JP2006057721A - Gas pressure control valve - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress non-linear property of output pressure for moving and driving a spool and suppress noise of output pressure in a gas pressure control valve. <P>SOLUTION: The spool 10 of the gas pressure control valve is moved and driven in the axial direction by a linear motor. Inside diameter of a sleeve 12 has a stepped structure and therefore the diameter A in a left side land part 16 of the spool 10 is larger than the diameter B in a right side land part 18. A central land part 14 has a first flange 20 having the diameter A and a second flange 22 having the diameter B and a section between them is connected by a shaft part having a diameter D. Although output pressure P in a control pressure chamber 34 is changed by relative positional relation of a load port 28 of the sleeve 12 and the central land part 14, driving current I and output pressure P of the linear motor have proportional relation because the spool 10 and the sleeve 12 have a stepped structure. A slit restriction for streamlining flow of gas is provided in the load port 28. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、気体圧制御弁に係り、特に複数のランド部を有するスプールと、スプールを軸方向移動可能に支持するスリーブとを備え、スリーブに対するスプールの軸方向移動駆動により負荷圧を制御する気体圧制御弁に関する。   The present invention relates to a gas pressure control valve, and particularly includes a spool having a plurality of land portions and a sleeve that supports the spool so as to be movable in the axial direction, and controls the load pressure by driving the spool in the axial direction relative to the sleeve. The present invention relates to a pressure control valve.

流体圧回路や流体供給回路において管路の圧力制御や流量調整を行うために、移送弁あるいはサーボ弁等と呼ばれるフィードバック機構を内蔵した制御弁装置が用いられる。例えば、特許文献１には、トルクモータでスプールを駆動する油圧回路の流量等を制御するサーボ弁が開示され、特許文献２にはフォースモータでスプールを駆動する流体回路の流量等を制御するパイロットバルブが開示される。これらにおいて、スプールは複数のランド部を有し、そのスプールは軸方向移動可能にスリーブにより支持され、スリーブには圧力流体の供給口と、排出口と、圧力等が制御された流体を負荷に出力する負荷口が設けられ、スリーブに対するスプールの軸方向移動駆動により、スプールのランド部と負荷口等の位置関係を変化させて負荷に出力する流体の圧力や流量を制御している。   A control valve device incorporating a feedback mechanism called a transfer valve or a servo valve is used in order to perform pressure control and flow rate adjustment of a pipe line in a fluid pressure circuit and a fluid supply circuit. For example, Patent Document 1 discloses a servo valve that controls the flow rate of a hydraulic circuit that drives a spool with a torque motor, and Patent Document 2 discloses a pilot that controls the flow rate of a fluid circuit that drives a spool with a force motor. A valve is disclosed. In these, the spool has a plurality of land portions, and the spool is supported by a sleeve so as to be axially movable. The sleeve is loaded with a pressure fluid supply port, a discharge port, and a fluid whose pressure is controlled. An output load port is provided, and the pressure and flow rate of the fluid to be output to the load are controlled by changing the positional relationship between the land portion of the spool and the load port by driving the spool in the axial direction relative to the sleeve.

例えば、負荷口の軸方向の開口長さとほぼ同じ長さで、スプールの中央ランド部を設定し、そのランド部の一方側に供給口から圧力流体を供給し、他方側を排出口側に接続する構成をとる。この構成の場合では、中立位置ではスプールの中央ランド部がちょうど負荷口をふさぐが、スプールを僅かに排出口側に移動すると、中央ランド部と供給口との間の位置関係が変わり、供給口側と負荷口が連通し、圧力気体が負荷口に流れ込む。これによりスプールはさらに排出口側に移動しようとするが、実際にはサーボ弁にはスプールを中立位置に戻す付勢力が与えられ、あるいは位置検出等のフィードバックが行われるので、スプールは逆に供給口側に戻される。スプールが供給口側に戻されると、中央ランド部と排出口との間の位置関係が変わり、排出口側と負荷口が連通し、負荷側の流体は大気に排出される。そこで再び付勢力又はフィードバックによりスプールは供給口側に戻される。   For example, the central land part of the spool is set to the same length as the axial opening length of the load port, pressure fluid is supplied from the supply port to one side of the land, and the other side is connected to the discharge port side. The structure to be taken is taken. In this configuration, in the neutral position, the central land portion of the spool just blocks the load port, but when the spool is moved slightly to the discharge port side, the positional relationship between the central land portion and the supply port changes, and the supply port The side and the load port communicate with each other, and pressure gas flows into the load port. As a result, the spool tries to move further toward the discharge port, but in reality, the servo valve is given a biasing force to return the spool to the neutral position, or feedback such as position detection is performed. It is returned to the mouth side. When the spool is returned to the supply port side, the positional relationship between the central land portion and the discharge port changes, the discharge port side and the load port communicate with each other, and the fluid on the load side is discharged to the atmosphere. Therefore, the spool is returned to the supply port side again by the urging force or feedback.

このように、スプールのランド部と負荷口等との位置関係と、スプールの付勢力又は運動検出のフィードバックにより、スプールは中立位置を中心に微妙に移動させることで、負荷に出力する流体の圧力や流量を制御することができる。   As described above, the spool is moved slightly around the neutral position based on the positional relationship between the spool land portion and the load port and the feedback of the biasing force or motion detection of the spool. And the flow rate can be controlled.

特開昭４２−１２８８０号公報JP-A-42-12880 特公昭３９−４９５８号公報Japanese Examined Patent Publication No. 39-4958

近年、位置決め装置において、その精度、分解能の向上の要求が著しい。例えば、半導体装置の露光装置では、半導体デバイスの最小寸法が１００ｎｍを切る。したがって、半導体デバイスの寸法精度の要求は１０ｎｍ以下となり、そのための位置決めアクチュエータの位置決め精度は１ｎｍ以下、つまりサブｎｍのものが要望される。また、その高速性も同様に要求される。このような精密位置決め装置や、精密移動機構等に気体アクチュエータを用いることが期待されている。すなわち、気体圧アクチュエータを用いる移動機構は、他の機構に較べ、コンタミネーションの発生が少ないほか、電磁的ノイズを発生せず、振動、騒音も少ないからである。   In recent years, there has been a significant demand for improved accuracy and resolution in positioning devices. For example, in an exposure apparatus for a semiconductor device, the minimum dimension of the semiconductor device is less than 100 nm. Therefore, the dimensional accuracy requirement of the semiconductor device is 10 nm or less, and the positioning accuracy for that purpose is 1 nm or less, that is, sub-nm. Further, the high speed is also required. It is expected to use a gas actuator for such a precision positioning device, a precision movement mechanism, and the like. That is, the moving mechanism using the gas pressure actuator generates less contamination than other mechanisms, does not generate electromagnetic noise, and has less vibration and noise.

そのためには、気体アクチュエータに供給する気体圧を精密に制御する必要があるが、従来技術のスプールとスリーブを用いる気体圧制御弁においては限界がある。すなわち、上記のように、この方式ではスプールの僅かな変化で、負荷口の出力、例えば出力圧力を大きく変化させることができることに特徴があるが、そのために、スプールの移動量に対する出力圧力の関係は、ゲインは大きいが非線形となる。したがって、スプールの移動をいかに細かく調整しても、負荷口の出力圧力は非線形で大きく変化し、気体アクチュエータに供給する気体圧を精密に制御することに限度がある。   For this purpose, it is necessary to precisely control the gas pressure supplied to the gas actuator, but there is a limit in the conventional gas pressure control valve using a spool and a sleeve. That is, as described above, this method is characterized in that the output of the load port, for example, the output pressure can be changed greatly by a slight change of the spool. For this reason, the relationship between the output pressure and the amount of movement of the spool. The gain is large but non-linear. Therefore, no matter how finely the spool movement is adjusted, the output pressure at the load port varies greatly in a non-linear manner, and there is a limit to precisely controlling the gas pressure supplied to the gas actuator.

なお、特許文献１のようにトルクモータでアーマチュアを回転させ、その揺動をスプールの直線移動に変換する方式は、その回転自体で磁気ギャップが変化し、アーマチュアの運動にヒステリシスが生じ、駆動信号に対し、アーマチュアの位置、すなわちスプールの位置が不確定になる問題がある。   In the method of rotating the armature with a torque motor and converting the swing to a linear movement of the spool as in Patent Document 1, the magnetic gap changes by the rotation itself, and hysteresis occurs in the armature motion, and the drive signal On the other hand, there is a problem that the position of the armature, that is, the position of the spool becomes uncertain.

その観点からは、特許文献２のようなフォースモータにより直接スプールを直線駆動する方式の方が望ましい。フォースモータは、直線方向に配置された固定子磁気ギャップの中をコイルの可動子が移動するもので、いわゆるリニアモータである。この方式では、コイルに流す電流に比例して可動子の推力が決まり、可動子にスプールを接続することで、スプールの位置をコイルに流す電流で精度よく容易に制御できる。しかし、スプールの移動駆動を精密に調整しても、上記のように、負荷口の出力圧力は非線形で大きく変化してしまうので、そのままでは、気体アクチュエータに供給する気体圧を精密に制御することに限度がある。   From this point of view, a method in which the spool is directly linearly driven by a force motor as in Patent Document 2 is desirable. The force motor is a so-called linear motor in which a coil mover moves in a stator magnetic gap arranged in a linear direction. In this method, the thrust of the mover is determined in proportion to the current flowing through the coil, and the spool can be connected to the mover so that the position of the spool can be easily and accurately controlled with the current flowing through the coil. However, even if the spool drive is adjusted precisely, the output pressure at the load port will change greatly in a non-linear manner as described above. Therefore, the gas pressure supplied to the gas actuator must be precisely controlled as it is. There is a limit.

また、負荷口において、供給口側から圧力気体が流れ込むとき、あるいは負荷側の気体が大気に連通する排出口に流れるとき、中央ランド部と供給口側、あるいは中央ランド部と排出口側のところでは狭い隙間を圧力気体が高圧側から低圧側に流れる。このように狭い隙間で気体が絞られるのは、オリフィスによって気体が絞られるのと同じで、乱流や渦流等が生ずることがあり、特に、高圧かつ高速の気体を扱うときはオリフィスのエッジ等から衝撃波が生ずることがあることが知られている（例えば、白倉等，「機械工学全書１２ 流体力学」，株式会社コロナ社，１９８２年７月１日，第１刷，ｐ１８１，ｐ２００等参照）。このような乱流、渦流、特に衝撃波は、絞られた後の気体の圧力に対し、ノイズとなる。したがって、負荷に供給される気体に衝撃波等のノイズが伴うことがあり、気体アクチュエータに供給する気体圧に好ましくない影響を与える。   Also, at the load port, when pressure gas flows from the supply port side, or when the load side gas flows to the discharge port communicating with the atmosphere, at the central land portion and the supply port side, or at the central land portion and the discharge port side. The pressure gas flows from the high pressure side to the low pressure side through a narrow gap. The narrowing of the gas in such a narrow gap is the same as when the gas is throttled by the orifice, which may cause turbulence and vortex flow. Especially when handling high-pressure and high-speed gas, the edge of the orifice, etc. (See, for example, Shirakura et al., “Mechanical Engineering Complete Book 12, Fluid Dynamics”, Corona Co., Ltd., July 1, 1982, First Printing, p181, p200, etc.) . Such turbulent flow, vortex flow, and particularly shock waves become noise against the pressure of the gas after being throttled. Therefore, noise such as shock waves may accompany the gas supplied to the load, which adversely affects the gas pressure supplied to the gas actuator.

このように、従来技術のスプール・スリーブ方式気体圧制御弁では、スプールの移動駆動に対し出力圧力が非線形となり、また、出力される気体に衝撃波等のノイズを伴うことがある。したがって、従来技術のスプール・スリーブ方式気体圧制御弁を用いて、例えば、精密位置決め装置や、精密移動機構等の気体アクチュエータに気体圧を供給すると、それらが要求する気体圧の精度に比べ不十分なことがある。   As described above, in the conventional spool-sleeve type gas pressure control valve, the output pressure becomes non-linear with respect to the movement of the spool, and noise such as a shock wave may be added to the output gas. Therefore, if the gas pressure is supplied to a gas actuator such as a precision positioning device or a precision moving mechanism using a spool-sleeve type gas pressure control valve of the prior art, it is insufficient compared to the accuracy of the gas pressure required by them. There is something wrong.

