JP2009542438A - 半導体生産ラインでの自動交替式副産物捕集装置及びその制御方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記ケース内部で中央の垂直軸上に一定角度をおいて、固定設置された状態でモータの駆動方向に応じて上プレート及び下プレートの間で左、右に回動し副産物流入口及び副産物排出口と洗浄水供給口及び洗浄水排出口、乾燥気体供給口及び乾燥気体排気口に各々連結された状態でいずれか一つから副産物を捕集して残りは清掃が反復的になされる数個のトラップユニットと、
中央部は前記トラップユニットが固定された垂直軸が貫通する形態で軸支されて前記トラップユニットに各々位置する所で上蓋体及び下蓋体と一定間隔をおいて連結された形態をもつ副産物流入口及び副産物排出口と洗浄水供給口及び洗浄水排出口、乾燥気体供給口及び乾燥気体排気口を具備して前記ケースの上部及び下部からトラップユニット等の上開口部及び下開口部に接触され各々のトラップユニットに副産物流入口及び副産物排出口と洗浄水供給口及び洗浄水排出口、乾燥気体供給口及び乾燥気体排気口を選択的に連結させる上プレート及び下プレートと、
前記トラップユニット等の上開口部及び下開口部に収縮及び伸長可能に設置され平常時には伸長を通じて前記上プレート及び下プレートとユニット等の間で気密を維持させて、トラップユニット等を一定方向に回動させる際には収縮しトラップユニット等を円滑に回動させるトラップとプレート連結及び分離手段と、
前記垂直の低端部に軸が連結した状態で下プレートの底面に固定設置され制御部の出力信号に応じて正、逆方向に回動し前記トラップユニット等を一定の角度範囲内で回転させるサーボモータと、
前記副産物流入口とケース上に各々設置され現在副産物を捕集しているトラップユニット及びケース内の圧力を各々検出し表示すると同時に検出圧力信号を制御部に各々伝達しトラップユニットの交替時期を知らせる圧力ゲージと、
前記副産物流入口及び副産物排出口上に各々設置され特定トラップユニットに流入されたり該当トラップユニットを通じて排出されたりする副産物の流入及び排出を制御する上、下部隔離バルブと、
前記洗浄水供給口及び洗浄水排出口と乾燥気体供給口及び乾燥気体排気口に各々設置され洗浄水及び乾燥気体の供給及び排出を制御する洗浄水供給バルブ及び洗浄水排出バルブと乾燥気体供給バルブ及び乾燥気体排気バルブと、
制御プログラムと洗浄水及び乾燥気体供給時間設定用タイマ及び洗浄回数と圧力設定部とを具備して、前記サーボモータとトラップとプレート連結及び分離手段及び各種バルブの駆動を制御する制御部とで構成したことを基本的な特徴とする。
現在作動中のトラップユニットの引き入れ及び排出圧力差を比較した結果、設定値以下なら清掃後大気中の一側及び他側のトラップユニットに連結された乾燥気体排気バルブと下部隔離バルブを閉じて、トラップとプレート連結及び分離手段が収縮するよう作動させ各トラップユニットの上部及び下部を上プレート及び下プレートから離隔させる段階と、
サーボモータを定められた方向へ駆動させトラップユニット等の位置を変化させた後トラップとプレート連結及び分離手段が伸長するよう作動させ各々のトラップユニットの上部及び下部が上プレート及び下プレートと密着し気密を維持する段階と、
上部隔離バルブ及び下部隔離バルブを各々開いて以前に副産物が捕集された状態を備えるトラップユニット内に一定量の洗浄水を供給して設定時間の間その状態を維持させた後、洗浄水排出バルブを開いて洗浄水を排出する過程を設定回数だけ反復する段階と、
各々のトラップユニットの外側に設置された熱電素子等を設定時間だけ駆動させトラップユニット等をヒーティングさせると同時に乾燥気体供給バルブ及び洗浄水排出バルブを開く段階と、
