JP2004004000A - Component testing device - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ICチップ等に代表される電子部品の試験装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置などの製造過程においては、最終的に製造されたICチップ等の電子部品に対して各種試験を施す必要があるが、そのような試験を自動的に行う装置として、例えば特開平11−333775号公報に開示されるような装置がある。
【0003】
この装置は、まず、トレイに収納された試験前の部品を部品吸着用のノズル部材を有する第1搬送装置により吸着して第1バッファ装置に載せ、第1バッファ装置によりテストヘッド近傍まで搬送する。次に部品吸着用のノズル部材を有する第2搬送装置により第1バッファ装置上の部品を吸着してテストヘッドまで移送し、テストヘッドに部品を押し付けて、テストヘッドと部品を電気的に接触させることにより部品が正常であるか否かの試験を行う。そして試験後は、第2搬送装置によりテストヘッドから第2バッファ装置に部品を移載して、トレイ載置部まで搬送した後、第1搬送装置によって試験結果に応じた所定のトレイ上に部品を移し替えるように構成されている。
【0004】
また、このような装置に使用するノズル部材は、一般的に、ノズル保持部と、部品を吸着する吸着部分とを有するノズル部とを含み、ノズル部がノズル保持部に対して上下方向に移動可能となるように接続されている。そして、トレイ又は第1バッファ装置に搭載された部品を第1搬送装置又は第2搬送装置に設けられたノズル部材で吸着するとき、又は第1搬送装置によりノズル部材に吸着された部品をテストヘッドに押し付けるときに、部品にかかる衝撃的な接触圧で部品が損傷するといった事態を避けるため、ノズル部とノズルシャフト部との間にばね等の弾性材を設けて当該接触圧を緩和している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようなノズル部材を用いると、第1バッファ装置に搭載された部品を第2搬送装置に設けられたノズル部材で吸着する場合、ノズル部材が部品に接触するときに生じる衝撃によって、部品が損傷することを防止するため、当該ノズルで吸着可能な限りで上記接触圧は弱いほうが好ましい。
【0006】
一方、吸着ノズルで吸着した部品をテストヘッドに移送してテストヘッドに部品を押し付ける場合については、確実に部品をテストヘッドに接触させるためには比較的大きな接触圧が必要であって、部品吸着時の要求に適合する程度の弱い接触圧では、部品の試験不良が起こる可能性があり、より確実に試験ができる試験装置が求められていた。
【0007】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、ノズル部材と部品との接触時の衝撃により部品が損傷することを防止しつつ、より確実に部品の試験を行うことのできる試験装置を提供するものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、電子部品と電気的に接触して当該部品が正常であるか否かの試験を行うテストヘッドと、当該部品を吸着する吸着ノズル部材を有する移動可能な部品保持手段とを備え、当該部品保持手段により部品供給側から部品を吸着してテストヘッドまで搬送するとともに、テストヘッド上に押し付けて試験を行うようにした部品試験装置において、当該吸着ノズル部材は、部品を吸着して保持するノズル部と、上記ノズル部に接続されるノズルシャフト部と、上記ノズル部およびノズルシャフト部を保持する保持部とを備え、上記ノズル部が上記保持部に対して軸方向に一定範囲だけ移動可能とされるとともに、上記ノズル部を弾性的に最大突出位置に保持するように突出方向に付勢する第1弾性部材と、上記ノズル部が最大突出位置から反突出方向に所定量以上移動したときにこのノズル部に突出方向の付勢力を加える第2弾性部材とが設けられていることを特徴とする。
【0009】
この構成によると、ノズル部が部品に押し付けられたときに、反力により、弾性部材の付勢力に反してノズル部が反突出方向に移動し、この場合、ノズル部の反突出方向の移動が所定量に達するまでは第1弾性部材の付勢力のみが作用し、上記移動が所定量以上になると第2弾性部材の付勢力も作用するため、段階的に異なった弾性力を得ることが可能となる。したがって、吸着ノズルと部品との接触時に生ずる衝撃によって部品が損傷することを防止しつつも部品をテストヘッドに押し付ける場合に大きな接触圧を与えることができ、より確実に試験を行うことが可能である。
【0010】
請求項2の発明は、上記ノズルシャフト部が、上記保持部に対して軸周りに回転可能とされるとともに、上記保持部が部品保持手段本体に対して軸方向に移動可能とされ、上記ノズルシャフト部を保持部に対して回転させる回転駆動手段及び上記保持部を部品保持手段本体に対して軸方向移動させる軸方向移動駆動手段が部品保持手段に設けられていることを特徴とする吸着ノズル部材である。
【0011】
この場合、上記ノズル部が上記ノズルシャフト部に対し回転し得るため、搬送の対象とする部品を様々な角度で着脱することができ、搬送の対象とする部品を適正な位置で試験装置へ接触させ、かつ着脱することができる。したがって、検査不良が発生する確率を下げることができ、より確実に試験を行うことが可能である。
【0012】
請求項3の発明は、上記ノズル部の外周に軸方向移動可能な可動部材が配置され、この可動部材と上記ノズル部とに軸方向に相対向する当接部が設けられ、上記ノズル部が最大突出位置から反突出方向に所定量だけ移動したときに上記の相対向する当接部が互いに当接して、それ以上に移動するとそれに伴い上記可動部材が移動するように可動部材の移動範囲が設定され、この可動部材が上記第2弾性部材により突出方向に付勢されていることを特徴とする部品試験装置ものである。
【0013】
この場合、ノズル部が反突出方向に移動するとき、上記の相対向する当接部が互いに当接するまでは第1弾性部材の付勢力のみが作用し、相対向する当接部が互いに当接すると第2弾性部材の付勢力も作用する。
【0014】
また、上記弾性部材は、例えば空圧ダンパー等、チップに衝撃的な接触圧を与えないものであれば特に限定されないが、請求項4の発明のように、コイルばねにするほうが、弾性部材の小型化をすることができ、好ましい。
【0015】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態について、図1〜図9を用いて説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されることはない。
【0016】
本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。なお、図中には方向性を明確にするためにX軸、Y軸を示している。
【0017】
