JP2007128949A - 加工装置及びターゲットパターンの登録支援方法 - Google Patents
加工装置及びターゲットパターンの登録支援方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】ターゲットパターンをターゲットパターン記憶部81に記憶させ、ウェーハの表面を撮像してそのターゲットパターンと同一のパターンを認識し、認識されたパターンの画像を表示手段9に表示させ、パターン認識が終了するごとに、その旨をオペレータに報知し、マッチングの回数とエラーの発生回数との関係から、ターゲットパターンとしての適性を判断する。
【選択図】図3
Description
を備えることが望ましい。
2:ウェーハカセット 3:搬出入手段 4:仮置き領域 5:位置合わせ手段
6:第一の搬送手段 7:チャックテーブル
8:加工領域検出手段
80:撮像部 81:ターゲットパターン記憶部 82:パターンマッチング部
9:表示手段
10:報知手段 11:報知回数カウント手段 12:報知回数判断手段
13:報知回数上限値記憶手段 14:発生エラー回数記憶手段 15:比較手段
16:許容エラー回数記憶手段
17:加工手段 18:操作手段 19:ターゲットパターン入力手段
20:第二の搬送手段 21:洗浄手段
170:スピンドル 171:切削ブレード
W:ウェーハ
S1:第一の方向の分離予定ライン S2:第二の方向の分離予定ライン
D:デバイス P:ターゲットパターン
T:テープ F:フレーム
Claims (14)
- ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハを加工する加工手段と、該チャックテーブルに保持されたウェーハの表面を撮像して予め登録されたターゲットパターンと同一のパターンを認識して加工すべき領域を検出する加工領域検出手段と、該加工領域検出手段が取得した画像を表示する表示手段とを少なくとも備えた加工装置であって、
該加工領域検出手段は、ターゲットパターンの画像情報を記憶するターゲットパターン記憶部と、ウェーハの表面を撮像する撮像部と、該ターゲットパターン記憶部に記憶されたターゲットパターンの画像情報と撮像部によって撮像されたパターンの画像情報とのパターンマッチングを行うパターンマッチング部とから構成され、
該パターンマッチング部におけるパターンマッチングが終了するごとに、その旨をオペレータに報知する報知手段
を備えた加工装置。 - 前記報知手段による報知の回数をカウントして記憶し、該報知の回数を前記表示手段に表示させる報知回数カウント手段を備えた請求項1に記載の加工装置。
- 前記パターンマッチングにおいて発生したエラーの回数を記憶し、該エラーの回数を前記表示手段に表示させる発生エラー回数記憶手段を備えた請求項1または2に記載の加工装置。
- 前記パターンマッチングにおけるエラーの許容回数を記憶する許容エラー回数記憶手段と、
該許容エラー回数記憶手段に記憶された許容回数と前記発生エラー回数記憶手段に記憶されたエラーの回数とを比較してその比較結果を前記表示手段に表示させる比較手段と
を備えた請求項3に記載の加工装置。 - 前記報知回数カウント手段に記憶された報知の回数の上限値を記憶する報知回数上限値記憶手段と、
該報知回数カウント手段に記憶された報知の回数が、該報知回数上限値記憶手段に記憶された上限値に達したか否かを判断してその判断結果を前記表示手段に表示させる報知回数判断手段と
を備えた請求項2、3または4に記載の加工装置。 - ターゲットパターンの画像情報を取り込んで前記ターゲットパターン記憶部に転送して記憶させるターゲットパターン入力手段を備えた請求項1、2、3、4または5に記載の加工装置。
- ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハを加工する加工手段と、該チャックテーブルに保持されたウェーハの表面を撮像して予めターゲットパターン記憶部に記憶させたターゲットパターンと同一のパターンを認識して加工すべき領域を検出する加工領域検出手段と、該加工領域検出手段が取得した画像を表示する表示手段とを少なくとも備えた加工装置における該ターゲットパターンの登録支援方法であって、
ターゲットパターンを該ターゲットパターン記憶部に記憶する記憶工程と、
該加工領域検出手段によりウェーハの表面を撮像して該ターゲットパターンと同一のパターンを認識するパターン認識工程と、
該パターン認識工程において認識されたパターンの画像を該表示手段に表示させる表示工程と、
パターン認識が終了するごとに、その旨をオペレータに報知する報知工程と
を少なくとも含むターゲットパターンの登録支援方法。 - 前記報知工程の実行回数をカウントして報知回数カウント手段に記憶し、該報知工程の実行回数を前記表示手段に表示させる報知回数カウント工程を含む請求項7に記載のターゲットパターンの登録支援方法。
- パターン認識工程において発生したエラーの回数を発生エラー回数記憶手段に記憶し、該エラーの回数を前記表示手段に表示させる発生エラー回数カウント工程を含む請求項7または8に記載のターゲットパターンの登録支援方法。
- 前記エラーの許容回数を許容エラー回数記憶手段に記憶する許容エラー回数記憶工程と、比較手段において、該許容エラー回数記憶手段に記憶された許容回数と前記発生エラー回数記憶手段に記憶されたエラーの回数とを比較してその比較結果を前記表示手段に表示させる比較工程と
を含む請求項9に記載のターゲットパターンの登録支援方法。 - 前記報知の回数の上限値を報知回数上限値記憶手段に記憶する上限値記憶工程と、
前記報知回数カウント手段に記憶された報知の回数が、該報知回数上限値記憶手段に記憶された上限値に達したか否かを判断してその判断結果を前記表示手段に表示させる報知回数判断工程と
を含む請求項8、9または10に記載のターゲットパターンの登録支援方法。 - ターゲットパターンの画像情報を取り込んで前記ターゲットパターン記憶部に転送して記憶させるターゲットパターン転送工程を含む請求項7、8、9、10または11に記載のターゲットパターンの登録支援方法。
- 前記表示工程では、認識されたパターンと共に、該パターンと相関関係がある分離予定ラインが表示される請求項7、8、9、10、11または12に記載のターゲットパターンの登録支援方法。
- 前記表示工程では、第一の方向の分離予定ラインと第二の方向の分離予定ラインとの交差領域が表示される請求項13に記載のターゲットパターンの登録支援方法。
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