設定時間が経過するとヒーティングを遮断して乾燥気体供給バルブ及び洗浄水排出バルブを閉じて洗浄を完了する段階とからなることを特徴とする。
ケース4内部で中央の垂直軸11上に固定具11’により一定角度をおいて固定設置された状態でサーボモータ9の駆動方向に従い上プレート及び下プレート6,7の間で正方向または逆方向に回動し、副産物流入口及び副産物排出口43、44と洗浄水供給口及び洗浄水排出口45、46、乾燥気体供給口及び乾燥気体排気口47、48に各々連結された状態でいずれか一個に副産物を捕集して残りは清掃が反復的になされる数個のトラップユニット5と、
中央部はトラップユニット5が固定された垂直軸11が貫通する形態で軸支されて、トラップユニット5に各々位置する所で上蓋体及び下蓋体41、42と一定間隔をおいて連結された形態を備える副産物流入口及び副産物排出口43、44と洗浄水供給口及び洗浄水排出口45、46、乾燥気体供給口及び乾燥気体排気口47、48を具備してケース4の上部及び下部でトラップユニット5等の上開口部及び下開口部に接触し各々のトラップユニット5の上開口部及び下開口部に副産物の流入口及び排出口43、44と洗浄水供給口及び洗浄水排出口45、46、乾燥気体供給口及び乾燥気体排気口47、48を選択的に連結させる上プレート及び下プレート6,7と、
トラップユニット5等の上開口部及び下開口部に収縮及び伸長可能に設置され、平常時には伸長して上プレート及び下プレート6、7とトラップユニット5等との間で気密を維持させて、トラップユニット5等を一定方向に回動させる時には収縮しトラップユニット5等が上プレート及び下プレート6,7と接触しないで円滑に回動させるトラップとプレート連結及び分離手段8と、
垂直軸11の低端部に軸が連結された状態で下プレート7の底面に固定設置され制御部10の出力信号に従い正方向または逆方向に回動し、トラップユニット5等を一定の角度範囲内で回転させるサーボモータ9と、
副産物流入口43とケース4上に各々設置され、現在副産物を捕集しているトラップユニット5及びケース4内の圧力を各々検出し表示すると同時に検出圧力信号を制御部10に各々伝達しトラップユニット5の交替時期を知らせる圧力ゲージ12、13と、
副産物流入口及び副産物排出口43、44上に各々設置され、特定トラップユニット5に流入されたり該当トラップユニット5を通じて排出されたりする副産物の流入及び排出を制御する上部隔離バルブ及び下部隔離バルブ14、15と、
洗浄水供給口及び洗浄水排出口45、46と乾燥気体供給口及び乾燥気体排気口47、48に各々設置され洗浄水及び乾燥気体の供給及び排出を制御する洗浄水供給バルブ及び洗浄水排出バルブ16、17と乾燥気体供給バルブ及び乾燥気体排気バルブ18、19と、
制御プログラムの実行によりサーボモータ9とトラップとプレート連結及び分離手段8及び各種バルブ等の駆動を制御する制御部10とから構成されたことを特徴とする。
外側にエンコーダモータ81のローター82とねじ結合されるねじ部831を具備してエンコーダモータ81のローター82の内側に設置されエンコーダモータ81の駆動方向に応じてベローズ84を収縮及び伸長させ上プレート及び下プレート6,7と密着したりそこから離隔するベローズハウジング83と、
外側端部はベローズハウジング83の内側上端または下端部に溶接固定されて内側端部はトラップユニット5の上開口部及び下開口部内側に溶接固定された形態で設置されエンコーダモータ81のローター82と結合されたベローズハウジング83の昇降移動方向及び移動距離に応じて収縮及び伸長しベローズハウジング83とトラップユニット5との間の気密状態を維持させるベローズ84と、