図1及び図2は、本発明に係る部品試験装置を概略的に示している。これらの図に示すように、部品試験装置1(以下、試験装置1と略す)は、部品の搬送及び試験中の部品保持(固定)という機械的な役割を担うハンドラ2と、このハンドラ2に組込まれる試験装置本体3とから構成されている。
【0018】
試験装置本体3は、上面にテストヘッド4を備えた箱型の装置で、テストヘッド4に設けられたソケット(図示省略)に部品をセットして該部品の入力端子にテスト電流を供給しつつ部品の出力端子からの出力電流を受けることにより部品の品質を判断するように構成されている。
【0019】
試験装置本体3は、前記ハンドラ2に対して脱着可能に構成されており、図示を省略するが、例えば試験装置本体3を専用の台車に載せた状態でハンドラ2の下側から所定の挿着位置に挿入し、テストヘッド4をハンドラ2の基台2aに形成された開口部から後記テスト領域Taに臨ませた状態で固定することによりハンドラ2に対して組付けられている。なお、テストヘッド4と試験装置本体3とは必ずしも一体である必要はなく、テストヘッド4のみをハンドラ2に組付け、その他の部分をハンドラ2から離間した位置に配置してテストヘッド4に対して電気ケーブル等で電気的に接続するようにしてもよい。この場合には、試験装置本体3を除くハンドラ2そのものを本発明の部品試験装置とみなすことができる。
【0020】
ハンドラ2は、同図に示すように、上部が側方に迫出した略箱型の装置で、トレイに収納された部品を取出して前記テストヘッド4に搬送し、さらに試験後の部品をその試験結果に応じて仕分けするように構成されている。以下、その構成について具体的に説明する。
【0021】
ハンドラ2の基台2a上は、大きく分けて、トレイTrが収納されるトレイ収納領域Saと、テストヘッド4等が配置されるテスト領域Taの二つの領域に分けられている。
【0022】
トレイ収納領域Saには、X軸方向に複数のトレイ収納部が並設されており、当実施形態では、図2の左側から順に第1〜第3の3つのトレイ収納部12〜14が並設されている。11,15は空トレイの仮置きスペース(以下仮置きスペースと略す。)である。そして、第1トレイ収納部12に試験前(未検査)の部品を載せたトレイTrが、第2トレイ収納部13に試験後の部品のうち不合格品(Fail)を載せたトレイTrが、第3トレイ収納部14に試験後の部品のうち合格品(Pass)を載せたトレイTrが各々収納されている。なお、各トレイTrは何れも共通の構造を有しており、図示を省略するが、例えばその表面には格子状に区画形成された複数の部品収納部が設けられ、ICチップ等の部品が各部品収納部に収納されるように構成されている。
【0023】
各トレイ収納部12〜14は、夫々昇降可能なテーブル上に複数のトレイTrを積み重ねた状態で収納するように構成されており、最上位のトレイTrのみを基台2a上に臨ませた状態で配置し、それ以外のトレイTrを基台下のスペースに収納するように構成されている。
【0024】
具体的には、図3に示すように、各トレイ収納部12〜14には、上下方向(Z軸方向)に延びるレール17が設けられ、このレール17にテーブル16が移動可能に装着されている。また、サーボモータ18により作動する前記レール17と平行なボールねじ軸19が設けられ、このボールねじ軸19がテーブル16のナット部分16aに螺合装着されている。そして、テーブル16上に複数のトレイTrが積み重ねられた状態で載置され、サーボモータ18によるボールねじ軸19の回転駆動に伴いテーブル16が昇降することにより、テーブル16上に積み重ねられたトレイTrの数に応じてその最上位のものが各開口部12a〜14aを介して基台上に配置されるように構成されている。
【0025】
また、ハンドラ2の側壁には、図1に示すように各トレイ収納部12〜14に対応して扉12b〜14bが設けられており、これらの扉12b〜14bを開くことにより各トレイ収納部12〜14に対してトレイTrを出し入れできるように構成されている。
【0026】
トレイ収納領域Saには、さらに図1及び図2に示すようにP&Pロボット(Pick & Place Robot)20が設けられている。
【0027】
P&Pロボット20は、移動可能なヘッド23を有しており、このヘッド23によって第1トレイ収納部12のトレイTrから部品を取出して後述するシャトルロボット30A,30Bに受け渡すとともに、試験後の部品をシャトルロボット30A,30Bから受け取って第2トレイ収納部13又は第3トレイ収納部14のトレイTrに移載するもので、さらに仮置きスペース11、15とその他のトレイ収納部12〜14との間で空トレイTrを搬送するトレイ搬送装置としても機能するように構成されている。
【0028】
詳しく説明すると、上記基台2a上にはY軸方向に延びる一対の固定レール21が設けられ、これら固定レール21にヘッド支持部材22が移動可能に装着されている。また、図示を省略するが、サーボモータにより回転駆動されて前記固定レール21と平行に延びるボールねじ軸が基台2a上に設けられ、このボールねじ軸が前記支持部材22に設けられたナット部材(図示省略)に螺合装着されている。さらに、詳しく図示していないが、前記支持部材22にX軸方向に延びる固定レールが設けられてこの固定レールにヘッド23が移動可能に装着されるとともに、サーボモータにより回転駆動されて前記固定レールと平行に延びるボールねじ軸が設けられ、このボールねじ軸がヘッド23に設けられたナット部分に螺合装着されている。そして、上記各サーボモータによるボールねじ軸の回転駆動に応じて支持部材22がY軸方向に、ヘッド23がX軸方向に夫々移動することにより、ヘッド23が前記トレイ収納部12〜14及び仮置スペース11,15及びシャトルロボット30A,30Bの後記部品受渡し位置P1を含む範囲で平面的に移動(X−Y平面上を移動)し得るように構成されている。
【0029】
ヘッド23には、複数のノズル部材が搭載されており、当実施の形態では部品吸着用の一対のノズル部材24a,24bとトレイ吸着用のノズル部材25との合計3つのノズル部材が搭載されている。
【0030】
部品吸着用の各ノズル部材24a,24bは、ヘッド23に対して昇降及び回転(ノズル軸回りの回転)が可能となっており、図示を省略するがサーボモータを駆動源とする駆動機構により夫々作動するように構成されている。そして、第2トレイ収納部12等のトレイTr上、あるいはシャトルロボット30A,30Bの後記テーブル32の上方にヘッド23が配置された状態で、各ノズル部材24a,24bの昇降動作に伴いトレイTrに対する部品の出し入れ等を行うように構成されている。なお、トレイTrへの部品の収納に際しては、このようなノズル昇降動作に加えて各ノズル部材24a,24bが回転することによりトレイTrに対して予め定められた方向で部品を収納し得るように構成されている。
【0031】
トレイ用ノズル部材25は、ヘッド23に対して昇降動作のみが可能となっており、サーボモータ25aを駆動源とする駆動機構により作動するように構成されている。そして、部品の取出しに伴い空になったトレイTrを吸着した状態で、ヘッド23の移動に伴い第1トレイ収納部12から仮置きスペース11、15にトレイTrを移送するとともに、必要に応じて第1トレイ収納部12及び仮置きスペース11、15に収納されている空のトレイTrを吸着して第2又は第3のトレイ収納部13,14に移送するように構成されている。
