JP2004364348A - θ−Xアクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【課題】直動、回転動作を同時に発生させることができる構造にするとともに、減速機構を介さない直接駆動アクチュエータとすることで、応答性を向上させたθ−Xアクチュエータを提供する。
【解決手段】θ−Xアクチュエータは、回転モータ10とリニアモータ20とから構成される。回転モータ10は、回転モータ電機子コア12および回転モータ電機子巻線13からなる円筒形電機子RM1と、その内部に回転自在に設けられた中空の円筒形回転界磁部RM2とからなる。リニアモータ20は、円筒形回転界磁部RM2の内周に固定されたリニアモータ電機子巻線21と、このリニアモータ電機子巻線21の内部に直線運動自在に設けられたリニアモータ界磁部LM2とからなる。リニアモータ界磁部LM2の内部に、ボールスプライン23によってリニア電機子と一体に回転するとともに軸心方向に摺動自在に出力軸43を設ける。
【選択図】 図1
【解決手段】θ−Xアクチュエータは、回転モータ10とリニアモータ20とから構成される。回転モータ10は、回転モータ電機子コア12および回転モータ電機子巻線13からなる円筒形電機子RM1と、その内部に回転自在に設けられた中空の円筒形回転界磁部RM2とからなる。リニアモータ20は、円筒形回転界磁部RM2の内周に固定されたリニアモータ電機子巻線21と、このリニアモータ電機子巻線21の内部に直線運動自在に設けられたリニアモータ界磁部LM2とからなる。リニアモータ界磁部LM2の内部に、ボールスプライン23によってリニア電機子と一体に回転するとともに軸心方向に摺動自在に出力軸43を設ける。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、1つのアクチュエータで、駆動負荷に回転動作と直動動作の2つのモーションを提供するθ−Xアクチュエータに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の回転、直動動作複合アクチュエータとしては、特許文献1に開示された回転動作を行う減速機構付モータや、特許文献2に開示されたような回転モータとねじ機構による直動動作を行う直動装置がある。
このようなアクチュエータを用いてロボットのアームのような機器を回転および直進駆動する場合、従来はこれらを組み合わせた図4に示すような機構を用いていた。
【0003】
図4において、111は回転モータであり、これには、減速機構112を持った回転モータの場合もあるが、直接駆動(ダイレクトドライブ)形のアクチュエータもある。この回転モータ111は、直動軸である直動テーブル113に固定されており、さらに直動テーブル113には、ボールネジのナット部114が固定され、ネジ部115は、軸受118に支持されている。またネジ部115の一端に、直動用アクチュエータとなる回転モータ116が、カップリング117で結合されている。
回転モータ111を駆動することにより、減速機構112を介してアーム部30が回転駆動され、回転モータ116を駆動することにより、直動テーブル113が直進運動するので、アーム部30が直進駆動される。
このように、従来の回転動作と直動動作を一同に発生させるアクチュエータ装置は、それぞれの回転モータを駆動して、回転動作、直動動作をする。
【0004】
しかしながら、このような構成の回転、直動動作複合アクチュエータは、回転動作、直動動作がそれぞれ独立したものになっており、減速機構なども組み込まれているので、全体容積が大きくなり、また内部構造も複雑になってくる。
回転機構と直動機構を一体化したものとしては、特許文献3に開示された直進・回転アクチュエータがある。これは、一つの出力軸の回りに回転駆動用モータと直進駆動用モータとを配置し、回転駆動用モータで出力軸を回転させ、直進駆動用モータによって回転駆動される中空シャフトと出力軸の外周にそれぞれねじ部を形成して、出力軸を軸方向に直動させる構造としたものである。
【0005】
【特許文献1】
実登第2562822号公報
【特許文献2】
特開平10−6179号公報
【特許文献3】
