JP2007292295A - 真空用バルブ - Google Patents

Abstract

【課題】金属素材を絞り加工して形成したハウジングを有するバルブにおいて、該ハウジングに対する操作部の取り付けを、強度低下を来すことなく簡単かつコンパクトに行うことができるようにする。
【解決手段】２つのポートＰ１，Ｐ２を結ぶ流路中の弁座４を弁部材５で開閉する主弁部１と、この弁部材５を開閉操作する操作部２とからなる真空用バルブにおいて、上記主弁部１のハウジング３を、金属材を絞り加工して形成した円筒形のハウジング本体６に、２つのポート部材７，８を接合することにより構成し、該ハウジング３の端部には、内向きに折曲したフランジ状の取付部１０を形成し、該取付部１０上に円環状の支持座体２１を介して上記操作部２を取り付けると共に、円環状の支持プレート２５と上記取付部１０との間にシール部材３３を挟持させ、該支持プレート２５と上記弁部材５とにベローズ２３の両端を連結する。
【選択図】図５

Description

本発明は、半導体製造等のための真空室内の気体を真空ポンプで排気する配管系に用いる真空用バルブに関するものであり、更に具体的には、プレス絞りないしはヘラ絞りにより形成したハウジングを備える真空用バルブに関するものである。

従来、真空用バルブのハウジングとして、弁体を内包する円筒部と、該弁体が当接する弁座を構成する平面部とを、１本の金属管材の絞り加工によってほぼ均一の肉厚を有するように形成したものは、例えば特許文献１によって公知である。この真空用バルブは、円筒状をした上記ハウジングの内部に、絞り加工で平面状に形成された上記弁座と、この弁座を開閉する上記弁部材とを備えていて、該ハウジングの上端部に、上記弁部材を開閉操作するための操作部（シリンダ部）が取り付けられている。
このように、バルブのハウジングを金属管材の絞り加工で形成すると、高価で複雑な機械加工を行う必要がないため、簡単かつ安価にハウジングを製造することができ、また、該ハウジングを薄肉に形成することができるため、バルブの軽量化にも有効である。

ところがその反面、薄肉化されたハウジングは、上記操作部の取り付けを難しくする。上記従来の真空用バルブにおいては、ハウジングの上端部に、該ハウジングの肉厚をそのまま利用して環状の支持部材を取り付け、この支持部材上に上記操作部を取り付けるか、あるいは、該操作部に結合されたアダプタを円筒の上端部に直接取り付けるようにしているが、肉厚の小さいハウジングの端部に操作部を直接取り付けるこのような方法は、その取り付けが難しいだけでなく、取付強度も小さくなりがちである。しかも、上記支持部材がハウジングの外周に大きく張り出すため、バルブの大形化にもつながり易い。また、上記支持部材を腐食性の制御流体から隔離する必要がある場合に、そのための構成も複雑化する。
特許第３０３２７０８号公報

そこで本発明の目的は、金属素材を絞り加工して形成したハウジングを有する真空用バルブにおいて、上記ハウジングに対する操作部の取り付けを、強度低下を来すことなく簡単かつコンパクトに行うことができるようにすると共に、腐食性の制御流体からの部品の保護も容易であるように構成することにある。

上記目的を達成するため、本発明の真空用バルブは、真空チャンバと真空源とに接続される２つのポート、これらのポートを結ぶ流路の途中に形成された弁座、及び該弁座を開閉するポペット形の弁部材を備えた主弁部と、上記弁部材を開閉操作する操作部とによって構成されている。
上記主弁部のハウジングは、金属材をプレス絞り又はヘラ絞りすることにより形成された均一厚さを有する円筒形のハウジング本体と、上記ポートを形成する円筒形の２つのポート部材とからなっていて、上記ハウジング本体の軸線方向の第１端と側面とに形成されたポート用開口部に上記ポート部材を接合することにより組み立てられており、上記ハウジング本体の軸線方向の第２端には、該ハウジング本体の端部を内向きに折曲することにより均一厚さを有するフランジ状の取付部が形成され、該取付部上に該取付部の内径より大径の円形の内孔を備えた支持座体が取り付けられると共に、該支持座体に上記操作部が取り付けられ、更に、該支持座体の内孔内において上記取付部と操作部との間に円環状のシール部材と円環状の支持プレートとが挟持され、該支持プレートと上記弁部材とにベローズの両端が連結されている。