【0032】
トレイ収納領域Saには、さらに各シャトルロボット30A,30Bの部品受渡し位置P1の間にCCDエリアセンサからなる部品認識カメラ34(図示省略)が配設されている。このカメラ34は、P&Pロボット20の前記ヘッド23に吸着されている部品を下側から撮像するもので、試験終了後の部品をトレイTrへの収納に先立って撮像するように構成されている。なお、該部品認識カメラ34は、ヘッド23の各ノズル部材24a,24bに吸着されている2つの部品を同時に撮像し得るように構成されている。
【0033】
一方、テスト領域Taには、前記テストヘッド4、一対のシャトルロボット30A,30B(第1シャトルロボット30A,第2シャトルロボット30B)及びテストロボット40が配設されている。
【0034】
テストヘッド4は、上述の通り基台2aに形成された開口部からテスト領域Taの略中央部分に露出した状態で配設されている。テストヘッド4の表面には、部品をセットするための複数のソケット(図示省略)が配設されており、当試験装置1においては2つのソケットがX軸方向に並んだ状態で設けられている。
【0035】
各ソケットには、それぞれ部品(ICチップ等)の各リードに対応する接触部(図示せず)が設けられており、各ソケットに部品を夫々位置決めすると、部品の各リードとこれに対応する接触部とが接触して該部品に対して導通試験や、入力電流に対する出力特性試験等の電気的試験が施されるように構成されている。
【0036】
シャトルロボット30A,30Bは、トレイ収納領域Saとテスト領域Taとの間で部品を搬送しつつ前記P&Pロボット20およびテストロボット40に対して部品の受渡しを行う装置で、図2に示すように夫々Y軸方向に延びる固定レール31と、サーボモータを駆動源とする駆動機構により駆動されて前記固定レール31に沿って移動するテーブル32とを有している。そして、仮置きスペース11,15夫々の近傍に設定されたP&Pロボット20に対する部品受渡し位置P1と、テストヘッド4側方に設定されたテストロボット40に対する部品受渡し位置P2(供給部)との間で前記テーブル32を固定レール31に沿って往復移動させながら該テーブル32により部品を搬送するように構成されている。
【0037】
テーブル32には、試験前の部品を載置するためのエリアと、試験後の部品を載置するエリアとが予め定められており、当実施形態では、図4に示すようにテーブル32のうちトレイ収納領域Sa側(同図では下側)が試験後の部品を載置する第1エリアa1とされ、その反対側が試験前の部品を載置する第2エリアa2と定められている。各エリアa1,a2には、夫々一対の吸着パッド33a,33bがX軸方向に所定間隔で、具体的にはテストロボット40の各搬送用ヘッド42A,42Bに設けられる一対のヘッド本体43a,43bの最小ピッチ、あるいはそれ以上のピッチであって、かつP&Pロボット20の前記ヘッド23のノズル部材24a,24bに対応する間隔で設けられおり、部品搬送時には、これらパッド33a,33b上に部品が置かれて吸着された状態で搬送されるように構成されている。
【0038】
なお、各シャトルロボット30A,30BとP&Pロボット20及びテストロボット40との部品の受渡しは、例えば、以下のようにして行われる。
【0039】
まず、P&Pロボット20から各シャトルロボット30A,30Bに試験前の部品を移載する際には、図5(a)に示すように部品受渡し位置P1の所定の位置にP&Pロボット20のノズル部材24a,24b(ヘッド23)が位置決めされ、ノズル部材24a,24bに第2エリアa2が対応するようにテーブル32が位置決めされ(この位置を第2ポジションという)、この状態でノズル部材24a,24bの昇降に伴いテーブル32上に部品が移載される。一方、シャトルロボット30A(30B)からP&Pロボット20に試験後の部品を移載する際には、図5(b)に示すようにノズル部材24a,24bに第1エリアa1が対応するようにテーブル32が位置決めされ(この位置を第1ポジションという)、この状態でテーブル32上の部品がノズル部材24a,24bの昇降に伴い吸着される。
【0040】
また、テストロボット40からシャトルロボット30A(30B)に試験後の部品を移載する際には、図5(c)に示すように部品受渡し位置P2の所定の位置にテストロボット40の後記ノズル部材60a,60bがX軸方向に夫々位置決めされるとともに、各ノズル部材60a,60bに第1エリアa1が対応するようにテーブル32が位置決めされ(第1ポジション)、この状態でノズル部材60a,60bの昇降に伴ってテーブル32上に部品が載置される。一方、シャトルロボット30A(30B)からテストロボット40に試験前の部品を移載する際には、図5(d)に示すようにノズル部材60a,60bに第2エリアa2が対応するようにテーブル32が位置決めされ(第2ポジション)、この状態でノズル部材60a,60bの昇降に伴いテーブル32上から部品が吸着されるようになっている。
【0041】
テストロボット40は、上述のように各シャトルロボット30A,30Bによりトレイ収納領域Saからテスト領域Taに供給される部品をテストヘッド4に搬送(供給)して該試験の間テストヘッド4に対して部品を押圧した状態で保持(固定)し、試験後は、部品をそのままシャトルロボット30A,30Bに受け渡す(排出する)装置である。
【0042】
このテストロボット40は、シャトルロボット30A,30Bを跨ぐように基台2a上に設けられた高架2bに沿って移動する部品保持手段としての一対の搬送用ヘッド42A,42B(第1搬送用ヘッド42A,第2搬送用ヘッド42Bという)を有しており、これら搬送用ヘッド42A,42Bに夫々搭載された一対のヘッド本体43a,43b(第1ヘッド本体43a,第2ヘッド本体43bという)によりテストヘッド4に対して部品の供給及び排出を行うように構成されている。以下、図1,図2及び図6〜図8を参照しつつ搬送用ヘッド42A,42Bの構成について具体的に説明する。
【0043】
各搬送用ヘッド42A,42Bは、夫々、前記高架2b上に配設されたX軸方向の固定レール45に沿って移動可能な一対の可動フレーム46a,46b(第1可動フレーム46a,第2可動フレーム46bという;単位フレーム)を有している。これらの可動フレーム46a,46bのうち第1可動フレーム46aにはサーボモータ47が固定されており、このサーボモータ47の出力軸にX軸方向に延びるボールねじ軸48が一体的に連結されるとともに、このボールねじ軸48が第2可動フレーム46bに設けられたナット部分49に螺合装着されている。また、サーボモータ50により夫々回転駆動される前記固定レール45と平行な一対のボールねじ軸51が基台2aに設けられ、これらボールねじ軸51が搬送用ヘッド42A,42Bの各第1可動フレーム46aに設けられたナット部分52に螺合装着されている。すなわち、サーボモータ50によるボールねじ軸51の回転駆動に伴い各搬送用ヘッド42A,42Bが固定レール45に沿って夫々X軸方向に移動するとともに、前記サーボモータ47によるボールねじ軸48の回転駆動に伴い、各搬送用ヘッド42A,42Bにおいて、図8の二点鎖線に示すように第2可動フレーム46bが第1可動フレーム46aに対して相対的にX軸方向に移動し得るように構成されている。
