JP2003131403A - Device for fixing translucent plate for mask and method for the same - Google Patents
Device for fixing translucent plate for mask and method for the sameInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線板な
どのワークに対して露光作業で使用されるマスク用透光
板を固定するためのマスク用透光板固定装置およびその
方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mask translucent plate fixing device and a method for fixing a mask translucent plate used in an exposure operation to a work such as a printed wiring board. .
【0002】一般に、プリント配線板などのワークに所
定パターンを形成するために露光装置を使用して露光作
業を行う場合は、所定パターンを有するマスクとワーク
と対面させ、そのマスクおよびワークを近接あるいは密
着させて所定波長の紫外線を照射してマスクのパターン
をワークに露光形成している。Generally, when performing an exposure operation using an exposure device to form a predetermined pattern on a work such as a printed wiring board, a mask having the predetermined pattern is faced with the work, and the mask and the work are brought close to each other or The pattern of the mask is exposed and formed on the work by bringing them into close contact with each other and irradiating ultraviolet rays of a predetermined wavelength.
【0003】この露光装置で使用されるマスクは、フィ
ルム状に形成され透光板に保持させるか、あるいは、ガ
ラス等の透光板に直接所定パータンが形成されたガラス
乾板として透光板に保持され、マスク用透光板の状態で
マスク用透光板固定装置によりワークと対面する露光処
理位置に設定されている。The mask used in this exposure apparatus is formed in a film shape and held by a light-transmitting plate, or is held by the light-transmitting plate as a glass dry plate in which a predetermined pattern is directly formed on the light-transmitting plate such as glass. Then, in the state of the mask translucent plate, the mask translucent plate fixing device is set to the exposure processing position facing the work.
【0004】そして、マスク用透光板固定装置は、マス
ク用透光板を支持する透光板ガイド枠と、この透光板ガ
イド枠の各辺に配置された固定手段とを備えている。こ
のマスク用透光板固定装置の固定手段は、その一例とし
て透光板ガイド枠の各辺に設置されたハンドル(トグル
クランプ等)を操作することで押圧部分がマスク用透光
板を局部的に透光板ガイド枠側に押し付ける構成のもの
である。The mask light-transmitting plate fixing device includes a light-transmitting plate guide frame for supporting the mask light-transmitting plate, and fixing means arranged on each side of the light-transmitting plate guide frame. As an example of the fixing means of the transparent plate fixing device for a mask, a pressing portion locally presses the transparent plate for a mask by operating a handle (a toggle clamp or the like) installed on each side of the transparent plate guide frame. It is configured to be pressed against the transparent plate guide frame side.
【0005】また、マスク用透光板固定装置の固定手段
は、他の構成として例えば、透光板ガイド枠の各辺にそ
れぞれ設けた押さえ枠をネジにて締め込んでマスク用透
光板を押さえるものや、さらに、透光板ガイド枠の各辺
に設けた数個のロックシリンダでマスク用透光板を固定
するもの等が知られている。Further, the fixing means of the transparent plate fixing device for the mask has another structure, for example, the pressing frame provided on each side of the transparent plate guide frame is tightened with a screw to fix the transparent plate for the mask. There are known ones that are pressed, and ones that fix the transparent plate for a mask with several lock cylinders provided on each side of the transparent plate guide frame.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のマスク
用透光板固定装置の構成では、さらに改良する余地が存
在した。
(1)従来のマスク用透光板固定装置は、透光板ガイド
枠の各辺に配置した固定手段によりマスク用透光板を押
圧して固定しているため点接状の固定状態となり、各固
定手段が押圧する部分ではマスク用透光板に対する押圧
力が大きく、また、固定手段がない部分では押圧力が小
さく、マスク用透光板全体に対する押圧手段が与える押
圧状態にばらつきが発生してしまう。その結果、マスク
用透光板にくぼみや反りを発生させてしまった。However, there is room for further improvement in the structure of the conventional transparent plate fixing device for a mask. (1) In the conventional mask light-transmitting plate fixing device, the mask light-transmitting plate is pressed and fixed by the fixing means arranged on each side of the light-transmitting plate guide frame, so that the mask is in a point-like fixed state. The pressing force on the mask translucent plate is large at the portion pressed by each fixing means, and the pressing force is small at the part without the fixing means, and the pressing state applied to the entire mask translucent plate varies. Will end up. As a result, the mask translucent plate was indented or warped.