本発明において、上記支持座体は、上記取付部の上面に載置される本体部と、該本体部の外周端からハウジング側に延出して該ハウジングの外周を取り囲むスカート部とで構成されていても良く、あるいは、溝形の断面形状を有するように形成されて、溝の開口縁を上記取付部に当接させた状態で該取付部に取り付けられていても良い。
また、本発明においては、上記主弁部のハウジングの外面に伝熱用のジャケットが被設されていても良い。この場合、上記ジャケットと上記支持座体とを一体に形成することもできる。

また、本発明によれば、上記真空バルブにおける主弁部用ハウジングが提供される。このハウジングは、金属材をプレス絞り又はヘラ絞りすることにより形成された均一厚さを有する円筒形のハウジング本体と、上記ポートを形成する円筒形の２つのポート部材とからなっていて、上記ハウジング本体の軸線方向の第１端と側面とに形成されたポート用開口部に上記ポート部材を接合することにより組み立てられており、上記ハウジング本体の軸線方向の第２端には、該ハウジング本体の端部を内向きに折曲することにより、上記操作部を取り付けるための均一厚さを有するフランジ状の取付部が形成されている。
上記取付部上には、該取付部の内径より大径の円形の内孔を備えた支持座体が取り付けられていることが望ましい。

上記構成を有する本発明によれば、金属素材を絞り加工して形成したハウジングを有する真空用バルブにおいて、上記ハウジングに対する操作部の取り付けを、該ハウジングの端部に形成された内向きフランジ状の取付部と、この取付部上に載置される環状の支持座体とを介して行うことにより、上記取付部がない従来品に比べ、強度低下を来すことなく簡単かつコンパクトにその取り付けを行うことができる。
また、上記フランジ状の取付部の存在により、上記支持座体が腐食性の制御流体と接触しないように構成することができるため、この支持座体を耐腐食性を持つ特殊で高価な素材で形成する必要がない。

図１には、真空用バルブにおける主弁部用ハウジングの第１構成例が示されている。このハウジング３は、図５又は図８に示すような真空用バルブＶＡ，ＶＢの主弁部１に用いられるものである。これらの真空用バルブＶＡ，ＶＢは、真空チャンバと真空源とに接続される第１及び第２の２つのポートＰ１，Ｐ２と、これらのポートＰ１，Ｐ２を結ぶ流路の途中に形成された弁座４と、該弁座４を開閉するポペット形の弁部材５とを備えた上記主弁部１に、上記弁部材５を開閉操作するための流体圧シリンダからなる操作部２を結合することにより構成されたもので、これらのバルブＶＡ，ＶＢの構成の詳細については後述するものとする。

上記ハウジング３は、図２からも分かるように、ステンレス等の金属板材又は金属管材にプレス絞り又はヘラ絞り加工を施すによって形成された均一厚さを有する円筒形のハウジング本体６と、上記ポートＰ１，Ｐ２を形成する円筒形をした第１及び第２の２つのポート部材７，８とからなるもので、これらのポート部材７，８を、上記ハウジング本体６に形成されたポート形成用の第１及び第２の開口部１１，１２にそれぞれ溶接やロー付け等の方法で接合することにより、図１のように組み立てられている。

上記ハウジング本体６は、上記弁部材５を移動可能に収容するための筒状胴部９の軸線Ｌ方向の第１端に、該ハウジング本体６の端部をプレス加工等で内向きに折曲することにより形成された円環状で軸線Ｌと直交する方向に平坦な弁座形成面４ａを有し、この弁座形成面４ａの内側に第１ポートＰ１を形成する第１開口部１１が形成されると共に、該弁座形成面４ａの内周端寄りの位置に、この第１開口部１１を取り囲む円環状の上記弁座４が形成されている。上記弁座形成面４ａの内周端即ち上記第１開口部１１の口縁には、該口縁を軸線Ｌに沿って外向きに折り曲げることにより、円筒状をしたポート用接続筒部１１ａが形成されている。