本発明の目的は、スプールの移動駆動に対する出力圧力の非線形性を抑制できる気体圧制御弁を提供することである。他の目的は、出力圧力のノイズを抑制することができる気体圧制御弁を提供することである。以下に述べる手段は、これらの目的の少なくとも１つに奉仕するものである。   The objective of this invention is providing the gas pressure control valve which can suppress the nonlinearity of the output pressure with respect to the movement drive of a spool. Another object is to provide a gas pressure control valve that can suppress noise in the output pressure. The means described below serve at least one of these purposes.

本発明に係る気体圧制御弁は、間隔をおいて軸方向に配列された複数のランド部と、隣接するランド部を接続するステム部とを含むスプールと、スプールを軸方向移動可能に支持する内壁を有し、スプールと協働してスプールの隣り合うランド部の間の空間を内壁で囲むことで少なくとも第１圧力室と第２圧力室とを形成するスリーブであって、第１圧力室に対し１次側気体圧を有する気体を供給する供給口と、第２圧力室から気体を排気する排気口と、第１圧力室又は第２圧力室から２次側気体圧を有する気体を取出して出力する負荷口とを含むスリーブと、スプールを軸方向に直線駆動する駆動機構と、を備え、駆動機構の駆動に応じ、第１圧力室及び第２圧力室とがスリーブの供給口及び排気口及び負荷口に対し相対的に移動することにより、負荷口の２次側気体圧を制御する気体圧制御弁において、駆動機構は、軸方向に配置された固定子磁気ギャップと、駆動信号が入力されるコイルを有し、固定子磁気ギャップと協働して軸方向に駆動される可動子と、を有し、スプールの第１圧力室と第２圧力室とを隔て、負荷口に向かい合うランド部は、第１圧力室側に設けられ、受圧面積の大きい第１フランジと、第２圧力室側に設けられ、受圧面積の小さい第２フランジと、第１フランジと第２フランジとの間を接続し第２フランジの外径と同じかそれより小さい外径の接続ランドと、を有することを特徴とする。   A gas pressure control valve according to the present invention supports a spool including a plurality of land portions arranged in the axial direction at intervals, a stem portion connecting adjacent land portions, and the spool so as to be movable in the axial direction. A sleeve having an inner wall and forming at least a first pressure chamber and a second pressure chamber by surrounding a space between adjacent land portions of the spool with the inner wall in cooperation with the spool, the first pressure chamber Supply port for supplying a gas having a primary gas pressure, an exhaust port for exhausting the gas from the second pressure chamber, and taking out a gas having a secondary gas pressure from the first pressure chamber or the second pressure chamber And a drive mechanism that linearly drives the spool in the axial direction, and the first pressure chamber and the second pressure chamber correspond to the sleeve supply port and exhaust according to the drive of the drive mechanism. Move relative to the mouth and load port Thus, in the gas pressure control valve for controlling the secondary side gas pressure of the load port, the drive mechanism has a stator magnetic gap arranged in the axial direction and a coil to which a drive signal is inputted, and the stator magnetic gap And a land portion facing the load port with the first pressure chamber and the second pressure chamber of the spool facing each other. The land portion is provided on the first pressure chamber side. The first flange having a large pressure receiving area and the second flange having a small pressure receiving area provided on the second pressure chamber side are connected between the first flange and the second flange, and is the same as the outer diameter of the second flange? And a connection land having a smaller outer diameter.

また、本発明に係る気体圧制御弁は、間隔をおいて軸方向に配列された複数のランド部と、隣接するランド部を接続するステム部とを含むスプールと、スプールを軸方向移動可能に支持する内壁を有し、スプールと協働してスプールの隣り合うランド部の間の空間を内壁で囲むことで少なくとも第１圧力室と第２圧力室とを形成するスリーブであって、第１圧力室に対し１次側気体圧を有する気体を供給する供給口と、第２圧力室から気体を排気する排気口と、第１圧力室又は第２圧力室から２次側気体圧を有する気体を取出して出力する負荷口とを含むスリーブと、スプールを軸方向に直線駆動する駆動機構と、を備え、駆動機構の駆動に応じ、第１圧力室及び第２圧力室とがスリーブの供給口及び排気口及び負荷口に対し相対的に移動することにより、負荷口の２次側気体圧を制御する気体圧制御弁において、駆動機構は、軸方向に配置された固定子磁気ギャップと、駆動信号が入力されるコイルを有し、固定子磁気ギャップと協働して軸方向に駆動される可動子と、を有し、スリーブに設けられる負荷口は、一方の開口は負荷口に面し、他方の開口はスリーブの外周に設けられる複数のスリットを含み、スリットの整流作用により流れる気体を乱れなく形成することを特徴とする。   Further, the gas pressure control valve according to the present invention includes a spool including a plurality of land portions arranged in the axial direction at intervals and a stem portion connecting adjacent land portions, and the spool is movable in the axial direction. A sleeve having an inner wall to support and forming at least a first pressure chamber and a second pressure chamber by surrounding the space between adjacent land portions of the spool with the inner wall in cooperation with the spool, A supply port for supplying a gas having a primary side gas pressure to the pressure chamber, an exhaust port for exhausting the gas from the second pressure chamber, and a gas having a secondary side gas pressure from the first pressure chamber or the second pressure chamber And a drive mechanism that linearly drives the spool in the axial direction, and the first pressure chamber and the second pressure chamber are supplied to the sleeve according to the drive of the drive mechanism. And move relative to the exhaust port and load port. Thus, in the gas pressure control valve for controlling the secondary side gas pressure of the load port, the drive mechanism has a stator magnetic gap arranged in the axial direction and a coil to which a drive signal is inputted, and the stator magnetism A load port provided in the sleeve, wherein one opening faces the load port, and the other opening is a plurality of holes provided on the outer periphery of the sleeve. It includes a slit, and the gas flowing by the rectifying action of the slit is formed without disturbance.

また、複数のスリットのそれぞれは、所定の平行隙間を有する平行隙間スリットであることが好ましい。また、複数のスリットのそれぞれは、一方の開口の隙間より他方の開口の隙間が広い隙間広がりスリットであることが好ましい。   Each of the plurality of slits is preferably a parallel gap slit having a predetermined parallel gap. In addition, each of the plurality of slits is preferably a gap spreading slit in which the gap of the other opening is wider than the gap of the one opening.

また、本発明に係る気体圧制御弁は、間隔をおいて軸方向に配列された複数のランド部と、隣接するランド部を接続するステム部とを含むスプールと、スプールを軸方向移動可能に支持する内壁を有し、スプールと協働してスプールの隣り合うランド部の間の空間を内壁で囲むことで少なくとも第１圧力室と第２圧力室とを形成するスリーブであって、第１圧力室に対し１次側気体圧を有する気体を供給する供給口と、第２圧力室から気体を排気する排気口と、第１圧力室又は第２圧力室から２次側気体圧を有する気体を取出して出力する負荷口とを含むスリーブと、スプールを軸方向に直線駆動する駆動機構と、を備え、駆動機構の駆動に応じ、第１圧力室及び第２圧力室とがスリーブの供給口及び排気口及び負荷口に対し相対的に移動することにより、負荷口の２次側気体圧を制御する気体圧制御弁において、駆動機構は、軸方向に配置された固定子磁気ギャップと、駆動信号が入力されるコイルを有し、固定子磁気ギャップと協働して軸方向に駆動される可動子と、を有し、スリーブに設けられる負荷口は、一方の開口が負荷口に面し、他方の開口がスリーブの外周に設けられ、気体の流れ方向に沿い並列に配置された所定の断面積を有する複数の管路を含み、管路の整流作用により流れる気体を乱れなく形成することを特徴とする。   Further, the gas pressure control valve according to the present invention includes a spool including a plurality of land portions arranged in the axial direction at intervals and a stem portion connecting adjacent land portions, and the spool is movable in the axial direction. A sleeve having an inner wall to support and forming at least a first pressure chamber and a second pressure chamber by surrounding the space between adjacent land portions of the spool with the inner wall in cooperation with the spool, A supply port for supplying a gas having a primary side gas pressure to the pressure chamber, an exhaust port for exhausting the gas from the second pressure chamber, and a gas having a secondary side gas pressure from the first pressure chamber or the second pressure chamber And a drive mechanism that linearly drives the spool in the axial direction, and the first pressure chamber and the second pressure chamber are supplied to the sleeve according to the drive of the drive mechanism. And move relative to the exhaust port and load port. Thus, in the gas pressure control valve for controlling the secondary side gas pressure of the load port, the drive mechanism has a stator magnetic gap arranged in the axial direction and a coil to which a drive signal is inputted, and the stator magnetism A load port provided in the sleeve, one opening faces the load port, and the other opening is provided on the outer periphery of the sleeve, and the gas port is provided in the outer periphery of the sleeve. A plurality of pipes having a predetermined cross-sectional area arranged in parallel along the flow direction of the gas, and the gas flowing by the rectifying action of the pipes is formed without disturbance.

また、本発明に係る気体圧制御弁において、スプールに対し、軸方向に沿った任意のオフセット位置を中心に付勢するつり合いばねを備えることが好ましい。   Moreover, the gas pressure control valve according to the present invention preferably includes a balance spring that biases the spool around an arbitrary offset position along the axial direction.

また、本発明に係る気体圧制御弁において、スプールの軸方向の変位を検出する変位センサ又は軸方向の速度を検出する速度検出センサのうち少なくとも一方を備えることが好ましい。   Moreover, the gas pressure control valve according to the present invention preferably includes at least one of a displacement sensor for detecting an axial displacement of the spool and a speed detection sensor for detecting an axial speed.

上記構成により、スプールとスリーブを用いる気体圧制御弁において、軸方向に配置された固定子磁気ギャップと、可動子とを含む駆動機構により、スプールが軸方向に移動駆動される。この駆動機構は、いわゆるリニアモータ又はフォースモータと呼ばれることがある。固定子磁気ギャップは、可動子の移動方向である軸方向に配置され、可動子すなわちスプールの移動により磁気ギャップが変動することがなく、したがって、スプールの駆動においてヒステリシスを抑制することができる。   With the above configuration, in the gas pressure control valve using the spool and the sleeve, the spool is moved and driven in the axial direction by the drive mechanism including the stator magnetic gap and the mover arranged in the axial direction. This drive mechanism is sometimes called a so-called linear motor or force motor. The stator magnetic gap is arranged in the axial direction, which is the moving direction of the mover, and the magnetic gap does not fluctuate due to the movement of the mover, that is, the spool. Therefore, hysteresis can be suppressed in driving the spool.

また、上記構成の少なくとも１つにより、負荷口に向かい合うスプールのランド部は、両端にフランジを有し、１次側気体圧が供給される第１圧力室側の第１フランジの受圧面積の方が、排気口につながる第２圧力室側の第２フランジの受圧面積よりも大きい。これにより、以下に説明するように、リニアモータの駆動電流と、負荷口からの出力圧力との関係がほぼ直線関係とすることができる。   Further, according to at least one of the above-described configurations, the land portion of the spool facing the load port has flanges at both ends, and the pressure receiving area of the first flange on the first pressure chamber side to which the primary side gas pressure is supplied. Is larger than the pressure receiving area of the second flange on the second pressure chamber side connected to the exhaust port. Thereby, as will be described below, the relationship between the drive current of the linear motor and the output pressure from the load port can be substantially linear.