【0044】
各可動フレーム46a,46b上には、図7及び図8に示すようにY軸方向に延びる固定レール54が夫々配設されている。各レール54には、ヘッド支持部材55が夫々移動可能に支持されており、これらヘッド支持部材55の先端部(図7では左側端部)に前記ヘッド本体43a,43bが夫々組付けられている。そして、各可動フレーム46a,46bに、サーボモータ57により駆動される前記固定レール54と平行なボールねじ軸58が夫々固定台56を介して支持され、これらボールねじ軸58がヘッド支持部材55に設けられたナット部分59に夫々螺合装着されている。これにより各サーボモータ57によるボールねじ軸58の回転駆動に伴い各ヘッド本体43a,43bが可動フレーム46a,46bに対して夫々Y軸方向に移動するように構成されている。
【0045】
各ヘッド本体43a,43bには、図7に示すように部品を吸着する吸着ノズル部材60a,60b(第1ノズル部材60a,第2ノズル部材60b)が夫々設けられている。各ノズル部材60a,60bは、ヘッド本体43a,43bのフレームに対して昇降及び回転(ノズル軸回りの回転)が可能となっており、サーボモータを駆動源とする図外の駆動機構により駆動するように構成されている。
【0046】
なお、ハンドラ2の上部には、図1に示すように防塵用のカバー2cが装着されており、テスト領域Ta及びトレイ収納領域Saを含む基台2a上の空間がこのカバー2cによって覆われている。
【0047】
ここで、ノズル部材60a及び60bの構成について、図9、図10を用いて説明する。なお、ノズル部材60a及びノズル部材60bとは同一構成であるため、ここでは60aのみを説明する。
【0048】
ノズル部材60aは、ノズル部610、ノズルシャフト部620及び保持部630を有している。ノズル部610の本体であるノズル部本体軸611、及びノズルシャフト部620は共に中空かつ軸状の形体であり、保持部630はノズルシャフト部620を包囲する大径筒状となっている。そして、ノズル部本体軸611は、その基端側(図9、図10では上側)の一部がノズルシャフト部620の中空部分に軸方向に移動可能なように嵌合され、ノズルシャフト部620より先端側(図9、図10では下側)に設置されている。なお、本実施形態では、軸方向は上下方向である。
【0049】
さらに、ノズルシャフト部620は、その基端側に備えられたメインシャフト621の一部が保持部630の中空部分に挿入されて、保持部630より先端側に突出する状態に設置されている。また、メインシャフト621と保持部630との間には、軸受641が軸方向にずらして二個設置されることにより、ノズルシャフト部620が保持部630に対し軸周りに回転可能なように設置されている。そして、図外のR軸モータ等の回転駆動手段により、ノズルシャフト部620が回転駆動されるようになっている。なお、軸受641の数は二個に限定されず、任意の数を設定することが可能である。
【0050】
以上より、ノズル部610、ノズルシャフト部620及び保持部630は、ノズル部本体軸611を先端にして、ノズルシャフト部620、保持部630の順に略同軸上に配列され、かつ、ノズル部610及びノズルシャフト部620は、保持部630に対し軸周りに回転可能なように接続されている。
【0051】
また、保持部630の外面に設けられた複数の突出部631が、ヘッド本体43a(43b)に設けられた吸着ノズル取付部材(図示せず)に固着されている。
【0052】
また、これも図示しないが、この吸着ノズル取付部材は、ヘッド本体43a(43b)に軸方向と平行に設けられたレールに嵌合することにより、軸方向と平行に移動可能となっている。したがって、この接続部に接続されたノズル部材60a(60b)は、その軸方向、すなわち上下方向に移動可能となっている。そして、Z軸モータ等の軸方向移動駆動手段により、ノズル部材60の軸方向移動が行われるようになっている。
【0053】
ノズル部本体軸611は、その先端(図9、図10では下端)に、部品を吸着する開口部615を有している。さらに、開口部615より基端側の中空部分には負圧通路616が形成されている。そして、先端近傍部にフランジ612が設けられている。また、ノズル部本体軸611の基端側には、小径部614が設けられている。
【0054】
ノズルシャフト部620は、メインシャフト621と、その先端に取付けられたノズル部挿通部625を有し、これらの部材は中空かつ軸状の形体をしている。
【0055】
メインシャフト621の中空部分は、先端部分から段階的に小径になっており、その径の大きさは先端側から、ノズル部挿通部625の外径、ノズル部後端の小径部614の外径より所定量大きい径、上記小径部614の外径となっている。さらにはその基端側に、部品を吸着するための負圧を供給する負圧通路623が、基端側に貫通するように設けられている。
【0056】
このメインシャフト621の中空部分の先端側にノズル部挿通部625が嵌合されており、このノズル部挿通部625に設けられたフランジ625aとメインシャフト621の先端のフランジ部621aとが接触し、ボルト628で固定されている。そして、ノズル部本体軸611がノズル部挿通部625に挿通されて、ノズル部610がノズルシャフト部620に対して軸方向に一定範囲だけ移動可能に接続されている。
【0057】
また、メインシャフト621の中空部内においてノズル部後端の小径部614の周囲には、上記ノズル部を弾性的に最大突出位置に保持するように突出方向に付勢する第1ばね(第1弾性部材)651が介装されている。この第1ばね651は、圧縮コイルばねである。
【0058】
さらに、上記ノズル部が最大突出位置から反突出方向に所定量以上移動したときにこのノズル部に突出方向の付勢力を加える第2ばね(第2弾性部材)653が設けられ、当実施形態では、ノズル部610が最大突出位置から反突出方向に所定量以上移動したときに可動部材627を介して第2ばね653からノズル部610に付勢力が加えられるようになっている。
【0059】
すなわち、上記可動部材627は、メインシャフト621の先端側の部分に外嵌される円筒部627aと、ノズル部本体軸611の外周に位置して上記フランジ部612と軸方向に対向するストッパー部627bと、これら円筒部627aおよびストッパー部627bを連結する連結部627cとを有している。そして、ノズルシャフト部620に対して軸方向移動可能とされ、かつ、円筒部627aの先端のフランジ部627dがメインシャフト621のフランジ部621aに当接することにより突出方向の移動が規制されている。上記フランジ部627dとメインシャフト621の外周に設けられたばね受け部621bとの間に、第2ばね653が介装されている。
【0060】
