JP2005121103A - 低真空用切換バルブおよび低真空用切換装置 - Google Patents

Abstract

【課題】簡単な構造を有する低価格で占有スペ−スも少ない低真空用切換バルブを提供する。
【解決手段】本低真空用切換バルブは、ゴム板４ａと該ゴム板に一体化され、良摺動性表面を有するシール板４ｂとからなる摺動ガスケット４と、上記摺動ガスケット４のゴム板４ａ側が固着される、吸引穴を有する固定筒２と、該固定筒２に摺動ガスケット４を介して摺動可能に当接した状態で回転可能に連結され、被吸引穴を有する回転体３とを有しており、摺動ガスケット４は、回転中心に対して偏心する穴部であって、固定筒２の吸引穴と回転体３の被吸引穴に連通可能な連通穴４ｃを有する。固定筒２に対して回転体３が回転駆動されると、固定筒２の吸引穴と回転体３の被吸引穴との真空圧連通状態が摺動ガスケット４の連通穴４ｃにより切り換えられる。
【選択図】図１

Description

本発明は、低真空機器の真空吸引ラインの切り換えに使用される低真空用切換バルブ、および、低真空切換装置の構造に関する。

従来、真空切換バルブとして、真空シール部が回転摺動するタイプのものや上下摺動するタイプのもの等数多くの種類のものがある。何れのタイプの切換バルブも吸引口を有する本体とその本体に摺動嵌合するシール軸部とからなり、夫々の構成部品は複雑な構造を有し、さらに、上記摺動嵌合する部分は、高真空度を保持するに十分な嵌合精度を有している。一方、従来の真空シーケンスシステムで真空吸引ラインを多方向に切り換える制御システムにおいては、多方向切り換え可能な電磁バルブを多数使用し、上記電磁バルブのオンオフにより上記真空吸引ラインを切り換えるように構成されている。

上述した従来の真空切換バルブは、通常、中真空領域（１０〜０．０１pa）以上の真空システムの切り換えに適用可能な仕様を有している。従って、低真空領域（１０pa）以下の低域の真空度のシステムに適用する切換バルブとしては、シール性上、オーバースペックとなり、コストの点で不利となる。また、配置スペ−ス上でもコンパクト化の妨げとなる。

また、従来では上述のような中真空領域以上で使用されるような切換バルブは、市販されているが、低真空領域でのみ利用可能な低真空用の切換バルブはまだ提供されていない状況にある。

一方、従来の真空シーケンスシステムで電磁バルブを適用するものは、当然ながら上記電磁バルブを制御するためのシーケンサー等の電気制御システムが不可欠であり、多数の電磁バルブとともに上記電気制御システムを装備するための高価な設備費が必要である。さらに、真空ラインを構成する複雑な配管設備も必要となる。

本発明は、簡単な構造を有する低価格であり、しかも、占有スペ−スも少ない低真空用切換バルブ、または、低真空用切換装置を提供することを目的とする。

本発明の請求項１記載の低真空用切換バルブは、弾性変形可能な弾性板部材と該弾性板部材に一体化され、良摺動性表面を有するシール部材とからなる摺動ガスケットと、上記ガスケットの弾性板材側が固着され、少なくとの１つの吸引穴を有する吸引側連結部材と、上記吸引側連結部材に対して上記摺動ガスケットを介して摺動可能に当接した状態で相対回転可能に連結され、少なくとの１つの被吸引穴を有する被吸引側連結部材とを有しており、上記摺動ガスケットは、上記吸引側連結部材と上記被吸引側連結部材との回転中心以外の位置に設けられ、上記吸引側連結部材の吸引穴および上記被吸引側連結部材の被吸引穴に連通可能な連通穴を有する。

本発明の請求項２記載の低真空用切換装置は、弾性変形可能な弾性板部材と該弾性板部材に一体化され、良摺動性表面を有するシール部材とからなる摺動ガスケットと、上記摺動ガスケットの弾性板材側が固着され、少なくとの１つの吸引穴を有する吸引側本体部材と、上記吸引側本体部材に対して上記摺動ガスケットを介して摺動可能に当接した状態で直進、または、回転移動可能に支持され、少なくとの１つの被吸引穴を有する被吸引側移動体部材とを有しており、上記摺動ガスケットは、上記吸引側本体部材と上記被吸引側移動体部材との移動位置上に配され、上記吸引穴および被吸引穴に連通可能な連通開口部を有する。

本発明の請求項３記載の低真空用切換装置は、請求項２に記載の低真空用切換装置において、上記被吸引側移動体部材の上記被吸引穴には、少なくとも１つの真空アクチュエータ部材が接続される。

上述のように本発明によれば、簡単な構造を有し、安価な低真空用切換バルブ、または、低真空用切換装置を提供することが可能となり、該低真空用切換バルブ、または、該低真空切換装置を適用することにより、高価な真空切換バルブや切り換え用電磁バルブ等を必要としない低設備費の低真空システムが実現できる。

以下、図を用いて本発明の実施形態を説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態である低真空用切換バルブの分解斜視図である。図２は、図１のＡ−Ａ断面図である。なお、本実施形態および第２，第３の実施形態の説明において、吸引側方向（−Ｐ方向）を後方、被吸引側方向（＋Ｐ方向）を前方とする。

本実施形態の低真空用切換バルブ１は、図１，２に示すように吸引側連結部材である固定筒２と、被吸引側連結部材である回転体３と、円板形状の摺動ガスケット４と、回転体抜け止めのための止メ輪５と、固定筒２に装着される真空配管コネクタ（配管用接手であって、以下、配管コネクタと記載する）６と、回転体３に装着される配管コネクタ８とを有してなる。

固定筒２は、円筒形状を有する部材であり、回転体３が回転自在に嵌合する嵌合穴部２ａと、中心軸上の後端側に配され、配管コネクタ用ネジ部を有する有底のコネクタ取付穴２ｂと、中心軸に対して所定量偏心し、嵌合穴部２ａ側に開口する吸引穴である有底の偏心穴２ｃとが設けられる。

嵌合穴部２ａは、底面２ｄを有し、前方側に開口しており、その内周部に止メ輪溝２ｅが設けられる。また、配管コネクタ取付穴２ｂと偏心穴２ｃとは、固定筒２の内部で連通する。

摺動ガスケット４は、厚み方向に弾性変形可能な弾性板部材であるゴム板４ａと、ゴム板４ａに接着等で一体化される良摺動性のシール部材であるシール板４ｂとからなり、外径が固定筒２の嵌合穴部２ａの内径に略等しい。この摺動ガスケット４には、中心軸に対して所定量偏心した位置にゴム板４ａとシール板４ｂとを貫通する穴であって、偏心穴２ｃに連通する連通穴４ｃが配される。

ゴム板４ａは、例えば、ネオプレンゴムシート，発泡ゴムシート，独立発泡ゴムシート、あるいは、スポンジ材の両面をネオプレンゴムシートで挟んで形成されるゴムシート等で形成される。シール板４ｂは、例えば、フッ素樹脂等の摺動性が良好である樹脂シートからなる。

