JP2007333776A - 表示基板の製造装置及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板間の距離を直接高精度に計測して基板を貼り合わせる表示基板の製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】上定盤1に保持された上基板3と、下定盤2に保持された下基板4とを対向して設け、上基板3及び下基板4の対向面上の四隅に夫々位置決め用の上基板マーク5及び下基板マーク6を設ける。上定盤1の上方にはCCDカメラ7が設けられており、このCCDカメラによる上基板マーク5に対するピント調整量と下基板マーク6に対するピント調整量との差分から基板の間隔8を直接計測する。このとき、下基板マーク6は上基板3を通して視認できるように配置されている。
【選択図】図1
【解決手段】上定盤1に保持された上基板3と、下定盤2に保持された下基板4とを対向して設け、上基板3及び下基板4の対向面上の四隅に夫々位置決め用の上基板マーク5及び下基板マーク6を設ける。上定盤1の上方にはCCDカメラ7が設けられており、このCCDカメラによる上基板マーク5に対するピント調整量と下基板マーク6に対するピント調整量との差分から基板の間隔8を直接計測する。このとき、下基板マーク6は上基板3を通して視認できるように配置されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、液晶表示パネル等の表示基板の製造装置及び製造方法に関し、特に、位置合わせ用のマークをもとに2枚の基板間の距離を制御した後に、これらの基板を貼り合わせる技術に関する。
液晶表示装置に使用される液晶表示パネルは、一般に、マトリクス状に設けられた複数の画素及び各画素を駆動制御するTFT(Thin Film Transistor:薄膜トランジスタ)が形成されたTFT基板と、カラーフィルタ及びブラックマトリスク等が形成されたカラーフィルタ基板とを貼り合わせ、これらの基板間に液晶材料を封止して構成される。これらの基板は、各基板上に形成された微細な構成要素が高精度に対応するように、基板に設けられた位置合わせ用のマークを基準として貼り合わされる。
図3は、従来の表示基板の製造装置を模式的に示す断面図である。図3に示すように、上定盤101及び下定盤102が対向して配置されており、これらの上定盤101及び下定盤102の対向面上には、夫々上基板103及び下基板104が保持されている。更に、上基板103及び下基板104の対向面上の所定の箇所には、夫々位置合わせ用のマークである上基板マーク105及び下基板マーク106が設けられている。
このように構成された従来の表示基板の製造装置においては、基板の貼り合わせ前に、上基板103及び下基板104の基板の厚み107a及び107bを各基板の一カ所において測定し、同様に事前に測定した上定盤101及び下定盤102間の間隔である定盤の間隔108を基準として、計算により上下の基板の間隔109を算出していた(例えば、特許文献1を参照)。そして、この間接的に得た基板の間隔109をもとに、これらの定盤を上下させて基板を貼り合わせていた。
また、特許文献2では、基板の貼り合わせ時に上下基板の間隔を測定することにより、基板の厚みばらつき等にもかかわらず、基板間距離を一定に保持して貼り合わせることができる液晶基板の貼り合わせ方法を開示している。特許文献2においては、上定盤及び下定盤に夫々上基板及び下基板を保持し、上下基板には夫々位置合わせ用のマークが設けられている。そして、基板の貼り合わせ時に、先ず、上定盤を粗合わせ位置まで下降させる。この際、定盤間距離検出センサにより定盤間距離の測定を行う。加えて、上下基板に設けられたマークに対する微合わせカメラのフォーカス位置により基板間距離を測定する。このとき、両者の測定値の差が変化した場合には、上下基板の厚み等にばらつきがあると判断されるため、その変化値を補正値として定盤間距離の微調整を行った後に、基板の貼り合わせを行う。
しかしながら、上述の従来技術には以下に示すような問題点がある。