図１に、上記構成の要部を示す。図１において、スプール１０はスリーブ１２に軸方向移動可能に支持され、スプール１０は、軸方向に間隔を置いて配列された３つのランド部１４，１６，１８と、隣接するランド部を接続するステム部とを含む。スプール１０は図示されていないリニアモータによって、図１に示すＸ方向、すなわち軸方向に移動駆動される。   FIG. 1 shows a main part of the above configuration. In FIG. 1, a spool 10 is supported by a sleeve 12 so as to be movable in the axial direction, and the spool 10 connects three land portions 14, 16, and 18 arranged at intervals in the axial direction to adjacent land portions. Stem portion. The spool 10 is driven to move in the X direction shown in FIG. 1, that is, in the axial direction, by a linear motor (not shown).

従来一般的なスプールとスリーブの組み合わせは、スリーブの内径は軸方向に一様で、スプールの各ランド部の外径も、スリーブの内径よりやや小さめであるが同じである。図１においては、スリーブ１２の内径が紙面の左側寄りの部分と右側寄りの部分とで異なり、それに応じ、左側ランド部１６の直径Ａは、右側ランド部１８の直径Ｂより大きい。そして中央ランド部１４は、左側ランド部１６に面する方に直径Ａの第１フランジ２０、右側ランド部１８に面する方に直径Ｂの第２フランジ２２を有し、その間は第２フランジ２２の直径Ｂと同じかそれよりさらに小さい直径Ｄの軸部で接続される。左側ランド部１６と第１フランジ２０との間、及び右側ランド部１８と第２フランジ２２との間は、いわゆるステム部で、その直径はｄである。図１においては、Ａ＞Ｂ≧Ｄ＞ｄの関係に設定される。このように、スプール１０は段付き構造となり、スリーブ１２もそれに対応し、内径が段付き構造となっている。   In a conventional combination of a spool and a sleeve, the inner diameter of the sleeve is uniform in the axial direction, and the outer diameter of each land portion of the spool is slightly smaller than the inner diameter of the sleeve, but is the same. In FIG. 1, the inner diameter of the sleeve 12 is different between the left side portion and the right side portion of the paper surface, and accordingly, the diameter A of the left land portion 16 is larger than the diameter B of the right land portion 18. The central land portion 14 has a first flange 20 having a diameter A on the side facing the left land portion 16, and a second flange 22 having a diameter B on the side facing the right land portion 18. Are connected by a shaft portion having a diameter D which is equal to or smaller than the diameter B. Between the left land portion 16 and the first flange 20 and between the right land portion 18 and the second flange 22 is a so-called stem portion, and the diameter thereof is d. In FIG. 1, a relationship of A> B ≧ D> d is set. Thus, the spool 10 has a stepped structure, and the sleeve 12 also has a stepped structure corresponding to the inner diameter.

また、スリーブ１２には、１次側気体圧Ｐｓが供給される供給口２４と、大気Ｐ０に開放される排気口２６と、中央ランド部１４の軸方向の幅に対応する開口を有し、図示されていない負荷に気体圧Ｐａを出力する負荷口２８とが設けられる。そして、左側ランド部１６と第１フランジ２０とスリーブ１２の内径と直径ｄのステムとにより第１圧力室３０が形成され、第１圧力室３０は供給口２４に向かい合う。同様に、右側ランド部１８と第２フランジ２２とスリーブ１２の内径と直径ｄのステムとにより第２圧力室３２が形成され、第２圧力室３２は排気口２６に向かい合う。中央ランド部１４においては、第１フランジ２０と第２フランジ２２とスリーブ１２の段付き内径と直径Ｄの軸部分とで、負荷口２８に向かい合う制御圧力室３４が形成される。 Further, the sleeve 12 has a supply port 24 to which the primary gas pressure Ps is supplied, an exhaust port 26 opened to the atmosphere P 0 , and an opening corresponding to the axial width of the central land portion 14. A load port 28 for outputting the gas pressure Pa to a load (not shown) is provided. A first pressure chamber 30 is formed by the left land portion 16, the first flange 20, the inner diameter of the sleeve 12 and the stem having a diameter d, and the first pressure chamber 30 faces the supply port 24. Similarly, a second pressure chamber 32 is formed by the right land portion 18, the second flange 22, the inner diameter of the sleeve 12 and the stem having a diameter d, and the second pressure chamber 32 faces the exhaust port 26. In the central land portion 14, a control pressure chamber 34 facing the load port 28 is formed by the first flange 20, the second flange 22, the stepped inner diameter of the sleeve 12 and the shaft portion having the diameter D.

したがって、第１フランジ２０は、スリーブ１２の内径と協働して、第１圧力室３０と、制御圧力室３４ないし負荷口２８との間を仕切る機能を有し、第２フランジ２２は、スリーブ１２の内径と協働して、第２圧力室３２と、制御圧力室３４ないし負荷口２８との間を仕切る機能を有する。これにより、スプール１０が図１に示す−Ｘ方向に移動駆動されると、第１フランジ２０が負荷口２８の開口側に移動し、供給口２４から１次側気体圧Ｐｓが負荷口２８へ流れ込む。逆に、スプール１０が図１に示す＋Ｘ方向に移動駆動されると、第２フランジ２２が負荷口２８の開口側に移動し、図示されていない負荷から排気口２６を介し大気Ｐ０に気体が開放される。そして、スプール１０の移動を元に戻す付勢力又は適当なフィードバックにより、負荷口２８に出力される２次側気体圧Ｐａが所望の値に調整されることになる。 Therefore, the first flange 20 has a function of partitioning between the first pressure chamber 30 and the control pressure chamber 34 or the load port 28 in cooperation with the inner diameter of the sleeve 12, and the second flange 22 is formed of the sleeve. 12 has a function of partitioning between the second pressure chamber 32 and the control pressure chamber 34 or the load port 28 in cooperation with the inner diameter of 12. Thereby, when the spool 10 is driven to move in the −X direction shown in FIG. 1, the first flange 20 moves to the opening side of the load port 28, and the primary side gas pressure Ps is supplied from the supply port 24 to the load port 28. Flows in. Conversely, when the spool 10 is driven to move in the + X direction shown in FIG. 1, the second flange 22 moves to the opening side of the load port 28, and gas flows from the load (not shown) to the atmosphere P 0 through the exhaust port 26. Is released. Then, the secondary side gas pressure Pa output to the load port 28 is adjusted to a desired value by an urging force for returning the movement of the spool 10 or an appropriate feedback.

このような構成で、スプール１０に図示されていないリニアモータから軸方向の駆動力Ｆが与えられると、この駆動力Ｆは、スプール１０に加わる軸方向の気体圧による推力とつりあう。スプール１０に加わる軸方向の気体圧による推力は、１次側気体圧Ｐｓが第１ランド部１６と第１フランジ２０にそれぞれ逆方向に加わり、大気Ｐ０が第２ランド部１８と第２フランジ２２にそれぞれ逆方向に加わるほか、制御圧力室３４において、気体圧Ｐａが第１フランジ２０と第２フランジ２２にそれぞれ逆方向に加わる。第１ランド部１６の直径＝第１フランジ２０の直径＝Ａで、第２ランド部１８の直径＝第２フランジ２２の直径＝Ｂであるので、結局気体圧による推力は次の大きさとなる。 With such a configuration, when an axial driving force F is applied from a linear motor (not shown) to the spool 10, the driving force F balances with a thrust due to axial gas pressure applied to the spool 10. The thrust by the axial gas pressure applied to the spool 10 is such that the primary gas pressure Ps is applied to the first land portion 16 and the first flange 20 in opposite directions, and the atmosphere P 0 is applied to the second land portion 18 and the second flange. In addition to being applied in the opposite direction to the gas pressure 22, the gas pressure Pa is applied to the first flange 20 and the second flange 22 in the opposite direction in the control pressure chamber 34. Since the diameter of the first land portion 16 = the diameter of the first flange 20 = A and the diameter of the second land portion 18 = the diameter of the second flange 22 = B, the thrust due to the gas pressure eventually becomes the following magnitude.

{（Ａ２−Ｄ２）−（Ｂ２−Ｄ２）}×（π／４）×Ｐａ＝（Ａ２−Ｂ２）×（π／４）×Ｐａ
したがって、気体圧による推力は、負荷に供給したい所望の２次側気体圧Ｐａに比例する大きさとなり、これが図示されていないリニアモータの駆動力Ｆとつりあう。リニアモータの駆動力は、可動子コイルに流す電流Ｉに比例するので、所望の２次側気体圧Ｐａは駆動電流Ｉと比例関係にあることになる。その様子を図２に示す。 {(A 2 −D 2 ) − (B 2 −D 2 )} × (π / 4) × Pa = (A 2 −B 2 ) × (π / 4) × Pa
Therefore, the thrust by the gas pressure has a magnitude proportional to the desired secondary side gas pressure Pa to be supplied to the load, and this balances with the driving force F of the linear motor not shown. Since the driving force of the linear motor is proportional to the current I flowing through the mover coil, the desired secondary side gas pressure Pa is proportional to the driving current I. This is shown in FIG.

図２は、リニアモータの可動コイルに流す入力電流Ｉと、それによりスプール１０が軸方向に移動駆動されて負荷口２８から出力される出力圧力Ｐの関係を示す図である。このように、入力電流Ｉと出力圧力Ｐとは、ほぼ比例関係にある。   FIG. 2 is a diagram showing the relationship between the input current I flowing through the movable coil of the linear motor and the output pressure P output from the load port 28 when the spool 10 is driven to move in the axial direction. Thus, the input current I and the output pressure P are in a substantially proportional relationship.

このように、スプールとスリーブとを用いる気体圧制御弁において、スリーブを段付き構造とし、スプールの中央ランド部の構成を、気体圧を受ける面積の異なる２つのフランジを両端に備える構成とすることで、スプールの移動駆動に対する出力圧力の非線形性を抑制して、ほぼ比例関係とすることができる。   As described above, in the gas pressure control valve using the spool and the sleeve, the sleeve has a stepped structure, and the configuration of the central land portion of the spool includes two flanges having different areas for receiving the gas pressure at both ends. Thus, the non-linearity of the output pressure with respect to the movement drive of the spool can be suppressed, so that a substantially proportional relationship can be obtained.

また、上記構成の少なくとも１つにより、負荷口は、複数のスリットを含むものとし、スリットの整流作用により、流れる気体を乱れなく形成する。乱れなく形成された気体は、乱流、渦流を含まず、衝撃波を生ずることもない。したがって、出力圧力のノイズを抑制することができる。   In addition, with at least one of the above-described configurations, the load port includes a plurality of slits, and the flowing gas is formed without being disturbed by the rectifying action of the slits. The gas formed without turbulence does not include turbulence and vortex, and does not generate shock waves. Therefore, noise of output pressure can be suppressed.

また、スリットのそれぞれは平行隙間スリットとするので、負荷口を製作する加工が容易である。スリットのそれぞれは隙間広がりスリットとするので、気体の流れが下流側に向かって滑らかになる。   Further, since each of the slits is a parallel gap slit, the process of manufacturing the load port is easy. Since each of the slits is a gap-spreading slit, the gas flow becomes smooth toward the downstream side.

また、上記構成の少なくとも１つにより、負荷口は、所定の断面積を有する複数の管路を並列に複数配置する。すなわち、気体流路をその断面積に渡り２次元的に多数の平行隙間に分割し、これを所定断面積の複数の管路としてその整流作用により流れる気体を乱れなく形成する。乱れなく形成された気体は、乱流、渦流を含まず、衝撃波を生ずることもない。したがって、出力圧力のノイズを抑制することができる。   In addition, according to at least one of the above-described configurations, the load port has a plurality of pipe lines having a predetermined cross-sectional area arranged in parallel. That is, the gas flow path is divided into a plurality of parallel gaps two-dimensionally over the cross-sectional area, and the gas flowing through the rectifying action is formed without any disturbance as a plurality of pipe lines having a predetermined cross-sectional area. The gas formed without turbulence does not include turbulence and vortex, and does not generate shock waves. Therefore, noise of output pressure can be suppressed.

