JP2003315288A - X線検査装置 - Google Patents
X線検査装置Info
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- JP2003315288A JP2003315288A JP2002125713A JP2002125713A JP2003315288A JP 2003315288 A JP2003315288 A JP 2003315288A JP 2002125713 A JP2002125713 A JP 2002125713A JP 2002125713 A JP2002125713 A JP 2002125713A JP 2003315288 A JP2003315288 A JP 2003315288A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 X線検査室内にスタンプ機構を設け、不良個
所の位置信号をX線検査装置の制御手段だけで処理す
る。マーキング不可部分をなくする。 【解決手段】 X線の漏洩防止を施した(X線遮蔽材を
施した)筐体と、この筐体に検査物(例えば、プリント
基板)を搬入する搬入口と、前記筐体から検査物(例え
ば、プリント基板)を搬出する搬出口と、検査物(例え
ば、プリント基板)を搬送するベルトコンベアと、この
ベルトコンベアと一体化されたX-Y駆動機構と、X線
源と、X線検出器を備えたX線検査装置において、前記
検査物の部品の不良部品にマーキングするスタンプ機構
をX線検査室内に備えたことを特徴とする。
所の位置信号をX線検査装置の制御手段だけで処理す
る。マーキング不可部分をなくする。 【解決手段】 X線の漏洩防止を施した(X線遮蔽材を
施した)筐体と、この筐体に検査物(例えば、プリント
基板)を搬入する搬入口と、前記筐体から検査物(例え
ば、プリント基板)を搬出する搬出口と、検査物(例え
ば、プリント基板)を搬送するベルトコンベアと、この
ベルトコンベアと一体化されたX-Y駆動機構と、X線
源と、X線検出器を備えたX線検査装置において、前記
検査物の部品の不良部品にマーキングするスタンプ機構
をX線検査室内に備えたことを特徴とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、X線検査装置に関
し、特に、プリント基板の実装ラインにおいて、基板に
実装する部品のはんだ付けの状態をX線により透視して
良否判定するプリント基板X線検査装置に適用して有効
な技術に関するものである。
し、特に、プリント基板の実装ラインにおいて、基板に
実装する部品のはんだ付けの状態をX線により透視して
良否判定するプリント基板X線検査装置に適用して有効
な技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のプリント基板X線検査装置は、ベ
ルトコンベアによって流れて来るプリント基板(検査
物)が検査室の搬入許可信号により、搬入部口のシャッ
ターが開放され、検査室へと搬入される。搬入後に前記
搬入ロのシャッターが閉められてプリント基板の検査が
開始される。検査終了後に検査室の排出口のシャッター
が開放され、プリント基板が検査室外へと搬出され、検
査室外に設けられたスタンプ機構部を備えた装置によ
り、搬出後に前記プリント基板の不良個所にマーキング
される。
ルトコンベアによって流れて来るプリント基板(検査
物)が検査室の搬入許可信号により、搬入部口のシャッ
ターが開放され、検査室へと搬入される。搬入後に前記
搬入ロのシャッターが閉められてプリント基板の検査が
開始される。検査終了後に検査室の排出口のシャッター
が開放され、プリント基板が検査室外へと搬出され、検
査室外に設けられたスタンプ機構部を備えた装置によ
り、搬出後に前記プリント基板の不良個所にマーキング
される。
【0003】前記スタンプ機構部には、マーキング用ペ
ンの上下動機構部とX軸またはY軸に移動させる手段が
備えられている。このためX線検査装置より不良個所の
位置信号をスタンプ装置に電気的に送信するための制御
部とスタンプ機構部の上下動と移動機構部を制御する回
路が別個に備えられている。
ンの上下動機構部とX軸またはY軸に移動させる手段が
備えられている。このためX線検査装置より不良個所の
位置信号をスタンプ装置に電気的に送信するための制御
部とスタンプ機構部の上下動と移動機構部を制御する回
路が別個に備えられている。
【0004】一方、X線検査装置内の構成は、ベルトコ
ンベア機構部、ベルトコンベアで搬入された検査物を固
定するクランプ機構部、検査物の幅に合わせて移動でき
る幅調整機構部、検査物をX-Y軸に移動するX-Yステ
ージ、及びX線管球とX線検出器とから構成されてい
る。前記X線管球とX線検出器は検査するプリント基板
に搭載されたチップの種類により、検査物の幾何学的な
拡大率を変える必要があるため、それぞれ移動機構部が
