JP2005147984A - 検出器移動機構を付加した蛍光ｘ線装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 試料観察用カメラでの試料観察のときには蛍光Ｘ線検出器が観察の妨げにならないが、蛍光Ｘ線測定の時には試料と蛍光Ｘ線検出器の距離を近づけて、蛍光Ｘ線検出効率を大きくし、分析、測定の精度を向上させた蛍光Ｘ線装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 蛍光Ｘ線検出器２と試料３との距離を変えることができる検出器移動機構４を付加した。
また、検出器移動機構４を制御することにより、試料観察用カメラ１での試料観察のときには蛍光Ｘ線検出器２と試料３との距離を大きくし、蛍光Ｘ線測定の時には試料３と蛍光Ｘ線検出器２の距離を近づけるようにした。
さらに、試料観察用カメラ１で記憶された画像を、蛍光Ｘ線測定の時に表示するための画像記憶再生装置７を装備した。
【選択図】 図１
【解決手段】 蛍光Ｘ線検出器２と試料３との距離を変えることができる検出器移動機構４を付加した。
また、検出器移動機構４を制御することにより、試料観察用カメラ１での試料観察のときには蛍光Ｘ線検出器２と試料３との距離を大きくし、蛍光Ｘ線測定の時には試料３と蛍光Ｘ線検出器２の距離を近づけるようにした。
さらに、試料観察用カメラ１で記憶された画像を、蛍光Ｘ線測定の時に表示するための画像記憶再生装置７を装備した。
【選択図】 図１
Description
本発明は、試料観察用カメラを装備した分析、計測に使用する蛍光Ｘ線装置に関する。
従来の試料観察用カメラを装備した蛍光Ｘ線装置では、試料垂直方向真上に試料観察カメラを配置し、この試料観察カメラの両側に励起用Ｘ線源と蛍光Ｘ線検出器をそれぞれ配置し、励起用Ｘ線を試料に対し斜めに入射させ、励起される蛍光Ｘ線を試料に対し斜め方向から検出する。この場合において、Ｘ線検出器の検出部が観察の妨げにならないように、蛍光Ｘ線検出器は試料から離して固定されている（例えば特許文献１参照）。
特開2000-46763号公報 １−２頁、図1
従来の試料観察用カメラを装備した蛍光Ｘ線装置では、試料観察用カメラでの試料観察のときに蛍光Ｘ線検出器検出部が観察の妨げにならないように、蛍光Ｘ線検出器は試料から離れて固定されているので、その距離に応じて蛍光Ｘ線検出効率が低下して蛍光Ｘ線測定強度が小さくなり、精度が低下するという問題点があった。
本発明は、上記の問題点を解決し、試料観察用カメラでの試料観察のときには蛍光Ｘ線検出器が観察の妨げにならないが、蛍光Ｘ線測定の時には試料と蛍光Ｘ線検出器の距離を近づけて、蛍光Ｘ線検出効率を大きくし、分析、測定の精度を向上させた蛍光Ｘ線装置を提供することを課題とする。
本発明の試料観察用カメラを装備した蛍光Ｘ線装置では、蛍光Ｘ線検出器と試料との距離を変えることができる検出器移動機構を付加した。さらに、検出器移動機構を制御することにより、試料観察用カメラでの試料観察のときには蛍光Ｘ線検出器と試料との距離を大きくし、蛍光Ｘ線測定の時には試料と蛍光Ｘ線検出器の距離を近づけるための検出器移動機構を設けた。
さらに、試料観察用カメラで撮像された画像を、蛍光Ｘ線測定の時に表示するための画像記憶再生装置を装備した。
試料観察用カメラを装備した蛍光Ｘ線装置において、蛍光Ｘ線検出器と試料との距離を変えることができる検出器移動機構を付加したことによって、試料観察用カメラでの試料観察のときには蛍光Ｘ線検出器が観察の妨げになることがなく、蛍光Ｘ線測定の時には試料と蛍光Ｘ線検出器の距離を近づけることができるので、蛍光Ｘ線検出効率が大きく、精度が向上するという効果が得られる。また、蛍光Ｘ線測定の時には、試料観察用カメラで記憶された画像が表示されるので測定位置の再確認を容易に行なうことができる。
さらに、蛍光Ｘ線検出器と試料の距離を変えることによって、Ｘ線管の管電流の制御範囲を超えて、検出できる蛍光Ｘ線強度範囲を増大させるという効果も得られる。
本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は本発明による蛍光Ｘ線装置の構成図である。図１において、試料観察用カメラ１と蛍光Ｘ線検出器２が試料３に向いている。試料観察カメラ１は試料の垂直真上に配置される。励起用Ｘ線源５と蛍光Ｘ線検出器２は試料観察カメラ１を挟んで両側にそれぞれ配置され、試料に斜めに対向している。励起用Ｘ線源５から一次Ｘ線を試料３に照射し、励起された蛍光Ｘ線を蛍光Ｘ線検出器２により検出する。試料観察用カメラ１と試料３の距離は固定されているが、蛍光Ｘ線検出器２は検出器移動機構４上に固定されており、蛍光Ｘ線検出器２と試料３の距離は検出器移動機構４によって変えられるようにする。検出器移動機構４は、制御装置６からの信号により、試料観察用カメラ１での試料観察のときには蛍光Ｘ線検出器と試料との距離を大きくし、検出器移動機構４の端部が試料観察カメラの視野内に入らないようにする。