特許第3360023号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記の特許文献3に開示された直進・回転アクチュエータでは、出力軸の長手方向に回転駆動用モータと直進駆動用モータを並べて配置しているためサイズが大型となり、また直進駆動用モータの回転をねじ機構で出力軸の直進運動に変換するという、一種の減速機構を用いているため、直進運動の応答性に欠けるという問題がある。
そこで、本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、直動、回転動作を同時に発生させることができる構造にするとともに、各アクチュエータは、減速機構を介さない直接駆動アクチュエータとすることで、応答性を向上させたθ−Xアクチュエータを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、本発明の第1の構成に係るθ−Xアクチュエータは、円筒形電機子と、この円筒形電機子の内部に回転自在に設けられた中空の円筒形回転界磁部とからなる回転モータと、前記円筒形回転界磁部の内周に固定されたリニアモータ電機子と、このリニアモータ電機子の内部に直動自在に設けられた円筒形リニアモータ界磁部とからなるリニアモータとにより構成され、前記円筒形リニアモータ界磁部の内部に、前記リニアモータ電機子と一体に回転するとともに前記リニアモータ電機子の軸心方向に摺動自在に出力軸を設けたものである。
この第1の構成においては、リニアモータの直動軸と、回転モータの回転軸を同一の出力軸上に構成したことにより、回転動作と、直動動作の複合動作が可能となり、構造を簡略化することができ、アクチュエータ全体を小形化することができる。
【0008】
本発明の第2の構成は、前記回転モータの前記円筒形回転界磁部の反負荷端に回転モータ制御用検出器を設け、前記出力軸の反負荷端にリニアモータ制御用検出器を設けたものである。
この第2の構成においては、回転モータとリニアモータのそれぞれに制御検出器を設けることにより、速度制御性能、つまり速度指令に対しての追従制御が可能になり、位置指令に対しての追従性も向上することができる。
本発明の第3の構成は、前記リニアモータ制御用検出器を、前記出力軸の長手方向沿って等ピッチで同出力軸のストローク以上の長さに配置固定した複数の異方性磁石と、前記磁石から生じる磁界を検出する90°位相に配置した磁気センサとにより構成したものである。
この第3の構成においては、リニアモータの制御用検出器を、磁石磁束を2つの磁気センサで検出し、2相のアナログ信号に変換し、これを信号変換回路を通すことで、制御用信号として用いることができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
図1は、本発明の実施の形態を示すθ−Xアクチュエータの側断面図、図2はリニアモータ制御用検出器の配置例を示す説明図である。
図1において、10は回転モータであり、円筒形電機子RM1と円筒形回転界磁部RM2とから構成されている。円筒形電機子RM1は、回転モータ電機子コア12と、その回転モータ電機子コア12に巻装された電機子巻線13で構成されている。この円筒形電機子RM1の内側には、中空の円筒形回転界磁部RM2が設けられている。円筒形回転界磁部RM2は、円筒形の回転モータ界磁ヨーク17の表面に、偶数個で、等ピッチの界磁磁石11が配置固定されており、これは、アクチュエータフレーム40の両端に固定されているLブラケット41、反Lブラケット42と、ボールベアリング18とで回動自在に支持されている。また、回転モータ制御用検出器15は、アクチュエータ反Lブラケット42後端に配置固定されている。回転モータ制御用検出器15で検出された信号は、回転モータ用検出器端子16から図示しないコントローラに取り出される。回転モータ電機子巻線13への給電は、回転モータ端子14により行われる。
【0010】
図中20は、直線運動を行う円筒形のリニアモータであり、リニアモータ電機子LM1とリニアモータ界磁部LM2で構成されている。リニアモータ電機子LM1は、円筒形回転界磁部RM2の内側に固定された円筒形のリニアモータ電機子フレーム22と、リニアモータ電機子フレーム22に固着されたリニアモータ電機子巻線21で構成されている。またリニアモータ界磁部LM2は、リニアモータ電機子巻線21にギャップを介して対向配置されたリニアモータ界磁ヨーク26と、このリニアモータ界磁ヨーク26上に多極に着磁された界磁磁石27で構成されている。そしてそのリニアモータ界磁部LM2は、出力軸43に固定されており、これよりリニアモータから生じる直動動作は、リニアモータの前後端に配置固定されているボールスプライン23により、スラスト方向に支持されている。