備えられている。
ンベア機構部、ベルトコンベアで搬入された検査物を固
定するクランプ機構部、検査物の幅に合わせて移動でき
る幅調整機構部、検査物をX-Y軸に移動するX-Yステ
ージ、及びX線管球とX線検出器とから構成されてい
る。前記X線管球とX線検出器は検査するプリント基板
に搭載されたチップの種類により、検査物の幾何学的な
拡大率を変える必要があるため、それぞれ移動機構部が
備えられている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の技術では、
X線検査装置側とスタンプ機構部側にそれぞれ制御回路
が必要となり、装置の制御が複雑になるという問題があ
った。
X線検査装置側とスタンプ機構部側にそれぞれ制御回路
が必要となり、装置の制御が複雑になるという問題があ
った。
【0006】また、前記移動機構部のうちX線管球の移
動機構部は、コンペア部にクランプされた検査物の下面
にできるだけ接近させるため、前記X-Yステージと幅
調整機構部を構成する各要素を、X線管球の上側に構成
されているため、検査物をクランプしている機構部が壁
となり、検査物にマーキングできない箇所が発生すると
いう問題があった。
動機構部は、コンペア部にクランプされた検査物の下面
にできるだけ接近させるため、前記X-Yステージと幅
調整機構部を構成する各要素を、X線管球の上側に構成
されているため、検査物をクランプしている機構部が壁
となり、検査物にマーキングできない箇所が発生すると
いう問題があった。
【0007】本発明の目的は、X線検査室内にスタンプ
機構を設けて、不良個所の位置信号をX線検査装置の制
御手段だけで処理することが可能な技術を提供すること
にある。本発明の他の目的は、X線検査室内にスタンプ
機構部(ペンホルダー機構部)を設けて、マーキング不
可部分をなくすることが可能な技術を提供することにあ
る。本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴
は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかになる
であろう。
機構を設けて、不良個所の位置信号をX線検査装置の制
御手段だけで処理することが可能な技術を提供すること
にある。本発明の他の目的は、X線検査室内にスタンプ
機構部(ペンホルダー機構部)を設けて、マーキング不
可部分をなくすることが可能な技術を提供することにあ
る。本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴
は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかになる
であろう。
【0008】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明の概要を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
第1の発明は、X線の漏洩防止を施した(X線遮蔽材を
施した)筐体と、この筐体に検査物(例えば、プリント
基板)を搬入する搬入口と、前記筐体から検査物(例え
ば、プリント基板)を搬出する搬出口と、検査物(例え
ば、プリント基板)を搬送するベルトコンベアと、この
ベルトコンベアと一体化されたX-Y駆動機構部と、X
線源と、X線検出器を備えたX線検査装置において、前
記検査物の部品の不良部品にマーキングするスタンプ機
構部(例えば、ペンホルダー機構部)をX線検査室内に
備えたことを特徴とする。
発明の概要を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
第1の発明は、X線の漏洩防止を施した(X線遮蔽材を
施した)筐体と、この筐体に検査物(例えば、プリント
基板)を搬入する搬入口と、前記筐体から検査物(例え
ば、プリント基板)を搬出する搬出口と、検査物(例え
ば、プリント基板)を搬送するベルトコンベアと、この
ベルトコンベアと一体化されたX-Y駆動機構部と、X
線源と、X線検出器を備えたX線検査装置において、前
記検査物の部品の不良部品にマーキングするスタンプ機
構部(例えば、ペンホルダー機構部)をX線検査室内に
備えたことを特徴とする。
【0009】第2の発明は、前記第1の発明のX線検査
装置において、前記検査物の部品の不良部品にマーキン
グするスタンプ機構部は、マーキング用ペンと、それを
制御する制御手段と、前記マーキング不可能領域を回避
するペン旋回手段とを備えたことを特徴とする。
装置において、前記検査物の部品の不良部品にマーキン
グするスタンプ機構部は、マーキング用ペンと、それを
制御する制御手段と、前記マーキング不可能領域を回避
するペン旋回手段とを備えたことを特徴とする。
【0010】本願発明によれば、X線検査装置のX-Y
ステージの位置信号を制御する制御手段に、スタンプ機