このようにして、上記ノズル部610が最大突出位置から反突出方向に所定量だけ移動したときに上記フランジ部612とストッパー部627b(相対向する当接部)が互いに当接して、それ以上にノズル部610が移動するとそれに伴い上記可動部材627が移動するように可動部材627の移動範囲が設定されるとともに、この可動部材627が上記第2ばね653により突出方向に付勢されている。
【0061】
この第2ばね653も、第1ばね651と同様に圧縮コイルばねである。なお、第2ばね653の弾性率は、第1ばね651の弾性率と比較して高い。
【0062】
以下に、当実施形態の装置の動作を説明する。
【0063】
まず、ノズル部材60aでテーブル32上に搭載された部品を吸着する場合の動作は以下のとおりである。
【0064】
動作1:テーブル32上に位置決めされたノズル部材60aが下降して、ノズル部材60aの最先端であるノズル部本体軸611の先端部分が部品に接触する。この場合、接触時に生ずる反力により、第1ばね651が若干圧縮され、衝撃が吸収される。
【0065】
動作2:さらにもう少しだけ第1ばね651が圧縮されつつ、ノズル部材60aが下降することにより、ノズル部本体軸611が部品を確実に圧着する。それに伴い、予め負圧通路623及び負圧通路616を経て開口部615に供給された負圧により、部品が吸着される。
【0066】
動作3:部品が吸着された状態で、ノズル部材60aが上昇する。この場合、ノズル部材60aが上昇すると共に、圧縮された第1ばね651が復元する。
【0067】
また、ノズル部材60aに吸着された部品をテーブル32上に搭載する場合の動作は以下のとおりである。
【0068】
動作1:テーブル32上に位置決めされたノズル部材60aが下降して、ノズル部本体軸611の先端部分に吸着された部品が、テーブル32上に接触して搭載される。この場合も、接触時に生ずる反力により、第1ばね651が若干圧縮され、衝撃が吸収される。
【0069】
動作2:開口部615に供給された負圧の供給を止めることにより、ノズル部本体軸611から部品が外れる。
【0070】
動作3:ノズル部材60aが上昇する。この場合、部品とノズル部材60aとの接触状態は完全に解消される。また、ノズル部材60aが上昇すると共に、圧縮された第1ばね615が復元する。
【0071】
次に、ノズル部材60aに吸着した部品をテストヘッド4に押し付けるときの動作を以下に説明する。
【0072】
動作1:テストヘッド4上に位置決めされたノズル部材60aが下降して、ノズル部本体軸611の先端部分に吸着された部品が、テストヘッド4上に接触する。この場合、接触時に生ずる衝撃により、第1ばね651が若干圧縮される。
【0073】
動作2:さらにノズル部材60aが下降して、ノズル部610のフランジ612と、可動部材627のストッパー627bとが当接するまで、第1ばね651が圧縮され、テストヘッド4に部品が圧着される。
【0074】
動作3:動作2の状態からさらにもう少しだけノズル部材60aが下降されることにより、第2ばね653が圧縮され、テストヘッド4と部品との圧着力がさらに増加する。これにより、完全に部品とテストヘッド4とが電気的に接続され、部品の試験が行われる。
【0075】
動作4:試験終了後に、部品が吸着されたままノズル部材60aが上昇する。この場合、ノズル部材60aの上昇に伴い、第1ばね651及び第2ばね653が復元する。
【0076】
以上のように、ノズル部610を弾性的に最大突出位置に保持するように突出方向に付勢する第1ばね651と、ノズル部610が最大突出位置から反突出方向に所定量以上移動したときにこのノズル部610に突出方向の付勢力を加える第2ばね653とが設けられているため、段階的に異なった弾性力を得ることが可能となる。
【0077】
すなわち、部品をテーブル32から吸着する場合及びテーブル32に搭載する場合及び部品をテストヘッド4に圧着する場合には、弾性係数の低い第1ばね651が最初に作動するため、部品にかかる衝撃を吸収しやすい。さらに、部品をテストヘッド4に圧着するときには、ノズル部610のフランジ612と、可動部材627のストッパー627bとが当接して、第1ばね651の付勢力に加えて弾性係数の高い第2ばね653の付勢力を作用させる状態とするため、部品をテストヘッド4に押し付ける場合に、大きな接触圧を与えることができる。したがって、接触時の衝撃による部品の損傷が生じることを防止しつつも、より確実に試験を行うことが可能である。
【0078】
また、ノズル部610が保持部630に対し軸周りに回転自在のため、搬送の対象とする部品を様々な角度で着脱することができる。本実施形態においては、仮にテーブル32に設置された部品が適正な方向に設置されていなかったとしても、ノズル部610の角度を調節することにより適正な状態で部品を吸着吸着したり搭載したりすることができ、また適正な位置で部品をテストヘッド4に押し付けることができる。したがって、検査不良が発生する確率を下げることができ、より確実に試験を行うことが可能である。
【0079】
なお、第1ばね651及び第2ばね653は、空圧ダンパー等の、チップに衝撃的な接触圧を与えないものであれば特に限定されないが、本実施形態のように、コイルばねであるほうが上記の部材と部品と比較して備品の小型化を図ることが可能なため、好ましい。
【0080】
【発明の効果】
以上のように本発明は、ノズル部を弾性的に最大突出位置に保持するように突出方向に付勢する第1弾性部材と、ノズル部が最大突出位置から反突出方向に所定量以上移動したときにこのノズル部に突出方向の付勢力を加える第2弾性部材とが設けられているため、段階的に異なった弾性力を得ることが可能となる。したがって、部品吸着時等に部品が損傷することを防止するとともに、部品をテストヘッドに押し付ける場合に、大きな接触圧を与えることができ、より確実に試験を行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る部品試験装置を示す斜視概略図である。
【図2】部品試験装置を示す平面図である。
【図3】図1のトレイ収納部周辺においてのY軸断面図である。
【図4】シャトルロボットのテーブルの構成を示す平面略図である。
【図5】シャトルロボットの部品受渡し位置におけるテーブルの位置を示す図2のB矢指図である((a),(c)はテーブルが第1ポジションに配置された状態、(b),(d)はテーブルが第2ポジションに配置された状態を示す)。
【図6】テストロボットの具体的な構成を示す平面図である。
【図7】テストロボットの具体的な構成を示す図6のC−C断面図である。
【図8】テストロボットの具体的な構成を示す図7のD−D断面図である。
【図9】ノズル部材の一部断面図である。
【図10】ノズル部材の全面断面図である。
【符号の説明】
1 部品試験装置
3 試験装置本体
4 テストヘッド
42A,42B搬送用ヘッド
43a,43bヘッド本体
60a,60bノズル部材
610 ノズル部
615 開口部
616 負圧通路
620 ノズルシャフト部
630 保持部
651 第1ばね