リニアモータ制御用検出器24は、出力軸43の反負荷端に構成されており、例えば図2に示すように、出力軸43の長手方向に沿って複数のリング状の異方性磁石からなり、多極磁化された界磁部50を配置し、この界磁部50が生じる磁束を90°位相で配置された2つのホール素子51,52等の磁気センサで検出するようにしたものである。リニアモータ制御用検出器24の出力は、シリアル変換器54により2n分割され、かつ、シリアル信号変換され、サーボドライバ53に入り、リニアモータの制御信号として用いられる。
図3は、リニアモータ電機子巻線21の誘起電圧とA相のホール素子51およびB相のホール素子52の出力信号との関係を示す波形図である。A相のホール素子51とB相のホール素子52とを90°(電気角)位相をずらして配置することにより、2相のアナログ信号を得、制御信号として用いる。
【0011】
以上の構成のθ−Xアクチュエータの動作について以下に説明する。
回転モータ端子14から回転モータ電機子巻き線13に駆動電力を供給すると、回転モータ電機子コア12に出力軸43回りの回転磁界が生じ、その回転磁界と回転モータ界磁磁石11の磁極との磁気作用である吸引、反発により回転モータ界磁ヨーク17がボールベアリング18を支持として回転する。その回転力は、ボールスプライン23により出力軸43に伝達され、その出力軸43に取り付けられているアーム部30を回転駆動する。
一方、回転モータ17に固定されたリニアモータ電機子フレーム22に設けられたリニアモータ電機子巻線21にスリップリング(図示せず)を介してコントローラから駆動電力を供給すると、リニアモータ電機子巻線21に発生する移動磁界との相互作用により、直動用円筒形リニアモータ20が出力軸43の軸方向に駆動力を受ける。直動用円筒形リニアモータ20はリニアモータ界磁ヨーク26を介して出力軸43に固定されているので、その駆動力は出力軸43を軸方向に駆動する力として伝達される。
【0012】
このように、直動動作を行うリニアモータ20自体を、回転モータ10により回転させることで、直動動作と回転動作を同時に行うθ−Xアクチュエータを実現することができる。
なお、リニアモータ制御用検出器24は、出力軸43の反負荷端にリング状の異方性磁石を等ピッチで出力軸43のストローク以上の長さに配置固定させ、これら磁石から生じる磁界を90°位相に配置したホール素子等の磁気センサにより検出する構成としている。磁気センサの出力は増幅回路で増幅し、得られた2つの90°位相アナログ正弦波を逓倍回路に入力し、ここで補間された信号をパルス、もしくはシリアル信号に変換して、コントローラのドライバ装置に入力し、リニアモータの制御信号として用いる。
【0013】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明のθ−Xアクチュエータによれば、円筒形電機子と、この円筒形電機子の内部に回転自在に設けられた中空の円筒形回転界磁部とからなる回転モータと、円筒形回転界磁部の内周に固定されたリニアモータ電機子と、このリニアモータ電機子の内部に直動自在に設けられた円筒形リニアモータ界磁部とからなるリニアモータとにより構成され、円筒形リニアモータ界磁部の内部に、リニアモータ電機子と一体に回転するとともにリニアモータ電機子の軸心方向に摺動自在に出力軸を設けた構成とすることにより、直動、回転動作を同時に発生させることができる構造を得ることができるため、アクチュエータの小形化、全体構造の簡略化を図ることができる。また、各アクチュエータは、減速機構を介さない直接駆動アクチュエータであるため、応答性の向上行ったθ−Xアクチュエータを提供することができる。
また、回転モータとリニアモータのそれぞれに制御検出器を設けることにより、速度制御性能、つまり速度指令に対しての追従制御が可能になり、位置指令に対しての追従性も向上することができる。
さらに、リニアモータ制御用検出器を、出力軸に等ピッチで同出力軸のストローク以上の長さに配置固定した複数の異方性磁石と、前記磁石から生じる磁界を検出する90°位相に配置した磁気センサとにより構成することで、リニアモータの高精度な制御を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を示すθ−Xアクチュエータの側断面図である。