また、つり合いばねを備えるので、スプールを任意のオフセット位置に設定でき、これによりスプールの中立位置あるいは駆動原点を正確に設定でき、スプールの駆動を正確なものとでき、出力圧力を精度よく制御できる。   In addition, since the balance spring is provided, the spool can be set to an arbitrary offset position, so that the neutral position or drive origin of the spool can be set accurately, the spool can be driven accurately, and the output pressure can be accurately controlled. .

また、スプールの運動について、変位センサ又は速度検出センサのうち少なくとも一方を備えるので、スプールの駆動に変位フィードバック又は速度フィードバック又はその双方のフィードバックが可能となり、正確なスプールの駆動を行うことができ、出力圧力を精度よく制御できる。   Further, since at least one of the displacement sensor and the speed detection sensor is provided for the movement of the spool, displacement feedback and / or speed feedback can be fed to drive the spool, and accurate spool driving can be performed. The output pressure can be accurately controlled.

以下に図面を用いて、本発明に係る実施の形態につき詳細に説明する。なお、以下の説明に用いる寸法等の数値は、１例であり、気体圧制御弁に要求される性能、および全体の大きさ等を考慮して適宜変更することができる。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. It should be noted that the numerical values such as dimensions used in the following description are examples, and can be appropriately changed in consideration of the performance required for the gas pressure control valve, the overall size, and the like.

図３は、図示されていない負荷、例えば微小移動機構のアクチュエータに、精密に調整された気体圧Ｐａを供給できる気体圧制御弁２の詳細な構成図である。ここで、図示されていない気体供給源からの供給圧Ｐｓ、大気Ｐ０、負荷に供給される出力圧力である気体圧Ｐａは、図１と同じ記号として示す。また、スプール１０及びスリーブ１２の内容も図１で説明したものと同じであるので、同様の要素には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。なお、スプール１０の軸方向、すなわち移動方向をＸ方向として図１中に示す。 FIG. 3 is a detailed configuration diagram of the gas pressure control valve 2 that can supply a precisely adjusted gas pressure Pa to a load (not shown), for example, an actuator of a minute movement mechanism. Here, the supply pressure Ps from the gas supply source (not shown), the atmosphere P 0 , and the gas pressure Pa that is the output pressure supplied to the load are shown as the same symbols as in FIG. Further, since the contents of the spool 10 and the sleeve 12 are the same as those described with reference to FIG. 1, the same reference numerals are given to the same elements, and detailed description thereof is omitted. Note that the axial direction of the spool 10, that is, the moving direction is shown in FIG. 1 as the X direction.

気体圧制御弁２は、気密構造の筐体４の中に、図１で説明したスプール１０とスリーブ１２と、スプール１０を軸方向に移動駆動するリニアモータ４０と、スプール１０を軸方向に付勢するつり合いばね５２，５４と、スプール１０の軸方向速度を検出するサーチコイル型の速度検出センサ６０等を備える。   The gas pressure control valve 2 is attached in a hermetic housing 4 to the spool 10 and the sleeve 12, the linear motor 40 that moves the spool 10 in the axial direction, and the spool 10 in the axial direction. Balance springs 52 and 54 to be energized, a search coil type speed detection sensor 60 for detecting the axial speed of the spool 10, and the like.

気体圧制御弁２の動作は、制御部８０により制御される。制御部８０には、速度検出センサ６０の検出信号が入力され、これらに基づき、リニアモータ４０へ駆動信号が出力される。かかる制御部８０は、適当なアナログ電子回路又はディジタル電子回路や、コンピュータ等のデータ処理装置で構成することができる。制御部８０は、気体圧制御弁２の一部として構成してもよく、また独立して構成してもよく、あるいは気体圧制御弁２の出力圧力が供給される負荷、例えば微小移動機構のアクチュエータ等における制御部の一部として構成することもできる。   The operation of the gas pressure control valve 2 is controlled by the control unit 80. A detection signal from the speed detection sensor 60 is input to the control unit 80, and a drive signal is output to the linear motor 40 based on these signals. The control unit 80 can be configured by a suitable analog electronic circuit or digital electronic circuit, or a data processing device such as a computer. The control unit 80 may be configured as a part of the gas pressure control valve 2 or may be configured independently, or a load to which the output pressure of the gas pressure control valve 2 is supplied, for example, a minute movement mechanism. It can also be configured as part of a control unit in an actuator or the like.

筐体４は、内部に気体圧制御弁２の各構成要素を収納し、スリーブ１２の供給口２４、排気口２６、負荷口２８のそれぞれ接続されて外部に開口する各気体ポートを除いて気密であるケース体で、数個のブロックを組み立てて得ることができる。図３の例では、スリーブ１２の外周を固定保持するブロックを中心に、リニアモータ４０と速度検出センサ６０を組み込みやすいように、全体として４つのブロックに分けられている。かかる筐体４は、適当な金属ブロックを加工し、適当な気密シーリングを用いながら気密に組み立て、適当な固定手段で固定して得ることができる。材質は、気密性、堅牢性等を満たせば金属以外のものを一部用いることができるが、少なくともリニアモータ４０のヨーク及びサーチコイル型の速度検出センサ６０のヨークを構成する部分は、磁性体であることを要する。   The housing 4 accommodates the components of the gas pressure control valve 2 inside, and is airtight except for the gas ports that are connected to the supply port 24, the exhaust port 26, and the load port 28 of the sleeve 12 and open to the outside. The case body can be obtained by assembling several blocks. In the example of FIG. 3, the block is generally divided into four blocks so that the linear motor 40 and the speed detection sensor 60 can be easily built around the block that holds the outer periphery of the sleeve 12 fixedly. Such a casing 4 can be obtained by processing an appropriate metal block, hermetically assembling using an appropriate hermetic sealing, and fixing with an appropriate fixing means. A material other than metal can be used as long as airtightness, robustness, and the like are satisfied. However, at least a portion constituting the yoke of the linear motor 40 and the yoke of the search coil type speed detection sensor 60 is made of a magnetic material. It is necessary to be.

スプール１０とスリーブ１２は、図１で説明したものと同じである。なお、図３においては、記号等の輻輳を避けるため、図１で示してある寸法のＡ，Ｂ，Ｄ，ｄの表示を省略してある。スプール１０とスリーブ１２の構成をまとめると以下のとおりである。すなわち、スリーブ１２の内径は、負荷口２８のところで段付き構造となり、図３の紙面の左側すなわち＋Ｘ側の内径の方が、−Ｘ側の内径より大きい。これに対応しスプール１０において、左側ランド部１６の直径Ａのほうが右側ランド部１８の直径Ｂよりも大きい。そして、中央ランド部１４は、左側ランド部１６に面する方に直径Ａの第１フランジ２０、右側ランド部１８に面する方に直径Ｂの第２フランジ２２を有し、その間は第２フランジ２２の直径Ｂと同じかそれよりさらに小さい直径Ｄで接続される。左側ランド部１６と第１フランジ２０との間、及び右側ランド部１８と第２フランジ２２との間は、いわゆるステム部で、その直径はｄである。図１においては、Ａ＞Ｂ≧Ｄ＞ｄの関係に設定される。このように、スリーブ１２は、内径が段付き構造となり、スプール１０もそれに対応し、段付き構造となっている。   The spool 10 and the sleeve 12 are the same as those described in FIG. In FIG. 3, the display of A, B, D, and d of the dimensions shown in FIG. 1 is omitted to avoid congestion of symbols and the like. The configurations of the spool 10 and the sleeve 12 are summarized as follows. That is, the inner diameter of the sleeve 12 has a stepped structure at the load port 28, and the inner diameter on the left side of FIG. 3, that is, on the + X side is larger than the inner diameter on the −X side. Correspondingly, in the spool 10, the diameter A of the left land portion 16 is larger than the diameter B of the right land portion 18. The central land portion 14 has a first flange 20 having a diameter A on the side facing the left land portion 16 and a second flange 22 having a diameter B on the side facing the right land portion 18. They are connected with a diameter D equal to or smaller than the diameter B of 22. Between the left land portion 16 and the first flange 20 and between the right land portion 18 and the second flange 22 is a so-called stem portion, and the diameter thereof is d. In FIG. 1, a relationship of A> B ≧ D> d is set. As described above, the sleeve 12 has a stepped structure on the inner diameter, and the spool 10 has a stepped structure corresponding thereto.

そして、スリーブ１２には、１次側気体圧Ｐｓが供給される供給口２４と、大気Ｐ０に開放される排気口２６と、中央ランド部１４の軸方向の幅に対応する開口を有し、図示されていない負荷に気体圧Ｐａを出力する負荷口２８とが設けられる。負荷口２８は、後述するように、気体の流れを乱れなく形成するためのスリットを含む。これらは、それぞれ筐体４の供給ポート、排気ポート、負荷ポートに開口し、筐体４の供給ポートには図示されていない気体供給源が接続され、排気ポートは大気に開放され、負荷ポートには微小移動機構のアクチュエータ等の負荷が接続される。 The sleeve 12 has a supply port 24 to which the primary gas pressure Ps is supplied, an exhaust port 26 opened to the atmosphere P 0 , and an opening corresponding to the axial width of the central land portion 14. A load port 28 for outputting the gas pressure Pa to a load (not shown) is provided. As will be described later, the load port 28 includes a slit for forming a gas flow without disturbance. These open to the supply port, the exhaust port, and the load port of the housing 4, respectively, and a gas supply source (not shown) is connected to the supply port of the housing 4, and the exhaust port is opened to the atmosphere. Is connected to a load such as an actuator of a minute movement mechanism.

そして、左側ランド部１６と第１フランジ２０とスリーブ１２の内径と直径ｄのステムとにより第１圧力室３０が形成され、第１圧力室３０は供給口２４に向かい合う。同様に、右側ランド部１８と第２フランジ２２とスリーブ１２の内径と直径ｄのステムとにより第２圧力室３２が形成され、第２圧力室３２は排気口２６に向かい合う。中央ランド部１４においては、第１フランジ２０と第２フランジ２２とスリーブ１２の段付き内径と直径Ｄの軸部分とで、負荷口２８に向かい合う制御圧力室３４が形成される。   A first pressure chamber 30 is formed by the left land portion 16, the first flange 20, the inner diameter of the sleeve 12 and the stem having a diameter d, and the first pressure chamber 30 faces the supply port 24. Similarly, a second pressure chamber 32 is formed by the right land portion 18, the second flange 22, the inner diameter of the sleeve 12 and the stem having a diameter d, and the second pressure chamber 32 faces the exhaust port 26. In the central land portion 14, a control pressure chamber 34 facing the load port 28 is formed by the first flange 20, the second flange 22, the stepped inner diameter of the sleeve 12 and the shaft portion having the diameter D.

また、スプール１０の右側ランド部１８の外周部と、それを支持するスリーブ１２の内径との間に気体軸受が設けられる。具体的には、右側ランド部１８の外周部に、軸方向に沿って複数の浅溝が設けられ、この各浅溝に、第１圧力室３０の供給圧Ｐｓが供給される。そのために、スプール１０の中心には、連通路３６が設けられ、第１圧力室３０と、右側ランド部１８の外周部の各浅溝とが接続される。右側ランド部１８の直径と、これに対応するスリーブ１２の内径との間の隙間を例えば７μｍとすると、浅溝の深さは、約３〜７μｍとすることができる。このような浅溝から気体を噴出し、軸方向に流すことで、いわゆる表面絞り効果により、右側ランド部１８すなわちスプール１０をスリーブ１２から浮上させることができる。このような気体軸受を用いることで、スプール１０の軸方向移動の負荷を減少させて滑らかな移動とし、精度よくスプール１０を移動させることができる。   Further, a gas bearing is provided between the outer peripheral portion of the right land portion 18 of the spool 10 and the inner diameter of the sleeve 12 that supports it. Specifically, a plurality of shallow grooves are provided in the outer peripheral portion of the right land portion 18 along the axial direction, and the supply pressure Ps of the first pressure chamber 30 is supplied to each of the shallow grooves. For this purpose, a communication passage 36 is provided at the center of the spool 10, and the first pressure chamber 30 is connected to each shallow groove on the outer peripheral portion of the right land portion 18. If the gap between the diameter of the right land portion 18 and the corresponding inner diameter of the sleeve 12 is 7 μm, for example, the depth of the shallow groove can be about 3 to 7 μm. By ejecting gas from such a shallow groove and flowing it in the axial direction, the right land portion 18, that is, the spool 10 can be lifted from the sleeve 12 by a so-called surface throttling effect. By using such a gas bearing, the load of the axial movement of the spool 10 can be reduced to achieve a smooth movement, and the spool 10 can be moved with high accuracy.

