JP2009522561A - 周期構造の光学検査方法及びシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】画素構造(2)を有する光学画像記録装置により、周期構造(1)を検査する検査方法及び検査システムが開示される。前記検査方法及び前記検査システムにおいて、周期構造(1)の記録画像(6)が前記周期構造(1)の欠陥のない基準画像(4)と比較される。簡単な手段で欠陥を確実に検知するため、前記基準画像(4)の少なくとも1つの位置(X、Y)において、前記光学画像記録装置の前記画素構造(2)に対する前記周期構造(1)の位相角(フェーズX、フェーズY)が決定される。前記記録画像(6)は、検査領域(7)に分割される。各検査領域(7)毎に、前記画像記録装置の前記画素構造(2)に対する前記周期構造(1)の前記位相角(フェーズX、フェーズY)が決定される。検査領域(7)と前記基準画像(4)とを比較するため、前記検査領域(7)に対応する位相角(フェーズX、フェーズY)を有する基準画像領域(8)が選択される。
【選択図】図4
Description
3…画像線 4…基準画像
5…基準位相テーブル 6…記録画像
7…検査領域 8…基準画像領域
P1〜Pn…周期 B1、B2、B3…領域
X、Y…位置
Claims (13)
- 画素構造(2)を有する光学記録装置により、周期構造(1)を検査する検査方法において、前記周期構造(1)の記録画像(6)が前記周期構造(1)の欠陥のない基準画像(4)と比較される検査方法であって、前記基準画像(4)中、少なくとも一つの位置(X、Y)において、前記光学記録装置の前記画素構造(2)に対する前記周期構造(1)の位相角(フェーズX、フェーズY)が決定され、前記記録画像(6)が検査領域(7)に分割され、各検査領域(7)毎に前記光学記録装置の前記画素構造(2)に対する前記周期構造(1)の前記位相角(フェーズX、フェーズY)が決定され、前記基準画像(4)と検査領域(7)とを比較するため、その位相角(フェーズX、フェーズY)が前記検査領域(7)に対応する基準画像領域(8)が選択されることを特徴とする検査方法。
- 請求項1記載の検査方法であって、前記基準画像領域(8)を選択するため、前記検査領域(7)の前記位相角(フェーズX、フェーズY)に対する位相差が最小とされる位相角(フェーズX、フェーズY)を有する前記基準画像(4)の位置(X、Y)が選択されることを特徴とする検査方法。
- 請求項1又は2記載の検査方法であって、前記位相角(フェーズX、フェーズY)が前記基準画像(4)中で決定される各位置(X、Y)毎に、基準画像領域(8)及び前記位相角(フェーズX、フェーズY)が記憶されることを特徴とする検査方法。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の検査方法であって、前記画素構造(2)に対する前記周期構造(1)の前記位相角(フェーズX、フェーズY)は、前記周期構造(1)の各周期(P)毎に決定されることを特徴とする検査方法。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の検査方法であって、前記検査領域(7)と比較するため、前記検査領域(7)と空間的に近い位置にある基準画像領域(8)が用いられることを特徴とする検査方法。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の検査方法であって、前記基準画像領域(8)は、前記記録画像(6)の一部であり、かつ前記検査領域(7)と異なることを特徴とする検査方法。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載の検査方法であって、基準画像領域(8)は、他の基準画像領域(8)との比較により欠陥がないことが検査されることを特徴とする検査方法。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の検査方法であって、欠陥がないと検出された検査領域(7)が、基準画像領域(8)として用いられることを特徴とする検査方法。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載の検査方法であって、基準画像(4)は複数の基準領域(8)から計算されることを特徴とする検査方法。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載の検査方法であって、基準画像領域(8)と検査領域(7)との比較は、等しい大きさの前記領域(7、8)の減算ないし除算によって行われることを特徴とする検査方法。
- 画素構造(2)を有し周期構造(1)の画像を記録する光学画像記録装置とメモリによる画像処理とを用いて前記周期構造(1)を検査する検査システムであって、前記画像処理においては、基準画像(4)中、少なくとも一つの位置(X、Y)において、前記光学画像記録装置の前記画素構造(2)に対する前記周期構造(1)の位相角(フェーズX、フェーズY)が決定され、記録画像(6)が検査領域(7)に分割され、各検査領域(7)毎に、前記光学画像記録装置の前記画素構造(2)に対する前記周期構造(1)の前記位相角(フェーズX、フェーズY)が決定され、検査領域(7)と前記基準画像(4)とを比較するため、その位相角(フェーズX、フェーズY)が前記検査領域(7)に対応する基準画像領域(8)が選択されることを特徴とする検査システム。
- 請求項11記載の検査システムであって、前記画像処理は、前記各方法工程が演算されるフィールド・プログラマブル・ゲートアレイを有することを特徴とする検査システム。
- 請求項12記載の検査システムであって、前記基準画像(4)及び/又は前記基準画像領域(8)は関連付けられた位相角(フェーズX、フェーズY)とともに前記フィールド・プログラマブル・ゲートアレイに記憶されることを特徴とする検査システム。
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