【図2】本実施形態におけるリニアモータ制御用検出器の配置例を示す説明図である。
【図3】本実施形態におけるリニアモータ電機子巻線の誘起電圧とホール素子出力信号との関係を示す波形図である。
【図4】従来の回転・直動アクチュエータの例を示す側断面図である。
【符号の説明】
10 回転モータ
11 回転モータ界磁磁石
12 回転モータ電機子コア
13 電機子巻線
14 回転モータ端子
15 回転モータ制御用検出器
16 回転モータ用検出器端子
17 回転モータ界磁ヨーク
18 ボールベアリング
20 直動用円筒形リニアモータ
21 リニアモータ電機子巻線
22 リニアモータ電機子フレーム
23 ボールスプライン
24 リニアモータ制御用検出器
25 リニアモータ・センサ用端子
26 リニアモータ界磁ヨーク
30 アーム部
40 アクチュエータフレーム
41 Lブラケット
42 反Lブラケット
43 出力軸
50 界磁部
51 ホール素子(A相)
52 ホール素子(B相)
【発明の属する技術分野】
本発明は、1つのアクチュエータで、駆動負荷に回転動作と直動動作の2つのモーションを提供するθ−Xアクチュエータに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の回転、直動動作複合アクチュエータとしては、特許文献1に開示された回転動作を行う減速機構付モータや、特許文献2に開示されたような回転モータとねじ機構による直動動作を行う直動装置がある。
このようなアクチュエータを用いてロボットのアームのような機器を回転および直進駆動する場合、従来はこれらを組み合わせた図4に示すような機構を用いていた。
【0003】
図4において、111は回転モータであり、これには、減速機構112を持った回転モータの場合もあるが、直接駆動(ダイレクトドライブ)形のアクチュエータもある。この回転モータ111は、直動軸である直動テーブル113に固定されており、さらに直動テーブル113には、ボールネジのナット部114が固定され、ネジ部115は、軸受118に支持されている。またネジ部115の一端に、直動用アクチュエータとなる回転モータ116が、カップリング117で結合されている。
回転モータ111を駆動することにより、減速機構112を介してアーム部30が回転駆動され、回転モータ116を駆動することにより、直動テーブル113が直進運動するので、アーム部30が直進駆動される。
このように、従来の回転動作と直動動作を一同に発生させるアクチュエータ装置は、それぞれの回転モータを駆動して、回転動作、直動動作をする。
【0004】
しかしながら、このような構成の回転、直動動作複合アクチュエータは、回転動作、直動動作がそれぞれ独立したものになっており、減速機構なども組み込まれているので、全体容積が大きくなり、また内部構造も複雑になってくる。
回転機構と直動機構を一体化したものとしては、特許文献3に開示された直進・回転アクチュエータがある。これは、一つの出力軸の回りに回転駆動用モータと直進駆動用モータとを配置し、回転駆動用モータで出力軸を回転させ、直進駆動用モータによって回転駆動される中空シャフトと出力軸の外周にそれぞれねじ部を形成して、出力軸を軸方向に直動させる構造としたものである。
【0005】
【特許文献1】
実登第2562822号公報
【特許文献2】
特開平10−6179号公報
【特許文献3】
特許第3360023号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記の特許文献3に開示された直進・回転アクチュエータでは、出力軸の長手方向に回転駆動用モータと直進駆動用モータを並べて配置しているためサイズが大型となり、また直進駆動用モータの回転をねじ機構で出力軸の直進運動に変換するという、一種の減速機構を用いているため、直進運動の応答性に欠けるという問題がある。