構部(ペンホルダー機構部)の上下動制御手段及びマー
キング用ペン(以下、単にペンという)の移動制御手段
を付加することにより、外付けであったスタンプ機構部
の制御手段と装置を削除することができる。
ステージの位置信号を制御する制御手段に、スタンプ機
構部(ペンホルダー機構部)の上下動制御手段及びマー
キング用ペン(以下、単にペンという)の移動制御手段
を付加することにより、外付けであったスタンプ機構部
の制御手段と装置を削除することができる。
【0011】前記スタンプ機構部の上下動の他にペンを
旋回する手段と、ペンの太さにより壁にペンが当たるの
を避けるための、ペン保持部に角度を持たせる手段を設
けたので、マーキング不可部分をなくすることができ
る。
旋回する手段と、ペンの太さにより壁にペンが当たるの
を避けるための、ペン保持部に角度を持たせる手段を設
けたので、マーキング不可部分をなくすることができ
る。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明について、発明の実
施の形態(実施例)とともに図面を参照して詳細に説明
する。なお、発明の実施例を説明するための全図におい
て、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り
返しの説明は省略する。
施の形態(実施例)とともに図面を参照して詳細に説明
する。なお、発明の実施例を説明するための全図におい
て、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り
返しの説明は省略する。
【0013】図1は本発明の一実施形態のプリント基板
(検査物)のX線検査装置の概略構成を示す装置正面
図、図2は図1に示す装置の右側面図、図3は本実施形
態のX線管球上下移動機構部の概略構成を示す側面図、
図4は本実施形態のX-Y移動部の概略構成を示すX軸
方向(a)、Y軸方向(b)の平面図とその側面図、図
5は本実施形態のシャッター機構部の概略構成を示す平
面図とその側面図、図6は本実施形態の幅調整機構部の
概略構成を示す平面図、図7は図6の矢印A方向から見
た図、図8は図6の矢印B方向から見た図、図9は図6
の主要部の矢印B方向から見た図、図10は本実施形態
のペンホルダー機構部(スタンプ機構部)の概略構成を
示す図、図11は図10に示すペンホルダー機構部(ス
タンプ機構部)の矢印C方向から見た図、図12はペン
ホルダー機構部(スタンプ機構部)の動作を説明するた
めの図である。
(検査物)のX線検査装置の概略構成を示す装置正面
図、図2は図1に示す装置の右側面図、図3は本実施形
態のX線管球上下移動機構部の概略構成を示す側面図、
図4は本実施形態のX-Y移動部の概略構成を示すX軸
方向(a)、Y軸方向(b)の平面図とその側面図、図
5は本実施形態のシャッター機構部の概略構成を示す平
面図とその側面図、図6は本実施形態の幅調整機構部の
概略構成を示す平面図、図7は図6の矢印A方向から見
た図、図8は図6の矢印B方向から見た図、図9は図6
の主要部の矢印B方向から見た図、図10は本実施形態
のペンホルダー機構部(スタンプ機構部)の概略構成を
示す図、図11は図10に示すペンホルダー機構部(ス
タンプ機構部)の矢印C方向から見た図、図12はペン
ホルダー機構部(スタンプ機構部)の動作を説明するた
めの図である。
【0014】本実施形態のプリント基板(検査物)のX
線検査装置は、図1に示すように、X線の漏洩防止を施
した(X線遮蔽材を施した)装置フレーム(以下、単に
フレームという)1、フレーム1に設けられたX線管球
2、X線管球上下動機構部3、プリント基板の搬入・搬
出時及び検査時にプリント基板をX軸方向に移動するX
軸移動テーブル4、前記プリント基板の搬入・搬出時及
び検査時にプリント基板をY軸方向に移動するY軸移動
テーブル5、前記プリント基板の幅に合わせて可動枠
(詳細は後述する)を移動させる幅調整機構部6、X軸
移動テーブル4及びY軸移動テーブル5の上方で装置フ
レーム1に取り付けられているX線検出器7、該X線検
出器7を上下動するX線検出器上下動機構部8、ペンホ
ルダー機構部(スタンプ機構部)9、搬入口シャッター
10、搬出口シャッター11、搬入側の外付けベルトコ
ンベア12、搬出側の外付けベルトコンベア13、制御
器(制御手段)14、画像処理装置15、並びにディス
プレー16を具備している。
線検査装置は、図1に示すように、X線の漏洩防止を施
した(X線遮蔽材を施した)装置フレーム(以下、単に
フレームという)1、フレーム1に設けられたX線管球
2、X線管球上下動機構部3、プリント基板の搬入・搬
出時及び検査時にプリント基板をX軸方向に移動するX
軸移動テーブル4、前記プリント基板の搬入・搬出時及
び検査時にプリント基板をY軸方向に移動するY軸移動
テーブル5、前記プリント基板の幅に合わせて可動枠
(詳細は後述する)を移動させる幅調整機構部6、X軸