ローター82とねじ結合されたベローズハウジング83の端部とトラップユニット5の上面及び下面との間に弾力的に設置されるスプリング85と、
ベローズハウジング83の外側上面及び下面に各々結合されベローズハウジング83と上プレート及び下プレート6,7間の接触部を密閉させるOリング86から構成されたことを特徴とする。
現在作動中のトラップユニット6の引き入れ及び排出圧力差(pg1−pg2=pg)を比較した結果、設定値以下(│pg│<設定値)なら清掃後待機中の一側及び他側のトラップユニット5に連結された乾燥気体排気バルブ19と下部隔離バルブ15を閉じて、トラップとプレート連結及び分離手段8が収縮するよう作動させ各トラップユニット5の上部及び下部を上プレート及び下プレート6,7から離隔させる段階と、
サーボモータ9を定められた方向に駆動させトラップユニット5等の位置を変化させた後トラップとプレート連結及び分離手段8が伸長するよう作動させ各々のトラップユニット5の上部及び下部が上プレート及び下プレート6,7と密着され気密を維持させる段階と、
上部及び下部の隔離バルブ14、15を各々開いて、以前に副産物が捕集された状態のトラップユニット5内に一定量の洗浄水を供給して設定された時間(例えば2〜5分)の間その状態を維持させた後、洗浄水排出バルブ17を開いて洗浄水を排出する過程を設定回数(例えば4〜6回)だけ反復する段階と、
各々のトラップユニット5の外側に設置された熱電素子20等を設定時間(例えば20〜30分)だけ駆動させトラップユニット5等をヒーティングさせると同時に乾燥気体供給バルブ18及び洗浄水排出バルブ17を開く段階と、
設定時間が経過するとヒーティングを遮断して乾燥気体供給バルブ18及び洗浄水排出バルブ17を閉じて洗浄を完了する段階とからなることを特徴とする。
2 真空ポンプ
4 ケース
5 トラップユニット
6,7 上プレート及び下プレート
8 トラップとプレート連結及び分離手段
9 サーボモータ
10 制御部
11 垂直軸
11’ 固定具
12、13 圧力ゲージ
14、15 上部隔離バルブ及び下部隔離バルブ
16、17 洗浄水供給バルブ及び洗浄水排出バルブ
18、18’、19、19’ 乾燥気体供給バルブ及び乾燥気体排気バルブ
20 熱電素子
41、42 上蓋体及び下蓋体
43、44 副産物流入口及び副産物排出口
45、46 洗浄水供給口及び洗浄水排出口
47、47’、48、48’ 乾燥気体供給口及び乾燥気体排気口
81 エンコーダモータ
82 ローター
83 ベローズハウジング
84 ベローズ
85 スプリング
86 Oリング
101 圧力差比較部
102 洗浄水供給時間設定用タイマ
103 乾燥気体供給時間設定用タイマ
104 洗浄回数設定部
105 圧力設定部
821 ねじ山
831 ねじ部
Claims (15)
- 半導体生産ライン上で発生する副産物を捕集する自動交替式副産物捕集装置であって、各種の副産物を捕集するトラップが上部及び下部が開いたケースの内部に設けられ、副産物の流入口及び排出口を具備した蓋体が上開口部及び下開口部を密閉するようにプロセスチャンバーと真空ポンプとの間に設置され、
垂直軸の周囲に一定角度をおいて固定設置され、サーボモータの駆動方向に応じて上プレートと下プレートとの間で左右に回動し、いずれか一個が副産物を捕集し残りは清掃が反復的になされる、数個のトラップユニットと、
前記トラップユニットが固定される垂直軸を軸支する上プレート及び下プレートであり、前記垂直軸が当該上プレート及び下プレート中央部を貫通し、当該上プレート及び下プレートが、一定の間隔だけ上蓋体及び下蓋体から離れて設置され、前記ケースの上部及び下部においてトラップユニットの上開口部及び下開口部に接触し、副産物流入口及び副産物排出口と、洗浄水供給口及び洗浄水排出口と、乾燥気体供給口及び乾燥気体排気口を各トラップユニットに選択的に連結させる、上プレート及び下プレートと、