【0007】(2)従来のマスク用透光板固定装置は、
透光板ガイド枠の各固定手段をそれぞれ操作する必要が
あることから、マスク用透光板を固定する操作性が悪
く、また、固定手段の構成が複雑でかつ各固定手段の消
耗状態もまちまちであるため、マスク用透光板を均等に
押圧する調整作業に手間がかかっていた。(2) The conventional transparent plate fixing device for a mask is
Since it is necessary to operate each fixing means of the light-transmitting plate guide frame, the operability of fixing the mask light-transmitting plate is poor, and the structure of the fixing means is complicated and the wear state of each fixing means varies. Therefore, it takes a lot of time and effort to adjust the mask translucent plate evenly.
【0008】本発明は、前記の問題点に鑑み創案された
もので、マスク用透光板に対してくぼみあるいは反り等
を発生させることがなく、また、固定操作が容易で、か
つ、調整作業にも手間がかかることがないマスク用透光
板固定装置およびその方法を提供することを目的とす
る。The present invention was devised in view of the above-mentioned problems. It does not cause depressions or warps in the mask translucent plate, and the fixing operation is easy and the adjustment work is performed. It is an object of the present invention to provide a transparent plate fixing device for a mask and a method thereof, which does not require much labor.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明は、前記の問題を
解決するため、つぎのように構成した。すなわち、露光
装置において基板と対面して配置されるマスク用透光板
を固定するマスク用透光板固定装置であって、前記マス
ク用透光板を支持する透光板ガイド枠と、この透光板ガ
イド枠と前記マスク用透光板と対面する位置に設けた伸
縮部材と、この伸縮部材を伸張収縮させるためのエア供
給排出手段とを備える構成とした。The present invention has the following structure in order to solve the above problems. That is, a mask light-transmitting plate fixing device for fixing a mask light-transmitting plate arranged facing a substrate in an exposure device, the light-transmitting plate guide frame supporting the mask light-transmitting plate, and the light-transmitting plate guide frame. The optical plate guide frame and the stretchable member provided at a position facing the mask translucent plate, and the air supply / discharge means for stretching and shrinking the stretchable member are provided.
【0010】このように構成されることにより、マスク
用透光板固定装置は、マスク用透光板を透光板ガイド枠
に配置して、そのマスク用透光板と対面する透光板ガイ
ド枠との間に設けた伸縮部材に、エア供給排出手段によ
りエアを供給する。そのため、マスク用透光板は、その
伸縮部材が収縮状態から伸張状態に膨出することで、透
光板ガイド枠に押圧されて固定される。なお、マスク用
透光板は、その構成をマスクフィルムを透光板に保持さ
せる場合や、また、透光板に直接マスクの所定パターン
を設ける構成等がある。また、伸縮部材を設ける態様と
しては、ある程度エアを入れた状態とすることで透光板
ガイド枠に当接して配置され特に固定しない場合や、あ
るいは、接着剤等を介して透光板ガイド枠あるいはマス
ク用透光板のどちらか一方に固定する場合や、さらに、
透光板ガイド枠またはマスク用透光板に形成した係止部
を介して係止して設置位置を維持する場合がある。With this structure, the mask translucent plate fixing device arranges the mask translucent plate in the translucent plate guide frame, and the translucent plate guide facing the mask translucent plate. Air is supplied to the elastic member provided between the frame and the frame by the air supply / discharge means. Therefore, the light-transmitting plate for a mask is pressed and fixed to the light-transmitting plate guide frame by the expansion and contraction member of the mask expanding from the contracted state to the expanded state. The light-transmitting plate for a mask has a structure in which a mask film is held on the light-transmitting plate, or a structure in which a predetermined pattern of a mask is directly provided on the light-transmitting plate. As a mode in which the elastic member is provided, it is placed in contact with the translucent plate guide frame by being inflated to some extent and not particularly fixed, or alternatively, the translucent plate guide frame is provided with an adhesive or the like. Or when fixing to either one of the transparent plate for mask,
In some cases, the installation position is maintained by locking via a locking portion formed on the transparent plate guide frame or the mask transparent plate.
【0011】また、露光装置において基板と対面して配
置されるマスク用透光板を固定するマスク用透光板固定
装置であって、前記マスク用透光板を支持する透光板ガ
イド枠と、この透光板ガイド枠の前記マスク用透光板と
対面する対面部に沿って設けた取付部と、この取付部に
設置される伸縮部材と、この伸縮部材を伸張収縮させる
ためのエア供給排出手段とを備える構成とした。A mask light-transmitting plate fixing device for fixing the mask light-transmitting plate disposed facing the substrate in the exposure device, and a light-transmitting plate guide frame for supporting the mask light-transmitting plate. An attaching portion provided along the facing portion of the light transmitting plate guide frame facing the light transmitting plate for the mask; an elastic member installed on the attaching portion; and an air supply for expanding and contracting the elastic member. And a discharging means.