かかるスプール１０とスリーブ１２は、金属材料を精密に加工して得ることができる。特に、スプール１０のランド部１４，１６，１８と、スリーブ１２の内径は、お互いに摺動するので、滑らかに精度よく仕上げることが必要である。寸法例をあげると、スプール１０において、左側ランド部１６及び第１フランジ２０の直径Ａを１０ｍｍ、右側ランド部１８及び第２フランジ２２の直径Ｂを９．５ｍｍ、ステムの直径ｄを５ｍｍ、第１フランジ２０と第２フランジ２２との間の軸の直径Ｄを９ｍｍとすることができる。スリーブ１２の内径は、上記のように、スプール１０の直径Ａ，Ｂに対応し、それより約７μｍ程度大きめにすることが好ましい。   The spool 10 and the sleeve 12 can be obtained by precisely processing a metal material. In particular, since the land portions 14, 16, 18 of the spool 10 and the inner diameter of the sleeve 12 slide relative to each other, it is necessary to finish them smoothly and accurately. For example, in the spool 10, the left land portion 16 and the first flange 20 have a diameter A of 10 mm, the right land portion 18 and the second flange 22 have a diameter B of 9.5 mm, a stem diameter d of 5 mm, The diameter D of the shaft between the first flange 20 and the second flange 22 can be 9 mm. As described above, the inner diameter of the sleeve 12 corresponds to the diameters A and B of the spool 10 and is preferably about 7 μm larger than that.

リニアモータ４０は、スプール１０を軸方向に移動駆動する駆動機構で、スプール１０の軸方向の一方側における先端部に固定して取り付けられる。図３の例では、左側ランド部１６に近い先端部に取り付けられる。リニアモータ４０は、軸方向、すなわち図３のＸ方向に沿って配置される固定子磁気ギャップと、その固定子磁気ギャップの中を軸方向に移動する可動子を含む直線駆動装置で、スプール１０を軸方向に移動駆動する機能を有する。具体的には、磁性体である筐体４の一部に、Ｘ方向を軸方向とする円環状のギャップが設けられ、そのギャップの一方側に磁石４２が取り付けられる。このことで、ギャップが、軸方向に配置された固定子磁気ギャップとなる。可動子は、この固定子磁気ギャップの中を軸方向に移動できる円環状の部分を有する移動体４４と、移動体４４の円環状の部分に軸方向に配列されたコイル４６を含んで構成される。   The linear motor 40 is a drive mechanism that moves and drives the spool 10 in the axial direction, and is fixedly attached to a tip portion on one side of the spool 10 in the axial direction. In the example of FIG. 3, it is attached to the tip portion close to the left land portion 16. The linear motor 40 is a linear drive device that includes a stator magnetic gap disposed along the axial direction, that is, the X direction in FIG. 3, and a mover that moves in the stator magnetic gap in the axial direction. Has a function of moving and driving in the axial direction. Specifically, an annular gap whose axial direction is the X direction is provided in a part of the housing 4 that is a magnetic body, and a magnet 42 is attached to one side of the gap. This makes the gap a stator magnetic gap arranged in the axial direction. The mover includes a moving body 44 having an annular portion that can move in the axial direction in the stator magnetic gap, and a coil 46 arranged in the axial direction on the annular portion of the moving body 44. The

このような固定子磁気ギャップと可動子の組み合わせにより、コイル４６に駆動電流を流すことで、この電流と、コイル４６を鎖交する固定子磁気ギャップの磁束との協働作用により、コイル４６に軸方向の駆動力が与えられる。そして、このような構造において一般には、固定子磁気ギャップの中の磁束密度は、軸方向の場所により変化しない。したがって、固定子磁気ギャップの中をコイル４６が軸方向に移動する分には、磁気ギャップとの協働作用に大きな変化がなく、いわゆる移動についてのヒステリシスがほとんど生じない。   A combination of such a stator magnetic gap and a mover causes a drive current to flow through the coil 46, and this current and the magnetic flux of the stator magnetic gap interlinking the coil 46 cause a cooperative action on the coil 46. Axial driving force is applied. In such a structure, in general, the magnetic flux density in the stator magnetic gap does not change depending on the location in the axial direction. Therefore, as the coil 46 moves in the axial direction in the stator magnetic gap, there is no significant change in the cooperative action with the magnetic gap, and so-called hysteresis with respect to movement hardly occurs.

磁石４２は、固定子磁気ギャップを形成し、コイル４６に鎖交する磁束を発生するためのものである。磁石４２は、上記の円環状ギャップに合わせ、円環状としてもよく、また必要なトルクを得る程度に、円管状ギャップの一部に設けてもよい。かかる磁石としては、高性能の永久磁石を用いることができる。筐体４に磁石４２を取り付けるには、適当な接着材を用いてもよく、あるいは、磁性体と磁石の吸引力のみで保持することもできる。   The magnet 42 forms a stator magnetic gap and generates a magnetic flux interlinking with the coil 46. The magnet 42 may be formed in an annular shape in accordance with the annular gap described above, or may be provided in a part of the annular gap so as to obtain a necessary torque. As such a magnet, a high-performance permanent magnet can be used. In order to attach the magnet 42 to the housing 4, an appropriate adhesive may be used, or the magnet 42 can be held only by the attraction force of the magnetic body and the magnet.

移動体４４は、固定子磁気ギャップと協働して駆動力を発生するコイル４６を搭載し、またスプール１０が取り付けられる部品である。移動体４４は、概略お椀形の形状のもので、お椀形の円環状側面にコイル４６が円周方向に沿って巻きつけられる。お椀形の底にあたる部分は、スプール１０との接続部である。かかる移動体４４は、適当な強度を有する金属又は樹脂を用い、一体成形で得ることができる。また、必要なトルクを得られるならば、移動体４４を完全な円環状とせずに、円環状の一部の形状として、そこにコイル４６を巻回してもよい。   The moving body 44 is a component on which a coil 46 that generates a driving force in cooperation with the stator magnetic gap is mounted and the spool 10 is attached. The moving body 44 has a generally bowl-shaped shape, and a coil 46 is wound around the bowl-shaped annular side surface along the circumferential direction. A portion corresponding to the bottom of the bowl shape is a connection portion with the spool 10. Such a moving body 44 can be obtained by integral molding using a metal or resin having an appropriate strength. Further, if the required torque can be obtained, the moving body 44 may not be formed into a complete annular shape, but may be wound around the coil 46 as a part of the annular shape.

コイル４６は、絶縁被服導線を移動体４４の円環状側面に円周状に複数回巻回されたもので、導線の抵抗、巻数等は、固定子磁気ギャップの特性設定とともに、リニアモータ４０の速度や応答性性能の面から設定される。また、コイル４６の引き出し線は、移動体４４の円環状側面に沿って適当に這わされたのち、たわみを十分に持った自由端となって、空中を経由して接続端子５０に接続される。このたわみや、導線のしなやかさは、移動体４４の高速移動や応答性等に影響が少ないように選ぶことが好ましい。   The coil 46 is obtained by winding an insulated wire around the annular side surface of the moving body 44 a plurality of times circumferentially, and the resistance, the number of turns, etc. of the wire are determined by the characteristics of the stator magnetic gap and the linear motor 40. It is set in terms of speed and responsiveness performance. In addition, the lead wire of the coil 46 is appropriately wound along the annular side surface of the moving body 44, and then becomes a free end having sufficient deflection, and is connected to the connection terminal 50 via the air. . It is preferable to select the deflection and the flexibility of the conducting wire so that there is little influence on the high-speed movement and responsiveness of the moving body 44.

スプール１０の軸方向の両端部には１対のつり合いばね５２，５４が設けられる。１対のつり合いばね５２，５４は、スプール１０の両端にそれぞれ軸方向の付勢力が釣り合わさって加えられるように設けられるばねである。かかるつり合いばね５２，５４としては、適当なコイルばねを用いることができる。コイルばね以外の板ばね等の付勢手段を用いてもよい。図３の例では、一方のつり合いばね５２には、スプール１０の一方側の先端部と、筐体４との間の圧縮コイルばねが用いられ、他方のつり合いばね５４は、スプール１０の他方側の先端部と、筐体４にねじ込まれるゼロ点調整ねじ５６の先端との間の圧縮コイルばねが用いられている。つり合いばねは１対でなくても、単一のばねでスプール１０の中立位置を釣り合わせるものであればよい。   A pair of countersprings 52 and 54 are provided at both axial ends of the spool 10. The pair of countersprings 52 and 54 are springs provided so that the axial biasing force is balanced and applied to both ends of the spool 10. As the balance springs 52 and 54, suitable coil springs can be used. Biasing means such as a leaf spring other than the coil spring may be used. In the example of FIG. 3, a compression coil spring between one end of the spool 10 and the housing 4 is used for one balance spring 52, and the other balance spring 54 is the other side of the spool 10. A compression coil spring is used between the leading end of the zero point adjustment screw 56 and the leading end of the zero point adjusting screw 56 screwed into the housing 4. Even if the balance spring is not a pair, it may be a single spring that balances the neutral position of the spool 10.

ゼロ点調整ねじ５６は、筐体４にねじ込まれる量を調整することで、つり合いばね５２，５４の全体の長さを変化させ、これによりスプール１０を軸方向の任意のオフセット位置に設定できる機能を有するねじである。ここでゼロ点とは、Ｘ方向の幾何学的な原点という意味よりは、気体圧制御弁２の動作点のゼロ点という意味が強い。すなわち、ゼロ点調整ねじ５６により、気体圧制御弁２の組み立て後に、その動作点を最適に設定することができる。   The zero point adjusting screw 56 changes the overall length of the balance springs 52 and 54 by adjusting the amount to be screwed into the housing 4, thereby enabling the spool 10 to be set at an arbitrary offset position in the axial direction. It is a screw which has. Here, the zero point has a stronger meaning of the zero point of the operating point of the gas pressure control valve 2 than the meaning of the geometric origin in the X direction. That is, the operating point can be optimally set by the zero point adjusting screw 56 after the gas pressure control valve 2 is assembled.

上記のように移動体４４は、スプール１０の軸方向の一方側における先端部、詳しくは左側ランド部１６に近い先端部に取り付けられるが、スプール１０の軸方向の他方側における先端部には、サーチコイル型の速度検出センサ６０が取り付けられる。速度検出センサ６０の構成は、リニアモータ４０の構成と同様で、筐体４に軸方向に沿って設けられる磁石６２、コイル６６が巻回される移動体６４を含む。この構成により、スプール１０が軸方向に移動することで、筐体４と磁石６２とで形成される固定子磁気ギャップの磁束をスプール１０と一体として運動するコイル６６が鎖交し、コイル６６にスプール１０の速度に比例する起電力が発生する。その出力を接続端子７０を介して制御部８０へスプール１０の速度検出信号としてフィードバックすることができる。   As described above, the moving body 44 is attached to the tip portion on one side of the spool 10 in the axial direction, specifically, the tip portion close to the left land portion 16, A search coil type speed detection sensor 60 is attached. The configuration of the speed detection sensor 60 is the same as that of the linear motor 40, and includes a moving body 64 around which a magnet 62 and a coil 66 are wound around the housing 4 along the axial direction. With this configuration, when the spool 10 moves in the axial direction, the coil 66 that moves the magnetic flux of the stator magnetic gap formed by the housing 4 and the magnet 62 integrally with the spool 10 is linked to the coil 66. An electromotive force proportional to the speed of the spool 10 is generated. The output can be fed back to the control unit 80 via the connection terminal 70 as a speed detection signal of the spool 10.

