JP2009145307A - 表面検査装置および表面検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る表面検査装置1は、所定の繰り返しパターンを有するウェハ10の表面に第1の直線偏光L1を照射する照明系30と、ウェハ10の表面で生じた楕円偏光L2から第1の直線偏光L1と振動方向が異なる第2の直線偏光成分L3を抽出する検光子42と、第2の直線偏光成分L3を検出する撮像カメラ44と、撮像カメラ44で検出された第2の直線偏光成分L3に基づいて、繰り返しパターンの形状変化を表示するモニタ55と、楕円偏光L2の進行方向と垂直な面内における楕円短軸の向きと当該垂直な面内における第2の直線偏光成分L3の振動方向とが略一致するように検光子42を設定可能な回転駆動装置43とを備え、繰り返しパターンに応じて検光子42を設定するようになっている。
【選択図】図1
Description
10 ウェハ(被検基板) 12 繰り返しパターン
30 照明系(照明部)
40 受光系 42 検光子(偏光素子)
43 回転駆動装置(設定部) 44 撮像カメラ(検出部)
45 1/2λ板(設定部の変形例) 49 回転駆動装置(設定部の変形例)
50 画像処理部(異常検出部) 55 モニタ(表示部)
L1 第1の直線偏光 L2 楕円偏光
L3 第2の直線偏光
Claims (8)
- 所定の繰り返しパターンを有する被検基板の表面に第1の直線偏光を照射する照明部と、
前記被検基板の表面に照射された前記第1の直線偏光が前記繰り返しパターンで反射する際に前記パターンが有する構造性複屈折によって生じた楕円偏光から前記第1の直線偏光と振動方向が異なる第2の直線偏光成分を抽出する偏光素子と、
前記第2の直線偏光成分を検出する検出部と、
前記検出部で検出された前記第2の直線偏光成分に基づいて、前記繰り返しパターンの形状変化を表示する表示部と、
前記楕円偏光の進行方向と垂直な面内における楕円短軸の向きと前記垂直な面内における前記第2の直線偏光成分の振動方向とが略一致するように前記偏光素子を設定可能な設定部とを備え、
前記繰り返しパターンに応じて前記偏光素子を設定することを特徴とする表面検査装置。 - 前記設定部は、前記楕円偏光の進行方向と垂直な面内における前記第2の直線偏光成分の振動方向と、前記第1の直線偏光の進行方向と垂直な面内における振動方向とのなす角度を所定角度ずつ変化させることができ、
前記角度を前記所定角度ずつ変化させる毎に前記検出部で検出した前記第2の直線偏光成分の輝度に基づいて、前記楕円偏光の進行方向と垂直な面内における楕円短軸の向きと前記垂直な面内における前記第2の直線偏光成分の振動方向とが略一致する前記角度を選択設定することを特徴とする請求項1に記載の表面検査装置。 - 前記検出部で検出された前記第2の直線偏光成分の輝度と予め設定された閾値とを比較して、前記繰り返しパターンの異常を検出する異常検出部をさらに備えることを特徴とする請求項1もしくは請求項2に記載の表面検査装置。
- 前記設定部は、前記構造性複屈折によって生じた前記楕円偏光の前記第2の直線偏光成分を最も検出しやすくするように前記偏光素子を設定することを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載の表面検査装置。
- 前記設定部は、前記角度が90度以外であって90度近傍の角度となるように前記選択設定を行うことを特徴とする請求項2に記載の表面検査装置。
- 所定の繰り返しパターンを有する被検基板の表面に第1の直線偏光を照射する照射ステップと、
前記被検基板の表面に照射された前記第1の直線偏光が前記繰り返しパターンで反射する際に前記パターンが有する構造性複屈折によって生じた楕円偏光から前記第1の直線偏光と振動方向が異なる第2の直線偏光成分を抽出する抽出ステップと、
前記第2の直線偏光成分を検出する検出ステップと、
前記検出ステップで検出された前記第2の直線偏光成分に基づいて、前記繰り返しパターンの形状変化を表示する表示ステップと、
前記楕円偏光の進行方向と垂直な面内における前記抽出する前記第2の直線偏光成分の振動方向を、前記繰り返しパターンに応じて設定する設定ステップとを有することを特徴とする表面検査方法。 - 前記設定ステップにおいて、前記楕円偏光の進行方向と垂直な面内における前記第2の直線偏光成分の振動方向と、前記第1の直線偏光の進行方向と垂直な面内における振動方向とのなす角度を所定角度ずつ変化させ、
前記角度を前記所定角度ずつ変化させる毎に検出した前記第2の直線偏光成分の輝度に基づいて、前記楕円偏光の進行方向と垂直な面内における楕円短軸の向きと前記垂直な面内における前記第2の直線偏光成分の振動方向とが略一致する前記角度を選択設定することを特徴とする請求項6に記載の表面検査方法。 - 前記設定ステップにおいて、前記角度が90度以外であって90度近傍の角度となるように前記選択設定を行うことを特徴とする請求項7に記載の表面検査方法。
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CN109856155A (zh) * | 2019-01-18 | 2019-06-07 | 北京兆维电子(集团)有限责任公司 | 一种基于偏振光的液晶显示屏表面检测装置及方法 |
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