【0012】このように構成されることにより、マスク
用透光板固定装置は、マスク用透光板を透光板ガイド枠
に配置して、その透光板ガイド枠の対面部に設けた取付
部に設置した伸縮部材を、エア供給排出手段により伸張
状態として、そのマスク用透光板を固定する。なお、伸
縮部材は、透光板ガイド枠に設けた取付部に設置される
ため、エアを完全に排出して収縮した状態としてもその
設置位置を維持することができる。With such a structure, the mask translucent plate fixing device has the mask translucent plate arranged on the translucent plate guide frame and mounted on the facing portion of the translucent plate guide frame. The stretchable member installed in the section is expanded by the air supply and discharge means, and the mask translucent plate is fixed. Since the elastic member is installed on the mounting portion provided on the translucent plate guide frame, the installation position can be maintained even when the air is completely discharged and contracted.
【0013】さらに、前記マスク用透光板固定装置にお
いて、取付部は、溝状に形成され、また、前記伸縮部材
は、前記溝内に設置されると共に、伸張したときにその
溝内から膨出して前記透光板を押圧するように設置され
る構成とした。Further, in the mask translucent plate fixing device, the mounting portion is formed in a groove shape, and the elastic member is installed in the groove and expands from the groove when expanded. It was configured so that it was taken out and pressed against the transparent plate.
【0014】このように構成されることにより、マスク
用透光板固定装置は、透光板ガイド枠の対面部に設けた
溝状の取付部に伸縮部材を設置し、その伸縮部材が収縮
状態のときは、溝内に収納され、伸張状態のときはその
溝内から膨出してマスク用透光板を透光板ガイド枠に押
圧して固定させる。With such a structure, the mask translucent plate fixing device has the elastic member installed in the groove-shaped mounting portion provided on the facing portion of the translucent plate guide frame, and the elastic member is in a contracted state. In this case, the mask is housed in the groove, and in the expanded state, it swells out of the groove to press and fix the mask translucent plate to the translucent plate guide frame.
【0015】また、前記マスク用透光板固定装置におい
て、前記伸縮部材は、前記取付部に固定するための固定
部と、この固定部に設けたエア収納部とを備えた構成と
した。このように構成されることにより、マスク用透光
板固定装置の伸縮部材は、固定部を透光板ガイド枠に固
定した状態で、収納部にエア供給排出手段によりエアを
供給あるいは排出される。Further, in the mask translucent plate fixing device, the elastic member has a fixing portion for fixing to the mounting portion, and an air storage portion provided in the fixing portion. With this structure, the elastic member of the mask translucent plate fixing device supplies or discharges air to or from the accommodating unit by the air supply / exhaust unit in a state where the fixing unit is fixed to the translucent plate guide frame. .
【0016】そして、前記マスク用透光板固定装置にお
いて、前記伸縮部材は、前記透光板に入射する光供給側
の前記対面部に設けられた構成とした。このように構成
されることにより、マスク用透光板固定装置により透光
板ガイド枠に固定されるマスク用透光板は、ワーク側に
配置され露光作業時、整合認識作業時にそのワークと真
空密着する場合に都合がよい。In the mask light-transmitting plate fixing device, the elastic member is provided on the facing portion on the light supply side which is incident on the light-transmitting plate. With such a configuration, the mask translucent plate fixed to the translucent plate guide frame by the mask translucent plate fixing device is arranged on the side of the work, and is vacuumed with the work during the exposure operation and the alignment recognition operation. It is convenient for close contact.
【0017】さらに、露光装置において基板の保持部と
対面して配置される透光板ガイド枠に、マスク用透光板
を固定するマスク固定方法であって、前記マスク用透光
板を、前記透光板ガイド枠に配置する第1工程と、配置
された前記マスク用透光板の周縁で、前記透光板ガイド
枠にあらかじめ設けた伸縮部材をエア供給排出手段を介
して伸張させ、前記マスク用透光板をその透光ガイドに
押圧する第2工程とを備える構成とした。Further, there is provided a mask fixing method for fixing a transparent plate for a mask to a transparent plate guide frame arranged facing a holding portion of a substrate in an exposure apparatus, wherein the transparent plate for a mask is In the first step of arranging on the transparent plate guide frame, the elastic member provided in advance on the transparent plate guide frame is stretched through the air supply / discharge means at the periphery of the arranged transparent plate for mask, A second step of pressing the light-transmitting plate for the mask against the light-transmitting guide is adopted.