スプール１０の運動状態を制御部８０にフィードバックするのは、スプール１０の速度以外のものでもよい。図４は、速度検出センサ６０に代えて、スプール１０の軸方向の位置情報を検出する差動変圧器方式の変位センサ８２を用いるときの構成を示す図である。ここでは、スプール１０の他方側の先端部をさらに延ばし、その先に軟磁性体プローブ８４を取り付け、これと協働するトランス巻線８６を筐体４側に設ける。軟磁性体プローブ８４は、スプール１０と一体として軸方向に移動し、トランス巻線８６の空洞部への挿入長さに応じた信号がトランス巻線８６から出力される。トランス巻線８６の各端子は、接続端子８８を介して制御部８０に接続されるので、必要な動作条件は制御部８０から供給され、軟磁性体プローブ８４の軸方向変位に応じた信号は制御部８０に出力される。   Feedback of the motion state of the spool 10 to the control unit 80 may be other than the speed of the spool 10. FIG. 4 is a diagram showing a configuration when a differential transformer type displacement sensor 82 that detects position information in the axial direction of the spool 10 is used in place of the speed detection sensor 60. Here, the tip of the other side of the spool 10 is further extended, a soft magnetic probe 84 is attached to the tip, and a transformer winding 86 that cooperates therewith is provided on the housing 4 side. The soft magnetic probe 84 moves in the axial direction integrally with the spool 10, and a signal corresponding to the insertion length of the transformer winding 86 into the cavity is output from the transformer winding 86. Since each terminal of the transformer winding 86 is connected to the control unit 80 via the connection terminal 88, the necessary operating conditions are supplied from the control unit 80, and the signal corresponding to the axial displacement of the soft magnetic probe 84 is It is output to the control unit 80.

この他に、光学式の位置検出センサ等を用いてもよい。また、位置検出及び速度検出をともに行い、制御部８０にフィードバックしてもよく、さらに加速度のフィードバックを行うこととしてもよい。このように、スプール１０の運動情報を検出して制御部８０に供給することで、制御部８０において、変位、速度、加速度等のフィードバック制御を行うことができ、精密な気体圧Ｐａの制御が可能になる。   In addition, an optical position detection sensor or the like may be used. Further, both position detection and speed detection may be performed and fed back to the control unit 80, or acceleration may be further fed back. Thus, by detecting the motion information of the spool 10 and supplying it to the control unit 80, the control unit 80 can perform feedback control of displacement, speed, acceleration, etc., and precise control of the gas pressure Pa is possible. It becomes possible.

次に、スリーブ１２の負荷口２８について、特に、気体の流れを乱れなく形成するためのスリットを説明する。図５は、気体圧制御弁２のスリーブ１２の部分を抜き出し、その外形を示す図である。スリーブ１２の外周には、供給口２４、排気口２６とともに負荷口２８が設けられる。一般的には、図５に示すように供給口２４、排気口２６は丸穴、負荷口２８は矩形穴が用いられることが多いが、もちろんそれ以外の形状の穴でもよい。   Next, regarding the load port 28 of the sleeve 12, a slit for forming a gas flow without disturbance will be described. FIG. 5 is a view showing the outer shape of the sleeve 12 extracted from the gas pressure control valve 2. A load port 28 is provided along with the supply port 24 and the exhaust port 26 on the outer periphery of the sleeve 12. In general, as shown in FIG. 5, the supply port 24 and the exhaust port 26 are often round holes, and the load port 28 is often a rectangular hole.

スプール１０とスリーブ１２の相対的位置関係で気体圧を制御する気体圧制御弁２においては、負荷口２８において、供給口２４側から圧力気体が流れ込むとき、あるいは負荷側の気体が大気に連通する排出口に流れるとき、中央ランド部と供給口側、あるいは中央ランド部と排出口側のところでは狭い隙間を圧力気体が高圧側から低圧側に流れることになる。このように狭い隙間で気体が絞られると、オリフィスによって気体が絞られるのと同様に乱流や渦流、また衝撃波が生ずることがある。そこで、スリーブ１２の負荷口２８には、気体の流れを乱れなく形成するためのスリットが設けられる。   In the gas pressure control valve 2 that controls the gas pressure based on the relative positional relationship between the spool 10 and the sleeve 12, when the pressure gas flows from the supply port 24 side at the load port 28, or the gas on the load side communicates with the atmosphere. When flowing to the discharge port, the pressure gas flows from the high-pressure side to the low-pressure side through a narrow gap at the central land portion and the supply port side or at the central land portion and the discharge port side. When the gas is throttled in such a narrow gap, turbulent flow, vortex flow, and shock waves may be generated in the same manner as when the gas is throttled by the orifice. Therefore, the load port 28 of the sleeve 12 is provided with a slit for forming a gas flow without disturbance.

図６は、矩形穴の負荷口２８にはめ込まれるスリット絞り１００を示す図である。スリット絞り１００全体の外形は、負荷口２８の内側形状にはめ込んで固定できるように形作られる。図６の例では、４つのスリット１０４を形成するように２つの広溝付き板１０２が積層される。スリット絞り１００全体としては、気体の流入側、つまりスリーブ１２の内径側の方が小さい寸法で、気体の流出側であるスリーブ１２の外周側の方が大きい寸法となっている。これは、矩形穴の負荷口２８が、スプール１０の中心軸から見て一定の見込み角で外周に向かって広がる形状となるのにあわせたものである。また、このように、気体の流入側のスリット開口面積より流出側のスリット開口面積を大きくすることで、気体の流れがより滑らかになる効果も有する。   FIG. 6 is a view showing a slit diaphragm 100 fitted into the load hole 28 having a rectangular hole. The entire outer shape of the slit diaphragm 100 is shaped so that it can be fitted into the inner shape of the load port 28 and fixed. In the example of FIG. 6, two wide grooved plates 102 are laminated so as to form four slits 104. The slit diaphragm 100 as a whole has a smaller dimension on the gas inflow side, that is, on the inner diameter side of the sleeve 12, and a larger dimension on the outer peripheral side of the sleeve 12, which is the gas outflow side. This is in accordance with the shape of the load hole 28 having a rectangular hole that expands toward the outer periphery at a certain prospective angle as viewed from the central axis of the spool 10. In addition, by making the slit opening area on the outflow side larger than the slit opening area on the gas inflow side, there is an effect that the gas flow becomes smoother.

スリット１０４の大きさは、気体圧Ｐａを２〜５×１０５Ｐａとし、流速を１０〜３０ｍ／ｓｅｃとして、隙間をおよそ５０μｍとし、幅および長さを数ｍｍとするのが好ましい。このようにすることで、スリット１０４を流れる気体を整流し、乱流や渦流、また衝撃波が生ずることを抑制できる。 The size of the slit 104 is preferably such that the gas pressure Pa is 2 to 5 × 10 5 Pa, the flow rate is 10 to 30 m / sec, the gap is approximately 50 μm, and the width and length are several mm. By doing so, the gas flowing through the slit 104 can be rectified, and turbulent flow, vortex flow, and shock waves can be prevented from being generated.

図６のスリット絞り１００は、気体の流入側の隙間より流出側の隙間のほうが広くなるいわば隙間広がりスリットであるが、もちろん隙間が一定の平行隙間であってもよい。また、スリット開口の長手方向をスリーブ１２の軸方向としたが、これを軸方向と直交する方向あるいは傾いた方向としてもよい。   The slit diaphragm 100 in FIG. 6 is a so-called gap widening slit in which the gap on the outflow side is wider than the gap on the gas inflow side, but of course a parallel gap with a constant gap may be used. Moreover, although the longitudinal direction of the slit opening is the axial direction of the sleeve 12, this may be a direction orthogonal to the axial direction or a tilted direction.

また、図５においては、スリーブ１２の円周方向の一部に設けられた負荷口２８にスリット絞りをはめ込むものとしたが、この場合、負荷口２８は複数であってもよい。たとえば、スリーブ１２の円周方向に沿い、９０度毎に１つの負荷口２８を配置し、合計４個の負荷口２８にそれぞれスリット絞り１００をはめ込むものとしてもよい。   In FIG. 5, the slit diaphragm is fitted into the load port 28 provided in a part of the sleeve 12 in the circumferential direction. However, in this case, a plurality of load ports 28 may be provided. For example, one load port 28 may be disposed every 90 degrees along the circumferential direction of the sleeve 12, and the slit diaphragm 100 may be fitted into each of the four load ports 28 in total.

また、スリーブ１２の円周に沿い、一定間隔で、スリーブ１２に直接、複数のスリットを設けることにしてもよい。図７は、スリーブ１２の円周全体に渡って配置される、隙間がおよそ５０μｍ程度、幅および長さが数ｍｍの複数のスリット１１０で、負荷口２８を構成する様子を示す図である。図７のＭ−Ｍ線における断面図を図８に示す。この例では、スリーブ１２の円周全体に渡り、２０個のスリット１１０を配置して負荷口２８を構成している。各スリット１１０は、気体の流入側の隙間より流出側の隙間のほうが広くなるいわば隙間広がりスリットである。もちろん、隙間が一定の平行隙間スリットであってもよい。   Further, a plurality of slits may be provided directly on the sleeve 12 at regular intervals along the circumference of the sleeve 12. FIG. 7 is a diagram showing a state in which the load port 28 is configured by a plurality of slits 110 that are arranged over the entire circumference of the sleeve 12 and have a gap of about 50 μm and a width and length of several millimeters. A cross-sectional view taken along line MM in FIG. 7 is shown in FIG. In this example, 20 slits 110 are arranged over the entire circumference of the sleeve 12 to constitute the load port 28. Each slit 110 is a so-called gap widening slit in which the gap on the outflow side is wider than the gap on the gas inflow side. Of course, it may be a parallel gap slit with a constant gap.

上記において、乱れなく流れを形成するのに、負荷口２８の矩形開口に広溝付き板１０２を積層したスリット絞り１００をはめ込む構成を用いて説明したが、負荷口２８の開口は矩形でなくてもよい。また、流れを乱れなく形成する絞り部は、溝つき板の積層でなくてもよい。図９〜図１２は、他の絞り部の構成を示す模式図である。図９に示す絞り部２５０は、直径の異なる複数のパイプ２５２を同軸に配置し、パイプ間の隙間を平行隙間とし、その隙間を例えば約５０μｍとし、その長さを数ｍｍとするものである。図１０に示す絞り部２６０は、らせん状に巻いた管２６２からなり、らせん管の隣り合う隙間を平行隙間とし、その隙間を例えば約５０μｍとし、その長さを数ｍｍとするものである。図１１に示す絞り部２７０は、絞り部２７０の軸方向に平行な方向に複数の平行平板２７２を配置し、平行平板間の隙間を例えば約５０μｍとし、その長さを数ｍｍとするものである。   In the above description, in order to form a flow without disturbance, the description has been made using the configuration in which the slit diaphragm 100 in which the wide grooved plate 102 is laminated on the rectangular opening of the load port 28 is used. However, the opening of the load port 28 is not rectangular. Also good. Further, the narrowed portion that forms the flow without being disturbed may not be a laminated plate of grooves. 9 to 12 are schematic views showing the configuration of other diaphragm portions. The throttle unit 250 shown in FIG. 9 is configured such that a plurality of pipes 252 having different diameters are arranged coaxially, the gap between the pipes is a parallel gap, the gap is, for example, about 50 μm, and the length is several mm. . The narrowed portion 260 shown in FIG. 10 is composed of a spirally wound tube 262, and the adjacent gaps of the spiral tubes are parallel gaps, for example, the gap is about 50 μm and the length is several mm. A diaphragm unit 270 shown in FIG. 11 has a plurality of parallel flat plates 272 arranged in a direction parallel to the axial direction of the diaphragm unit 270, a gap between the parallel flat plates is set to, for example, about 50 μm, and a length thereof is set to several mm. is there.