平常時には伸長して前記上プレート及び下プレートとユニットとの間の気密を維持させて、トラップユニットの交替のためにトラップユニットを一定方向に回動させる時には収縮してトラップユニットを円滑に回動させる、トラップ及びプレート連結及び分離手段と、
前記垂直軸の低端部に軸が連結された状態で前記下プレートの底面に固定設置され、制御部の出力信号に応じて正、逆方向に回動し、前記トラップユニットを一定角度範囲内で回転させるサーボモータと、
制御プログラムに従い、前記サーボモータ、トラップ及びプレート連結及び分離手段、及び各種バルブの駆動を制御する制御部と、
から構成したことを特徴とする半導体生産ラインでの自動交替式副産物捕集装置。 - 請求項1において、
前記ケース内のトラップユニットは2個または3個または4個を180度または120度または90度の角度をおいて選択的に設置したことを特徴とする半導体生産ラインでの自動交替式副産物捕集装置。 - 請求項1において、
前記副産物流入口とケース上には、現在副産物を捕集しているトラップユニット及びケース内の圧力を各々検出し表示すると同時に検出圧力信号を制御部に各々伝達しトラップユニットの交替時期を知らせる圧力ゲージを各々付加的に設置したことを特徴とする半導体生産ラインでの自動交替式副産物捕集装置。 - 請求項3において、
前記副産物の流入口及び排出口上には特定のトラップユニットに流入されたり、該当トラップユニットを通じて排出される副産物の流入及び排出を制御する上部隔離バルブ及び下部隔離バルブを各々付加的に設置したことを特徴とする半導体生産ラインでの自動交替式副産物捕集装置。 - 請求項1において、
前記洗浄水供給口及び洗浄水排出口と乾燥気体供給口及び乾燥気体排気口には、洗浄水及び乾燥気体の供給及び排出を制御する洗浄水供給バルブ及び洗浄水排出バルブと乾燥気体供給バルブ及び乾燥気体排気バルブとをさらに具備させたことを特徴とする半導体生産ラインでの自動交替式副産物捕集装置。 - 請求項1乃至請求項5の中からいずれか一項において、
前記制御部にはケースの内部圧力と副産物を捕集中のトラップユニットの圧力差を検出する圧力差比較部と、洗浄水及び乾燥気体供給時間設定用タイマー、洗浄回数及び圧力設定部とが具備されたことを特徴とする半導体生産ラインでの自動交替式副産物捕集装置。 - 請求項1において、
前記トラップユニット等の外側には副産物の捕集時には冷却機能を実行して、洗浄後の乾燥時には発熱機能をする熱電素子等を付加的に設置したことを特徴とする半導体生産ラインでの自動交替式副産物捕集装置。 - 請求項1において、
前記トラップユニットと連結した乾燥気体排気口は真空ポンプと連結される副産物排出口に連結したことを特徴とする半導体生産ラインでの自動交替式副産物捕集装置。 - 請求項1において、
前記ケースの上蓋体及び下蓋体を通じてその内部に貫通するよう乾燥気体供給バルブ及び乾燥気体排気バルブを具備した乾燥気体供給口及び乾燥気体排気口を各々付加的に設置するが、前記乾燥気体排気口は真空ポンプと連結される副産物排出口に連結したことを特徴とする半導体生産ラインでの自動交替式副産物捕集装置。 - 請求項1において、
前記トラップとプレート連結及び分離手段は、上蓋体及び下蓋体と上プレート及び下プレートとの間または前記トラップユニットの上開口部及び下開口部周辺の中からいずれか片側に選択的に設置されたことを特徴とする半導体生産ラインでの自動交替式副産物捕集装置。 - 請求項10において、
前記トラップユニットの上開口部及び下開口部周辺に設置されたトラップとプレート連結及び分離手段は、