従来の表示基板の製造装置においては、間接的に得た基板の間隔をもとに基板を貼り合わせていたため、基板の厚さが場所により異なり、基板に平面的なうねりがある場合には、基板間の間隔を正確に保持して基板を貼り合わせることができない。即ち、従来の手段では、基板の厚さの平面的なばらつきに対して、基板間の間隔を補正することができない。また、基板の厚さを事前に測定する手段が必要になると共に、上下の定盤の間隔も定盤の製作・組み立て精度に依存し、精度の劣化にも対処することができないため、基板の間隔を正確に維持及び補正することが出来ないという問題点があった。
また、特許文献2に記載の従来技術においては、基板間の距離の制御に、微合わせカメラのフォーカス位置による基板間距離の測定値と、定盤間距離検出センサによる定盤間距離の測定値の両方を用いる。従って、基板間距離のみを直接測定する場合と比較すると、定盤間距離検出センサを余分に設けているため、製造コストが高くなるという問題点があった。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、基板間の距離を直接高精度に計測して基板を貼り合わせる表示基板の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。
本発明に係る表示基板の製造装置は、第1の定盤及びこの第1の定盤に対向して設けられた第2の定盤と、前記第1及び第2の定盤に夫々保持される第1及び第2の基板と、前記第1及び第2の基板の対向面上に夫々設けられた位置決め用の第1及び第2の基板マークと、前記第1の定盤の前記第2の定盤側とは反対側に設けられ前記第1及び第2の基板マークまでの距離を計測しその差分から前記第1及び第2の基板間の距離を算出する光学的距離計測部と、この光学的距離計測部により算出された前記第1及び第2の基板間の距離に基づいて前記第1及び第2の定盤の相対位置を制御する定盤位置制御部と、を有し、前記第2の基板マークは、前記光学的距離計測部から前記第1の基板を通して視認できるように配置されていることを特徴とする。
前記第1の定盤には、前記光学的距離計測部により前記第1及び第2の基板マークまでの距離を計測するための開口部が設けられているように構成することができる。
前記第1の基板における前記第1の基板マークの設置箇所に対応する部分は、基板の透明部分とすることができる。
前記第1及び第2の基板の形状は矩形であり、前記第1及び第2の基板における前記第1及び第2の基板マークが設けられた箇所は、各基板の四隅であることが好ましい。
前記光学的距離計測部は、オートフォーカス機能を備えたCCDカメラを有するものであってもよい。
前記CCDカメラの焦点を前記第1の基板マークに合わせると共に、このときの焦点位置を第1の焦点位置として記憶し、前記CCDカメラの焦点を前記第2の基板マークに合わせると共に、このときの焦点位置を第2の焦点位置として記憶し、前記第1及び第2の焦点位置の差分から基板間の距離を算出することができる。
前記基板は、液晶表示パネル用の基板であってもよい。
本発明に係る表示基板の製造方法は、対向配置された第1及び第2の定盤の対向面上に夫々第1及び第2の基板を保持し、前記第1の定盤の前記第2の定盤側とは反対側に撮像装置を配置し、前記第1の基板における前記第2の基板との対向面上に位置決め用の第1のマークを設けると共に、前記撮像装置から前記第1の基板を通して視認できるように前記第2の基板における前記第1の基板との対向面上に位置決め用の第2の基板マークを設け、前記撮像装置の焦点を前記第1の基板マークに合わせると共に、このときの焦点位置を第1の焦点位置として記憶し、前記撮像装置の焦点を前記第2の基板マークに合わせると共に、このときの焦点位置を第2の焦点位置として記憶し、前記第1及び第2の焦点位置の差分から基板間の距離を算出し、この基板間の距離に基づいて前記第1及び第2の定盤の相対位置を制御することにより前記第1及び第2の基板間の距離を最適な間隔とし、前記第1及び第2の基板を貼り合わせることを特徴とする。
前記第1の定盤に開口部を設け、前記撮像装置はこの開口部を介して前記第1及び第2の基板マークに焦点を合わせることができる。
前記第1の基板における前記第1の基板マークの設置箇所に対応する部分は、基板の透明部分とすることができる。
前記撮像装置は、オートフォーカス機能を備えたCCDカメラを有するものであってもよい。