上記摺動ガスケット４は、ゴム板４ａ側を両面接着テープにより固定筒２の嵌合穴底面２ｄに接着固定（密着状態）して取り付けられる。この取り付け状態では、固定筒２の偏心穴２ｃと摺動ガスケット４の連通穴４ｃとは対向して位置し、連通する。

回転体３は、ポリアセタール樹脂，金属等で製作される部材であって、前端側に配される中心軸上の配管コネクタ用ネジ部を有する有底のコネクタ取付穴３ｂと、後端面３ａ側に開口する有底の偏心穴３ｃとが設けられる。コネクタ取付穴３ｂと偏心穴３ｃとは、内部で連通し、被吸引穴を形成する。また、偏心穴３ｃは、摺動ガスケットの連通穴４ｃの偏心量と同一量だけ偏心して配置される。

上記回転体３は、固定筒２の嵌合穴２ａに嵌合し、挿入される。その挿入状態で止メ輪５を止メ輪溝２ｅに装着する。止メ輪５の装着により摺動ガスケット４は、回転体３によって押圧され、厚み方向に圧縮された状態で固定筒２と回転体３で挟持される。従って、良摺動性のシール板４ｂと回転体３の後端面３ａとは、摺動可能な面が所定の当接力で接合した状態にあり、回転自在な状態で支持され、かつ、連通穴４ｃと偏心穴３ｃとの接合面は、低真空状態に対して十分な密閉状態に保持される。

回転体３が図示しない回転駆動装置により回転駆動された場合、回転体３の偏心穴３ｃが摺動ガスケット４の連通穴４ｃの位置に到達したときに偏心穴３ｃと連通穴４ｃとが連通し、それ以外の状態では、連通しない。従って、固定筒２のコネクタ取付穴２ｂと回転体３のコネクタ取付穴３ｂとの間は、回転体３の回転に伴って連通状態と遮断状態に切り換えられる。

固定筒２の配管コネクタ用ネジ部、および、回転体３の配管コネクタ用ネジ部にそれぞれ配管コネクタ６，８を螺着され、それらの配管コネクタ６，８に吸引側真空パイプ７，被吸引側真空パイプ９がそれぞれ固着される。そして、上記真空パイプ７は、図示しない真空ポンプ装置に接続される。一方、上記真空パイプ９は、回転体３と一体で回転するか、あるいは、同期して回転する図示しない低真空のアクチュエータ装置、例えば、真空パッド等に接続される。

上述した構成を有する本実施形態の低真空用切換バルブ１が組み込まれた真空ポンプ装置および低真空作動の真空パッド装置においては、真空パイプ７側が真空吸引された状態で回転体３が回転駆動されると、回転体３の１回転中の所定時期に真空圧が偏心穴３ｃを介して真空パイプ９側の伝達される。上記真空パッド等の吸引，非吸引状態が切り換えられ、所定の動作が実行される。

以上、説明した本実施形態の低真空用切換バルブ１によれば、低真空吸引状態で回転体３と摺動ガスケット４の間が摺動可能な状態で密封されることから、回転体３の回転にともなって真空パイプ９側へ真空圧が伝達可能であり、確実に真空状態の切り換えが行われる。この低真空用切換バルブ１の密封構造は、極めて簡単であり、従来の真空バルブのように高い加工精度を必要とせず、低真空度に対して必要で、かつ、十分な密封機能を有している。従って、オーバースペックにならない低コストの低真空用切換バルブを提供することができる。

なお、本実施形態における摺動ガスケット４の連通穴４ｃ、または、回転体３に設けられる偏心穴３ｃを円形形状ではなく、周方向に沿った所定角度の長穴にすることにより、回転体３の１回転中の真空吸引期間（角度）を増やすことは可能である。また、回転体３に設けられる偏心穴３ｃを複数設けることにより、回転体３の１回転中の真空切り換え回数を複数回にすることも可能である。

また、定位置にセットされた真空パッドの吸引切り換え用に上記低真空用切換バルブ１を適用する場合、回転体３の配管コネクタ接続側に摺動回転可能な回転分配型真空圧伝達装置を組み込むことによって適用可能となる。なお、上記回転分配型真空圧伝達装置については、後述する第２の実施形態の詳細にて説明する。

次に、本発明の第２の実施形態である低真空用切換バルブについて、図３，４を用いて説明する。

図３は、本実施形態の低真空用切換バルブの分解斜視図である。図４は、図３のＢ−Ｂ断面図である。

本実施形態の低真空用切換バルブ（以下、切換バルブと記載する）１１は、図３，４に示すように吸引側連結部材である固定部材１２と、被吸引側連結部材である回転筒１３と、円板形状の摺動ガスケット１４と、回転筒抜け止めのための止メ輪１５と、吸引側の真空配管用パイプ（以下、真空パイプと記載する）１７が接続され、固定部材１２に装着される真空配管コネクタ（以下、配管コネクタと記載する）１６と、被吸引側の真空パイプ１９が接続され、回転筒１３に装着される複数の配管コネクタ１８とを有してなる。

固定部材１２は、円柱ブロック形状を有する部材であり、その外周に回転筒１３が回転自在に嵌合する。この固定部材１２は、中心軸から所定量偏心した位置に配管コネクタ取付ネジ穴１２ｂが設けられた貫通する吸引穴である偏心穴１２ｃを有している。

摺動ガスケット１４は、厚み方向に弾性変形可能な弾性板部材であるゴム板１４ａと、ゴム板１４ａに接着等で一体化される良摺動性のシール部材であるシール板１４ｂとからなり、固定部材１２の外径に略等しい。この摺動ガスケット１４には、中心軸に対して所定量偏心した位置にゴム板１４ａとシール板１４ｂとを貫通する穴であって、上記偏心穴１２ｃに連通する連通穴１４ｃが配される。

ゴム板１４ａは、例えば、ネオプレンゴムシート，発泡ゴムシート，独立発泡ゴムシートあるいはスポンジ材の両面をネオプレンゴムシートで挟んで形成されるゴムシート等で形成される。シール板１４ｂは、例えば、フッ素樹脂等の摺動性が良好である樹脂シートからなる。

この摺動ガスケット１４は、ゴム板１４ａ側を両面接着テープにより固定部材１２の前端面１２ａに接着固定（密着状態）して取り付けられる。この取り付け状態で固定部材１２の偏心穴１２ｃと摺動ガスケット１４の連通穴１４ｃとは対向し、連通する。

回転筒１３は、ポリアセタール樹脂，金属等で製作される部材であり、固定部材１２が嵌入する有底の嵌合穴１３ａと、嵌合穴１３ａ内周に止メ輪溝１３ｅと、配管コネクタ取付ネジ穴１３ｂを有する貫通する複数の被吸引穴である連通穴１３ｃとが設けられる。上記複数の連通穴１３ｃは、摺動ガスケットの連通穴１４ｃの位置を通る円周上に配される。