移動テーブル4及びY軸移動テーブル5の上方で装置フ
レーム1に取り付けられているX線検出器7、該X線検
出器7を上下動するX線検出器上下動機構部8、ペンホ
ルダー機構部(スタンプ機構部)9、搬入口シャッター
10、搬出口シャッター11、搬入側の外付けベルトコ
ンベア12、搬出側の外付けベルトコンベア13、制御
器(制御手段)14、画像処理装置15、並びにディス
プレー16を具備している。
【0015】前記フレーム1は、X線の漏洩防止のため
X線遮蔽材(X線吸収材)でフレーム1全体が覆われて
いる。X線管球2は、図2に示すように、フレーム1の
下側に配置される。
X線遮蔽材(X線吸収材)でフレーム1全体が覆われて
いる。X線管球2は、図2に示すように、フレーム1の
下側に配置される。
【0016】前記X線管球上下動機構部3は、図3に示
すように、駆動モータ301、フレーム1に固定する取
付ベース302、この取付ベース302に取り付けられ
ている直動ベアリング303、送りネジ304、送りナ
ット305、及びX線管球取付板306で構成されてい
る。
すように、駆動モータ301、フレーム1に固定する取
付ベース302、この取付ベース302に取り付けられ
ている直動ベアリング303、送りネジ304、送りナ
ット305、及びX線管球取付板306で構成されてい
る。
【0017】前記X線検出器7は、図2に示すように、
フレーム1に上下動ベース801で固定される。前記X
線検出器上下動機構部8は、直動ベアリング802、送
りネジ803、送りナット804、X線検出器取付板8
05、駆動モータ806、タイミングプーリー807、
及びタイミングベルト808で構成されている。
フレーム1に上下動ベース801で固定される。前記X
線検出器上下動機構部8は、直動ベアリング802、送
りネジ803、送りナット804、X線検出器取付板8
05、駆動モータ806、タイミングプーリー807、
及びタイミングベルト808で構成されている。
【0018】前記X軸移動テーブル4は、図4に示すよ
うに、ベース401、駆動モータ402、ボールネジ4
03、及び直動ベアリング404から構成され、この上
にY軸移動テーブル5がベース501、駆動モータ50
2、ボールネジ503、及び直動ベアリング504で構
成されている。前記Y軸移動テーブル5に幅調整機構部
6が取付けられている。
うに、ベース401、駆動モータ402、ボールネジ4
03、及び直動ベアリング404から構成され、この上
にY軸移動テーブル5がベース501、駆動モータ50
2、ボールネジ503、及び直動ベアリング504で構
成されている。前記Y軸移動テーブル5に幅調整機構部
6が取付けられている。
【0019】前記フレーム1には、プリント基板の搬入
口、搬出口にX線が漏洩しないように、X線遮蔽材(X
線吸収材)からなる搬入口シャッター10(図5)、搬
出口シャッターllが設けられ、直動スライダー10
1、エアーシリンダ102が設けられてX線検査装置が
構成されている(図5)。
口、搬出口にX線が漏洩しないように、X線遮蔽材(X
線吸収材)からなる搬入口シャッター10(図5)、搬
出口シャッターllが設けられ、直動スライダー10
1、エアーシリンダ102が設けられてX線検査装置が
構成されている(図5)。
【0020】前記幅調整機構部6は、図6乃至図8に示
すように、ベース601の上に固定枠602、603を
組み付け、前記固定枠602と固定枠603の中に可動
枠604がリニアベアリングシャフト605で吊上げら
れている。駆動モータ606をカップリング607で繋
ぎ、ボールネジ608にプーリー609、ベルト610
を取り付け、反対側のプーリー611を介してボールネ
ジ612に動力を伝えている。
すように、ベース601の上に固定枠602、603を
組み付け、前記固定枠602と固定枠603の中に可動
枠604がリニアベアリングシャフト605で吊上げら
れている。駆動モータ606をカップリング607で繋
ぎ、ボールネジ608にプーリー609、ベルト610
を取り付け、反対側のプーリー611を介してボールネ
ジ612に動力を伝えている。
【0021】前記リニアベアリングシャフト605のブ
ッシュ613とボールネジ608、612のナット61
4、615は、前記可動枠604に固定され、該可動枠
604を移動する構成になっている。前記固定枠602
と前記可動枠604には搬送されて来たプリント基板6
16を止めるストッパ617とこのストッパ617を回
転させるロータリーシリンダ618、ベルト619を駆
動するプーリー620とモータ621、ベルト619を
案内するベアリング622、プリント基板616を固定
するクランプ板623、及びこのクランプ板623を上
下動する直動ベアリング式エアーシリンダ624で構成
されている。
ッシュ613とボールネジ608、612のナット61
4、615は、前記可動枠604に固定され、該可動枠
604を移動する構成になっている。前記固定枠602