また、上記ハウジング本体６における筒状胴部９の側面には、上記第２ポートＰ２を形成するための第２開口部１２が形成され、この第２開口部１２の口縁を外向きに折曲することにより、円筒状のポート用接続筒部１２ａが形成されている。

更に、上記ハウジング本体６における軸線Ｌ方向の第２端には、該ハウジング本体６の端部を内向きに折曲することにより、均一厚さを有するフランジ状の取付部１０が形成されている。この取付部１０は、上記操作部２を取り付けるためのものであり、図示した例では、内周側が斜め上向きとなるように傾斜しているが、水平であっても構わない。

この取付部１０の形成は、例えば図１０に示すように、上記ハウジング本体６の内部に、径を大小に変更可能で折曲用の受け面１３ａを先端部外周に備えた受け型１３を挿入した状態で、該ハウジング本体６の上端部を、折曲用の傾斜面１４ａを備えた押さえ型１４で加圧することにより内側に向けて折曲し、そのあと上記受け型を縮径させて取り出すという方法により行うことができる。もちろんそれ以外の方法で形成しても良い。
上述したようなハウジング３は、高価な機械加工なしで、プレス絞り等により簡単、安価に製作できるものである。

上記ハウジング本体６における筒状胴部９と弁座形成面４ａとが連なる折曲部１６の内側の曲率半径、及び、該弁座形成面４ａと接続筒部１１ａとが連なる折曲部１７の内側の曲率半径は、プレス加工によって得られる最小寸法に近づけることが望ましく、例えば、ハウジング３をステンレス製の板材で形成する場合、この板材の厚さが１．５ｍｍとあるとすると、その曲率半径は、好ましくは３ｍｍ以下であり、より好ましくは２ｍｍ程度である。

このように、上記折曲部１７の曲率半径を小さくすると、弁座４を弁座形成面４ａの内周端寄りの位置、即ち、上記第１開口部１１に近い位置に形成することができるため、それだけ上記弁部材５を小径にすることが可能となり、その結果、ハウジング３の内径と弁部材５の外径との差を大きくすることができ、開弁時における流路面積が増加するので、同一バルブストロークでもコンダクタンスを大きくすることができる。あるいは、上記第１開口部１１の径を大きくしながらハウジング３の胴部９の径を小さくして、該ハウジング３内の有効断面積に比して該ハウジング３の外形状を小さくすることが可能になる。

上記ポート部材７，８は、図１及び図２から分かるように、平坦な接合面１８ａを先端に有する筒状部１８と、該筒状部１８の基端部に形成されたフランジ部１９とを備えている。そして、上記接合面１８ａを、上記ハウジング本体６に形成された接続筒部１１ａ，１２ａの先端の平坦な接合面１１ｂ，１２ｂと突き合わせ、それらの当接部を溶接することにより該ハウジング本体６に一体に接合されている。上記ポート部材７，８は、プレスと鍛造などを組合わせて成形されるものである。
なお、上記２つのポート部材７，８が互いに同一形状及び同一寸法を有しているが、それらの形状及び寸法は互いに異なっていても良い。２つのポート部材７，８の寸法が異なる時は、それに応じて上記接続筒部１１ａ，１２ａの寸法も異なることになる。