これらの構成のように、約５０μｍの隙間で、数ｍｍの長さを有する流路であれば、流れを乱れなく形成することができる。例えば、図１１において、絞り部２７０の軸方向に平行な方向に複数の平行平板を配置したが、絞り部の断面を複数に区分し、区分されたそれぞれの小断面積の大きさを所定の大きさ、例えば、５０μｍ角とすることでもよい。断面の形状は多角形でもよい。図１２に示す絞り部２８０は、断面を円としたもの、すなわち、直径が約５０μｍの細長い管路２８２を複数束ね、絞り部としたものである。   As in these configurations, if the flow path has a length of several millimeters with a gap of about 50 μm, the flow can be formed without disturbance. For example, in FIG. 11, a plurality of parallel flat plates are arranged in a direction parallel to the axial direction of the diaphragm portion 270, but the section of the diaphragm portion is divided into a plurality of sections, and the size of each divided small cross-sectional area is set to a predetermined value The size may be, for example, 50 μm square. The cross-sectional shape may be a polygon. The throttle unit 280 shown in FIG. 12 has a circular cross section, that is, a plurality of elongated pipes 282 having a diameter of about 50 μm are bundled to form a throttle unit.

なお、上記において、隙間の大きさを約５０μｍとし、その長さを数mmとして説明したが、そこを流れる気体を乱れなくできる隙間の大きさ、隙間の長さは、そこに流す気体の圧力及び流速等により異なり、上記の値は一例であり、例えば５００μｍ程度の隙間でもある程度の効果がある。なお、かかる整流絞りは、ポートの数により３ＷＡＹ、４ＷＡＹ、５ＷＡＹ等と呼ばれることのある通常の流量制御弁に応用しても同様の効果がある。   In the above description, the size of the gap is about 50 μm and the length is several mm. However, the size of the gap and the length of the gap that can prevent the gas flowing therethrough from being disturbed are the pressure of the gas flowing therethrough. The above-mentioned value is an example, depending on the flow velocity and the like. For example, even a gap of about 500 μm has a certain effect. Such a rectifying throttle has the same effect even when applied to a normal flow control valve which is sometimes called 3WAY, 4WAY, 5WAY, etc. depending on the number of ports.

かかる構成の気体圧制御弁２の作用を説明する。制御部８０からリニアモータ４０に駆動信号がまだ与えられていないときに、ゼロ点調整ねじ５６の調整によりつり合いばね５２，５４を釣り合わせて、スプール１０の中央ランド部１４がスリーブ１２の負荷口２８をちょうどふさぐようにする。これがリニアモータ４０の初期位置となる。そして、気体圧制御弁２の供給口２４に供給圧Ｐｓの気体が図示されていない気体供給源から供給され、排気口２６は大気Ｐ０に開放される。このとき、負荷口２８からは何も出力されない。 The operation of the gas pressure control valve 2 having such a configuration will be described. When the drive signal is not yet given from the control unit 80 to the linear motor 40, the balance springs 52 and 54 are balanced by adjusting the zero point adjusting screw 56 so that the central land portion 14 of the spool 10 is loaded to the load port of the sleeve 12. Just block 28. This is the initial position of the linear motor 40. Then, the gas supply pressure Ps to the supply port 24 of the gas pressure control valve 2 is supplied from a gas supply source (not shown), the exhaust port 26 is opened to the atmosphere P 0. At this time, nothing is output from the load port 28.

次に、負荷であるアクチュエータ等を作動させるために、必要な気体圧Ｐａを負荷口２８から供給する指令が制御部８０に出されると、制御部８０は所望の気体圧Ｐａを出力するために必要なリニアモータ４０への駆動電流値Ｉを予め決められているテーブルあるいはソフトウェアを用いて読み出す。図２で説明したように、スプール１０とスリーブ１２の段付き構造の効果で、リニアモータ４０への駆動電流Ｉと、制御圧力室３４の出力圧力Ｐとは比例関係にあるので、その換算は容易である。そして、駆動回路に指示し駆動電流値Ｉの電流を、接続端子５０を経由してリニアモータ４０のコイル４６に供給する。電流Ｉが流れるコイル４６は、ヨークを構成する筐体４と磁石４２により形成される固定子磁気ギャップからの鎖交磁束と協働し、軸方向の駆動力を得る。これにより、リニアモータ４０の移動体４４と一体のスプール１０は、電流Ｉに応じて軸方向に移動駆動される。   Next, when a command to supply the necessary gas pressure Pa from the load port 28 is issued to the control unit 80 in order to operate an actuator or the like that is a load, the control unit 80 outputs the desired gas pressure Pa. A necessary drive current value I to the linear motor 40 is read using a predetermined table or software. As described with reference to FIG. 2, the drive current I to the linear motor 40 and the output pressure P of the control pressure chamber 34 are proportional to each other due to the effect of the stepped structure of the spool 10 and the sleeve 12. Easy. Then, the drive circuit is instructed to supply the drive current value I to the coil 46 of the linear motor 40 via the connection terminal 50. The coil 46 through which the current I flows cooperates with the interlinkage magnetic flux from the stator magnetic gap formed by the casing 4 constituting the yoke and the magnet 42 to obtain an axial driving force. Thereby, the spool 10 integrated with the moving body 44 of the linear motor 40 is driven to move in the axial direction according to the current I.

そして、スプール１０の中央ランド部１４とスリーブ１２の負荷口２８の位置関係が変化し、それに応じ制御圧力室３４の出力圧力が変化し、上記のように駆動電流Ｉに略比例した気体圧Ｐａとなる。   Then, the positional relationship between the center land portion 14 of the spool 10 and the load port 28 of the sleeve 12 changes, and the output pressure of the control pressure chamber 34 changes accordingly, and the gas pressure Pa substantially proportional to the drive current I as described above. It becomes.

このとき、負荷口２８には、供給口２４から、又は排気口２６へ、気体が流れるが、負荷口２８に設けられるスリット絞り１００により、気体の流れが整流され、乱流や渦流、また衝撃波が生ずることが抑制される。   At this time, gas flows through the load port 28 from the supply port 24 or to the exhaust port 26, but the gas flow is rectified by the slit diaphragm 100 provided in the load port 28, and turbulent flow, vortex flow, or shock wave Is suppressed from occurring.

このように、スプール１０とスリーブ１２とにおいて段付き構造を採用することで、スプールの移動駆動に対する出力圧力の非線形性を抑制でき、また、負荷口２８に気体の流れを整流するスリットを設けたので出力圧力のノイズを抑制することができる。   As described above, by adopting the stepped structure in the spool 10 and the sleeve 12, nonlinearity of the output pressure with respect to the spool movement drive can be suppressed, and a slit for rectifying the gas flow is provided in the load port 28. Therefore, the noise of output pressure can be suppressed.

本発明に係る気体圧制御弁は、以下の気体アクチュエータに供給する気体圧を制御するのに用いることができる。すなわち、微小移動機構用の気体アクチュエータ、粗動及び微小移動可能な機構の気体アクチュエータ、アクティブ除振用の気体アクチュエータ、精密位置決め装置の気体アクチュエータ、容器内の精密な圧力制御等に、精密に制御された気体圧を供給するのに用いることができる。   The gas pressure control valve according to the present invention can be used to control the gas pressure supplied to the following gas actuator. In other words, precise control such as gas actuators for minute movement mechanisms, gas actuators for coarse movement and minute movement mechanisms, gas actuators for active vibration isolation, gas actuators for precision positioning devices, precise pressure control in containers, etc. Can be used to supply the gas pressure.

本発明に係る実施の形態において、スプールとスリーブの要部を示す図である。In embodiment which concerns on this invention, it is a figure which shows the principal part of a spool and a sleeve. 本発明に係る実施の形態において、リニアモータへの入力電流Ｉと、負荷口からの出力圧力Ｐの関係を示す図である。In embodiment which concerns on this invention, it is a figure which shows the relationship between the input current I to a linear motor, and the output pressure P from a load port. 本発明に係る実施の形態における気体圧制御弁の詳細な構成図である。It is a detailed block diagram of the gas pressure control valve in embodiment which concerns on this invention. 本発明に係る実施の形態において、スプールの軸方向変位を検出する変位センサを用いるときの構成を示す図である。In embodiment which concerns on this invention, it is a figure which shows a structure when using the displacement sensor which detects the axial direction displacement of a spool. 本発明に係る実施の形態において、気体圧制御弁のスリーブの外形を示す図である。In embodiment which concerns on this invention, it is a figure which shows the external shape of the sleeve of a gas pressure control valve. 本発明に係る実施の形態において、矩形穴の負荷口にはめ込まれるスリット絞りを示す図である。In embodiment which concerns on this invention, it is a figure which shows the slit aperture_diaphragm | restriction inserted in the load port of a rectangular hole. 本発明に係る実施の形態において、スリーブの円周全体に渡って配置される複数のスリットで負荷口を構成する様子を示す図である。In embodiment which concerns on this invention, it is a figure which shows a mode that a load port is comprised by the some slit arrange | positioned over the circumference of the sleeve. 図７のＭ−Ｍ線における断面図である。It is sectional drawing in the MM line | wire of FIG. 本発明に係る実施の形態において、負荷口に設けられ、流れを乱れなく形成する絞り部の他の例である。In embodiment which concerns on this invention, it is another example of the aperture | diaphragm | squeeze part provided in a load port and forming a flow without disturbance. 本発明に係る実施の形態において、負荷口に設けられ、流れを乱れなく形成する絞り部のさらに他の例である。In embodiment which concerns on this invention, it is a further another example of the aperture | diaphragm | squeeze part provided in a load port and forming a flow without disturbance. 本発明に係る実施の形態において、負荷口に設けられ、流れを乱れなく形成する絞り部の別の例である。In embodiment which concerns on this invention, it is another example of the aperture | diaphragm | squeeze part provided in a load port and forming a flow without disturbance. 本発明に係る実施の形態において、負荷口に設けられ、流れを乱れなく形成する絞り部のさらに別の例である。In embodiment which concerns on this invention, it is another example of the aperture | diaphragm | squeeze part provided in a load port and forming a flow without disturbance.

符号の説明Explanation of symbols

２ 気体圧制御弁、４ 筐体、１０ スプール、１２ スリーブ、１４ 中央ランド部、１６ 左側ランド部、１８ 右側ランド部、２０ 第１フランジ、２２ 第２フランジ、２４ 供給口、２６ 排気口、２８ 負荷口、３０ 第１圧力室、３２ 第２圧力室、３４ 制御圧力室、４０ リニアモータ、４２，６２ 磁石、４４，６４ 移動体、４６，６６ コイル、５０，７０，８８ 接続端子、５２，５４ つり合いばね、６０ 速度検出センサ、８０ 制御部、８２ 変位センサ、８４ 軟磁性体プローブ、８６ トランス巻線、１００ スリット絞り、１０４，１１０ スリット、１０２ 広溝付き板、２５０，２６０，２７０，２８０ 絞り部、２５２ パイプ、２６２ らせん状に巻いた管、２７２ 平行平板、２８２ 細長い管路。   2 Gas Pressure Control Valve, 4 Housing, 10 Spool, 12 Sleeve, 14 Center Land, 16 Left Land, 18 Right Land, 20 First Flange, 22 Second Flange, 24 Supply Port, 26 Exhaust Port, 28 Load port, 30 First pressure chamber, 32 Second pressure chamber, 34 Control pressure chamber, 40 Linear motor, 42, 62 Magnet, 44, 64 Moving body, 46, 66 Coil, 50, 70, 88 Connection terminal, 52, 54 Balance spring, 60 Speed detection sensor, 80 Control unit, 82 Displacement sensor, 84 Soft magnetic probe, 86 Transformer winding, 100 Slit diaphragm, 104, 110 Slit, 102 Wide grooved plate, 250, 260, 270, 280 Restricted part, 252 pipe, 262 spirally wound pipe, 272 parallel plate, 282 elongated pipe line.