そこで、本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、直動、回転動作を同時に発生させることができる構造にするとともに、各アクチュエータは、減速機構を介さない直接駆動アクチュエータとすることで、応答性を向上させたθ−Xアクチュエータを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、本発明の第1の構成に係るθ−Xアクチュエータは、円筒形電機子と、この円筒形電機子の内部に回転自在に設けられた中空の円筒形回転界磁部とからなる回転モータと、前記円筒形回転界磁部の内周に固定されたリニアモータ電機子と、このリニアモータ電機子の内部に直動自在に設けられた円筒形リニアモータ界磁部とからなるリニアモータとにより構成され、前記円筒形リニアモータ界磁部の内部に、前記リニアモータ電機子と一体に回転するとともに前記リニアモータ電機子の軸心方向に摺動自在に出力軸を設けたものである。
この第1の構成においては、リニアモータの直動軸と、回転モータの回転軸を同一の出力軸上に構成したことにより、回転動作と、直動動作の複合動作が可能となり、構造を簡略化することができ、アクチュエータ全体を小形化することができる。
【0008】
本発明の第2の構成は、前記回転モータの前記円筒形回転界磁部の反負荷端に回転モータ制御用検出器を設け、前記出力軸の反負荷端にリニアモータ制御用検出器を設けたものである。
この第2の構成においては、回転モータとリニアモータのそれぞれに制御検出器を設けることにより、速度制御性能、つまり速度指令に対しての追従制御が可能になり、位置指令に対しての追従性も向上することができる。
本発明の第3の構成は、前記リニアモータ制御用検出器を、前記出力軸の長手方向沿って等ピッチで同出力軸のストローク以上の長さに配置固定した複数の異方性磁石と、前記磁石から生じる磁界を検出する90°位相に配置した磁気センサとにより構成したものである。
この第3の構成においては、リニアモータの制御用検出器を、磁石磁束を2つの磁気センサで検出し、2相のアナログ信号に変換し、これを信号変換回路を通すことで、制御用信号として用いることができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
図1は、本発明の実施の形態を示すθ−Xアクチュエータの側断面図、図2はリニアモータ制御用検出器の配置例を示す説明図である。
図1において、10は回転モータであり、円筒形電機子RM1と円筒形回転界磁部RM2とから構成されている。円筒形電機子RM1は、回転モータ電機子コア12と、その回転モータ電機子コア12に巻装された電機子巻線13で構成されている。この円筒形電機子RM1の内側には、中空の円筒形回転界磁部RM2が設けられている。円筒形回転界磁部RM2は、円筒形の回転モータ界磁ヨーク17の表面に、偶数個で、等ピッチの界磁磁石11が配置固定されており、これは、アクチュエータフレーム40の両端に固定されているLブラケット41、反Lブラケット42と、ボールベアリング18とで回動自在に支持されている。また、回転モータ制御用検出器15は、アクチュエータ反Lブラケット42後端に配置固定されている。回転モータ制御用検出器15で検出された信号は、回転モータ用検出器端子16から図示しないコントローラに取り出される。回転モータ電機子巻線13への給電は、回転モータ端子14により行われる。
【0010】
図中20は、直線運動を行う円筒形のリニアモータであり、リニアモータ電機子LM1とリニアモータ界磁部LM2で構成されている。リニアモータ電機子LM1は、円筒形回転界磁部RM2の内側に固定された円筒形のリニアモータ電機子フレーム22と、リニアモータ電機子フレーム22に固着されたリニアモータ電機子巻線21で構成されている。またリニアモータ界磁部LM2は、リニアモータ電機子巻線21にギャップを介して対向配置されたリニアモータ界磁ヨーク26と、このリニアモータ界磁ヨーク26上に多極に着磁された界磁磁石27で構成されている。そしてそのリニアモータ界磁部LM2は、出力軸43に固定されており、これよりリニアモータから生じる直動動作は、リニアモータの前後端に配置固定されているボールスプライン23により、スラスト方向に支持されている。
リニアモータ制御用検出器24は、出力軸43の反負荷端に構成されており、例えば図2に示すように、出力軸43の長手方向に沿って複数のリング状の異方性磁石からなり、多極磁化された界磁部50を配置し、この界磁部50が生じる磁束を90°位相で配置された2つのホール素子51,52等の磁気センサで検出するようにしたものである。リニアモータ制御用検出器24の出力は、シリアル変換器54により2n分割され、かつ、シリアル信号変換され、サーボドライバ53に入り、リニアモータの制御信号として用いられる。