と前記可動枠604には搬送されて来たプリント基板6
16を止めるストッパ617とこのストッパ617を回
転させるロータリーシリンダ618、ベルト619を駆
動するプーリー620とモータ621、ベルト619を
案内するベアリング622、プリント基板616を固定
するクランプ板623、及びこのクランプ板623を上
下動する直動ベアリング式エアーシリンダ624で構成
されている。
【0022】前記ペンホルダー機構部(スタンプ機構
部)9は、図10及び図11に示すように、フレーム1
に固定されており、ペン901を上下動するリニアエア
ーシリンダ902が設けられている。このリニアエアー
シリンダ902にペン支持部材903が固定されてい
る。前記ペン支持部材903には軸904とリニアベア
リングブッシュ905が設けられ、このブッシュ905
にロータリーエアーシリンダ907を取り付ける部材9
06が設けられ、ロータリーエアーシリンダ907には
ペンホルダー部材908及びペンホルダー909とペン
901が取り付けられている。
部)9は、図10及び図11に示すように、フレーム1
に固定されており、ペン901を上下動するリニアエア
ーシリンダ902が設けられている。このリニアエアー
シリンダ902にペン支持部材903が固定されてい
る。前記ペン支持部材903には軸904とリニアベア
リングブッシュ905が設けられ、このブッシュ905
にロータリーエアーシリンダ907を取り付ける部材9
06が設けられ、ロータリーエアーシリンダ907には
ペンホルダー部材908及びペンホルダー909とペン
901が取り付けられている。
【0023】次に、本実施例のプリント基板(検査物)
のX線検査装置の動作について図面を用いて説明する。
X線検査装置の外側に設けられている搬入側の外付けベ
ルトコンベア12により搬送されて来たプリント基板6
16は、搬入口シャッター10の手前で停止し、制御器
(制御手段)14によりX線検査装置の前記搬入口シャ
ッター10が開いてX軸移動テーブル4の前記外付けベ
ルトコンベア12近傍まで移動する。外付けベルトコン
ベア12が回転し、前記プリント基板616は装置の内
部にある幅調整機構部6のストッパ617の位置まで搬
送され、クランプ板623で固定される。次に、X軸移
動テーブル4がX線検査装置内に移動し、搬入口シャッ
ター10が閉じる。
のX線検査装置の動作について図面を用いて説明する。
X線検査装置の外側に設けられている搬入側の外付けベ
ルトコンベア12により搬送されて来たプリント基板6
16は、搬入口シャッター10の手前で停止し、制御器
(制御手段)14によりX線検査装置の前記搬入口シャ
ッター10が開いてX軸移動テーブル4の前記外付けベ
ルトコンベア12近傍まで移動する。外付けベルトコン
ベア12が回転し、前記プリント基板616は装置の内
部にある幅調整機構部6のストッパ617の位置まで搬
送され、クランプ板623で固定される。次に、X軸移
動テーブル4がX線検査装置内に移動し、搬入口シャッ
ター10が閉じる。
【0024】前記搬入口シャッター10が閉じると、X
線管球2よりX線が放射され、プリント基板616に搭
載された部品をX線が透過し、X線検出器7で電気信号
に変換される。この変換された信号は、画像処理装置1
5に取り込まれ、透視画像としてディスプレー16に描
写される。
線管球2よりX線が放射され、プリント基板616に搭
載された部品をX線が透過し、X線検出器7で電気信号
に変換される。この変換された信号は、画像処理装置1
5に取り込まれ、透視画像としてディスプレー16に描
写される。
【0025】前記画像処理装置15には、プリント基板
616に搭載された部品の良否判定プログラムが備えら
れており、この良否判定プログラムにより良否が判定さ
れ、否と判定されるとプリント基板616の部品の位置
情報を制御器14に出力し、ペンホルダー機構部(スタ
ンプ機構部)9のリニアエアーシリンダ902が下方に
移動を開始すると共に、プリント基板616の部品の位
置情報を元にロータリーエアーシリンダ907でペン9
01を旋回させながら、部品にマーキングを行う(例え
ば、不良部品にマークを付ける)。
616に搭載された部品の良否判定プログラムが備えら
れており、この良否判定プログラムにより良否が判定さ
れ、否と判定されるとプリント基板616の部品の位置
情報を制御器14に出力し、ペンホルダー機構部(スタ
ンプ機構部)9のリニアエアーシリンダ902が下方に
移動を開始すると共に、プリント基板616の部品の位
置情報を元にロータリーエアーシリンダ907でペン9
01を旋回させながら、部品にマーキングを行う(例え
ば、不良部品にマークを付ける)。
【0026】全ての検査が終了すると、X線管球2はX
線放射を停止し、搬出口シャッター11が開いてX軸移
動テーブル4が外付けベルトコンベア13の近傍まで移
動する。幅調整機構部6のストッパ617とクランプ板