回転筒１３の嵌合穴１３ａに摺動ガスケット１４が貼付された固定部材１２を嵌合し、挿入する。その挿入状態で止メ輪１５を止メ輪溝１３ｅに装着する。止メ輪１５の装着により摺動ガスケット１４は、回転筒１３によって押圧され、厚み方向に圧縮された状態で固定部材１２と回転筒１３で挟持される。従って、良摺動性のシール板１４ｂと回転筒１３の嵌合穴底面１３ｄとは、所定の当接力で接合した状態にあり、回転自在な状態で支持され、かつ、連通穴１４ｃと連通穴１３ｃとの接合面は、低真空状態に対して十分な密閉状態に保持される。

回転筒１３が図示しない回転駆動装置により回転駆動された場合、回転筒１３の複数の連通穴１３ｃのいずれかが摺動ガスケット１４の連通穴１４ｃの位置に到達したときに該当する連通穴１３ｃと連通穴１４ｃとが連通し、それ以外の状態では、連通しない。従って、固定部材１２の配管コネクタ取付ネジ穴１２ｂと回転筒１３のそれぞれの配管コネクタ取付ネジ穴１３ｂとの間は、回転筒１３の回転に伴って連通状態と遮断状態が切り換えられる。

固定部材１２の配管コネクタ取付ネジ穴１２ｂには、配管コネクタ１６が螺着され、その配管コネクタには、真空パイプ１７が固着される。上記真空パイプ１７は、図示しない低真空の真空ポンプ装置に接続される。

一方、回転筒１３の複数の配管コネクタ取付ネジ穴１３ｂには、それぞれに配管コネクタ１８が螺着され、それらの配管コネクタ１８には、各真空パイプ１９が固着される。上記真空パイプ１９は、回転筒１３と一体で回転するか、あるいは、同期して回転する複数の真空アクチュエータ部、例えば、複数の真空パッドをもつ低真空アクチュエータ装置（図示せず）等に接続される。

上述した構成を有する本実施形態の低真空用切換バルブ１１が組み込まれた低真空アクチュエータ装置においては、真空パイプ１７側が低真空吸引された状態で回転筒１３が回転駆動されると、回転筒１３の複数の連通穴１３ｃが順次、固定部材１２側の摺動ガスケット１４の連通穴１４ｃ上に位置する。従って、各真空パイプ１９側に順次に真空パイプ１７側の真空状態が伝達され、接続された低真空アクチュエータ装置の各真空パッドが順次吸引，非吸引状態に切り換えられ、所定の動作が実行される。

以上、説明した本実施形態の低真空用切換バルブ１１によれば、前記第１の実施形態の場合と同様に低真空度に対して必要で、かつ、十分な密封機能を有する低コストの低真空用切換バルブを提供することができる。特に本実施形態の場合、複数の低真空アクチュエータ部を有する装置の順次の切り換え用として適用することが可能であり、従来のように多数の高精度の真空切換バルブや電磁弁をする必要がなく、配置スペ−スに関しても非常に有利となる。

なお、上述した第２の実施形態における摺動ガスケット１４に設けられる偏心穴の数を増やす、あるいは、偏心穴を周方向の長穴形状にすることによって、複数の真空パイプ１９の真空吸引状態を種々の状態に変更することができる。例えば、図５（Ａ）の変形例の平面図に示すように摺動ガスケット１４Ａの所定半径の円周上に複数の連通穴１４Ａｃを設けることにより複数の真空パイプ１９のいくつかの真空吸引系（排気系列）を同時に吸引状態するように切り換えることができる。但し、この場合、図３に示すように例えば、付加した摺動ガスケットの連通穴１４ｃ′に対向させて固定部材１２にも配管コネクタ装着用のネジ穴１２ｂ′と偏心穴１２ｃ′を設ける必要がある。

さらに、図５（Ｂ）の変形例の平面図に示すように摺動ガスケット１４Ｂの周方向の長穴形状の連通穴１４Ｂｃを設けることによりそれぞれの真空パイプ１９の回転筒１３の１回転中での真空吸引連続期間を増やすことができる。これによって低真空アクチュエータの各種の制御に対応させることができる。さらに、この変形例によれば、複数の真空吸引系（排気系列）を同時に、または、所定の期間開閉することができる。また、被吸引側の接続パイプの交差，分岐，接合等により種々の複雑な切り換え操作が可能になる。

また、低真空用切換バルブ１１を定位置にセットされた真空パッド等の真空吸引切り換えに適用する場合、回転筒１３の配管コネクタ接続側に回転可能な回転分配型真空圧伝達装置を組み込むことによって適用可能となる。なお、上記回転分配型真空圧伝達装置は、例えば、固定外筒部と、該外筒部に対して回転駆動される内筒部を有しており、上記外筒には、回転筒１３のコネクタ数に対応した数の固定真空パッドに接続される配管コネクタを設ける。上記内筒部には、回転筒１３の各コネクタに連通する連通穴を配し、それらの連通穴を上記外筒部の各配管コネクタに連通させる。上記内筒部の回転にともなって上記外筒部の各配管コネクタを介して真空圧が各真空パッドに順次分配される。あるいは、低真空用切換バルブ１１において、回転筒１３側を固定支持し、固定部材１２側を回転駆動するように構成すれば、定位置にセットされた真空パッド等の真空吸引切り換えに適用できる。

次に本発明の第３の実施形態である低真空用切換バルブが組み込まれた真空走行装置について図６，７を用いて説明する。
図６は、本実施形態の真空走行装置の支持軸に沿った断面図であり、図７は、図６のＣ−Ｃ断面図である。

本実施形態の真空走行装置３１は、円周上に配置された真空パッド４８のうち、走行面側に位置する真空パッド４８が低真空度で吸引された状態で回転し、走行面５９上を吸着しながら走行する走行装置である。本走行装置３１は、図示しない低真空度の真空ポンプおよび駆動モータを具備しており、上記駆動モータを駆動し、かつ、上記真空ポンプの真空吸引圧が真空パイプ５３Ａから低真空用切換バルブ５２を介して回転する複数の真空パッド４８に切り換えられて順次伝達される。

本真空走行装置３１は、上記真空ポンプおよび駆動モータの他に図６，７に示すように架台腕部３３，３６に固定支持される支持軸３２と、支持軸３２の一方側にボールベアリング３９により回転自在に一体の状態で支持される回転支持板４１および被吸引連結部材の回転筒４２と、同じく支持軸３２の他方側にボールベアリング４０により回転自在に支持される回転支持板４３，４４と、回転支持板４１，４３の間に支持軸中心とする円周上に貫通し、回転自在に配される複数の支持ロッド４５と、複数の支持ロッド４５にパッド支持板４６，４７を介して支持される真空アクチュエータとしての複数の真空パッド４８と、上記支持板４１および回転筒４２にネジ部材５０により固着される駆動ギヤ４９と、支持軸３２の鍔部３２ｂに接着される摺動ガスケット５１と、支持軸３２の後端部に螺着される吸引用真空コネクタ５３と、真空コネクタ５３と真空ポンプ側とを接続する真空パイプ５３Ａと、回転筒４２に螺着される複数の真空コネクタ５４と、各真空パッド４８に螺着される複数の被吸引用真空コネクタ５６と、真空コネクタ５４，５６間を接続する複数の被吸引用真空パイプ５５とを有して成る。