653 第2ばね[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a test device for an electronic component represented by an IC chip or the like.
[0002]
[Prior art]
In a manufacturing process of a semiconductor device or the like, it is necessary to perform various tests on electronic components such as an IC chip or the like that is finally manufactured. There is an apparatus as disclosed in JP-A-333775.
[0003]
In this apparatus, first, a component before test stored in a tray is sucked by a first transfer device having a nozzle member for picking up components, placed on a first buffer device, and transferred to a vicinity of a test head by the first buffer device. . Next, the components on the first buffer device are sucked and transferred to the test head by the second transfer device having the nozzle member for sucking the components, and the components are pressed against the test head to make the test head and the components electrically contact. Then, a test is performed to determine whether the component is normal. After the test, the components are transferred from the test head to the second buffer device by the second transport device, transported to the tray mounting portion, and then placed on a predetermined tray according to the test result by the first transport device. Is configured to be transferred.
[0004]
Further, a nozzle member used in such an apparatus generally includes a nozzle holding portion and a nozzle portion having a suction portion for sucking a component, and the nozzle portion moves vertically with respect to the nozzle holding portion. Connected as possible. Then, when a component mounted on the tray or the first buffer device is sucked by the nozzle member provided in the first transport device or the second transport device, or when the component sucked by the nozzle member by the first transport device is used as a test head. In order to avoid a situation in which a component is damaged by a shocking contact pressure applied to the component when pressing against the component, an elastic material such as a spring is provided between the nozzle portion and the nozzle shaft portion to reduce the contact pressure. .
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
With the use of the nozzle member as described above, when a component mounted on the first buffer device is sucked by the nozzle member provided on the second transport device, the component generated by the impact generated when the nozzle member contacts the component is In order to prevent the nozzle from being damaged, it is preferable that the contact pressure is weak as long as the contact can be performed by the nozzle.
[0006]
On the other hand, when a component sucked by the suction nozzle is transferred to the test head and the component is pressed against the test head, a relatively large contact pressure is required to surely bring the component into contact with the test head. If the contact pressure is weak enough to meet the demands of the time, there is a possibility that the test of the component may be defective, and a test apparatus that can perform the test more reliably has been required.
