JP2009205938A - 試料ステージ - Google Patents
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Abstract
本発明は、簡易な構成で、ブレーキ等によってもたらされる摩擦熱による位置変動を抑制する試料ステージの提供を目的とする。
【解決手段】
上記目的を達成するための一態様として、押圧部材によって押圧される押圧部と、当該押圧部によって押圧される被摺動面を備えた試料ステージであって、試料ステージが停止するときに、上記押圧部が接する被摺動面の一部、及び/又はその一部に隣接する部分、或いは押圧部を加熱するように制御する試料ステージを提供する。このように被摺動面の一部等を加熱することによって、上述のような温度勾配を抑制することが可能となる。
【選択図】図3
Description
2 ステージ位置検出部
3 ステージ位置制御部
4 熱制御部
6 温度計測部
7 熱・変位解析システム
100 ベース
110 Xテーブル
111 Xガイド
112 駆動機構X
120 Yテーブル
121 Yガイド
122 駆動機構Y
130 試料ホルダ
131 ミラーX
132 ミラーY
140 制動機構
141 バネ
142 ブレーキパッド
150 面部材
151 インジウム
160 発熱体
161 断熱シート
Claims (5)
- 試料を所定方向に移動させるテーブルと、
当該テーブルを前記所定方向に移動させる駆動機構と、
前記テーブルに、押圧部材を介して接続される押圧部と、
前記押圧部材の押圧力によって前記押圧部が押圧される被摺動面を備えた試料ステージであって、
前記被摺動面の前記所定方向に沿って位置する複数の個所をそれぞれ加熱するための加熱部材を備え、当該加熱部材は、前記テーブルが停止するときに、前記押圧部が接する前記被摺動面の一部、及び/又はその一部に隣接する部分、或いは前記押圧部を加熱するように制御されることを特徴とする試料ステージ。 - 請求項1において、
前記加熱部材は、前記所定方向に沿って複数配列されていることを特徴とする試料ステージ。 - 請求項2において、
前記加熱部材は、前記被摺動面の下部に配列されることを特徴とする試料ステージ。 - 請求項1において、
前記駆動機構を制御するステージ位置制御部を備え、当該ステージ位置制御部による前記テーブルの移動量が、所定のしきい値を超えたとき、或いはその移動量に応じて、前記押圧部が接する前記被摺動面の一部、及び/又はその一部に隣接する部分の加熱を行うことを特徴とする試料ステージ。 - 請求項1において、
前記複数のテーブルが積層され、前記試料をX−Y方向に移動するように構成されていることを特徴とする試料ステージ。
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