JP2007292295A - 真空用バルブ - Google Patents
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Abstract
【課題】金属素材を絞り加工して形成したハウジングを有するバルブにおいて、該ハウジングに対する操作部の取り付けを、強度低下を来すことなく簡単かつコンパクトに行うことができるようにする。
【解決手段】2つのポートP1,P2を結ぶ流路中の弁座4を弁部材5で開閉する主弁部1と、この弁部材5を開閉操作する操作部2とからなる真空用バルブにおいて、上記主弁部1のハウジング3を、金属材を絞り加工して形成した円筒形のハウジング本体6に、2つのポート部材7,8を接合することにより構成し、該ハウジング3の端部には、内向きに折曲したフランジ状の取付部10を形成し、該取付部10上に円環状の支持座体21を介して上記操作部2を取り付けると共に、円環状の支持プレート25と上記取付部10との間にシール部材33を挟持させ、該支持プレート25と上記弁部材5とにベローズ23の両端を連結する。
【選択図】図5
Description
このように、バルブのハウジングを金属管材の絞り加工で形成すると、高価で複雑な機械加工を行う必要がないため、簡単かつ安価にハウジングを製造することができ、また、該ハウジングを薄肉に形成することができるため、バルブの軽量化にも有効である。
上記主弁部のハウジングは、金属材をプレス絞り又はヘラ絞りすることにより形成された均一厚さを有する円筒形のハウジング本体と、上記ポートを形成する円筒形の2つのポート部材とからなっていて、上記ハウジング本体の軸線方向の第1端と側面とに形成されたポート用開口部に上記ポート部材を接合することにより組み立てられており、上記ハウジング本体の軸線方向の第2端には、該ハウジング本体の端部を内向きに折曲することにより均一厚さを有するフランジ状の取付部が形成され、該取付部上に該取付部の内径より大径の円形の内孔を備えた支持座体が取り付けられると共に、該支持座体に上記操作部が取り付けられ、更に、該支持座体の内孔内において上記取付部と操作部との間に円環状のシール部材と円環状の支持プレートとが挟持され、該支持プレートと上記弁部材とにベローズの両端が連結されている。
また、本発明においては、上記主弁部のハウジングの外面に伝熱用のジャケットが被設されていても良い。この場合、上記ジャケットと上記支持座体とを一体に形成することもできる。
上記取付部上には、該取付部の内径より大径の円形の内孔を備えた支持座体が取り付けられていることが望ましい。
また、上記フランジ状の取付部の存在により、上記支持座体が腐食性の制御流体と接触しないように構成することができるため、この支持座体を耐腐食性を持つ特殊で高価な素材で形成する必要がない。
上述したようなハウジング3は、高価な機械加工なしで、プレス絞り等により簡単、安価に製作できるものである。
なお、上記2つのポート部材7,8が互いに同一形状及び同一寸法を有しているが、それらの形状及び寸法は互いに異なっていても良い。2つのポート部材7,8の寸法が異なる時は、それに応じて上記接続筒部11a,12aの寸法も異なることになる。
なお、この第2構成例のハウジング3の上記以外の構成は、第1構成例のハウジング3と変わるところがないので、同一部分に同一符号を付してそれらの説明を省略する。
同図(a)に示すポート部材7,8のフランジ部19は、筒状部18の基端部を外側に向けて折曲して形成した折曲部19aと、該折曲部19aの内側に当接したクランプ用補助金具19bとにより形成されている。
また、同図(b)に示すポート部材7,8のフランジ部19は、筒状部18の基端部をプレス加工などによって外側に向けて折曲したあと、その先端を上記筒状部18の先端側に向けて折返し、更にその先端を筒状部の外面に向けて折曲することにより、中空状に形成されている。
更に、同図(c)に示すポート部材7,8のフランジ部19は、筒状部18の基端部をプレス加工などにより斜め外側に向けて折曲したあと、その先端をフランジ部の軸線に沿って筒状に折曲し、更にその先端を中心側に向けて折曲することにより、溝形に形成されている。
上記図4(b)及び(c)のポート部材7,8のフランジ部19は、内部が中空状になるため、軽量である。
なお、上記ポート部材7,8は、削り加工材によって形成することもできる。
この真空用バルブVAは、主弁部1用のハウジング3として、図2におけるハウジング本体6の各接続筒部11a,12aに、図4(a)に示すポート部材7,8を接合したものが用いられている。そして、このハウジング3の内部に弁機構20が組み込まれると共に、該ハウジング3の胴部9の上端に形成された上記取付部10の上部に、支持座体21を介して流体圧シリンダからなる上記操作部2が取り付けられている。