623が開放され、プリント基板616は外付けベルト
コンベア13へと搬送される。
線放射を停止し、搬出口シャッター11が開いてX軸移
動テーブル4が外付けベルトコンベア13の近傍まで移
動する。幅調整機構部6のストッパ617とクランプ板
623が開放され、プリント基板616は外付けベルト
コンベア13へと搬送される。
【0027】一方、前記X線管球上下動機構部3とX線
検出器上下動機構部8は、検査するプリント基板616
にはんだ付けされた部品の種類により透視画像の拡大率
を変更する。このためそれぞれに上下動する構造となっ
ている(図2)。
検出器上下動機構部8は、検査するプリント基板616
にはんだ付けされた部品の種類により透視画像の拡大率
を変更する。このためそれぞれに上下動する構造となっ
ている(図2)。
【0028】その動作は、図2に示すように、駆動モー
タ806の回転をプーリー807へ伝え、ベルト808
を介して送りネジ803に取り付けたプーリー807に
伝導すると、送りナット804に取り付けたX線検出器
7が上下動する。
タ806の回転をプーリー807へ伝え、ベルト808
を介して送りネジ803に取り付けたプーリー807に
伝導すると、送りナット804に取り付けたX線検出器
7が上下動する。
【0029】一方、X線管球2は、図3に示すように、
駆動モータ301の回転を取付ベース302で送りネジ
304に伝導し、送りナット305に取り付けたX線管
球2が上下動する。
駆動モータ301の回転を取付ベース302で送りネジ
304に伝導し、送りナット305に取り付けたX線管
球2が上下動する。
【0030】前記幅調整機構部6は、図6及び図8に示
すように、基板のサイズに合わせ可動枠604を移動さ
せる。駆動モータ606が回転し、ボールネジ608と
ボールネジ612がベルト610を介して同時に回転
し、可動枠604はナット614、615により移動す
る。ベルト619は、固定枠602と可動枠604に図
7に示すような位置に配置され、駆動モータ621と一
緒に回転するプーリー620によりベルト619を回転
する。
すように、基板のサイズに合わせ可動枠604を移動さ
せる。駆動モータ606が回転し、ボールネジ608と
ボールネジ612がベルト610を介して同時に回転
し、可動枠604はナット614、615により移動す
る。ベルト619は、固定枠602と可動枠604に図
7に示すような位置に配置され、駆動モータ621と一
緒に回転するプーリー620によりベルト619を回転
する。
【0031】前記プリント基板616は、図7及び図9
に示すベルト619の回転によって搬送する。搬送され
て来たプリント基板616は、ストッパ617(図6)
により所定の位置で止め、ベルト619の回転を止め
る。次に、リニアエアーシリンダ624にエアーを供給
してクランプ板623を押し下げプリント基板616を
ベルト619との間に挟み込み固定する。
に示すベルト619の回転によって搬送する。搬送され
て来たプリント基板616は、ストッパ617(図6)
により所定の位置で止め、ベルト619の回転を止め
る。次に、リニアエアーシリンダ624にエアーを供給
してクランプ板623を押し下げプリント基板616を
ベルト619との間に挟み込み固定する。
【0032】前記ペンホルダー機構部(スタンプ機構
部)9は、不良と判定されたプリント基板616上の部
品位置情報とX軸移動テーブル4及びY軸移動テーブル
5の位置情報を制御器でコントロールしている。この位
置情報を基づきペン901の位置をペン位置901aか
ペン位置901bにするかを決めロータリーエアーシリ
ンダ907でペン901を旋回する(図12)。そし
て、リニアエアーシリンダ902をプリント基板616
方向ヘエアーを供給して移動させ、部品625にマーク
する。
部)9は、不良と判定されたプリント基板616上の部
品位置情報とX軸移動テーブル4及びY軸移動テーブル
5の位置情報を制御器でコントロールしている。この位
置情報を基づきペン901の位置をペン位置901aか
ペン位置901bにするかを決めロータリーエアーシリ
ンダ907でペン901を旋回する(図12)。そし
て、リニアエアーシリンダ902をプリント基板616
方向ヘエアーを供給して移動させ、部品625にマーク
する。
【0033】以上説明したように、本実施形態のX線検
査装置によれば、X-Yステージの位置信号を制御する
制御器(制御手段)に、スタンプ機構の上下動制御手段
及びペン901の移動制御手段を付加することにより、
従来、外付けであったスタンプ機構の制御手段と装置を
削除することができる。
査装置によれば、X-Yステージの位置信号を制御する
制御器(制御手段)に、スタンプ機構の上下動制御手段
及びペン901の移動制御手段を付加することにより、
従来、外付けであったスタンプ機構の制御手段と装置を
削除することができる。
【0034】また、前記ペンホルダー機構部(スタンプ