【0018】このように構成されることにより、マスク
固定方法では、マスク用透光板を透光板ガイド枠に配置
して伸縮部材を介してそのマスク用透光板を透光板ガイ
ド枠に押圧しているため、伸縮部材が透光板を均等な圧
力により押圧する。With this structure, in the mask fixing method, the mask translucent plate is arranged on the translucent plate guide frame, and the mask translucent plate is fixed to the translucent plate guide frame through the elastic member. Since it is pressed, the elastic member presses the translucent plate with uniform pressure.
【0019】[0019]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照して説明する。図1はマスク用透光板固定装置
の全体を模式的に示す分解斜視図、図2はマスク用透光
板固定装置の透光板ガイド枠を一部断面にした状態を示
す正面立断面図、図3はマスク用透光板固定装置の透光
板ガイド枠を示す側断面図である。なお、マスク用透光
板の露光位置での設置方向は、水平であっても垂直であ
ってもよく、ここでは垂直に設置される場合を一例とし
て説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is an exploded perspective view schematically showing the entire transparent plate fixing device for a mask, and FIG. 2 is a front elevation sectional view showing a state in which a transparent plate guide frame of the transparent plate fixing device for a mask is partially sectioned. FIG. 3 is a side sectional view showing a transparent plate guide frame of the mask transparent plate fixing device. The mask light-transmitting plate may be installed horizontally or vertically at the exposure position. Here, the case where the mask light-transmitting plate is installed vertically will be described as an example.
【0020】図1ないし図3に示すように、マスク用透
光板固定装置1は、マスク用透光板Mkを支持する透光
板ガイド枠2と、この透光板ガイド枠2とマスク用透光
板Mkとの間に設けられる伸縮部材としてのチュウブ状
のシリコーンゴム10と、このシリコーンゴム10にエ
アの供給および排出を行うためのエア供給排出手段20
としてのコンプレッサ21および真空ポンプ21Aとを
備えている。As shown in FIGS. 1 to 3, the mask translucent plate fixing device 1 includes a translucent plate guide frame 2 for supporting the mask translucent plate Mk, the translucent plate guide frame 2 and the mask. A tube-shaped silicone rubber 10 as an elastic member provided between the transparent plate Mk and an air supply / discharge means 20 for supplying and discharging air to the silicone rubber 10.
And a vacuum pump 21A.
【0021】透光板ガイド枠2は、正面側において中央
が大きく貫通する枠状に形成されており、側面にマスク
用透光板Mkの挿入口7と、この挿入口7から挿入させ
たマスク用透光板Mkを配置するための設置収納部8と
を備えている。さらに、この透光板ガイド枠2は、設置
収納部8に収納されるマスク用透光板Mkの表裏面の周
縁に対面する対面部3,4と、マスク用透光板Mkの周
側面と対面する周側部5と、対面部3に沿って形成され
た取付部としての溝6と、この溝6に設置されるシリコ
ーンゴム10とを備えている。The light-transmitting plate guide frame 2 is formed in a frame shape having a large center penetrating on the front side, and has an insertion opening 7 for the light-transmitting plate Mk for a mask on the side surface and a mask inserted from this insertion opening 7. The installation storage part 8 for disposing the transparent plate Mk for use. Further, the light-transmitting plate guide frame 2 includes facing portions 3 and 4 facing the peripheral edges of the front and back surfaces of the mask light-transmitting plate Mk housed in the installation housing unit 8, and the peripheral side surfaces of the mask light-transmitting plate Mk. The peripheral side part 5 facing each other, a groove 6 as an attachment part formed along the facing part 3, and a silicone rubber 10 installed in the groove 6 are provided.