図３は、上記ハウジング３の第２構成例を示すものである。この第２構成例では、ハウジング本体６の第１開口部１１の回りに、図１及び図２の第１構成例にあるような円筒状の接続筒部１１ａが形成されておらず、上記第１開口部１１の口縁に、ポート部材７の筒状部１８の先端部を直接当接させて溶接することにより接合している。即ち、円で囲んだ拡大図から分かるように、上記筒状部１８の先端に凹段部１８ｂを形成し、この凹段部１８ｂに弁座形成面４ａの先端を当接させてそれらの当接部を溶接により接合している。従って、この場合には、図１の第１構成例の場合よりも、弁座形成面４ａとポート部材７との間の角度が鋭角的になる。
なお、この第２構成例のハウジング３の上記以外の構成は、第１構成例のハウジング３と変わるところがないので、同一部分に同一符号を付してそれらの説明を省略する。

このように、上記ハウジング３は、ハウジング本体６と２つのポート部材７，８とからなっていて、これらの部材が二箇所で接合、一体化されている。この場合、上記ポート部材７，８の筒状部１８とハウジング本体６の接続筒部１１ａ，１２ａとの肉厚をほぼ同じにすれば、各種接合方法による接合が可能になるが、内側の溶接面が接合する板材の表面と略同一になる裏波溶接を行うのが有利である。この場合、接合部の微細隙間に腐食性物質が侵入することがなく、ハウジング３の耐食性を向上させることができる。

上記ポート部材７，８のフランジ部１９は、図４の（ａ）〜（ｃ）に例示するような各種形態に構成することができる。
同図（ａ）に示すポート部材７，８のフランジ部１９は、筒状部１８の基端部を外側に向けて折曲して形成した折曲部１９ａと、該折曲部１９ａの内側に当接したクランプ用補助金具１９ｂとにより形成されている。
また、同図（ｂ）に示すポート部材７，８のフランジ部１９は、筒状部１８の基端部をプレス加工などによって外側に向けて折曲したあと、その先端を上記筒状部１８の先端側に向けて折返し、更にその先端を筒状部の外面に向けて折曲することにより、中空状に形成されている。
更に、同図（ｃ）に示すポート部材７，８のフランジ部１９は、筒状部１８の基端部をプレス加工などにより斜め外側に向けて折曲したあと、その先端をフランジ部の軸線に沿って筒状に折曲し、更にその先端を中心側に向けて折曲することにより、溝形に形成されている。
上記図４（ｂ）及び（ｃ）のポート部材７，８のフランジ部１９は、内部が中空状になるため、軽量である。
なお、上記ポート部材７，８は、削り加工材によって形成することもできる。

次に、図５及び図６を参照して、上記ハウジング３を用いた真空用バルブＶＡについて説明する。
この真空用バルブＶＡは、主弁部１用のハウジング３として、図２におけるハウジング本体６の各接続筒部１１ａ，１２ａに、図４（ａ）に示すポート部材７，８を接合したものが用いられている。そして、このハウジング３の内部に弁機構２０が組み込まれると共に、該ハウジング３の胴部９の上端に形成された上記取付部１０の上部に、支持座体２１を介して流体圧シリンダからなる上記操作部２が取り付けられている。

上記弁機構２０は、ディスク型をした上記弁部材５を備え、該弁部材５の下面に上記弁座４に接離するリング状のシール部材５ａが取り付けられている。また、上記弁部材５の上面中央位置には、ハウジング３の中心軸線Ｌに沿って延びる弁ロッド２２の下端が取り付けられ、該弁ロッド２２の上端部は、上記操作部２におけるシリンダハウジング３１の底壁部３１ａを貫通して該シリンダハウジング３１の内部に延出している。

また、上記底壁部３１ａの下面と上記弁部材５との間には、該弁部材５を弁座４側に向けて付勢するスプリング２３が介設され、上記底壁部３１ａと取付部１０との間にシール部材３３と共に挟持固定された円環状の支持プレート２５と、上記弁部材５の上面とに、ベローズ２４の両端が連結されている。該ベローズ２４は、上記弁ロッド２２とスプリング２３とシリンダハウジング３１の底壁部３１ａの下面とを内包することにより、これらの部材及び部分を、上記第１ポートＰ１と第２ポートＰ２との間を流れる腐食性の制御流体から隔離し、それらの腐蝕を防止するものである。