一方、上記シリンダハウジング31の底壁部31aの下面外周には、上記支持座体21が嵌合する環状の凹段部31cが形成されると共に、該凹段部31cの内周部分に上記支持プレート25に当接する押圧部31dが形成されている。
なお、この第2実施形態における上記以外の構成及び作用は、図5及び図6で説明した第1実施形態の真空用バルブVAと同じであるから、それらの主要な対応部分に同一の符号を付してこれ以上の説明は省略する。
上記支持座体41の四隅の内壁41aと外壁41bとの間隔が広がった部分には、該支持座体41の裏面にナット部材42が固定され、このナット部材42によって操作部取付用の雌螺子38が形成されている。
この第3構成例のハウジングの上記以外の構成は上記第2実施形態と同じであるから、それらの主要な同一構成部分に同一の符号を付してその説明は省略する。
2 操作部
3 ハウジング
4 弁座
5 弁部材
6 ハウジング本体
7,8 ポート部材
10 取付部
11,12 開口部
21 支持座体
21c 内孔
24 ベローズ
25 支持プレート
33 シール部材
40 ジャケット
P1,P2 ポート
Claims (9)
- 真空チャンバと真空源とに接続される2つのポート、これらのポートを結ぶ流路の途中に形成された弁座、及び該弁座を開閉するポペット形の弁部材を備えた主弁部と、上記弁部材を開閉操作する操作部とからなる真空用バルブにおいて、
上記主弁部のハウジングが、金属材をプレス絞り又はヘラ絞りすることにより形成された均一厚さを有する円筒形のハウジング本体と、上記ポートを形成する円筒形の2つのポート部材とからなっていて、上記ハウジング本体の軸線方向の第1端と側面とに形成されたポート用開口部に上記ポート部材を接合することにより組み立てられており、
上記ハウジング本体の軸線方向の第2端には、該ハウジング本体の端部を内向きに折曲することにより均一厚さを有するフランジ状の取付部が形成され、該取付部上に該取付部の内径より大径の円形の内孔を備えた支持座体が取り付けられると共に、該支持座体に上記操作部が取り付けられ、更に、該支持座体の内孔内において上記取付部と操作部との間に円環状のシール部材と円環状の支持プレートとが挟持され、該支持プレートと上記弁部材とにベローズの両端が連結されていることを特徴とする真空用バルブ。 - 上記支持座体が、上記取付部の上面に載置される本体部と、該本体部の外周端からハウジング側に延出して該ハウジングの外周を取り囲むスカート部とからなることを特徴とする請求項1に記載の真空用バルブ。
- 上記支持座体が、溝形の断面形状を有していて、溝の開口縁を上記取付部に当接させた状態で該取付部に取り付けられていることを特徴とする請求項1に記載の真空用バルブ。
- 上記主弁部のハウジングの外面に伝熱用のジャケットが被設されていることを特徴とする請求項1から3の何れかに記載の真空用バルブ。
- 上記ジャケットと上記支持座体とが一体に形成されていることを特徴とする請求項4に記載の真空用バルブ。
- 真空チャンバと真空源とに接続される2つのポート、これらのポートを結ぶ流路の途中に形成された弁座、及び該弁座を開閉するポペット形の弁部材を備えた主弁部と、上記弁部材を開閉操作する操作部とからなる真空用バルブにおける、上記主弁部のハウジングであって、
該ハウジングが、金属材をプレス絞り又はヘラ絞りすることにより形成された均一厚さを有する円筒形のハウジング本体と、上記ポートを形成する円筒形の2つのポート部材とからなっていて、上記ハウジング本体の軸線方向の第1端と側面とに形成されたポート用開口部に上記ポート部材を接合することにより組み立てられており、
上記ハウジング本体の軸線方向の第2端には、該ハウジング本体の端部を内向きに折曲することにより、上記操作部を取り付けるための均一厚さを有するフランジ状の取付部が形成されていることを特徴とする真空用バルブにおける主弁部用ハウジング。 - 上記取付部上に、該取付部の内径より大径の円形の内孔を備えた支持座体が取り付けられていることを特徴とする請求項6に記載のハウジング。
- 上記支持座体が、上記取付部の上面に載置される本体部と、該本体部の外周端からハウジング側に延出して該ハウジングの外周を取り囲むスカート部とからなることを特徴とする請求項7に記載の真空用バルブ。
- 上記支持座体が、溝形の断面形状を有していて、溝の開口縁を上記取付部に当接させた状態で該取付部に固定されていることを特徴とする請求項7に記載のハウジング。
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