【0022】また、図3に示すように、透光板ガイド枠
2の設置収納部8は、マスク用透光板Mkの厚み幅に対
して間隙dが設けられるように収納部分の横幅収納間隔
Dが設定されている。この設置収納部8の収納横幅間隔
Dは、溝6のシリコーンゴム10にエアが供給され膨出
した際にそのシリコーンゴム10によりマスク用透光板
Mkを押圧して固定できるように設定されている。な
お、間隙dは、溝6に設置されたシリコーンゴム10が
収縮状態のときにその溝6内で対面部3側に突出するこ
となく収納でき、かつ、マスク用透光板Mkが挿入口7
からスムーズに収納される状態であれば、間隙dとして
形成しなくても構わない。As shown in FIG. 3, the transmissive plate guide frame 2 is installed and accommodated in the accommodating portion 8 such that the accommodating portion has a lateral width accommodating distance such that a gap d is provided with respect to the thickness width of the mask translucent plate Mk. D is set. The storage lateral width D of the installation storage portion 8 is set so that when the silicone rubber 10 in the groove 6 is swelled by supplying air, the silicone rubber 10 can press and fix the mask translucent plate Mk. There is. The gap d can be accommodated in the groove 6 without protruding toward the facing portion 3 side when the silicone rubber 10 installed in the groove 6 is in the contracted state, and the mask light-transmitting plate Mk is inserted into the insertion opening 7.
From the above, it is not necessary to form the gap d as long as it is smoothly stored.
【0023】さらに、透光板ガイド枠2の溝6は、露光
処理を行うときの光供給側に、かつ、透光板ガイド枠の
周縁に沿って形成されている。なお、この溝6の断面形
状は、シリコーンゴム10の形状に対応して形成されて
おり、ここでは四角形状として示しているが、シリコー
ンゴム10の断面形状が円形あるいは楕円形等の曲面を
備えるものとして形成されていれば、その曲面に合わせ
た半円形状としても構わない。Further, the groove 6 of the transparent plate guide frame 2 is formed on the light supply side when performing the exposure process and along the periphery of the transparent plate guide frame. The cross-sectional shape of the groove 6 is formed corresponding to the shape of the silicone rubber 10, and is shown here as a quadrangle, but the cross-sectional shape of the silicone rubber 10 has a curved surface such as a circular shape or an elliptical shape. If it is formed as a thing, it may have a semicircular shape that matches the curved surface.
【0024】また、溝6は、その深さ寸法が、シリコー
ンゴム10が収縮状態のときに、そのシリコーンゴム1
0が溝内に収納でき、シリコーンゴム10にエアが供給
されて伸張状態のときに、そのシリコーンゴム10が溝
10から膨出するように形成されている。The depth dimension of the groove 6 is such that when the silicone rubber 10 is in a contracted state, the depth of the silicone rubber 1 is reduced.
0 can be stored in the groove, and the silicone rubber 10 is formed so as to bulge out from the groove 10 when air is supplied to the silicone rubber 10 and the silicone rubber 10 is in an expanded state.
【0025】図3に示すように、溝6と対面部4との位
置関係は、図面では、対面部4が形成されている縁部分
より溝6の位置を内側に配置されているが、シリコーン
ゴム10にエアが供給され伸張状態となったときに、マ
スク用透光板Mkを均等に押圧することができれば、そ
の溝6が対面部4と対面する位置であってよいこと等、
特に限定されるものではない。As shown in FIG. 3, the positional relationship between the groove 6 and the facing portion 4 is such that the position of the groove 6 is inside the edge portion where the facing portion 4 is formed in the drawing. If the mask translucent plate Mk can be evenly pressed when the rubber 10 is supplied with air and is in an expanded state, the groove 6 may be at a position facing the facing portion 4, etc.
It is not particularly limited.
【0026】そして、透光板ガイド枠2は、その側面の
挿入口7に対してフラップ9が開閉自在に設けられてい
る。このフラップ9は、図示しない係合機構により透光
板ガイド枠2の側面に係合離脱自在に配置されている。
なお、透光板ガイド枠2は、露光作業のときのマスク用
露光枠として用いることや、また、他の図示しない構成
と合わせることで、マスク用露光枠として用いても構わ
ない。The translucent plate guide frame 2 is provided with a flap 9 which can be opened and closed with respect to the insertion opening 7 on the side surface thereof. The flap 9 is disposed on the side surface of the translucent plate guide frame 2 so as to be engageable and disengageable by an engagement mechanism (not shown).
The transparent plate guide frame 2 may be used as an exposure frame for a mask during an exposure operation, or may be used as an exposure frame for a mask when combined with another configuration not shown.
【0027】図1および図3に示すように、シリコーン
ゴム10は、溝6に固定するために帯状に形成された固
定部11と、この固定部11に連続してチューブ状に形
成されたエア収納部12と、このエア収納部12内にエ
アを供給するために固定部11を貫通してエア収納部1
2に連続する供給接続部(図示せず)とを備えている。As shown in FIGS. 1 and 3, the silicone rubber 10 includes a fixing portion 11 formed in a band shape for fixing in the groove 6, and an air formed in a tube shape continuously from the fixing portion 11. The storage portion 12 and the air storage portion 1 penetrates through the fixed portion 11 to supply air into the air storage portion 12.