本発明によれば、基板の間隔を直接測定して基板間の距離を制御することにより、同一基板における基板の厚さのばらつき等に起因する基板の貼り合わせ精度の低下を防ぎ、基板の間隔を一定に保ったまま基板を貼り合わせることができる。このため、表示不良のない高品質の基板を安定して製造することができる。
特に、第2の基板マークが第1の基板を通して視認できるように配置されているため、第1及び第2の基板マークの両方のマークを第1の基板を通して同時に鮮明に撮像することができ、基板間の距離の測定精度が向上する。
また、貼り付け前に、第1及び第2の定盤自体が平行に設置されていなくても、その位置を制御して補正することができるため、第1及び第2の定盤自体が平行ではないことの影響を防ぐことができ、装置の製造コストを下げることもできる。
以下、本発明の実施の形態について、添付の図面を参照して詳細に説明する。図1は、本発明の実施形態に係る表示基板の製造装置の構成を示す断面図、図2は、上基板及び下基板に夫々設けられた上基板マーク及び下基板マークを示す平面図である。
図1に示すように、本実施形態に係る表示基板の製造装置においては、上定盤1及び下定盤2が対向して配置されており、上定盤1及び下定盤2の対向面上には、夫々上基板3及び下基板4が保持されている。上基板3及び下基板4は、一例として矩形形状としており、種々の膜が形成されたその膜面が互いに対向するように保持され、上基板3及び下基板4の膜面上の四隅には、夫々貼り合わせの基準となる位置決め用の上基板マーク5及び下基板マーク6が設けられている。なお、膜面とは、例えば液晶表示用の基板に対しては、TFT等を構成する種々の膜が形成された面、及びカラーフィルタ等を構成する膜が形成された面である。また、図示例では、上基板マーク5及び下基板マーク6を上基板3及び下基板4の四隅に設けているが、マークの設置箇所及び個数はこれに限定されず、上下基板の間隔を高精度に測定できるものであればよい。
本実施形態の表示基板の製造装置は、上基板マーク5及び下基板マーク6を撮影し、基板間の距離を計測するための光学的距離計測部を備えており、この光学的距離計測部は、例えば、CCD(Charge Coupled Device)カメラを有する光学系である。図1には、CCDカメラ7が上定盤1の上方に設けられている。このCCDカメラ7は、対象物のコントラストのピークを検出するコントラスト検出方式によるオートフォーカス機能を備えている。CCDカメラ7のレンズは上基板マーク5及び下基板マーク6を撮像するように下方に向けられており、その光軸は上基板3及び下基板4の面に垂直となっている。なお、図示はしていないが、CCDカメラ7は、一例として、基板の四隅に設けられたマークの位置に対応して、4カ所に設けられているものとする。
上定盤1には、上基板マーク5及び下基板マーク6を撮像するための開口部(図示せず)が設けられている。更にまた、上基板3における上基板マーク5の設置箇所に対応する部分は基板の透明部分であり、CCDカメラ7は、上定盤1の開口部及び上基板3の透明部分を通して、上基板マーク5の裏面(上基板3に貼り付けられている方の面)を撮像し、また、下基板マーク6の表面(下基板2に貼り付けられていない方の面)を撮像する。
図2は、上基板マーク5及び下基板マーク6を水平方向に位置合わせした後に、定盤1の上方から視認したようすを示す図である。図2に示すように、上基板マーク5は下基板マーク6より小さく、両マークは互いに重ならず、円盤状の上基板マーク5は、この円盤の四方を帯で囲むような形状の上基板マーク5により平面視で囲まれている。このように、基板の水平方向の位置合わせ後には、上基板マーク5及び下基板マーク6の両方が上基板3を通して視認可能となっており、特に、下基板マーク6が上基板3を通して視認できるように配置されている。
なお、CCDカメラ7は上定盤1の上方に設けられているため、撮像時における焦点の精度を上げるためには、下基板マーク6の大きさを上基板マーク5の大きさよりも大きくすることが好ましいが、下基板マーク6の大きさが上基板マーク5の大きさより小さくてもよい。また、上基板マーク5及び下基板マーク6の形状は、本実施形態の形状に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。