図3は、リニアモータ電機子巻線21の誘起電圧とA相のホール素子51およびB相のホール素子52の出力信号との関係を示す波形図である。A相のホール素子51とB相のホール素子52とを90°(電気角)位相をずらして配置することにより、2相のアナログ信号を得、制御信号として用いる。
【0011】
以上の構成のθ−Xアクチュエータの動作について以下に説明する。
回転モータ端子14から回転モータ電機子巻き線13に駆動電力を供給すると、回転モータ電機子コア12に出力軸43回りの回転磁界が生じ、その回転磁界と回転モータ界磁磁石11の磁極との磁気作用である吸引、反発により回転モータ界磁ヨーク17がボールベアリング18を支持として回転する。その回転力は、ボールスプライン23により出力軸43に伝達され、その出力軸43に取り付けられているアーム部30を回転駆動する。
一方、回転モータ17に固定されたリニアモータ電機子フレーム22に設けられたリニアモータ電機子巻線21にスリップリング(図示せず)を介してコントローラから駆動電力を供給すると、リニアモータ電機子巻線21に発生する移動磁界との相互作用により、直動用円筒形リニアモータ20が出力軸43の軸方向に駆動力を受ける。直動用円筒形リニアモータ20はリニアモータ界磁ヨーク26を介して出力軸43に固定されているので、その駆動力は出力軸43を軸方向に駆動する力として伝達される。
【0012】
このように、直動動作を行うリニアモータ20自体を、回転モータ10により回転させることで、直動動作と回転動作を同時に行うθ−Xアクチュエータを実現することができる。
なお、リニアモータ制御用検出器24は、出力軸43の反負荷端にリング状の異方性磁石を等ピッチで出力軸43のストローク以上の長さに配置固定させ、これら磁石から生じる磁界を90°位相に配置したホール素子等の磁気センサにより検出する構成としている。磁気センサの出力は増幅回路で増幅し、得られた2つの90°位相アナログ正弦波を逓倍回路に入力し、ここで補間された信号をパルス、もしくはシリアル信号に変換して、コントローラのドライバ装置に入力し、リニアモータの制御信号として用いる。
【0013】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明のθ−Xアクチュエータによれば、円筒形電機子と、この円筒形電機子の内部に回転自在に設けられた中空の円筒形回転界磁部とからなる回転モータと、円筒形回転界磁部の内周に固定されたリニアモータ電機子と、このリニアモータ電機子の内部に直動自在に設けられた円筒形リニアモータ界磁部とからなるリニアモータとにより構成され、円筒形リニアモータ界磁部の内部に、リニアモータ電機子と一体に回転するとともにリニアモータ電機子の軸心方向に摺動自在に出力軸を設けた構成とすることにより、直動、回転動作を同時に発生させることができる構造を得ることができるため、アクチュエータの小形化、全体構造の簡略化を図ることができる。また、各アクチュエータは、減速機構を介さない直接駆動アクチュエータであるため、応答性の向上行ったθ−Xアクチュエータを提供することができる。
また、回転モータとリニアモータのそれぞれに制御検出器を設けることにより、速度制御性能、つまり速度指令に対しての追従制御が可能になり、位置指令に対しての追従性も向上することができる。
さらに、リニアモータ制御用検出器を、出力軸に等ピッチで同出力軸のストローク以上の長さに配置固定した複数の異方性磁石と、前記磁石から生じる磁界を検出する90°位相に配置した磁気センサとにより構成することで、リニアモータの高精度な制御を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を示すθ−Xアクチュエータの側断面図である。
【図2】本実施形態におけるリニアモータ制御用検出器の配置例を示す説明図である。
【図3】本実施形態におけるリニアモータ電機子巻線の誘起電圧とホール素子出力信号との関係を示す波形図である。
【図4】従来の回転・直動アクチュエータの例を示す側断面図である。
【符号の説明】
10 回転モータ
11 回転モータ界磁磁石
12 回転モータ電機子コア
13 電機子巻線
14 回転モータ端子
15 回転モータ制御用検出器
16 回転モータ用検出器端子
17 回転モータ界磁ヨーク
18 ボールベアリング
