JP2011007743A - プローブカード及び検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査対象物の電極に接触させる複数のプローブと、当該プローブとテスタとを電気的に接続する電源チャネルとを備えたプローブカード及び検査装置である。各電源チャネルをそれぞれ複数の電源配線部に分岐させて前記各プローブにそれぞれ接続させると共に、過電流等の電気的変動に基づいて前記電源配線部を遮断する自動切り替え機構と、前記検査対象物の中に不良品が存在することによって前記電気的変動が生じた場合に、その電気的変動を検出する電気的変動検出機構と、当該電気的変動検出機構で電気的変動を検出した時、当該電気的変動が生じた電源配線部を前記自動切り替え機構で遮断させる制御機構と、を備えた。
【選択図】 図3
Description
本実施形態の検査装置は、各電源チャネルをプローブカード上でそれぞれ複数に分岐して、複数のICチップに接続させてテスト電源を供給することで、複数のICチップを同時に測定する装置であって、検査中のICチップの異常を検出して、異常が検出されたICチップへのテスト電源を遮断する検出機能をプローブカード上に備えものである。この検査装置のプローブカード上の回路には、後述する自動切り替え機構、電気的変動検出機構及び制御機構として機能する素子が組み込まれている。これにより、不良チップが有る場合、その不良チップに印加されたテスト電源を遮断して、不良チップと共通の電源チャネルから分岐した他のチップへのノイズ等の影響を遮断するものである。なお、テスト電源とは、検査対象のICチップを検査のために駆動する駆動電源や検査信号等の、プローブを介してICチップの電極に印加される種々の電源をいう。
次に、前記基本例1に基づく具体的な実施例1を図4に基づいて説明する。本実施例1のプローブカード10上の全体的な回路構成は、上述した基本例1とほぼ同様であるため、同一部材には同一符号を付してその説明を省略する。本実施例1では、電源リレー14−1〜14−4のテスタ18側に、直列に抵抗体22−1〜22−4で設けられている。さらに、電源リレー14−1〜14−4のプローブ19側に検出リレー23−1〜23−4の一方が接続されている。検出リレー23−1〜23−4の他方は、テスタ18の電源センス線25と、制御機構16の差動アンプ26の一方に接続されている。差動アンプ26の他方は、テスタ18の電源フォース線27に接続され、各電源配線部13−1〜13−4での電圧の変化を監視する。差動アンプ26は、FAIL DA28と共にFAILコンパレータ29に接続されている。FAILコンパレータ29は、差動アンプ26の出力電位がFAIL DA28の設定電位よりも高くなると、FPGA30に信号を出力する。FPGA30は、FAILコンパレータ29の信号出力に基づいて電源リレー14−1〜14−4を制御する。
次に、基本例2について説明する。基本例2の全体構成は、上述した基本例1とほぼ同様であるため、同一部材には同一符号を付してその説明を省略する。
次に、実施例2について説明する。本実施例2は、図6に示すように、オペアンプ32−1〜32−4の、非反転増幅回路としての機能を利用したものである。テスタ18の電源は、オベアンプのVcc端子に接続される。オペアンプ32−1の出力側の電源配線部16−1は、抵抗22−1を通して電源配線部17−1に接続され、この電源配線部17−1は、オペアンプ32−1の“−端子”に接続される。またオペアンプ32−1の“+端子”には、電源配線部13−1が接続され、基準電源18Aの電圧が供給されている。そのため、オペアンプの非反転増幅回路の特性より、オペアンプ32−1のVccからの電力供給をもとに、電源配線部17−1へ電力が出力され、且つ電源配線部17−1の電圧は、オペアンプ32−1に入力される基準電源18Aの電圧と等しい値の電圧が出力される。このとき、前記基本例2の電圧検出機構33−1〜33−4は、本実施例図6の16−1〜16−4に相当する。
次に、実施例3について説明する。本実施例3は、前記実施例2のオペアンプ32−1〜32−4の代わりに、図7に示すように、電流検出機能付きのオペアンプ41−1〜41−4を用いた。これにより、差動アンプ26等は不要となり、制御機構16はFPGA30のみで構成した。
検査対象物としては、1つのウエハ中の複数のチップに限らず、分割された複数のチップ等の種々の態様のものあるが、これらすべてに本願発明を適用することができる。
Claims (5)
- 1又は複数の検査対象物の複数の電極にそれぞれ接触させる複数のプローブと、当該複数のプローブとテスタとを電気的にそれぞれ接続して、前記テスタからのテスト電源を前記検査対象物の複数の電極へそれぞれ供給する電源チャネルとを備えたプローブカードにおいて、
前記各電源チャネルにそれぞれ設けられ、当該各電源チャネルをそれぞれ複数の電源配線部に分岐させて前記各プローブにそれぞれ接続させると共に、過電流等の電気的変動に基づいて前記電源配線部を遮断する自動切り替え機構と、
当該自動切り替え機構による分岐後の各電源配線部にそれぞれ設けられ、前記1又は複数の検査対象物の中に不良品が存在することによって前記電気的変動が生じた場合に、その電気的変動を検出する電気的変動検出機構と、
当該電気的変動検出機構で前記電気的変動を検出した時、当該電気的変動が生じた電源配線部を前記自動切り替え機構で遮断させる制御機構と、
を備えたことを特徴とするプローブカード。 - 請求項1に記載のプローブカードにおいて、
前記電気的変動検出機構が、前記電源配線部での電流又は電圧の変動を検出することを特徴とするプローブカード。 - 請求項1又は2に記載のプローブカードにおいて、
前記自動切り替え機構が、前記各電源配線部にそれぞれ設けられ、前記電気的変動に基づいて当該電源配線部を開閉するリレースイッチで構成されたことを特徴とするプローブカード。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のプローブカードにおいて、
前記電気的変動検出機構が、前記各電源配線部にそれぞれ接続されて前記制御機構によって順次切り替えられる複数のリレースイッチと、当該各リレースイッチにそれぞれ接続され前記電源配線部に接続されたリレースイッチの出力電圧と基準電圧とを比較し当該出力電圧が変化した場合に信号を出力する差動アンプと、当該差動アンプの出力電圧と基準電圧とを比較し当該出力電圧が大きく変化したとき当該電源配線部を遮断するための信号を出力するコンパレータとから構成されたことを特徴とするプローブカード。 - 請求項1に記載のプローブカードにおいて、
前記各電源配線部にそれぞれ設けられ、各電源配線部の前記電気的変動に基づいて当該電源配線部を遮断するためのシャットダウン端子を備えると共に、前記各電源配線部に前記電気的変動が生じた場合に、当該電気的変動を検出して前記シャットダウン端子を制御するための信号を出力するオペアンプによって、前記自動切り替え機構及び電気的変動検出機構を実現することを特徴とするプローブカード。
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