次に、上述の如く構成された本実施形態の動作について説明する。なお、本発明の目的は、主に基板貼り合わせ時の基板間の距離の制御であるため、基板の水平方向の位置合わせについては従来の方法を用いるものとし、以下ではその説明を省略する。先ず、CCDカメラ7のピントを上基板マーク5に合わせ、このときのピント調整量を記憶する。より詳細には、CCDカメラ7のピント合わせ位置は、上基板マーク5の裏面(上基板3に貼り付けられている方の面)である。次に、CCDカメラ7のピントを下基板マーク6に合わせ、ピント調整量を記憶する。より詳細には、CCDカメラ7のピント合わせ位置は、下基板マーク6の表面(下基板2に貼り付けられていない方の面)である。そして、上基板マーク5にピントを合わせたときのピント調整量と、下基板マーク6にピントを合わせたときのピント調整量との差分を算出し、更に、予め既知の基板マークの厚さを考慮することにより、基板間の距離である基板の間隔8を算出する。更に、このような基板間の距離測定を、他の基板マークについても行い、基板の四隅の基板マークすべてについて行う。こうして求めた基板の四隅における基板の距離8を、上定盤1及び下定盤2の四隅に備えたアクチュエータ(図示せず)に伝えて、上定盤1及び下定盤2の位置を制御する。この際、上定盤及び下定盤2のいずれか一方の位置を制御してもよいし、両方の位置を制御してもよい。なお、この基板間距離の測定データを用いた位置制御については、一般的に行われる方法であるため、その詳細を省略する。
次に、本実施形態の効果について説明する。本実施形態によれば、上下基板の間隔を直接測定して基板間の距離を制御することにより、同一基板における基板の厚さのばらつき等に起因する基板の貼り合わせ精度の低下を防ぎ、基板の間隔を一定に保ったまま基板を貼り合わせることができる。このため、表示不良のない高品質の基板を安定して製造することができる。特に、下基板マーク6が上基板3を通しても視認できるように配置されているため、上基板マーク5及び下基板マーク6の両方のマークを第1の基板を通して同時に鮮明に撮像することができ、上基板マーク5及び下基板マーク6のピント位置を高精度で測定できる。また、貼り付け前に、上下の定盤自体が平行に設置されていなくても、その位置を制御して補正することができるため、上下の定盤自体が平行ではないことの影響を防ぐことができ、装置の製造コストを下げることもできる。
なお、本実施形態においては、CCDカメラ7の設置箇所を上定盤1の上方としたが、CCDカメラ7を下定盤2の下方に設け、上基板マーク5及び下基板マーク6を下基板4の下方から撮像することにより基板間の距離を計測しても良い。但し、この場合は、下定盤2に撮像用の開口部を設け、更に、下基板4における下基板マーク6の設置箇所に対応する部分は基板の透明部分とする。
なお、基板間の距離の算出は、本実施形態におけるオートフォーカス機能を利用したレンズ駆動量から求める方法以外に、光学系全体を移動させるためにピエゾ素子等に与えた電圧から求める方法を用いても良い。また、オートフォーカス方法は、位相差検出方法でもよい。
1;上定盤
2;下定盤
3;上基板
4;下基板
5;上基板マーク
6;下基板マーク
7;CCDカメラ
8;基板の間隔
101;上定盤
102;下定盤
103;上基板
104;下基板
105;上基板マーク
106;下基板マーク
107;基板の厚み
108;定盤の間隔
109;基板の間隔
2;下定盤
3;上基板
4;下基板
5;上基板マーク
6;下基板マーク
7;CCDカメラ
8;基板の間隔
101;上定盤
102;下定盤
103;上基板
104;下基板
105;上基板マーク
106;下基板マーク
107;基板の厚み
108;定盤の間隔
109;基板の間隔
Claims (11)
- 第1の定盤及びこの第1の定盤に対向して設けられた第2の定盤と、前記第1及び第2の定盤に夫々保持される第1及び第2の基板と、前記第1及び第2の基板の対向面上に夫々設けられた位置決め用の第1及び第2の基板マークと、前記第1の定盤の前記第2の定盤側とは反対側に設けられ前記第1及び第2の基板マークまでの距離を計測しその差分から前記第1及び第2の基板間の距離を算出する光学的距離計測部と、この光学的距離計測部により算出された前記第1及び第2の基板間の距離に基づいて前記第1及び第2の定盤の相対位置を制御する定盤位置制御部と、を有し、前記第2の基板マークは、前記光学的距離計測部から前記第1の基板を通して視認できるように配置されていることを特徴とする表示基板の製造装置。