20 直動用円筒形リニアモータ
21 リニアモータ電機子巻線
22 リニアモータ電機子フレーム
23 ボールスプライン
24 リニアモータ制御用検出器
25 リニアモータ・センサ用端子
26 リニアモータ界磁ヨーク
30 アーム部
40 アクチュエータフレーム
41 Lブラケット
42 反Lブラケット
43 出力軸
50 界磁部
51 ホール素子(A相)
52 ホール素子(B相)
Claims (3)
- 円筒形電機子と、この円筒形電機子の内部に回転自在に設けられた中空の円筒形回転界磁部とからなる回転モータと、
前記円筒形回転界磁部の内周に固定されたリニアモータ電機子と、このリニアモータ電機子の内部に直動自在に設けられた円筒形リニアモータ界磁部とからなるリニアモータとにより構成され、
前記円筒形リニアモータ界磁部の内部に、前記リニアモータ電機子と一体に回転するとともに前記リニアモータ電機子の軸心方向に摺動自在に出力軸を設けたことを特徴とするθ−Xアクチュエータ。 - 前記回転モータの前記円筒形回転界磁部の反負荷端に回転モータ制御用検出器を設け、前記出力軸の反負荷端にリニアモータ制御用検出器を設けたことを特徴とする、請求項1記載のθ−Xアクチュエータ。
- 前記リニアモータ制御用検出器を、前記出力軸の長手方向に沿って等ピッチで同出力軸のストローク以上の長さに配置固定した複数の異方性磁石と、前記磁石から生じる磁界を検出する90°位相に配置した磁気センサとにより構成したことを特徴とする請求項2記載のθ−Xアクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003156346A JP2004364348A (ja) | 2003-06-02 | 2003-06-02 | θ−Xアクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003156346A JP2004364348A (ja) | 2003-06-02 | 2003-06-02 | θ−Xアクチュエータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2004364348A true JP2004364348A (ja) | 2004-12-24 |
Family
ID=34050456
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
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Country | Link |
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006320118A (ja) * | 2005-05-13 | 2006-11-24 | Nippon Pulse Motor Co Ltd | 複合駆動装置 |
WO2008117654A1 (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-02 | Thk Co., Ltd. | 小型回転モータ及びこれを利用したX-θアクチュエータ |
US7453172B2 (en) * | 2003-12-02 | 2008-11-18 | Smc Corporation | Linear slide apparatus |
US8047897B2 (en) | 2008-02-13 | 2011-11-01 | Okamoto Machine Tool Works, Ltd. | Substrate flat grinding device |
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JP2014002165A (ja) * | 2013-08-08 | 2014-01-09 | Nippon Thompson Co Ltd | 小型スライド装置 |
-
2003
- 2003-06-02 JP JP2003156346A patent/JP2004364348A/ja active Pending
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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