機構部)9の上下動の他にペン901を旋回させ、ペン
保持部に角度を持たせたので、マーキング不可部分をな
くすることができる。
機構部)9の上下動の他にペン901を旋回させ、ペン
保持部に角度を持たせたので、マーキング不可部分をな
くすることができる。
【0035】以上、本願発明を、前記発明の実施の形態
に基づき具体的に説明したが、本願発明は、前記発明の
実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱
しない範囲において種々変更可能であることは勿論であ
る。
に基づき具体的に説明したが、本願発明は、前記発明の
実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱
しない範囲において種々変更可能であることは勿論であ
る。
【0036】
【発明の効果】本願において開示される発明によって得
られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである。
られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである。
【0037】本願発明によれば、従来、外付けであった
スタンプ機構装置をX線検査装置内に組み込むことによ
り、制御器とスタンプ機構装置の機構部を削減すること
ができる。
スタンプ機構装置をX線検査装置内に組み込むことによ
り、制御器とスタンプ機構装置の機構部を削減すること
ができる。
【0038】また、制御も複雑な構成からシンプルにで
きるので、原価低減ができ、安価な装置を提供すること
ができる。
きるので、原価低減ができ、安価な装置を提供すること
ができる。
【0039】また、スタンプ機構部(ペンホルダー機構
部)に旋回機構部とペンホルダー部に角度を持たせたこ
とにより、基板クランプ部に近い検査物の部品(プリン
ト基板の搭載チップ)にマーク(スタンプ)することが
できる。
部)に旋回機構部とペンホルダー部に角度を持たせたこ
とにより、基板クランプ部に近い検査物の部品(プリン
ト基板の搭載チップ)にマーク(スタンプ)することが
できる。
【図1】本発明の一実施形態のプリント基板(検査物)
のX線検査装置の概略構成を示す装置正面図である。
のX線検査装置の概略構成を示す装置正面図である。
【図2】図1に示す装置の右側面図である。
【図3】本実施形態のX線管球上下移動機構部の概略構
成を示す側面図である。
成を示す側面図である。
【図4】本実施形態のX-Y移動部の概略構成を示すX-
Y平面図とその側面図である。
Y平面図とその側面図である。
【図5】本実施形態のシャッター機構部の概略構成を示
す平面図とその側面図である。
す平面図とその側面図である。
【図6】本実施形態の幅調整機構部の概略構成を示す平
面図である。
面図である。
【図7】図6の矢印A方向から見た図である。
【図8】図6の矢印B方向から見た図である。
【図9】図6の主要部の矢印B方向から見た図である。
【図10】本実施形態のペンホルダー機構部の概略構成
を示す図である。
を示す図である。
【図11】図10に示すペンホルダー機構部の矢印C方
向から見た図である。
向から見た図である。
【図12】本実施形態のペンホルダー機構部の動作を説
明するための図である。
明するための図である。
1…フレーム 2…X線管球
3…X線管球上下動機構部 4…X軸移動テー
ブル 5…Y軸移動テーブル 6…幅調整機構部 7…X線検出器 8…X線検出器上
下動機構部 9…ペンホルダー機構部 10…搬入口シャ
ッター 11…搬出口シャッター 12…搬入側外付
けベルトコンベア 13…搬出側外付けベルトコンベア 14…制御器 15…画像処理装置 16…ディスプレ
ー。
ブル 5…Y軸移動テーブル 6…幅調整機構部 7…X線検出器 8…X線検出器上
下動機構部 9…ペンホルダー機構部 10…搬入口シャ
ッター 11…搬出口シャッター 12…搬入側外付
けベルトコンベア 13…搬出側外付けベルトコンベア 14…制御器 15…画像処理装置 16…ディスプレ
ー。
Claims (2)
- 【請求項1】 X線の漏洩防止を施した筐体と、この筐
体に検査物を搬入する搬入口と、前記筐体から検査物を
搬出する搬出口と、検査物を搬送するベルトコンベア
と、このベルトコンベアと一体化されたX-Y駆動機構
と、X線源と、X線検出器を備えたX線検査装置におい
て、前記検査物の部品の不良部品にマーキングするスタ
ンプ機構部をX線検査室内に備えたことを特徴とするX
線検査装置。 - 【請求項2】 前記請求項1に記載のX線検査装置にお
いて、前記検査物の部品の不良部品にマーキングするス
タンプ機構は、マーキング用ペンと、それを制御する制
御手段と、前記マーキング不可部分を回避するペン旋回