一方、上記操作部２は、図６からも分かるように、矩形の外形形状を有する上記シリンダハウジング３１を有し、このシリンダハウジング３１の内部に形成された円形のシリンダ孔３１ｂの内部に、ピストン３５が摺動自在に収容され、このピストン３５に上記弁ロッド２２の上端が取り付けられている。このピストン３５の下面と上記シリンダハウジング３１の底壁部３１ａとの間には、圧力室３６が形成され、この圧力室３６が図示しない操作ポートに連通しており、この操作ポートを通じて該圧力室３６に圧縮空気等の圧力流体を給排することにより、上記ピストン３５が駆動されて弁部材５が弁座４を開閉するように構成されている。

上記操作部２は、上記支持座体２１によって主弁部用ハウジング３の取付部１０に取り付けられている。この支持座体２１は、図７からも分かるように、矩形の平面形状を有するもので、上記取付部１０の上面に載置される矩形断面の本体部２１ａと、該本体部２１ａの外周端からハウジング３側に延出して該ハウジングン３の上端部外周を取り囲むスカート部２１ｂとからなっていて、上記本体部２１ａの内側に形成された円形の内孔２１ｃを有している。この内孔２１ｃの孔径は、上記取付部１０の内径よりは大きいが外径よりは小さく形成され、また、上記本体部２１ａの下面の上記取付部１０の上面に当接あるいは載置する部分２１ｄの内外径方向の幅Ｗ１が、上記取付部１０の内外径方向の幅Ｗ２より小さく形成されている。従って、この支持座体２１を取付部１０上に取り付けたとき、該取付部１０の内周寄りの部分がこの支持座体２１の内孔２１ｃの内周側に延出することになる。

また、上記支持座体２１の四隅の位置には、上記操作部２を固定する螺子棒３７を螺着するための複数の雌螺子３８が形成されている。この支持座体２１は、低耐食性ステンレスや鉄系あるいは非鉄系の金属材料によって形成され、図１に鎖線で示すように、上記取付部１０に溶接やロー付け等の方法によって接合、固定されている。この接合は、通常は上記ハウジング３を形成する段階で行われる。
一方、上記シリンダハウジング３１の底壁部３１ａの下面外周には、上記支持座体２１が嵌合する環状の凹段部３１ｃが形成されると共に、該凹段部３１ｃの内周部分に上記支持プレート２５に当接する押圧部３１ｄが形成されている。

そして、上記支持座体２１の内周側の位置即ち内孔２１ｃ内において、上記取付部１０上に上記シール部材３３を配設すると共に、このシール部材３３を取付部１０との間に挟み込むように上記支持プレート２５を配設し、その上から上記操作部２を配設して螺子棒３７を支持座体２１の雌螺子３８に螺着することにより、該操作部２が主弁部１に結合されている。このとき、上記支持プレート２５が上記シリンダハウジング３１の押圧部３１ｄに当接して下向きに押圧されることにより、該支持プレート２５と上記取付部１０との間に上記シール部材３３が挟持されている。また、上記支持プレート２５の内周端寄りの位置に上記ベローズ２４の上端部が連結されている。

この構成により、上記弁ロッド２２とスプリング２３とシリンダハウジング３１の底壁部３１ａの下面とが上記ベローズ２４内に内包され、両ポートＰ１，Ｐ２間を流れる腐食性の制御流体に接触するのは、該ベローズ２４自身と、該ベローズ２４の外側に位置する上記ハウジング３、シール部材３３、及び支持プレート２５ということになる。このため、上記ベローズ２４と支持プレート２５とは、ハウジング３と同様にステンレスなどの耐腐食性のある素材で形成されている。これに対して上記支持座体２１及びシリンダハウジング３１は、特に耐腐食性を持たない安価な素材で形成することが可能となる。