2 and a continuous supply connection (not shown).
【0028】そして、このシリコーンゴム10は、その
固定部11の底面に接着された接着部材13によって溝
6に沿って設置されている。このシリコーンゴム10の
形状は、特に限定されるものではなく、断面形状を円形
とすること等、特に限定されるものではい。また、ここ
では伸縮部材として素材をシリコーンゴムを用いて説明
したが、エアの供給排出をある程度繰り返し行っても劣
化しない素材であり、マスク用透光板Mkを均等に押圧
することができるものであれば特に限定されるものでは
ない。The silicone rubber 10 is installed along the groove 6 by the adhesive member 13 adhered to the bottom surface of the fixing portion 11. The shape of the silicone rubber 10 is not particularly limited, and is not particularly limited such that the cross-sectional shape is circular. Although the elastic member is made of silicone rubber as the elastic member here, the elastic member does not deteriorate even if the air is repeatedly supplied and discharged to some extent, and the transparent mask plate Mk can be pressed uniformly. If there is, it is not particularly limited.
【0029】図1および図3に示すように、エア供給排
出手段20は、真空ポンプ21Aと、コンプレッサ21
と、切替弁22,22と、接続ホース23等を備えてお
り、ホース接続部15を介して接続ホース23とシリコ
ーンゴム10の供給接続部とを接続している。なお、ホ
ース接続部15は、逆止弁(図示せず)を備える構成に
すると都合がよい。また、コンプレッサ21および真空
ポンプ21Aは、リーク弁(図示せず)を備えている。
なお、切替弁22の位置は、特に限定されるものではな
い。As shown in FIGS. 1 and 3, the air supply / discharge means 20 includes a vacuum pump 21A and a compressor 21.
, The switching valves 22 and 22, a connection hose 23, etc. are provided, and the connection hose 23 and the supply connection part of the silicone rubber 10 are connected via the hose connection part 15. In addition, it is convenient to configure the hose connection portion 15 to include a check valve (not shown). Further, the compressor 21 and the vacuum pump 21A are equipped with a leak valve (not shown).
The position of the switching valve 22 is not particularly limited.
【0030】図1および図3マスク用透光板Mkは、こ
こでは所定パターンが形成されたマスクフィルムMと、
このマスクフィルムを取り付けるための、所定波長の紫
外線を透過させる石英ガラス、青板ガラス、アクリル板
などの透光板kとを備えている。なお、このマスク用透
光板Mkは、透光板kに直接所定パターンを形成したマ
スクを形成する構成としても構わない。The transparent plate Mk for a mask shown in FIGS. 1 and 3 comprises a mask film M on which a predetermined pattern is formed,
A transparent plate k, such as quartz glass, soda-lime glass, or acrylic plate, for transmitting ultraviolet rays having a predetermined wavelength is provided for attaching the mask film. The mask light-transmitting plate Mk may have a structure in which a mask having a predetermined pattern is directly formed on the light-transmitting plate k.
【0031】つぎに、マスク用透光板固定装置1にマス
ク用透光板Mkを固定する手順を説明する。図4
(a)、(b)、(c)は、マスク用透光板固定装置に
マスク用透光板を固定する手順を示す側断面図である。Next, a procedure for fixing the mask translucent plate Mk to the mask translucent plate fixing device 1 will be described. Figure 4
(A), (b), (c) is side sectional drawing which shows the procedure of fixing the transparent plate for masks to the transparent plate fixing device for masks.
【0032】はじめに、図1および図4(a)に示すよ
うに、透光板ガイド枠2のフラップ9を開放して挿入口
7からマスク用透光板Mkを設置収納部8にスライドさ
せて配置する。このときマスク用透光板Mkは、なるべ
く対面部4に当接させた状態で設置させると都合がよ
い。なお、図4(b)に示すように、マスク用透光板M
kが設置収納部8に配置されたとき、溝6内に設置され
ているシリコーンゴム10は、エア収納部12から真空
ポンプ21A(図3参照)を介してエアが排出されてい
るため、溝6内に収納された状態となっている。First, as shown in FIGS. 1 and 4 (a), the flap 9 of the translucent plate guide frame 2 is opened and the mask translucent plate Mk is slid into the installation / accommodation section 8 through the insertion opening 7. Deploy. At this time, it is convenient to set the mask light-transmitting plate Mk so as to be in contact with the facing portion 4 as much as possible. As shown in FIG. 4B, the mask light-transmitting plate M is used.