[0007]
The present invention has been made in view of the above problems, and is a test apparatus capable of more reliably testing a component while preventing the component from being damaged by an impact at the time of contact between the nozzle member and the component. Is provided.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
The present invention includes a test head that makes electrical contact with an electronic component and tests whether the component is normal, and a movable component holding unit having a suction nozzle member that sucks the component, In a component test apparatus in which a component is sucked from the component supply side by the component holding means and transported to the test head, and pressed against the test head to perform a test, the suction nozzle member sucks and holds the component. A nozzle portion, a nozzle shaft portion connected to the nozzle portion, and a holding portion for holding the nozzle portion and the nozzle shaft portion, wherein the nozzle portion moves by a predetermined range in the axial direction with respect to the holding portion. A first elastic member that is urged in a protruding direction so as to elastically hold the nozzle portion at the maximum protruding position, and that the nozzle portion moves from the maximum protruding position. Characterized in that a second elastic member for applying a biasing force in the projecting direction in the nozzle portion when moving more than a predetermined amount is provided in the protruding direction.
[0009]
According to this configuration, when the nozzle portion is pressed against the component, the nozzle portion moves in the anti-projection direction against the urging force of the elastic member due to the reaction force. In this case, the nozzle portion moves in the anti-projection direction. Until the predetermined amount is reached, only the urging force of the first elastic member acts, and when the movement exceeds the predetermined amount, the urging force of the second elastic member also acts, so that it is possible to obtain a stepwise different elastic force. It becomes. Therefore, it is possible to apply a large contact pressure when pressing the component against the test head while preventing the component from being damaged by an impact generated when the suction nozzle contacts the component, and it is possible to more reliably perform the test. is there.
[0010]
The invention according to
[0011]
In this case, since the nozzle portion can rotate with respect to the nozzle shaft portion, components to be transported can be attached and detached at various angles, and the components to be transported come into contact with the test device at an appropriate position. And can be attached and detached. Therefore, the probability of occurrence of inspection failure can be reduced, and the test can be performed more reliably.
[0012]
According to a third aspect of the present invention, an axially movable movable member is arranged on the outer periphery of the nozzle portion, and the movable member and the nozzle portion are provided with contact portions facing each other in the axial direction. When moving by a predetermined amount in the anti-projection direction from the maximum protruding position, the opposing contact portions come into contact with each other, and when moving further, the moving range of the movable member is moved so that the movable member moves accordingly. The movable member is set and is urged in the projecting direction by the second elastic member.
[0013]
In this case, when the nozzle portion moves in the anti-projection direction, only the urging force of the first elastic member acts until the opposing contact portions come into contact with each other, and the opposing contact portions come into contact with each other. Then, the urging force of the second elastic member also acts.
[0014]
The elastic member is not particularly limited as long as it does not apply a shocking contact pressure to the chip, for example, a pneumatic damper, but a coil spring as in the invention of
[0015]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. However, the present invention is not limited to the following embodiments.
[0016]
An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. It should be noted that the X-axis and the Y-axis are shown in the figure to clarify the directionality.
[0017]
1 and 2 schematically show a component test apparatus according to the present invention. As shown in these drawings, a component test apparatus 1 (hereinafter, abbreviated as a test apparatus 1) has a
[0018]
The test apparatus main body 3 is a box-shaped apparatus provided with a
[0019]
The test apparatus main body 3 is configured to be detachable from the
[0020]
As shown in the figure, the
[0021]
The
[0022]
In the tray storage area Sa, a plurality of tray storage units are arranged in the X-axis direction. In this embodiment, the first to third three
[0023]
Each of the
[0024]
Specifically, as shown in FIG. 3, each of the
[0025]
As shown in FIG. 1,
[0026]
In the tray storage area Sa, a P & P robot (Pick & Place Robot) 20 is provided as shown in FIGS. 1 and 2.
[0027]
The P &
[0028]
More specifically, a pair of fixed
[0029]
A plurality of nozzle members are mounted on the
[0030]
The component
[0031]
The
[0032]
In the tray storage area Sa, a component recognition camera 34 (not shown) including a CCD area sensor is provided between the component transfer positions P1 of the
[0033]
On the other hand, the
[0034]
The
[0035]
Each socket is provided with a contact portion (not shown) corresponding to each lead of a component (such as an IC chip). When the component is positioned in each socket, each lead of the component and the contact corresponding thereto are provided. The parts are brought into contact with each other to conduct an electrical test such as a continuity test or an output characteristic test with respect to an input current.
[0036]
[0037]
In the table 32, an area for placing components before the test and an area for placing components after the test are determined in advance. In the present embodiment, as shown in FIG. The tray storage area Sa side (the lower side in the figure) is defined as a first area a1 for mounting the components after the test, and the opposite side is defined as a second area a2 for mounting the components before the test. In each of the areas a1 and a2, a pair of
[0038]
The transfer of parts between the
[0039]
First, when transferring the parts before the test from the P &
[0040]
When transferring the components after the test from the
[0041]
The
[0042]
The
[0043]
Each of the transport heads 42A, 42B is a pair of
[0044]
On each of the
[0045]
As shown in FIG. 7, the head
[0046]
As shown in FIG. 1, a dustproof cover 2c is mounted on the upper part of the
[0047]
Here, the configuration of the
[0048]
The
[0049]
Further, the
[0050]
As described above, the
[0051]
Further, a plurality of
[0052]
Although not shown, the suction nozzle mounting member is movable in parallel with the axial direction by fitting to a rail provided on the head
[0053]
The
[0054]
The
[0055]
The hollow portion of the
[0056]
A nozzle
[0057]
In the hollow portion of the
[0058]
Further, a second spring (second elastic member) 653 for applying a biasing force in the protruding direction to the nozzle portion when the nozzle portion moves from the maximum protruding position by a predetermined amount or more in the opposite protruding direction is provided. The urging force is applied to the
[0059]
That is, the
[0060]
In this way, when the
[0061]
The
[0062]
Hereinafter, the operation of the device of the present embodiment will be described.
