JP2009016960A - 弾性波デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電基板上に互いに対向する各一対のバスバーと、各バスバーから各々交叉するように櫛歯状に伸び出した多数の励振用の電極指と、を備えた共振器型一方向性電極である入力側電極及び出力側電極を備え、前記入力側電極及び出力側電極の励振用の電極指により、各バスバーの伸長方向に沿った入力側電極の中央部と出力側電極の中央部との間で弾性波を繰り返し反射させ、増幅させて入力側電極から出力側電極に伝搬させる弾性波デバイスにおいて、弾性波の進行方向における入力側電極の中央部と弾性波の進行方向における出力側電極の中央部との間の領域における入力側バスバー、出力側バスバーの少なくともいずれか一方に吸音材を設け、バスバーに漏れ出したエネルギーを吸収する。
【選択図】図1
Description
前記圧電基板上に、前記各入力側バスバーの延長線上に設けられ、互いに対向した一対の出力側バスバーと、これらバスバー間において各々交叉するように櫛歯状に伸び出した多数の励振用の電極指と、を備えた共振器型一方向性電極である出力側電極と、を備え、
前記入力側電極及び出力側電極の励振用の電極指により、各バスバーの伸長方向に沿った入力側電極の中央部と出力側電極の中央部との間で弾性波を繰り返し反射させ、増幅させて入力側電極から出力側電極に伝搬させる弾性波デバイスにおいて、
弾性波の進行方向における入力側電極の中央部と弾性波の進行方向における出力側電極の中央部との間の領域における入力側バスバー、出力側バスバーの少なくともいずれか一方に吸音材が設けられていることを特徴とする。
なお本願でいう弾性波は表面を伝搬するものに限られるものではない。
この構成は、高次波の次数が大きくなるほど、電極指群形成領域からバスバー付近へ染み出すエネルギーの量が多いので吸音材の効果が大きくなる。また、通常モードの波のエネルギーは、バスバー間の中央部付近に集中しているため、当該通常モードに与える影響が少ない。従ってスプリアスだけを低減でき、通過帯域特性に与える影響が少ない。
評価試験1として先ず、圧電基板21上にSAWフィルタ2を構成する各電極3A,3B,23を形成し、そのフィルタの特性を測定した。その測定後に吸音材41を図1で示す各位置に塗布して、然る後再びフィルタの通過帯域を測定した。なお電極の交叉幅(W)と開口長(W0)との比率(W/W0)は0.85である。
評価試験2として圧電基板21上にSAWフィルタ5を構成する各電極3A,3B,23を形成し、そのフィルタの特性を測定した。そして測定後に吸音材41を図3で示す各位置に塗布して、評価試験1と同様に各電極を形成した後、吸音材の塗布前後で各々通過帯域を測定した。ただし電極の交叉幅(W)と開口長(W0)との比率(W/W0)は0.74とした。
評価試験3として、先ず図6に示すようなSAWフィルタ20を構成した。SAWフィルタ20は吸音材41の塗布箇所が8箇所であることを除いて、最初に示した実施形態のSAWフィルタ2と同様に構成されている。SAWフィルタ20において吸音材41が塗布されている箇所のうち4箇所はSAWフィルタ2の吸音材の塗布箇所と同じであり、他の4つの塗布箇所はSAWの伝搬方向における一方向性電極3A,3Bの各バスバー32a,32bの中心A3,B3間よりも外側である。このSAWフィルタ20及びSAWフィルタ2の振幅特性(フィルタ特性)を調べ、その結果を互いに比較した。
複数の圧電基板21にSAWフィルタ5を構成する各電極を形成してフィルタのサンプルを作成し、評価試験2と同様に吸音材を塗布する前に各サンプルのフィルタ特性を測定した。その後各サンプルについて、出力側の共振器型一方向性電極3Bの各バスバー32a,32b上にサンプルごとに位置を変えて吸音材41を塗布し、塗布後にフィルタ特性を測定して、スプリアスの改善レベルを調べた。図8に示すように一方向性電極3Aの入力側の端部A1と一方向性電極3Bの出力側の端部B1との間の中心をP、その中心Pと電極3Bの出力側の端部B1との間の大きさをL3、吸音材41の塗布される位置の中心をQ、PQ間の大きさをL4として、吸音材41は、各サンプルのバスバー32a及び32bにL4/L3の値が各々0.1、0.2、0.4、0.6となる位置に夫々塗布した。
3A 入力側共振器型一方向性電極
3B 出力側共振器型一方向性電極
32a,32b バスバー
33a,33b 交叉指状電極
34a,34b ダミー電極
41 吸音材
Claims (5)
- 圧電基板上に互いに対向する一対の入力側バスバーと、各入力側バスバーから各々交叉するように櫛歯状に伸び出した多数の励振用の電極指と、を備えた共振器型一方向性電極である入力側電極と、
前記圧電基板上に、前記各入力側バスバーの延長線上に設けられ、互いに対向した一対の出力側バスバーと、これらバスバー間において各々交叉するように櫛歯状に伸び出した多数の励振用の電極指と、を備えた共振器型一方向性電極である出力側電極と、を備え、
前記入力側電極及び出力側電極の励振用の電極指により、各バスバーの伸長方向に沿った入力側電極の中央部と出力側電極の中央部との間で弾性波を繰り返し反射させ、増幅させて入力側電極から出力側電極に伝搬させる弾性波デバイスにおいて、
弾性波の進行方向における入力側電極の中央部と弾性波の進行方向における出力側電極の中央部との間の領域における入力側バスバー、出力側バスバーの少なくともいずれか一方に吸音材が設けられていることを特徴とする弾性波デバイス。 - 前記入力側電極及び出力側電極の間に介在するシールド電極を備えることを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。
- 入力側バスバーの入力側の端部と出力側バスバーの出力側の端部との中心から吸音材の塗布される位置との距離を、その中心から入力側バスバーの入力側の端部またはその中心から出力側バスバーの出力側の端部までの距離で除した値が0.2以下であることを特徴とする請求項1または2記載の弾性波デバイス。
- 吸音材は、電極指にかからないように塗布されることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一に記載の弾性波デバイス。
- 入力側バスバー及び出力側バスバーにおける励振用の電極指の延長上には対向するバスバーから伸長した、入力側バスバー、出力側バスバー夫々により囲まれる電極指群形成領域の電荷を中和するためのダミー電極が設けられていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一記載の弾性波デバイス。
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