When k is placed in the installation storage unit 8, the silicone rubber 10 installed in the groove 6 has its air discharged from the air storage unit 12 via the vacuum pump 21A (see FIG. 3). It is in a state of being stored in 6.
【0033】図4(b)、(c)に示すように、マスク
用透光板固定装置1は、マスク用透光板Mkが設置収納
部8の所定位置に配置されると、フラップ9を閉じて切
替弁22を切り替えコンプレッサ20からエアをシリコ
ーンゴム10のエア収納部12に供給する。このとき、
マスク用透光板Mkは、対面部4側に配置されている
と、シリコーンゴム10が溝6からそのエア収納部12
を膨出させて押圧されたときに、対面部4に押圧される
ときの衝撃を緩和される。As shown in FIGS. 4B and 4C, the mask translucent plate fixing device 1 includes the flap 9 when the mask translucent plate Mk is placed at a predetermined position in the installation / accommodation section 8. When closed, the switching valve 22 is switched and air is supplied from the compressor 20 to the air storage portion 12 of the silicone rubber 10. At this time,
When the mask translucent plate Mk is disposed on the facing portion 4 side, the silicone rubber 10 moves from the groove 6 to the air storage portion 12 thereof.
When bulging out and being pressed, the impact of being pressed by the facing portion 4 is mitigated.
【0034】マスク用透光板固定装置1は、シリコーン
ゴム10のエア収納部12にエアが供給されると、シリ
コーンゴム10のエア収納部12が溝6から膨出してマ
スク用透光板Mkを押圧する。このとき、シリコーンゴ
ム10のエア収納部12は、エアの圧力がマスク用透光
板Mkを押圧するどの部位についても圧力が一定であ
り、かつ点接触ではなく線接触状態でマスク用透光板M
kを押圧することになる。In the mask translucent plate fixing device 1, when air is supplied to the air accommodating part 12 of the silicone rubber 10, the air accommodating part 12 of the silicone rubber 10 bulges out from the groove 6 and the mask translucent plate Mk. Press. At this time, in the air storage portion 12 of the silicone rubber 10, the pressure is constant at any portion where the air pressure presses the mask translucent plate Mk, and the mask translucent plate is in a line contact state instead of a point contact. M
k will be pressed.
【0035】また、マスク用透光板固定装置1は、コン
プレッサ21から所定のエアをエア収納部12に供給す
ると、コンプレッサ21からのエアの供給をアンロー
ダ、圧力開閉器(図示せず)等の機能により停止させて
いる。なお、シリコーンゴム10は、溝6内に設置され
ること、および、光供給側の対面部3に設置されること
により、露光作業時に照射される紫外線の影響を最小限
にすることができる。Further, in the mask translucent plate fixing device 1, when a predetermined air is supplied from the compressor 21 to the air storage portion 12, the air supply from the compressor 21 is performed by an unloader, a pressure switch (not shown), or the like. It is stopped by the function. The silicone rubber 10 is installed in the groove 6 and in the facing portion 3 on the light supply side, so that the influence of ultraviolet rays irradiated during the exposure operation can be minimized.
【0036】また、マスク用透光板固定装置1の透光板
ガイド2からマスク用透光板Mkを取り出す場合は、切
替弁22を切り替え真空ポンプ21Aに切り替えて作動
させることによりシリコーンゴム10のエア収納部12
からエアを抜き取ると共に、そのエア収納部12を収縮
させて溝6内に収納させている。そして、フラップ9を
開放してマスク用透光板Mkを透光板ガイド2の挿入口
7から抜き取っている。以上説明したように、マスク用
透光板固定装置1は、マスク用透光板Mkの周縁をシリ
コーンゴム(伸縮部材)10により均等に押圧して固定
することができる。When the mask light-transmitting plate Mk is taken out from the light-transmitting plate guide 2 of the mask light-transmitting plate fixing device 1, the changeover valve 22 is changed over and the vacuum pump 21A is changed over to operate the silicone rubber 10. Air storage part 12
The air is extracted from the air, and the air storage portion 12 is contracted and stored in the groove 6. Then, the flap 9 is opened and the mask translucent plate Mk is pulled out from the insertion port 7 of the translucent plate guide 2. As described above, the mask translucent plate fixing device 1 can evenly press and fix the peripheral edge of the mask translucent plate Mk by the silicone rubber (expandable member) 10.