支持軸３２は、後方をスリーブ３４を介して、前方をスリーブ３８と回転止め板３７を介してその前後端のナット３５を締め付けることによって架台腕部３３，３６に一体化され、図示しない架台に固定支持される。そして、支持軸３２には、後方側に吸引側連結部材を形成する鍔部３２ｂと、鍔部３２ｂと真空コネクタ５３に連通する連通穴３２ａが設けられる。上記真空コネクタ５３には吸引側真空パイプ５３Ａが装着される。

駆動ギヤ４９に一体化される回転支持板４１，４３と回転筒４２と支持ロッド４５は、駆動ギヤの回転に伴って支持軸３２中心に回転駆動される。

低真空用切換バルブ５２は、上述した支持軸３２に設けられる鍔部３２ｂと、該鍔部３２ｂに装着される摺動ガスケット５１と、支持軸３２に対して相対回転する回転筒４２とにより構成される。

鍔部３２ｂには、連通穴３２ａに連通し、鍔部３２ｂの前端面３２ｄ上の支持軸心から偏心した位置にあって、吸引穴を形成する偏心穴３２ｃが設けられる。上記偏心穴３２ｃは、円周上の走行装置３１の下方側（走行面５９側）に配設される。

摺動ガスケット５１は、厚み方向に弾性変形可能な弾性板部材であるゴム板５１ａと、ゴム板５１ａに接着等で一体化される良摺動性のシール部材であるシール板５１ｂとからなり、鍔部３２ｂの前端面３２ｄの外径、または、回転筒４２の内径に略等しい外径を有している。この摺動ガスケット５１には、鍔部３２ｂの偏心穴３２ｃの偏心量に対応した半径位置に設けられ、ゴム板５１ａとシール板５１ｂとを貫通する穴であって、上記偏心穴３２ｃに連通する連通穴５１ｃが配される。上記連通穴５１ｃは、周方向に延びる長穴形状を有し、本走行装置３１の真空パッド４８の吸引を必要とする回転角に対応した開口長さを有している。例えば、本走行装置３１の場合、６つの真空パッド４８が円周上に配置されていることから、真空パッド４８の真空吸引期間に対応する回転角度は、およそ、６０度である。その回転角度を満足するように連通穴５１ｃの周方向の開口長さが設定される。

ゴム板５１ａは、例えば、ネオプレンゴムシート，発泡ゴムシート，独立発泡ゴムシートあるいはスポンジ材の両面をネオプレンゴムシートで挟んで形成されるゴムシート等で形成される。シール板５１ｂは、例えば、フッ素樹脂等の摺動性が良好である樹脂シートからなる。

この摺動ガスケット５１は、ゴム板５１ａ側を両面接着テープにより鍔部３２ｂの前端面に接着固定（密着状態）される。この固定支持状態では、鍔部３２ｂの偏心穴３２ｃと摺動ガスケット５１の連通穴５１ｃとは連通している。

回転筒４２は、回転支持板４１とともに回転駆動されるが、支持軸３２の鍔部３２ｂが挿入される円筒内周面状の凹部４２ａを有している。該凹部の底面４２ｃには、摺動ガスケットの連通穴５１ｃの位置する半径の円周上の位置にて貫通する複数の被吸引穴である丸穴形状の連通穴４２ｂが設けられる。さらに、連通穴４２ｂには、真空コネクタ螺着用ネジ部４２ｄが設けられる。上記複数の連通穴４２ｂは、真空パッド４８の数に対応した数だけ設けられ、摺動ガスケット５１の連通穴５１ｃの位置を通る円周上に沿って配置されている。

回転支持板４１および回転筒４２が支持軸３２に対して回転自在に、かつ、軸方向に規制された状態では、ゴム板５１ａが圧縮変形された状態で回転筒４２の凹部底面４２ｃと摺動ガスケット５１のシール板５１ｂとが所定の押圧力で当接して保持される。従って、摺動ガスケット５１と回転筒４２の凹部底面４２ｃとは、良摺動性のシール板５１ｂを介して回転摺動自在な状態で支持され、連通穴５１ｃと連通穴４２ｂとの接合面は、低真空状態に対して十分な密閉状態に保持される。

回転筒４２が駆動ギヤ４９を介して回転駆動された場合、回転筒４２の連通穴４２ｂが摺動ガスケット５１の連通穴５１ｃの開口部位置に到達したときに連通穴４３ｂと連通穴５１ｃと偏心穴３２ｃが連通し、それ以外の状態では、連通しない。従って、支持軸３２の偏心穴３２ｃと回転筒４２のそれぞれの連通穴４２ｂとの間は、回転筒４２の回転に伴ってそれぞれ対応する所定の期間（真空パッド４８が上記吸引期間に対応する所定角度範囲にあるとき）だけ連通し、それ以外の期間は、遮断されるように切り換えられる。

上述した構成を有する本実施形態の真空走行装置３１において、走行面５９上を吸着しながら走行させる場合、真空パイプ５３Ａを介して支持軸３２の連通穴３２ａ，偏心穴３２ｃが所定の低真空圧で吸引されている状態のもとで、駆動ギヤ４９を回転駆動する。上記駆動ギヤ４９の回転によって真空パッド４８および回転筒４２が支持軸３２に対して回転する。回転筒４２の複数の連通穴４２ｂのうち、下側の摺動ガスケット５１の連通穴５１ｃ（周方向長穴）に差し掛かった連通穴４２ｂが吸引側偏心穴３２ｃと連通し、真空吸引状態となる。上記吸引状態の連通穴４２ｂに接続された走行面側にある真空パッド４８が吸引状態に切り換わる。その真空パッド４８は、走行面５９に吸着しながら回転するので、走行装置３１は、走行面５９上を走行することができる。

以上、説明した本実施形態の低真空用切換バルブ５２が組み込まれた真空走行装置３１によれば、使用される低真空度に対して必要で、かつ、十分な密封機能を有する低コストの低真空用切換バルブ５２が組み込まれており、コストを抑えた真空走行装置を実現することができる。さらに、１つの低真空用切換バルブ５２を備えるだけで複数の真空パッドの真空吸引を切り換えることが可能であり、走行装置のコンパクト化が可能となる。

なお、上記低真空用切換バルブ５２においては、摺動ガスケット５１側に周方向に沿った長穴形状の連通穴５１ｃが設けられ、回転筒４２側に丸穴形状の連通穴４２ｂが設けらてるが、これらの穴形状は逆であってもよい。すなわち、連通穴５１ｃ側が丸穴で、連通穴４２ｂ側が長穴であっても同等の機能を有する。

次に、本発明の第４の実施形態である低真空切換装置について図８〜１０を用いて説明する。
図８は、本実施形態の低真空切換装置の分解斜視図であり、図９は、図８の低真空切換装置のスプロケットホイール上面部から見た断面図である。図１０は、図９のＤ−Ｄ断面図である。