内面にベローズハウジングのねじ部と結合されるねじ山が形成されたリング型ローターを具備して前記トラップユニットの上開口部及び下開口部の周辺に固定設置されるエンコーダモータと、
外側に前記エンコーダモータのローターとねじ結合されるねじ部を具備して前記エンコーダモータとロータの内側に設置されエンコーダモータの駆動方向に従いベローズを収縮及び伸長させ上プレート及び下プレートと密着したり、そこから離隔したりするベローズハウジングと、
外側端部は前記ベローズハウジングの内側上端または下端部に溶接固定されて、内側端部は前記トラップユニットの上開口部及び下開口部の内側に溶接固定された形態で設置され、前記エンコーダモータのローターと結合したベローズハウジングの昇降移動方向及び移動距離に従い収縮及び伸長しベローズハウジングとトラップユニットとの間の気密状態を維持させるベローズと、
から構成されたことを特徴とする半導体生産ラインでの自動交替式副産物捕集装置。 - 請求項11において、
前記ローターとねじ結合されたベローズハウジングの端部とトラップユニットの上面及び下面との間には、ベローズハウジングを上プレート及び下プレート側に押すスプリングとを付加的に設置したことを特徴とする半導体生産ラインでの自動交替式副産物捕集装置。 - 請求項12において、
前記ベローズハウジングの外側上面及び下面にはベローズハウジングと上プレート及び下プレート間との接触部を密閉させるOリングをさらに設置したことを特徴とする半導体生産ラインでの自動交替式副産物捕集装置。 - 現在作動中のトラップユニットの圧力変化に応ずる交換時期お知らせ信号がプロセスチャンバーから制御部に入力されると、副産物流入口に設置されている上部隔離バルブを閉じて、副産物排出口に設置されている下部隔離バルブをオープンさせた後清掃が完了した状態で待機中の一側及び他側のトラップユニットに連結された乾燥気体排気バルブを開いて、ケースと副産物排出口との間に連結された乾燥気体排気バルブを開く段階と、
現在作動中のトラップユニットの引き入れ及び排出の圧力差を比較した結果、設定値以下なら清掃後待機中の一側及び他側のトラップユニットに連結した乾燥気体排気バルブと下部隔離バルブを閉じて、トラップとプレート連結及び分離手段が収縮するよう作動させ、各トラップユニットの上部及び下部を上プレート及び下プレートから離隔させる段階と、
サーボモータを定められた方向へ駆動させトラップユニット等の位置を変化させた後トラップとプレート連結及び分離手段が伸長するよう作動させ、各々のトラップユニットの上部及び下部が上プレート及び下プレートと密着し気密を維持させる段階と、
上部隔離バルブ及び下部隔離バルブを各々開いて以前に副産物が捕集された状態を備えるトラップユニット内に一定量の洗浄水を供給して設定時間の間その状態を維持させた後、洗浄水排出バルブを開いて洗浄水を排出する過程を設定回数だけ反復する段階と、
各々のトラップユニットの外側に設置された熱電素子等を設定時間だけ駆動させトラップユニット等をヒーティングさせると同時に乾燥気体供給バルブ及び洗浄水排出バルブを開く段階と、
設定時間が経過するとヒーティングを遮断して乾燥気体供給バルブ及び洗浄水排出バルブを閉じて洗浄を完了する段階と、
からなることを特徴とする半導体生産ラインでの自動交替式副産物捕集装置の制御方法。 - 請求項14において、
前記洗浄水供給後の待機時間は2〜5分で、洗浄水の供給及び排出回数は4〜6回で、乾燥気体供給及び熱電素子を通じたヒーティング時間は20〜30分であることを特徴とする半導体生産ラインでの自動交替式副産物捕集装置の制御方法。
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