また、ハウジング３の上端に形成された内向きのフランジ状をした取付部１０に、環状の支持座体２１を介して操作部２を取り付けるという上述した構成は、上記取付部のない薄肉のハウジングの上端に支持部材を直接取り付けて操作部を載置する従来品に比べ、操作部の取り付け強度が非常に大きく、しかも、ハウジング３とほぼ同形あるいは小径のシリンダハウジング３１を備えた操作部２の結合を可能とし、真空用バルブの小型化を図る上でも非常に有効である。

図８及び図９に示す第２実施形態の真空用バルブＶＢは、主弁部１におけるハウジング３の外面に、該ハウジング３よりも熱伝導性に勝れた素材（例えばアルミニウム）からなる伝熱用ジャッケット４０を、該ハウジング３と密接させて被着したものである。このジャッケット４０は、図示しないヒーターからの熱をハウジング３に伝えて該ハウジング３を加熱することにより、制御流体中の成分が析出して該ハウジング３に付着するのを防止するためのものである。

上記ジャケット４０は、図９に示すように、複数（例えば２つ）のジャケット部材４０ａ，４０ａに分割し、これらのジャケット部材４０ａをハウジング３に着脱自在に取り付けることが望ましい。このように、ジャケット４０を着脱自在とすることにより、フッ化水素水によりハウジング３の洗浄を行う際には該ジャケット４０を取り外すことにより、アルミニウム製のジャケット４０が溶けるという問題が解消される。

上記ジャケットは、上記支持座体２１と一体に形成されている。しかし、これらのジャケットと支持座体２１とは、別々に形成されていても構わない。
なお、この第２実施形態における上記以外の構成及び作用は、図５及び図６で説明した第１実施形態の真空用バルブＶＡと同じであるから、それらの主要な対応部分に同一の符号を付してこれ以上の説明は省略する。

図１１及び図１２には支持座体の別構成例を示されている。この支持座体２１は、例えば板材をプレス絞りして形成したもので、溝形の断面形状を有していて、内壁４１ａが円形をなし、外壁４１ｂが矩形をなしている。そして、溝の開口部を下向き即ちハウジング３の上端の取付部１０側に向け、溝の開口縁（内壁４１ａの先端）を該取付部１０に当接させた状態で、該内壁４１ａを取付部１０に電子ビーム溶接やレーザー溶接等の方法で接合することにより、上記ハウジング３に固定されている。
上記支持座体４１の四隅の内壁４１ａと外壁４１ｂとの間隔が広がった部分には、該支持座体４１の裏面にナット部材４２が固定され、このナット部材４２によって操作部取付用の雌螺子３８が形成されている。

図１３には、ハウジングの第３構成例が示されている。この第３構成例のハウジング３が図３に示す第２構成例のハウジング３と異なる点は、第２ポートＰ２の構造である。即ち、上記第２構成例においては、第２開口部１２の回りに円筒状の接続筒部１２ａを形成し、この接続筒部１２ａの先端にポート部材８の筒状部１８の先端部を突き合わせ、それらを相互に溶接して接合しているのに対し、この第３構成例のハウジング３においては、ハウジング本体６の側面の第２開口部１２を単純な孔に形成すると共に、ポート部材８の筒状部１８の先端の接合面１８ａを、円筒面に開口する上記第２開口部１２の口縁に密に当接可能な湾曲した曲面に形成し、それらの当接部を溶接により相互に接合（双管体接合）している。

また、該ハウジング３の上端の取付部１０には、図１１及び図１２に示すものと同じ溝形の支持座体２１が取り付けられているが、この支持座体２１は、図５に示すような形状のものであっても良い。
この第３構成例のハウジングの上記以外の構成は上記第２実施形態と同じであるから、それらの主要な同一構成部分に同一の符号を付してその説明は省略する。

本発明に係る真空用バルブのハウジングの第１構成例を示す組立状態の断面図である。 図１のハウジングの組立前の状態を示す断面図である。 ハウジングの第２構成例を示す断面図である。 （ａ）〜（ｃ）は、ポート部材の異なる構成例を示す断面図である。 本発明に係る真空用バルブの第１実施形態を示す断面図である。 図５の平面図である。 支持座体の平面図である。 本発明に係る真空用バルブの第２実施形態を示す断面図である。 図８の右側面図である。 取付部を形成する方法の一例を示す要部断面図である。 支持座体の別構成例を示す要部断面図である。 図１１の平面図である。 ハウジングの第３構成例を示す断面図である。

