前記第1方向に搬送する第2基板搬送手段と、
前記第1基板搬送手段により搬入される前記第1基板と、前記第2基板搬送手段により搬入される前記第2基板とを保持する印刷ステージと、
前記第1被印刷パターンに対応する第1開口パターンと前記第2被印刷パターンに対応する第2開口パターンとを有するマスクを、前記印刷ステージに保持された前記第1基板および前記第2基板の上方で保持するマスク保持手段と、
前記第1開口パターンを介して前記第1基板の前記第1被印刷パターンにペーストを印刷し、前記第2開口パターンを介して前記第2基板の前記第2被印刷パターンにペーストを印刷する印刷手段と、
前記第1基板に対する前記第1被印刷パターンの位置ズレと、前記第2基板に対する前記第2被印刷パターンの位置ズレとの相対差が第1許容範囲内にあるときには前記印刷手段により前記第1基板および前記第2基板へのペーストの印刷を一括して行う一方、前記第1許容範囲を超えるときには前記印刷手段により前記第1基板へのペーストの印刷を行った後に前記第2基板へのペーストの印刷を行う制御手段と
を備えたことを特徴とする印刷装置。 - 前記第1基板および前記第2基板の各々に付された、前記位置ズレを示すズレ情報画像を撮像する第1撮像手段をさらに備え、
前記制御手段は前記第1撮像手段により撮像された前記ズレ情報画像から得られる前記第1基板および前記第2基板の前記位置ズレに基づき前記相対差を求める請求項1に記載の印刷装置。 - 前記印刷ステージに保持された前記第1基板および前記第2基板の各々に付されたマークを撮像する第2撮像手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記第1基板に対する前記第1被印刷パターンの位置ズレと、前記第2基板に対する前記第2被印刷パターンの位置ズレとの相対差が第1許容範囲内にあるときであっても、前記第2撮像手段により撮像された前記マークの位置情報から前記第1基板の位置ズレおよび前記第2基板の位置ズレを求め、前記第1基板の位置ズレと前記第2基板の位置ズレとの相対差が第2許容範囲を超えるときには前記印刷手段により前記第1基板へのペーストの印刷を行った後に前記第2基板へのペーストの印刷を行う請求項1または2に記載の印刷装置。 - 前記印刷ステージは、可動部と、前記可動部上で前記第1基板搬送手段により搬入された前記第1基板を前記第1方向に搬送する第1搬送部と、前記可動部上で前記第2基板搬送手段により搬入された前記第2基板を前記第1方向に搬送する第2搬送部と、前記可動部を駆動して前記マスクに対して前記第1基板および前記第2基板を位置決めする位置決め機構部とを有する請求項1ないし3のいずれか一項に記載の印刷装置。
- 前記第1基板は第1搬送治具に位置決め固定されるとともに、前記第2基板は第2搬送治具に位置決め固定され、
前記第1基板搬送手段は前記第1搬送治具を前記印刷ステージに搬送し、
前記第2基板搬送手段は前記第2搬送治具を前記印刷ステージに搬送し、
前記制御手段は、前記第1搬送治具および前記第2搬送治具を保持しながら前記第1基板および前記第2基板に対して前記ペーストを前記印刷手段により印刷する請求項1ないし4のいずれか一項に記載の印刷装置。 - 第1被印刷パターンを有する第1基板を第1基板搬送手段により印刷ステージに搬送し、第2被印刷パターンを有する第2基板を第2基板搬送手段により前記印刷ステージに搬送して前記印刷ステージで前記第1基板と前記第2基板とを保持する工程と、
前記第1被印刷パターンに対応する第1開口パターンと前記第2被印刷パターンに対応する第2開口パターンとを有するマスクを、前記印刷ステージの上方に配置する工程と、
前記第1基板に対する前記第1被印刷パターンの位置ズレと、前記第2基板に対する前記第2被印刷パターンの位置ズレとの相対差を求める工程と、
前記相対差が第1許容範囲内にあるときには前記第1開口パターンを介する前記第1被印刷パターンへのペーストの印刷と前記第2開口パターンを介する前記第2被印刷パターンへのペーストの印刷を一括して行う一方、前記第1許容範囲を超えるときには前記第1開口パターンを介して前記第1被印刷パターンにペーストを印刷した後に前記第2開口パターンを介して前記第2被印刷パターンにペーストを印刷する工程と
を備えたことを特徴とする印刷方法。
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