手段とを備えたことを特徴とするX線検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002125713A JP2003315288A (ja) | 2002-04-26 | 2002-04-26 | X線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002125713A JP2003315288A (ja) | 2002-04-26 | 2002-04-26 | X線検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003315288A true JP2003315288A (ja) | 2003-11-06 |
Family
ID=29540353
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002125713A Pending JP2003315288A (ja) | 2002-04-26 | 2002-04-26 | X線検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003315288A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007315834A (ja) * | 2006-05-24 | 2007-12-06 | Shimadzu Corp | X線透視装置 |
KR100923918B1 (ko) | 2007-11-13 | 2009-10-28 | 주식회사 다한이엔지 | 회로기판의 표면 검사 잉크 마킹기 |
JP2013122405A (ja) * | 2011-12-09 | 2013-06-20 | Yamaha Motor Co Ltd | X線検査装置 |
JP2013130458A (ja) * | 2011-12-21 | 2013-07-04 | Yamaha Motor Co Ltd | 基板作業装置およびx線検査装置 |
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EP2615447A1 (en) | 2012-01-10 | 2013-07-17 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | X-ray inspection apparatus |
WO2013105149A1 (ja) | 2012-01-12 | 2013-07-18 | ヤマハ発動機株式会社 | X線検査装置 |
CN106896399A (zh) * | 2017-03-15 | 2017-06-27 | 新疆维吾尔自治区计量测试研究院 | 一种带有自动控制***的x射线检测*** |
CN112478677A (zh) * | 2020-12-22 | 2021-03-12 | 东莞市鼎麓电子科技有限公司 | 一种用于pcb板的x光检测装置 |
JP7415898B2 (ja) | 2020-12-02 | 2024-01-17 | 株式会社島津製作所 | X線撮像装置 |
-
2002
- 2002-04-26 JP JP2002125713A patent/JP2003315288A/ja active Pending
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2013142585A (ja) * | 2012-01-10 | 2013-07-22 | Yamaha Motor Co Ltd | X線検査装置 |
EP2615447A1 (en) | 2012-01-10 | 2013-07-17 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | X-ray inspection apparatus |
WO2013105149A1 (ja) | 2012-01-12 | 2013-07-18 | ヤマハ発動機株式会社 | X線検査装置 |
KR20140110068A (ko) | 2012-01-12 | 2014-09-16 | 야마하하쓰도키 가부시키가이샤 | X선 검사 장치 |
CN104053986A (zh) * | 2012-01-12 | 2014-09-17 | 雅马哈发动机株式会社 | X射线检查装置 |
EP2803981A4 (en) * | 2012-01-12 | 2015-06-10 | Yamaha Motor Co Ltd | X-RAY INSPECTION DEVICE |
US9322790B2 (en) | 2012-01-12 | 2016-04-26 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | X-ray inspection device |
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