符号の説明

１ 主弁部
２ 操作部
３ ハウジング
４ 弁座
５ 弁部材
６ ハウジング本体
７，８ ポート部材
１０ 取付部
１１，１２ 開口部
２１ 支持座体
２１ｃ 内孔
２４ ベローズ
２５ 支持プレート
３３ シール部材
４０ ジャケット
Ｐ１，Ｐ２ ポート

Claims (9)

1. 真空チャンバと真空源とに接続される２つのポート、これらのポートを結ぶ流路の途中に形成された弁座、及び該弁座を開閉するポペット形の弁部材を備えた主弁部と、上記弁部材を開閉操作する操作部とからなる真空用バルブにおいて、
   上記主弁部のハウジングが、金属材をプレス絞り又はヘラ絞りすることにより形成された均一厚さを有する円筒形のハウジング本体と、上記ポートを形成する円筒形の２つのポート部材とからなっていて、上記ハウジング本体の軸線方向の第１端と側面とに形成されたポート用開口部に上記ポート部材を接合することにより組み立てられており、
   上記ハウジング本体の軸線方向の第２端には、該ハウジング本体の端部を内向きに折曲することにより均一厚さを有するフランジ状の取付部が形成され、該取付部上に該取付部の内径より大径の円形の内孔を備えた支持座体が取り付けられると共に、該支持座体に上記操作部が取り付けられ、更に、該支持座体の内孔内において上記取付部と操作部との間に円環状のシール部材と円環状の支持プレートとが挟持され、該支持プレートと上記弁部材とにベローズの両端が連結されていることを特徴とする真空用バルブ。
2. 上記支持座体が、上記取付部の上面に載置される本体部と、該本体部の外周端からハウジング側に延出して該ハウジングの外周を取り囲むスカート部とからなることを特徴とする請求項１に記載の真空用バルブ。
3. 上記支持座体が、溝形の断面形状を有していて、溝の開口縁を上記取付部に当接させた状態で該取付部に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の真空用バルブ。
4. 上記主弁部のハウジングの外面に伝熱用のジャケットが被設されていることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の真空用バルブ。
5. 上記ジャケットと上記支持座体とが一体に形成されていることを特徴とする請求項４に記載の真空用バルブ。
6. 真空チャンバと真空源とに接続される２つのポート、これらのポートを結ぶ流路の途中に形成された弁座、及び該弁座を開閉するポペット形の弁部材を備えた主弁部と、上記弁部材を開閉操作する操作部とからなる真空用バルブにおける、上記主弁部のハウジングであって、
   該ハウジングが、金属材をプレス絞り又はヘラ絞りすることにより形成された均一厚さを有する円筒形のハウジング本体と、上記ポートを形成する円筒形の２つのポート部材とからなっていて、上記ハウジング本体の軸線方向の第１端と側面とに形成されたポート用開口部に上記ポート部材を接合することにより組み立てられており、
   上記ハウジング本体の軸線方向の第２端には、該ハウジング本体の端部を内向きに折曲することにより、上記操作部を取り付けるための均一厚さを有するフランジ状の取付部が形成されていることを特徴とする真空用バルブにおける主弁部用ハウジング。
7. 上記取付部上に、該取付部の内径より大径の円形の内孔を備えた支持座体が取り付けられていることを特徴とする請求項６に記載のハウジング。
8. 上記支持座体が、上記取付部の上面に載置される本体部と、該本体部の外周端からハウジング側に延出して該ハウジングの外周を取り囲むスカート部とからなることを特徴とする請求項７に記載の真空用バルブ。
9. 上記支持座体が、溝形の断面形状を有していて、溝の開口縁を上記取付部に当接させた状態で該取付部に固定されていることを特徴とする請求項７に記載のハウジング。

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