JP2010184405A - 液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置及びノズルプレートの製造方法 - Google Patents
液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置及びノズルプレートの製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】インク液室を有する液室基板と、インク液室に連通する複数のノズル孔が配列されるノズルプレートと、インク液室に圧力を印加して、インク液室内のインク液をノズル孔から液滴として吐出させる吐出手段とを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、ノズル孔の液室基板側の断面形状を、ノズル孔の配列方向に対して長円ないし楕円形状を有するとともに、ノズル孔の吐出側の断面形状は、ノズル孔の配列方向に沿う開口径がインク液室側の開口径よりも小径とする。
【選択図】図4
Description
101 ノズル孔
102 液室基板
103 連通孔
104 インク液室
105 振動基板
106 振動板
107 圧電素子
108 アクチュエータ基板
Claims (9)
- インク液室を有する液室基板と、
前記インク液室に連通する複数のノズル孔が配列されるノズルプレートと、
前記インク液室に圧力を印加して、インク液室内のインク液を前記ノズル孔から液滴として吐出させる吐出手段とを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、
前記ノズル孔の前記液室基板側の断面形状が、前記ノズル孔の配列方向に対して長円ないし楕円形状を有するとともに、前記ノズル孔の吐出側の断面形状は、前記ノズル孔の配列方向に沿う開口径がインク液室側の開口径よりも小径であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 前記ノズル孔の配列方向と直行する方向のインク液室側と吐出側の開口径が同径であることを特徴とする請求項1記載の液滴吐出ヘッド。
- 前記ノズル基板は、ポリイミドフィルムによって形成されることを特徴とする請求項1又は2記載の液滴吐出ヘッド。
- 請求項1から3のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とするインクカートリッジ。
- 請求項1から3のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とするインクジェット記録装置。
- インク液室に連通する複数のノズル孔が配列されるノズルプレートにおいて、
前記ノズル孔の前記インク液室側の断面形状が、前記ノズル孔の配列方向に対して長円ないし楕円形状を有するとともに、前記ノズル孔の吐出側の断面形状は、前記ノズル孔の配列方向に沿う開口径がインク液室側の開口径よりも小径となるように、レーザ光を1パルス照射毎に前記ノズルプレートを所定距離だけ前記ノズル孔の配列方向に平行に移動させて、再び照射と前記ノズルプレートの同一方向への移動とを繰り返して前記ノズル孔を形成することを特徴とするノズルプレートの製造方法。 - 波長変換されたYAGレーザを用いて前記ノズル孔を形成することを特徴とする請求項6記載のノズルプレートの製造方法。
- 前記ノズル孔を形成する際に、前記レーザ光の照射中も前記移動時と同速度でノズルプレートを移動することで、前記ノズルプレートに配置された少なくとも一列のノズル孔を定速度で移動させながら形成することを特徴とする請求項6又は7記載のノズルプレートの製造方法。
- 前記レーザ光は、マスクを透過した後に前記ノズルプレートに照射され、
前記レーザ光の断面形状はマスクの開口パターンによって形成されることを特徴とする請求項6から8のいずれか1項に記載のノズルプレートの製造方法。
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