本実施形態の低真空切換装置６１は、真空ポンプによる低真空圧を複数の真空アクチュエータ装置に切り換えて分配するための低真空切換バルブに相当する装置である。

本低真空切換装置６１は、図８等に示すように吸引側本体部材である吸引台６２と、摺動ガスケット６３と、被吸引側移動体部材を含む自在移動駒群６４と、駒押さえ板６５と、スプロケットホイール６８を含む回転駆動系と、吸引側真空パイプ７０が接続される配管コネクタ６９と、被吸引側真空パイプ７２が接続される配管コネクタ７１とを有してなる。なお、上記吸引側真空パイプ７０には、図示しない真空ポンプ装置の吸引ラインが接続される。また、上記被吸引側真空パイプ７２には、自在移動駒群６４の循環移動に同期した状態で周回的に移動する図示しない真空アクチュエータ装置、例えば、真空パッドが接続される。さらに、上記スプロケットホイールの回転駆動系は、図示しない回転駆動源により駆動される。

吸引台６２には上面側に底面を有する直進溝部と、直進溝の両端に連続して設けられる半円の円周溝部からなる環状の平行なガイド溝６２ａが形成されている。ガイド溝６２ａの直進溝部および半円周溝部には、複数の吸引穴６２ｃ〜６２ｇが所定位置に設けられる。上記吸引穴６２ｃおよび他の吸引穴の下部には、配管コネクタ６９を螺着するためのコネクタネジ部６２ｆが設けられる。また、一方の半円周溝部の円中心位置に軸支穴６２ｇが設けられ、その軸支穴６２ｇには、駆動軸６７が回転自在に支持されている。駆動軸下端には、回転駆動系の駆動ギヤ６６が固着されている。

摺動ガスケット６３は、吸引台６２のガイド溝６２ａに挿入可能な直進部と半円周部とからなる環状板形状を有しており、下側に弾性板部材であるゴム板６３ａと、上側に良摺動性のシール板部材であるシール板６３ｂとを貼り合わせてなる部材である。この摺動ガスケット６３は、吸引台６２のガイド溝６２ａの底面に両面接着テープによりゴム板６３ａ側を接着して固着される。そして、摺動ガスケット６３には、厚み方向に開口する連通開口部である開口部６３ｃ，６３ｄ，６３ｅ，６３ｆ，６３ｇが設けられる。

上記開口部６３ｃは、摺動ガスケット直進部に沿って長く開口する長穴形状であり、吸引穴６２ｃの上部に位置する。上記開口部６３ｄは、摺動ガスケット半円周部に沿って長く開口する長穴形状であり、吸引穴６２ｄの上部に位置する。上記開口部６３ｅ，６３ｆ，６３ｇは、それぞれ丸穴形状であり、吸引穴６２ｅ，６２ｆ，６２ｇの上部に位置する。

自在移動駒群６４は、被吸引側移動体部材である所定の数の自在移動駒６４Ａと、所定の複数の自在移動駒６４Ｂからなる。自在移動駒６４Ａの数は、接続される真空アクチュエータの数と一致する。自在移動駒６４Ａと自在移動駒６４Ｂの数のトータル数は、これらの自在移動駒群が吸引台６２のガイド溝６２ａに沿ってガイド溝の一周を隙間なく埋める数とする。

自在移動駒６４Ａは、略円柱ブロック形状を有する部材であって、円柱形状の一側面に円柱の半径の湾曲面で形成される凹部６４Ａａが設けられ、円柱上部に溝部６４Ａｂを有し、その上部に円柱外径より小径の段状頭部６４Ａｃが設けられる。さらに、軸中心の上下方向に貫通する被吸引穴６４Ａｅが設けられる。被吸引穴６４Ａｅには、配管コネクタ取付ネジ部６４Ａｄが設けられる。上記円柱部直径は、吸引台６２のガイド溝６２ａの幅と略同一とし、ガイド溝６２ａに嵌入してガイド溝６２ａに沿って移動可能とする。

自在移動駒６４Ｂは、その外形形状は、自在移動駒６４Ａと同一とし、略円柱ブロック形状を有し、凹部６４Ｂａと、溝部６４Ｂｂを有する段状頭部６４Ｂｃが設けられている。但し、被吸引穴は有していない。

自在移動駒群６４としての所定数の自在移動駒６４Ａ，６４Ｂは、互いに円柱外径面と凹部とを組み合わせた状態で吸引台６２の摺動ガスケット６３が貼付されたガイド溝６２ａに挿入され、隙間のない状態で該ガイド溝６２ａを一周した状態で挿入される。なお、その挿入状態では、各自在移動駒６４Ａ，６４Ｂは、互いに円柱外径面と凹部とを組み合わせてあるため、各駒の回転が規制された状態でガイド溝６２ａに沿って移動が可能である。また、各自在移動駒６４Ａ，６４Ｂの下面は、摺動ガスケット６３のシール板６３ｂに摺接する。そして、自在移動駒群６４の中の自在移動駒６４Ａは、自在移動駒６４Ｂに対して所定の間隔、すなわち、接続先の制御対称である真空アクチュエータ装置に関連した間隔であって、摺動ガスケット６３の各開口部の間隔に合わせて配置される。

駒押さえ板６５は、中板６５ａと分割板６５ｂ，６５ｃとからなり、吸引台６２のガイド溝６２ａに沿った溝部６５ｄを形成する。この溝部幅は、ガイド溝６２ａより狭く、自在移動駒６４Ａ，６４Ｂの溝部６４Ａｂ，６４Ｂｂの径より広い。なお、組み立て上の必要から駒押さえ板６５は、中板６５ａと分割板６５ｂ，６５ｃに分割されている。

ガイド溝６２ａに挿入された自由状態での自在移動駒６４Ａ，６４Ｂの各円柱上面部は、吸引台６２の上面より僅かな寸法だけ突出している。そこで、上記駒押さえ板６５は、自在移動駒６４Ａ，６４Ｂの突出した各円柱上面部を押さえ込みながら、溝部６４Ａｂ部の外側に装着し、吸引台６２に固定して取り付けられる。上述のように駒押さえ板６５で自在移動駒６４Ａ，６４Ｂの各円柱上面部を押さえ込むために摺動ガスケット６３のゴム板６３ａは、圧縮される。上記装着状態で自在移動駒６４Ａ，６４Ｂの底面は、摺動ガスケット６３のシール板６３ｂに所定の当接力で当接し、摺動可能な状態に保持される。また、自在移動駒６４Ａ，６４Ｂの底面と良摺動性を有するシール板６３ｂとは、所定の当接力で当接し、かつ、自在移動駒６４Ａ，６４Ｂの互いの円柱外径と凹部とは、ガイド溝６２ａの直進部，円周部上で隙間なく接していることから摺動ガスケット６３の開口部６３ｃ，６３ｄ，６３ｅ，６３ｆ，６３ｇの密封性、および、自在移動駒６４Ａの被吸引穴６４Ａｅの密封性は共に低真空状態では十分に保たれる。