また、蛍光Ｘ線測定の時には検出効率を高めるため、試料と蛍光Ｘ線検出器の距離を近づける。検出器移動機構４は、上記2箇所以上の位置で停止できる電動ステージまたはソレノイドを利用することができる。電動ステージまたはソレノイドは電気的に容易に制御することができるので、試料観察用カメラでの試料観察の時と蛍光Ｘ線測定の時とで容易に蛍光Ｘ線検出器２と試料３の距離を変えることができる。試料観察用カメラで撮った画像は画像記憶再生装置７に記憶され、その記憶された画像は画像表示装置８に出力され表示される。
さらに、蛍光Ｘ線検出器２と試料３の距離を変えることによって、Ｘ線管の管電流の制御範囲を超えて、検出できる蛍光Ｘ線強度範囲を増大させるという効果も得られる。
１ 試料観察用カメラ
２ 蛍光Ｘ線検出器
３ 試料
４ 検出器移動機構
５ 励起用Ｘ線源
６ 制御装置
７ 画像記憶再生装置
８ 画像表示装置
２ 蛍光Ｘ線検出器
３ 試料
４ 検出器移動機構
５ 励起用Ｘ線源
６ 制御装置
７ 画像記憶再生装置
８ 画像表示装置
Claims (3)
- 試料に垂直方向真上に配置された試料観察用カメラと、その両側に試料に斜めに対向させてそれぞれ配置される励起用Ｘ線源および蛍光Ｘ線検出器とからなる蛍光Ｘ線装置において、前記蛍光Ｘ線検出器と試料との距離を変えるため前記蛍光Ｘ線検出器を移動する検出器移動機構を付加した蛍光Ｘ線装置。
- 前記試料観察用カメラでの試料観察のときには、前記蛍光Ｘ線検出器と試料との距離を大きくし、蛍光Ｘ線測定の時には試料と前記蛍光Ｘ線検出器との距離を近づける制御を検出器移動機構に対して行なう制御装置が設けられている請求項１記載の蛍光Ｘ線装置。
- 前記試料観察用カメラで撮った画像を記憶再生する画像記憶再生装置を装備した請求項１記載の蛍光Ｘ線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003389048A JP2005147984A (ja) | 2003-11-19 | 2003-11-19 | 検出器移動機構を付加した蛍光ｘ線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003389048A JP2005147984A (ja) | 2003-11-19 | 2003-11-19 | 検出器移動機構を付加した蛍光ｘ線装置 |
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ID=34695912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2003389048A Pending JP2005147984A (ja) | 2003-11-19 | 2003-11-19 | 検出器移動機構を付加した蛍光ｘ線装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2005147984A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008286735A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Jeol Ltd | 蛍光ｘ線分析装置のｅｄｓヘッド保護方法及び保護機構 |
| CN103308539A (zh) * | 2012-03-12 | 2013-09-18 | 日本株式会社日立高新技术科学 | 荧光x射线分析装置和荧光x射线分析方法 |
-
2003
- 2003-11-19 JP JP2003389048A patent/JP2005147984A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008286735A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Jeol Ltd | 蛍光ｘ線分析装置のｅｄｓヘッド保護方法及び保護機構 |
| CN103308539A (zh) * | 2012-03-12 | 2013-09-18 | 日本株式会社日立高新技术科学 | 荧光x射线分析装置和荧光x射线分析方法 |
| CN103308539B (zh) * | 2012-03-12 | 2017-04-12 | 日本株式会社日立高新技术科学 | 荧光x射线分析装置和荧光x射线分析方法 |
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