Claims (7)

間隔をおいて軸方向に配列された複数のランド部と、隣接するランド部を接続するステム部とを含むスプールと、
スプールを軸方向移動可能に支持する内壁を有し、スプールと協働してスプールの隣り合うランド部の間の空間を内壁で囲むことで少なくとも第１圧力室と第２圧力室とを形成するスリーブであって、第１圧力室に対し１次側気体圧を有する気体を供給する供給口と、第２圧力室から気体を排気する排気口と、第１圧力室又は第２圧力室から２次側気体圧を有する気体を取出して出力する負荷口とを含むスリーブと、
スプールを軸方向に直線駆動する駆動機構と、
を備え、駆動機構の駆動に応じ、第１圧力室及び第２圧力室とがスリーブの供給口及び排気口及び負荷口に対し相対的に移動することにより、負荷口の２次側気体圧を制御する気体圧制御弁において、
駆動機構は、
軸方向に配置された固定子磁気ギャップと、
駆動信号が入力されるコイルを有し、固定子磁気ギャップと協働して軸方向に駆動される可動子と、
を有し、
スプールの第１圧力室と第２圧力室とを隔て、負荷口に向かい合うランド部は、
第１圧力室側に設けられ、受圧面積の大きい第１フランジと、
第２圧力室側に設けられ、受圧面積の小さい第２フランジと、
第１フランジと第２フランジとの間を接続し第２フランジの外径と同じかそれより小さい外径の接続ランドと、
を有することを特徴とする気体圧制御弁。 A spool including a plurality of land portions arranged in the axial direction at intervals, and a stem portion connecting adjacent land portions;
At least a first pressure chamber and a second pressure chamber are formed by surrounding the space between adjacent land portions of the spool with the inner wall in cooperation with the spool. A sleeve for supplying a gas having a primary gas pressure to the first pressure chamber, an exhaust port for exhausting the gas from the second pressure chamber, and 2 from the first pressure chamber or the second pressure chamber. A sleeve including a load port for taking out and outputting a gas having a secondary gas pressure;
A drive mechanism for linearly driving the spool in the axial direction;
The first pressure chamber and the second pressure chamber move relative to the supply port, the exhaust port, and the load port of the sleeve in accordance with the drive of the drive mechanism, so that the secondary side gas pressure of the load port is reduced. In the gas pressure control valve to control,
The drive mechanism is
An axially arranged stator magnetic gap;
A mover having a coil to which a drive signal is input and driven in an axial direction in cooperation with a stator magnetic gap;
Have
The land portion facing the load port across the first pressure chamber and the second pressure chamber of the spool is
A first flange provided on the first pressure chamber side and having a large pressure receiving area;
A second flange provided on the second pressure chamber side and having a small pressure receiving area;
A connection land connecting between the first flange and the second flange and having an outer diameter equal to or smaller than the outer diameter of the second flange;
A gas pressure control valve characterized by comprising: 間隔をおいて軸方向に配列された複数のランド部と、隣接するランド部を接続するステム部とを含むスプールと、
スプールを軸方向移動可能に支持する内壁を有し、スプールと協働してスプールの隣り合うランド部の間の空間を内壁で囲むことで少なくとも第１圧力室と第２圧力室とを形成するスリーブであって、第１圧力室に対し１次側気体圧を有する気体を供給する供給口と、第２圧力室から気体を排気する排気口と、第１圧力室又は第２圧力室から２次側気体圧を有する気体を取出して出力する負荷口とを含むスリーブと、
スプールを軸方向に直線駆動する駆動機構と、
を備え、駆動機構の駆動に応じ、第１圧力室及び第２圧力室とがスリーブの供給口及び排気口及び負荷口に対し相対的に移動することにより、負荷口の２次側気体圧を制御する気体圧制御弁において、
駆動機構は、
軸方向に配置された固定子磁気ギャップと、
駆動信号が入力されるコイルを有し、固定子磁気ギャップと協働して軸方向に駆動される可動子と、
を有し、
スリーブに設けられる負荷口は、
一方の開口が負荷口に面し、他方の開口がスリーブの外周に設けられる複数のスリットを含み、スリットの整流作用により流れる気体を乱れなく形成することを特徴とする気体圧制御弁。 A spool including a plurality of land portions arranged in the axial direction at intervals, and a stem portion connecting adjacent land portions;
At least a first pressure chamber and a second pressure chamber are formed by surrounding the space between adjacent land portions of the spool with the inner wall in cooperation with the spool. A sleeve for supplying a gas having a primary gas pressure to the first pressure chamber, an exhaust port for exhausting the gas from the second pressure chamber, and 2 from the first pressure chamber or the second pressure chamber. A sleeve including a load port for taking out and outputting a gas having a secondary gas pressure;
A drive mechanism for linearly driving the spool in the axial direction;
And the first pressure chamber and the second pressure chamber move relative to the supply port, the exhaust port, and the load port of the sleeve in accordance with the drive of the drive mechanism, so that the secondary side gas pressure of the load port is reduced. In the gas pressure control valve to control,
The drive mechanism is
An axially arranged stator magnetic gap;
A mover having a coil to which a drive signal is input and driven in an axial direction in cooperation with a stator magnetic gap;
Have
The load port provided in the sleeve is
A gas pressure control valve characterized in that one opening faces a load port and the other opening includes a plurality of slits provided on the outer periphery of the sleeve, and the gas flowing by the rectifying action of the slit is formed without disturbance. 請求項２に記載の気体圧制御弁において、
複数のスリットのそれぞれは、所定の平行隙間を有する平行隙間スリットであることを特徴とする気体圧制御弁。 The gas pressure control valve according to claim 2,
Each of the plurality of slits is a parallel gap slit having a predetermined parallel gap. 請求項２に記載の気体圧制御弁において、
複数のスリットのそれぞれは、一方の開口の隙間より他方の開口の隙間が広い隙間広がりスリットであることを特徴とする気体圧制御弁。 The gas pressure control valve according to claim 2,
Each of the plurality of slits is a gap-expanding slit in which the gap in the other opening is wider than the gap in the one opening. 間隔をおいて軸方向に配列された複数のランド部と、隣接するランド部を接続するステム部とを含むスプールと、
スプールを軸方向移動可能に支持する内壁を有し、スプールと協働してスプールの隣り合うランド部の間の空間を内壁で囲むことで少なくとも第１圧力室と第２圧力室とを形成するスリーブであって、第１圧力室に対し１次側気体圧を有する気体を供給する供給口と、第２圧力室から気体を排気する排気口と、第１圧力室又は第２圧力室から２次側気体圧を有する気体を取出して出力する負荷口とを含むスリーブと、
スプールを軸方向に直線駆動する駆動機構と、
を備え、駆動機構の駆動に応じ、第１圧力室及び第２圧力室とがスリーブの供給口及び排気口及び負荷口に対し相対的に移動することにより、負荷口の２次側気体圧を制御する気体圧制御弁において、
駆動機構は、
軸方向に配置された固定子磁気ギャップと、
駆動信号が入力されるコイルを有し、固定子磁気ギャップと協働して軸方向に駆動される可動子と、
を有し、
スリーブに設けられる負荷口は、
一方の開口は負荷口に面し、他方の開口はスリーブの外周に設けられ、気体の流れ方向に沿い並列に配置された所定の断面積を有する複数の管路を含み、管路の整流作用により流れる気体を乱れなく形成することを特徴とする気体圧制御弁。 A spool including a plurality of land portions arranged in the axial direction at intervals, and a stem portion connecting adjacent land portions;
At least a first pressure chamber and a second pressure chamber are formed by surrounding the space between adjacent land portions of the spool with the inner wall in cooperation with the spool. A sleeve for supplying a gas having a primary gas pressure to the first pressure chamber, an exhaust port for exhausting the gas from the second pressure chamber, and 2 from the first pressure chamber or the second pressure chamber. A sleeve including a load port for taking out and outputting a gas having a secondary gas pressure;
A drive mechanism for linearly driving the spool in the axial direction;
The first pressure chamber and the second pressure chamber move relative to the supply port, the exhaust port, and the load port of the sleeve in accordance with the drive of the drive mechanism, so that the secondary side gas pressure of the load port is reduced. In the gas pressure control valve to control,
The drive mechanism is
An axially arranged stator magnetic gap;
A mover having a coil to which a drive signal is input and driven in an axial direction in cooperation with a stator magnetic gap;
Have
The load port provided in the sleeve is
One opening faces the load port, and the other opening is provided on the outer periphery of the sleeve and includes a plurality of pipelines having a predetermined cross-sectional area arranged in parallel along the gas flow direction. A gas pressure control valve characterized in that the gas flowing through is formed without disturbance. 請求項１、請求項２、請求項５の中のいずれか１の請求項に記載の気体圧制御弁において、
スプールに対し、軸方向に沿った任意のオフセット位置を中心に付勢するつり合いばねを備えることを特徴とする気体圧制御弁。 In the gas pressure control valve according to any one of claims 1, 2, and 5,
A gas pressure control valve comprising a balance spring that urges the spool around an arbitrary offset position along the axial direction. 請求項１、請求項２、請求項５の中のいずれか１の請求項に記載の気体圧制御弁において、
スプールの軸方向の変位を検出する変位センサ又は軸方向の速度を検出する速度検出センサのうち少なくとも一方を備えることを特徴とする気体圧制御弁。















In the gas pressure control valve according to any one of claims 1, 2, and 5,
A gas pressure control valve comprising at least one of a displacement sensor for detecting an axial displacement of a spool and a speed detection sensor for detecting an axial speed.















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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012057776A (en) * 2010-09-13 2012-03-22 Yuken Kogyo Co Ltd Electric/hydraulic linear servo valve
CN103663296A (en) * 2013-11-26 2014-03-26 西安交通大学 Cylindrical-linear-motor-driven electro-hydraulic proportional directional screw-in multi-way cartridge valve for forklifts

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4913931Y1 (en) * 1970-06-30 1974-04-06
JPS578906U (en) * 1980-06-16 1982-01-18
JPS6170204A (en) * 1984-09-10 1986-04-11 Nissan Motor Co Ltd Driving method for control valve
JPH01242803A (en) * 1988-03-25 1989-09-27 Sumitomo Heavy Ind Ltd Direct operated servo valve
JPH03181661A (en) * 1989-12-09 1991-08-07 Fuji Heavy Ind Ltd Controller for continuously variable transmission
JPH07174106A (en) * 1993-12-21 1995-07-11 Zexel Corp Electromagnetic proportional pressure control valve
JP2002297243A (en) * 2001-03-30 2002-10-11 Sumitomo Heavy Ind Ltd Spool type flow rate control valve and its controller

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4913931Y1 (en) * 1970-06-30 1974-04-06
JPS578906U (en) * 1980-06-16 1982-01-18
JPS6170204A (en) * 1984-09-10 1986-04-11 Nissan Motor Co Ltd Driving method for control valve
JPH01242803A (en) * 1988-03-25 1989-09-27 Sumitomo Heavy Ind Ltd Direct operated servo valve
JPH03181661A (en) * 1989-12-09 1991-08-07 Fuji Heavy Ind Ltd Controller for continuously variable transmission
JPH07174106A (en) * 1993-12-21 1995-07-11 Zexel Corp Electromagnetic proportional pressure control valve
JP2002297243A (en) * 2001-03-30 2002-10-11 Sumitomo Heavy Ind Ltd Spool type flow rate control valve and its controller

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012057776A (en) * 2010-09-13 2012-03-22 Yuken Kogyo Co Ltd Electric/hydraulic linear servo valve
CN102400971A (en) * 2010-09-13 2012-04-04 油研工业株式会社 Electric hydraulic linear servo valve
CN103663296A (en) * 2013-11-26 2014-03-26 西安交通大学 Cylindrical-linear-motor-driven electro-hydraulic proportional directional screw-in multi-way cartridge valve for forklifts

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