- 前記第1の定盤には、前記光学的距離計測部により前記第1及び第2の基板マークまでの距離を計測するための開口部が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の基板の製造装置。
- 前記第1の基板における前記第1の基板マークの設置箇所に対応する部分は、基板の透明部分であることを特徴とする請求項1又は2に記載の基板の製造装置。
- 前記第1及び第2の基板の形状は矩形であり、前記第1及び第2の基板における前記第1及び第2の基板マークが設けられた箇所は、各基板の四隅であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の基板の製造装置。
- 前記光学的距離計測部は、オートフォーカス機能を備えたCCDカメラを有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の基板の製造装置。
- 前記光学的距離計測部は、前記CCDカメラの焦点を前記第1の基板マークに合わせると共に、このときの焦点位置を第1の焦点位置として記憶し、前記CCDカメラの焦点を前記第2の基板マークに合わせると共に、このときの焦点位置を第2の焦点位置として記憶し、前記第1及び第2の焦点位置の差分から基板間の距離を算出することを特徴とする請求項5に記載の基板の製造装置。
- 前記基板は、液晶表示パネル用の基板であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の基板の製造装置。
- 対向配置された第1及び第2の定盤の対向面上に夫々第1及び第2の基板を保持し、前記第1の定盤の前記第2の定盤側とは反対側に撮像装置を配置し、前記第1の基板における前記第2の基板との対向面上に位置決め用の第1のマークを設けると共に、前記撮像装置から前記第1の基板を通して視認できるように前記第2の基板における前記第1の基板との対向面上に位置決め用の第2の基板マークを設け、前記撮像装置の焦点を前記第1の基板マークに合わせると共に、このときの焦点位置を第1の焦点位置として記憶し、前記撮像装置の焦点を前記第2の基板マークに合わせると共に、このときの焦点位置を第2の焦点位置として記憶し、前記第1及び第2の焦点位置の差分から基板間の距離を算出し、この基板間の距離に基づいて前記第1及び第2の定盤の相対位置を制御することにより前記第1及び第2の基板間の距離を最適な間隔とし、前記第1及び第2の基板を貼り合わせることを特徴とする表示基板の製造方法。
- 前記第1の定盤に開口部を設け、前記撮像装置はこの開口部を介して前記第1及び第2の基板マークに焦点を合わせることを特徴とする請求項8に記載の基板の製造方法。
- 前記第1の基板における前記第1の基板マークの設置箇所に対応する部分は、基板の透明部分であることを特徴とする請求項8又は9に記載の基板の製造装置。
- 前記撮像装置は、オートフォーカス機能を備えたCCDカメラを有することを特徴とする請求項8乃至10のいずれか1項に記載の基板の製造方法。
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KR101506716B1 (ko) | 2012-12-31 | 2015-03-31 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 기판과 베어 글라스의 합착을 위한 정렬방법 |
CN106679604A (zh) * | 2017-01-05 | 2017-05-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | 间隙测量装置及方法 |
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2006
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