[0063]
First, the operation when sucking the component mounted on the table 32 by the
[0064]
Operation 1: The
[0065]
Operation 2: The
[0066]
Operation 3: The
[0067]
In addition, the operation when mounting the component sucked by the
[0068]
Operation 1: The
[0069]
Operation 2: By stopping the supply of the negative pressure supplied to the
[0070]
Operation 3: The
[0071]
Next, the operation when the component sucked by the
[0072]
Operation 1: The
[0073]
Operation 2: The
[0074]
Operation 3: By lowering the
[0075]
Operation 4: After completion of the test, the
[0076]
As described above, the
[0077]
That is, when the component is sucked from the table 32, when the component is mounted on the table 32, and when the component is pressed against the
[0078]
Further, since the
[0079]
In addition, the
[0080]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the first elastic member that urges the nozzle portion in the protruding direction so as to elastically hold the nozzle portion at the maximum protruding position, and the nozzle portion moves by a predetermined amount or more from the maximum protruding position in the opposite protruding direction In some cases, the nozzle portion is provided with the second elastic member that applies a biasing force in the protruding direction, so that a different elastic force can be obtained in a stepwise manner. Therefore, it is possible to prevent the components from being damaged at the time of picking up the components, to apply a large contact pressure when pressing the components against the test head, and to more reliably perform the test.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic perspective view showing a component test apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a plan view showing a component test apparatus.
FIG. 3 is a Y-axis cross-sectional view around a tray storage unit in FIG. 1;
FIG. 4 is a schematic plan view showing a configuration of a table of the shuttle robot.
FIG. 5 is an arrow B diagram of FIG. 2 showing a position of the table at a part delivery position of the shuttle robot ((a) and (c) are states in which the table is arranged at a first position, (b) and (d). ) Indicates a state where the table is arranged at the second position).
FIG. 6 is a plan view showing a specific configuration of the test robot.
FIG. 7 is a sectional view taken along the line CC of FIG. 6 showing a specific configuration of the test robot.
FIG. 8 is a sectional view taken along line DD of FIG. 7, showing a specific configuration of the test robot.
FIG. 9 is a partial cross-sectional view of the nozzle member.
FIG. 10 is an overall sectional view of a nozzle member.
[Explanation of symbols]
1 Parts test equipment
3 Test equipment
4 Test head
42A, 42B transport head
43a, 43b head body
60a, 60b nozzle members
610 nozzle part
615 opening
616 Negative pressure passage
620 nozzle shaft
630 Holder
651 First spring
653 2nd spring
Claims (4)
当該吸着ノズル部材は、部品を吸着して保持するノズル部と、上記ノズル部に接続されるノズルシャフト部と、上記ノズル部およびノズルシャフト部を保持する保持部とを備え、上記ノズル部が上記保持部に対して軸方向に一定範囲だけ移動可能とされるとともに、
上記ノズル部を弾性的に最大突出位置に保持するように突出方向に付勢する第1弾性部材と、上記ノズル部が最大突出位置から反突出方向に所定量以上移動したときにこのノズル部に突出方向の付勢力を加える第2弾性部材とが設けられていることを特徴とする部品試験装置。A test head for making electrical contact with the electronic component and testing whether the component is normal; and a movable component holding unit having a suction nozzle member for sucking the component, the component holding unit comprising: In the component test equipment, the components are sucked from the component supply side and transported to the test head, and pressed against the test head to perform the test.
The suction nozzle member includes a nozzle portion that sucks and holds a component, a nozzle shaft portion connected to the nozzle portion, and a holding portion that holds the nozzle portion and the nozzle shaft portion. While being able to move only a certain range in the axial direction with respect to the holding part,
A first elastic member that urges the nozzle portion in the projecting direction so as to elastically hold the nozzle portion at the maximum projecting position; A component testing apparatus, comprising: a second elastic member that applies a biasing force in a protruding direction.
上記ノズルシャフト部が、上記保持部に対して軸周りに回転可能とされるとともに、上記保持部が部品保持手段本体に対して軸方向に移動可能とされ、上記ノズルシャフト部に対して回転させる回転手段及び上記保持部を部品保持手段本体に対して軸方向移動させる軸方向移動駆動手段が部品保持手段に設けられていることを特徴とする部品試験装置。The component test apparatus according to claim 1,
The nozzle shaft portion is rotatable around the axis with respect to the holding portion, and the holding portion is movable in the axial direction with respect to the component holding means main body, and is rotated with respect to the nozzle shaft portion. A component test apparatus comprising: a component holding means provided with a rotation means and an axial movement driving means for axially moving the holding section with respect to the component holding means main body.
上記ノズル部の外周に軸方向移動可能な可動部材が配置され、この可動部材と上記ノズル部とに軸方向に相対向する当接部が設けられ、上記ノズル部が最大突出位置から反突出方向に所定量だけ移動したときに上記の相対向する当接部が互いに当接して、それ以上に移動するとそれに伴い上記可動部材が反突出方向に移動するように可動部材の移動範囲が設定され、この可動部材が上記第2弾性部材により突出方向に付勢されていることを特徴とする部品試験装置。The component test apparatus according to claim 1 or 2,
An axially movable movable member is disposed on the outer periphery of the nozzle portion, and an abutting portion is provided on the movable member and the nozzle portion so as to oppose each other in the axial direction. The moving range of the movable member is set such that the opposed contact portions contact each other when the movable member moves by a predetermined amount, and the movable member moves in the anti-projection direction with the further movement. A component testing apparatus, wherein the movable member is urged in a protruding direction by the second elastic member.
上記両弾性部材がコイルばねであることを特徴とする部品試験装置。The component test apparatus according to any one of claims 1 to 3,
A component testing apparatus, wherein the two elastic members are coil springs.
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