スプロケットホイール６８は、軸穴６８ａと、その外周に自在移動駒６４Ａ，６４Ｂの溝部６４Ａｂ，６４Ｂｂに係合可能な歯部６８ｃと谷部６８ｂを有している。

上記スプロケットホイール６８は、上記軸穴６８ａを吸引台側駆動軸６７に固着し、上記歯部６８ｃを各自在移動駒６４Ａ，６４Ｂの溝部６４Ａｂ，６４Ｂｂに係合させて取り付けられる。

スプロケットホイール６８が駆動ギヤ６６により回転駆動されると、自在移動駒６４Ａ，６４Ｂは、ガイド溝６２ａに沿って移動する。自在移動駒６４Ａ，６４Ｂよりなる自在移動駒群６４は、吸引台６２のガイド溝６２ａの全域にわたって隙間なく配置されていることからガイド溝６２ａを周回して移動することになる。その自在移動駒群６４の周回移動時、自在移動駒６４Ａの被吸引穴６４Ａｅが摺動ガスケット６３の開口部６３ｃ，６３ｄ，６３ｅ，６３ｆ，６３ｇのいずれかに差し掛かると、吸引台６２の吸引穴と自在移動駒６４Ａの被吸引穴６４Ａｅとが連通状態になる。また、被吸引穴６４Ａｅが開口部６３ｃ，６３ｄ，６３ｅ，６３ｆ，６３ｇのいずれかの範囲外に移動すると、上記連通状態が遮断状態に切り換わる。

複数ある自在移動駒６４Ａの被吸引穴６４Ａｅの配管コネクタ取付ネジ部６４Ａｄには、配管コネクタ７１が螺着され、該コネクタ７１には、被吸引側真空パイプ７２が接続される。

上述した構成を有する本実施形態の低真空切換装置６１において、吸引側真空パイプ７０は、真空ポンプ装置側に接続され、被吸引側真空パイプ７２は、自在移動駒群６４と同期した状態で周回移動する図示しない真空アクチュエータ装置、例えば、真空パッドに接続される。駆動ギヤ６６は、図示しない回転駆動源により駆動され、スプロケットホイール６８が回転駆動される。

吸引側真空パイプ７０側を低真空で吸引している状態でスプロケットホイール６８が回転駆動されると、自在移動駒群６４は、それぞれ吸引台６２のガイド溝６２ａに沿って移動する。その移動中、自在移動駒６４Ａの被吸引穴６４Ａｅが摺動ガスケット６３の開口部６３ｃ，６３ｄ，６３ｅ，６３ｆ，６３ｇのいずれかに差し掛かったとき、真空アクチュエータ（例えば、真空パッド）が真空吸引され、所定の動作が実行される。被吸引穴６４Ａｅが摺動ガスケット６３の開口部６３ｃ，６３ｄ，６３ｅ，６３ｆ，６３ｇの範囲外に移動したとき、上記真空パッドは、真空吸引から開放される。なお、摺動ガスケット６３の開口部６３ｃ，６３ｄは、それぞれが移動方向に沿った所定の長さを有しており、真空パッドは、上記開口部６３ｃ，６３ｄの長さに応じた期間だけ吸引される。

上述した本実施形態の低真空切換装置６１によれば、前記第３の実施形態の場合と同様に使用される低真空度に対して必要で、かつ、十分な密封機能を有する低コストの低真空用切換装置を提供することができる。特に、吸引台６２の一周するガイド溝に沿って移動する自在移動駒群６４を配置し、その自在移動駒群６４の中の特定の自在移動駒に接続される真空アクチュエータの吸引オンオフ期間を摺動ガスケットの開口部の形状（移動方向長さ）によって制御することができる。従って、循環移動する真空アクチュエータの複雑な制御をこの簡単な構成の低真空切換装置６１で行うことができる。従来では上述のような制御を行わせる場合、多くの数の真空切り換えバルブを必要とし、さらに、その作動を複雑な制御系で制御する必要があり、設備費用が増大し、占有スペ−スも増える可能性があったが、本実施形態によればそれらの問題が解決できる。

なお、真空切換装置６１において、自在移動駒の下面部にゴムシートを貼り付ける構造とすると、シール性がさらに向上する。

上記第４の実施形態の低真空切換装置６１における吸引台のガイド溝形状および摺動ガスケットに対する変形例として、図１１に示すようなガイド溝形状および摺動ガスケット形状のものを提案することも可能である。但し、本変形例における駆動系および真空伝達系は、前記第４の実施形態に適用したものと同様とする。

本変形例においては、吸引台に設けられるガイド溝７４ａが直進部と曲線部とを組み合わせからなるが、上記曲線部は、図１１に示すように幅の両側に曲がるような自由曲線部で形成されている。但し、このガイド溝７４ａは、他の図示しない直進部と曲線部とを辿って一巡している。

ガイド溝７２ａの底面に装着される摺動ガスケット７３は、ガイド溝７２ａの形状に合わせた形状を有している。そして、直進部に沿った連通開口部である長穴状の開口部７３ｃや曲線部に設けられる連通開口部である丸穴開口部７３ｄ，７３ｅ，７３ｆ等が配されている。なお、ガイド溝７４ａに挿入される自在移動駒群６４は、前記第３の実施形態に適用したものと同様に自在移動駒６４Ａ，６４Ｂからなる。

自在移動駒群駆動用スプロケットホイール６８は、ガイド溝７４ａの曲線部の要所に複数配置され、ガイド溝７４ａに挿入された自在移動駒群６４を順次移動させる。

本変形例を適用した低真空切換装置によれば、ガイド溝７４ａが自由曲線に近い線に沿って配されることから自在移動駒６４Ａに真空パイプ７２を介して接続される真空パッドの配置に自由度が増すので真空切換装置の適用範囲が広がる。

次に、本発明の第５の実施形態の低真空切換装置について、図１２〜１４を用いて説明する。
図１２は、本実施形態の低真空切換装置の要部の分解斜視図である。図１３は、上記低真空切換装置の吸引台部のスプロケット駆動軸直交面上での断面図である。図１４は、上記低真空切換装置に適用される自在移動駒の移動方向に沿った縦断面（スプロケット駆動軸直交面）上の断面図である。

本実施形態の低真空切換装置８１は、前記第４の実施形態の低真空切換装置６１と同様に真空ポンプによる低真空圧を複数の真空アクチュエータ装置に切り換えて分配するための低真空切換バルブに相当する装置である。そして、本装置では、自在移動駒群が吸引台の長円外周面上を循環移動することによって複数の真空アクチュエータ装置に対する真空圧が分配される。

低真空切換装置８１は、図１２に示すように吸引側本体部材である吸引台８２と、帯状の摺動ガスケット８３と、シール用ゴムベルト８５上に固着され、被吸引側移動体部材を含む自在移動駒群８４と、駒ガイド板８７と、スプロケット駆動軸８８に支持される一対のスプロケットホイール８９と、吸引側真空パイプ９０が接続される配管コネクタ９１と、被吸引側真空パイプ９２が接続される配管コネクタ９３とを有してなる。なお、上記吸引側真空パイプ９０には、図示しない低真空ポンプ装置の吸引ラインが接続される。また、上記被吸引側真空パイプ９２には、自在移動駒群８４の循環移動に同期した状態で周回的に移動する図示しない真空アクチュエータ装置、例えば、真空パッドが接続される。さらに、上記スプロケットホイール８９は、スプロケット駆動軸８８を介して図示しない回転駆動源により駆動される。

