JP2007095753A - プローバ、プローブ接触方法及びそのためのプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電極に接触するプローブを有するプローブカード25と、ウエハステージ18と、ウエハステージの移動機構12-17と、移動機構を制御する移動制御部27と、を備え、制御部は、半導体装置の電極をプローブ26に接触させる時には、半導体装置の電極がプローブ26の直下に位置するように移動した後、電極がプローブ26に接触するようにウエハステージ18をプローブに対して移動終了位置まで第1の方向に移動させるように移動機構を制御するプローバにおいて、制御部は、ウエハステージの第1の方向の移動を、任意の速度で移動させるように移動機構を制御可能である。
【選択図】 図1
Description
19 針位置合わせカメラ
23 ウエハアライメントカメラ
25 プローブカード
26 プローブ
Claims (14)
- ウエハ上に形成された半導体装置をテスタで検査をするために、前記テスタの各端子を前記半導体装置の電極に接続するプローバであって、
前記半導体装置の電極に接触して前記電極を前記テスタの端子に接続するプローブを有するプローブカードと、
ウエハを保持するウエハステージと、
前記ウエハステージを移動する移動機構と、
前記移動機構を制御する移動制御部と、を備え、
前記制御部は、前記半導体装置の電極を前記プローブに接触させる時には、前記半導体装置の電極が前記プローブの直下に位置するように移動した後、前記電極が前記プローブに接触するように前記ウエハステージを前記プローブに対して移動終了位置まで第1の方向に移動させるように前記移動機構を制御するプローバにおいて、
前記制御部は、前記ウエハステージの前記第1の方向の移動を、任意の速度で移動させるように前記移動機構を制御可能であることを特徴とするプローバ。 - 前記制御部は、前記ウエハステージを前記プローブに対して、前記移動終了位置の前の低速移動開始位置までは高速に移動させ、前記低速移動開始位置から前記移動終了位置までは低速で移動させるように、前記移動機構を制御する請求項1に記載のプローバ。
- 前記制御部は、前記ウエハステージを前記低速移動開始位置で一旦停止させ、その後前記移動終了位置まで低速で移動させるように、前記移動機構を制御する請求項2に記載のプローバ。
- 前記制御部は、前記ウエハステージを、前記低速移動開始位置と前記移動終了位置の間の接触開始位置で一旦停止させるように、前記移動機構を制御する請求項3に記載のプローバ。
- 前記制御部は、前記接触開始位置から前記移動終了位置までの移動速度を、前記低速移動開始位置から前記接触開始位置までの移動速度より速くするように、前記移動機構を制御する請求項4に記載のプローバ。
- 前記制御部は、前記接触開始位置から前記移動終了位置までの間で、一旦逆方向に移動した後再び前記移動終了位置に向かって移動するように、前記移動機構を制御する請求項4に記載のプローバ。
- プローバのプローブを、ウエハ上に形成された半導体装置の電極に接触させるプローブ接触方法であって、
前記半導体装置の電極が前記プローブの直下に位置するように移動した後、前記電極が前記プローブに接触するように前記ウエハステージを前記プローブに対して移動終了位置まで第1の方向に移動させる時に、
前記ウエハステージの前記第1の方向の移動を、任意の速度で移動させることが可能であることを特徴とする方法。 - 前記ウエハステージを前記プローブに対して、前記移動終了位置の前の低速移動開始位置までは高速に移動させ、前記低速移動開始位置から前記移動終了位置までは低速で移動させる請求項7に記載の方法。
- 前記ウエハステージを前記低速移動開始位置で一旦停止させ、その後前記移動終了位置まで低速で移動させる請求項8に記載の方法。
- 前記ウエハステージを、前記低速移動開始位置と前記移動終了位置の間の接触開始位置で一旦停止させる請求項9に記載の方法。
- 前記接触開始位置から前記移動終了位置までの移動速度を、前記低速移動開始位置から前記接触開始位置までの移動速度より速くする請求項10に記載の方法。
- 前記接触開始位置から前記移動終了位置までの間で、一旦逆方向に移動した後再び前記移動終了位置に向かって移動する請求項10に記載の方法。
- プローバを制御するコンピュータに、プローバのプローブを、ウエハ上に形成された半導体装置の電極に接触させるように制御させるプログラムであって、
前記半導体装置の電極が前記プローブの直下に位置するように移動した後、前記電極が前記プローブに接触するように前記ウエハステージを前記プローブに対して移動終了位置まで第1の方向に移動させる時に、
前記ウエハステージの前記第1の方向の移動を、任意の速度で移動させられることを特徴とするプログラム。 - 前記ウエハステージを前記プローブに対して、前記移動終了位置の前の低速移動開始位置までは高速に移動させ、前記低速移動開始位置から前記移動終了位置までは低速で移動させる請求項13記載のプログラム。
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