吸引台８２は、長円外周面に沿った環状のガイド溝８２ａを有し、該ガイド溝の一方の側面にはビス８６ａによって側板８６が固定される。ガイド溝８２ａは、スプロケット駆動軸８８を中心とする一端側の半円形状の外円周面部と、上記外円周面部に連接し、スプロケット駆動軸８８と直交する方向に延びる上下の直進溝部と、上記直進溝部と連接する他端側の外円周面部とにより形成される環状の長円外周面上に形成される。

また、ガイド溝８２ａの幅両側の外周に沿った所定の隙間のピン挿通ガイド部８７ａを形成する一対のガイド板８７が配置される。このガイド板８７は、吸引台８２、および、側板８６に固定支持される。上記ピン挿通ガイド部８７ａは、後述する自在移動駒群８４の従動ピン８４ｆが摺動自在に挿入される。

ガイド溝８２ａの溝幅中央部であって、周方向の所望の位置に単一、または、複数の吸引穴８２ｂ，８２ｃ，８２ｄが設けられる。これらの吸引穴８２ｂ等の吸引台内側には配管コネクタ９１を螺着するためのコネクタネジ部が設けられる。

スプロケット駆動軸８８は、吸引台８２のガイド溝８２ａの一端側の外円周面部の中心位置にて回転可能に支持され、その両端にスプロケットホイール８９が固着される。この駆動軸８８は、図示しない回転駆動系により回転駆動される。

スプロケットホイール８９は、スプロケット駆動軸８８に嵌入して固着される軸穴８９ａを有し、外周に自在移動駒群８４の従動ピン８４ｆに係合可能な歯部８９ｂを有している。

摺動ガスケット８３は、環状板形状を有し、内側に弾性板部材であるゴム板８３ａと、外側に良摺動性のシール板部材であるシール板８３ｂとを貼り合わせてなる部材である。この摺動ガスケット８３は、そのゴム板８３ａ側を吸引台８２のガイド溝８２ａの溝底面に両面接着テープにより接着して固着される。なお、摺動ガスケット８３は、ガイド溝８２ａの溝幅に合致した幅を有している。そして、摺動ガスケット８３には、厚み方向に開口する連通開口部である長穴状の開口部８３ｃや丸穴状の開口部８３ｄ等が吸引台８２の上記各吸引穴８２ｂ，８２ｃ，８２ｄに対応して配置される。

自在移動駒群８４は、被吸引側移動体部材である所定の数の自在移動駒８４Ａと、所定の複数の自在移動駒８４Ｂからなる。自在移動駒８４Ａの数は、接続される真空アクチュエータの数と一致する。

自在移動駒８４Ａは、平行な両側面および上下面を有し、移動方向前後に所定の半径の周面からなる凸面８４ｄ，凹面８４ｅを有する。さらに、両側面に従動ピン８４ｆが突出して固着され、さらに、上下方向に貫通する被吸引穴８４Ａａが設けられる。被吸引穴８４Ａａには、配管コネクタ９３を取り付けるためのコネクタネジ部８４Ａｂが上側に設けられる（図１４）。自在移動駒８４Ａの上記側面の幅は、吸引台８２のガイド溝８２ａの幅と略同一幅とし、ガイド溝８２ａに嵌入して摺動移動可能とする。

自在移動駒８４Ｂは、その外形形状は、自在移動駒８４Ａと同一とし、移動方向前後に所定の半径の周面からなる凸面８４ｄ，凹面８４ｅを有し、両側面に従動ピン８４ｆが突出して固着されている。但し、被吸引穴は有していない。

自在移動駒８４Ａは、環状のシール用ゴムベルト８５の外周面の所望位置間隔に、また、自在移動駒８４Ｂは、自在移動駒８４Ａの間に挿入された状態で、かつ、自在移動駒８４Ａ，８４Ｂの互いの凸面８４ｄと凹面８４ｅを組み合わせ、隙間のない状態でゴムベルト８５上に固着される。なお、自在移動駒８４Ａのゴムベルト８５への固着は、図１４に示すようにゴムベルト８５に設けられる開口穴８５ａ上で被吸引穴８４Ａａの下部のカシメ部８４Ａｃをカシメて固着 される。自在移動駒８４Ｂもゴムベルト８５に対して下部のカシメ部（図示せず）により固着される。

なお、自在移動駒８４Ａ，８４Ｂに設けられる凸面８４ｄ，凹面８４ｅの半径Ｒ1 、および、自在移動駒の配置ピッチ角度θ1 は、吸引台８２のガイド溝８２ａの外円周面部の半径Ｒ0 に対応して定められる。

上述した構成を有する低真空切換装置８１は、吸引台８２にそれぞれ組み付けられる。すなわち、吸引台８２から側板８６を取り外した状態で摺動ガスケット８３をシール板側を外周側とした状態でガイド溝８２ａ上に接着固定する。さらに、摺動ガスケット８３の外周に沿って自在移動駒群８４が固着されたゴムベルト８５を摺動自在の状態で嵌め込む。そこで、側板８６を吸引台８２の側面にビス８６ａにより固定し、さらに、吸引台８２の側部外周に沿ってガイド板８７を取り付け固定する。この側板８６とガイド板８７の取り付け状態で自在移動駒８４Ａ，８４Ｂの両側面の従動ピン８４ｆは、ガイド板８７で形成される両側のピン挿通ガイド部８７ａにガイドされて移動可能な状態（摺動可能な状態）で支持される。従動ピン８４ｆがピン挿通ガイド部８７ａに摺動自在に嵌入した状態では、自在移動駒８４Ａ，８４Ｂは、従動ピン８４ｆを介してゴムベルト８５および摺動ガスケット８３側に押圧される。この押圧により自在移動駒８４Ａの被吸引穴８４Ａａの下方のゴムベルト８５の開口穴８５ａまわりの面が摺動ガスケット８３のシール板８３ｂに密着する。従って、装置の作動状態下において、被吸引穴８４Ａａとゴムベルト開口穴８５ａとシール板８３ｂの接触面が低真空下でシール保持される。特に自在移動駒８４Ａが吸引台８２のガイド溝の外円周部を通過するとき、ゴムベルト８５が弾性変形してシール板８３との間にシール状態が確保され、真空度が確保される。

スプロケット駆動軸８８に支持されたスプロケットホイール８９を吸引台８２の両側面に配置し、各従動ピン８４ｆを一対のスプロケットホイール８９の歯部８９ｂに係合させる。吸引台８２の吸引穴８２ｂのコネクタネジ部には、配管コネクタ９１を螺着固定する。複数の自在移動駒８４Ａの被吸引穴８４Ａａのコネクタネジ部８４Ａｂには、配管コネクタ９３を螺着固定される。配管コネクタ９１には低真空ポンプ装置の吸引ラインに連結された吸引側真空パイプ９０が接続される。また、配管コネクタ９３には図示しない真空アクチュエータ装置に連結された被吸引側真空パイプ９２が接続される。上記真空アクチュエータ装置は、低真空切換装置８１と同期して周回移動するものとする。

上述のように組み立てられた低真空切換装置８１において、吸引側真空パイプ９０側を低真空で吸引している状態で図示しない回転駆動源によりスプロケットホイール８９がＴ方向に回転駆動されると、自在移動駒群８４は、両側の従動ピン８４ｆを介して駆動され、吸引台８２のガイド溝８２ａに沿ってＳ方向に移動する。特にガイド溝の円周面部分では、自在移動駒群８４の凸部８４ｄと凹部８４ｅが互いの接触係合位置を変えながら円周面に倣って移動する。自在移動駒８４Ａには、真空アクチュエータ装置連結側の被吸引側真空パイプ９２が接続されており、その直進移動および円周に沿った移動にともなって上記真空アクチュエータ装置の真空吸引状態が切り換えられる。

すなわち、上記移動中、自在移動駒８４Ａの被吸引穴８４Ａａが摺動ガスケット８３の開口部８３ｃ，８３ｄのいずれかに差し掛かったとき、真空アクチュエータ（例えば、真空パッド）が真空吸引され、所定の動作が実行される。被吸引穴８４Ａａが摺動ガスケット８３の開口部８３ｃ，８３ｄの範囲外に移動したとき、上記真空パッドは、真空吸引から開放される。なお、摺動ガスケット８３の開口部８３ｃは、移動方向に沿った所定の長さを有しており、真空パッドは、上記開口部８３ｃの長さに応じた期間だけ吸引される。

上述した本第５の実施形態の低真空切換装置８１によれば、前記第４の実施形態の場合と同様の効果を奏するが、特に、自在移動駒群８４の摺動面がスプロケット駆動軸８８を中心とし、該軸方向に平行な円周面と直進平面とからなる長円面に沿っており、被吸引側真空パイプ９２が接続される配管コネクタ９３は、自在移動駒８４Ａの上記長円面の外方側に配置されている。従って、この低真空切換装置８１は、上述にような長円面上半径方向に配管コネクタ９３を配置する必要がある場合に適用できる。

なお、上記実施形態の低真空切換装置８１における自在移動駒群８４は、長円面上を移動するようにしたが、これに限らず単に円筒面のガイド溝上を摺動移動させる構成とすることも可能である。また、吸引台８２のガイド溝８２ａの外円周部に吸引孔を配置しない装置では、必ずしもゴムベルト８５は必要ではない。

本発明による低真空用切換バルブ、または、低真空用切換装置は、低真空を利用する真空アクチュエータ装置に適用することが可能であり、該真空アクチュエータシステムのコンパクト化、および、低コスト化が実現される。

本発明の第１の実施形態である低真空用切換バルブの分解斜視図である。 図１のＡ−Ａ断面図である。 本発明の第２の実施形態である低真空用切換バルブの分解斜視図である。 図３のＢ−Ｂ断面図である。 図３の低真空用切換バルブに適用される摺動ガスケットの変形例の平面図であって、図５（Ａ）は、上記変形例の１つを示し、図５（Ｂ）は、上記変形例の他の１つを示す。 本発明の第３実施形態である真空走行装置の支持軸に沿った断面図である。 図６のＣ−Ｃ断面図である。 本発明の第４の実施形態である低真空切換装置の分解斜視図である。 図８の低真空切換装置をスプロケットホイール上面部から見た断面図である。 図９のＤ−Ｄ断面図である。 第４の実施形態の低真空切換装置に適用される吸引台のガイド溝および摺動ガスケットに対する変形例を示す平面図である。 本発明の第５の実施形態である低真空切換装置の要部の分解斜視図である。 図１２の低真空切換装置の吸引台部のスプロケット駆動軸直交面での断面図である。 図１２の低真空切換装置に適用される自在移動駒の移動方向に沿った縦断面（スプロケット駆動軸直交面）上の断面図である。

符号の説明

２ …固定筒（吸引側連結部材）
２ｃ…偏心穴（吸引穴）
３ …回転体（被吸引側連結部材）
３ｃ…偏心穴（被吸引穴）
４，１４，５１，６３，７３
…摺動ガスケット
４ａ，１４ａ
…ゴム板（弾性板部材）
４ｂ，１４ｂ
…シール板（シール部材）
４ｃ，１４ｃ，１４Ａｃ，１４Ｂｃ，５１ｃ
…連通穴
１２ …固定部材（吸引側連結部材）
１２ｃ…偏心穴（吸引穴）
１３ …回転筒（被吸引側連結部材）
１３ｃ…連通穴（被吸引穴）
３２ｂ…鍔部（吸引側連結部材）
３２ｃ…偏心穴（吸引穴）
４２ …回転筒（被吸引側連結部材）
４２ｂ…連通穴（被吸引穴）
４８ …真空パッド（真空アクチュエータ部材）
６２，８２
…吸引台（吸引側本体部材）
６２ｃ，８２ｂ
…吸引穴
６３ｃ，６３ｄ，６３ｅ，６３ｆ，６３ｇ，７３ｃ，
７３ｄ，７３ｅ，７３ｆ，８３ｃ，８３ｄ
…開口部（連通開口部）
６４Ａ，８４Ａ
…自在移動駒（被吸引側移動体部材）
６４Ａｅ，８４Ａａ
…被吸引穴

代理人 弁理士 伊 藤 進

Claims (3)

1. 弾性変形可能な弾性板部材と該弾性板部材に一体化され、良摺動性表面を有するシール部材とからなる摺動ガスケットと、
   上記ガスケットの弾性板材側が固着され、少なくとの１つの吸引穴を有する吸引側連結部材と、
   上記吸引側連結部材に対して上記摺動ガスケットを介して摺動可能に当接した状態で相対回転可能に連結され、少なくとの１つの被吸引穴を有する被吸引側連結部材と、
   を有し、上記摺動ガスケットは、上記吸引側連結部材と上記被吸引側連結部材との回転中心以外の位置に設けられ、上記吸引側連結部材の吸引穴および上記被吸引側連結部材の被吸引穴に連通可能な連通穴を有することを特徴とする低真空用切換バルブ。
2. 弾性変形可能な弾性板部材と該弾性板部材に一体化され、良摺動性表面を有するシール部材とからなる摺動ガスケットと、
   上記摺動ガスケットの弾性板材側が固着され、少なくとの１つの吸引穴を有する吸引側本体部材と、
   上記吸引側本体部材に対して上記摺動ガスケットを介して摺動可能に当接した状態で直進、または、回転移動可能に支持され、少なくとの１つの被吸引穴を有する被吸引側移動体部材と、
   を有し、上記摺動ガスケットは、上記吸引側本体部材と上記被吸引側移動体部材との摺動面上に配され、上記吸引穴および被吸引穴に連通可能な連通開口部を有することを特徴とする低真空用切換装置。
3. 上記被吸引側移動体部材の上記被吸引穴には、少なくとも１つの真空アクチュエータ部材が接続されることを特徴とする請求項２に記載の低真空用切換装置。

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