【0037】なお、図5(a)、(b)に示すように、
マスク用透光板Mk2は、以下で示す構成としても構わ
ない。図5(a)、(b)はマスク用透光板を示す側断
面図および正面図である。すなわち、マスク用透光板M
k2は、透光板k1の中央を切り取り、その切り取った
位置に、あらかじめ所定パターンを形成したガラス乾板
M1を固定手段(例えば粘着テープおよび裏当て板)T
により固定して構成されている。固定手段Tは、マスク
用透光板Mk2の裏面側周縁に、透光板k1とマスク板
M1の接合位置を覆うように、接合強度を維持するため
の当て板(透光板)k2と、この当て板k2とガラス乾
板M1との接触面側で周縁に形成された吸引溝Sと、ガ
ラス乾板M1と透光板k1との表面側の接合部分に設け
られた粘着テープtとを有している。As shown in FIGS. 5 (a) and 5 (b),
The light-transmitting plate for mask Mk2 may have the following configuration. FIGS. 5A and 5B are a side sectional view and a front view showing the mask translucent plate. That is, the transparent plate M for the mask
For k2, the center of the transparent plate k1 is cut off, and the glass dry plate M1 on which the predetermined pattern is formed is fixed at the cut position (for example, adhesive tape and backing plate) T.
It is configured to be fixed by. The fixing means T is a back plate peripheral edge of the mask light-transmitting plate Mk2, and a backing plate (light-transmitting plate) k2 for maintaining the bonding strength so as to cover the bonding position of the light-transmitting plate k1 and the mask plate M1. It has a suction groove S formed in the peripheral edge on the contact surface side between the backing plate k2 and the glass dry plate M1, and an adhesive tape t provided at the joining portion on the front surface side between the glass dry plate M1 and the light transmitting plate k1. ing.
【0038】また、図6(a)、(b)に示すように、
シリコーンゴム10Aは、以下で示す構成としても構わ
ない。すなわち、シリコーンゴム10は、チュウブ状の
エア収納部12Aと、このエア収納部12Aの後部側
(対面部3A側)で所定間隔に設けた固定部11Aとを
備えている。そして、固定部11Aは、先端側に形成し
た係合部と、この係合部より直径を小さく形成した基幹
部から構成されている。そして、透光板ガイド枠2A
は、シリコーンゴム10Aの取付部6Aを対面部3Aに
所定間隔で穴状に形成している。Further, as shown in FIGS. 6 (a) and 6 (b),
The silicone rubber 10A may have the following configuration. That is, the silicone rubber 10 includes a tube-shaped air storage portion 12A and a fixed portion 11A provided at a predetermined interval on the rear side of the air storage portion 12A (the facing portion 3A side). The fixed portion 11A is composed of an engagement portion formed on the tip side and a backbone portion having a diameter smaller than that of the engagement portion. And the transparent plate guide frame 2A
Has a mounting portion 6A of the silicone rubber 10A formed in a hole shape at a predetermined interval on the facing portion 3A.
【0039】そのため、シリコーンゴム10Aを透光板
ガイド枠2Aとマスク用透光板Mk(Mk2)の間に設
ける場合は、シリコーンゴム10Aの固定部11Aの係
合部を、強制的に透光板ガイド枠2Aの取付部6Aに挿
入して押し込んでいる。Therefore, when the silicone rubber 10A is provided between the translucent plate guide frame 2A and the mask translucent plate Mk (Mk2), the engaging portion of the fixed portion 11A of the silicone rubber 10A is forcibly translucent. It is inserted into the mounting portion 6A of the plate guide frame 2A and pushed in.
【0040】なお、シリコーンゴムは、マスクを平面状
態で用いる場合は、環状チュウブとして形成することで
特に取付部を透光板ガイド側に設けることなく、透光板
ガイドおよびマスク用透光板の間に設けることができ
る。また、シリコーンゴムをマスク用透光板側に接着剤
等により取り付ける構成としても構わない。さらに、シ
リコーンゴムを、フラップを除く周側部に配置してフラ
ップ部の閉鎖により固定する構成としても構わない。ま
た、エア供給排出手段として真空ポンプを併用して使用
したが、コンプレッサを逆回転することでエアの排出を
おこなっても構わない、その場合は、真空ポンプを必要
としない構成となる。When the mask is used in a flat state, the silicone rubber is formed as an annular tube so that the mounting portion is not provided between the transparent plate guide and the transparent plate for the mask. Can be provided. Further, the silicone rubber may be attached to the light-transmitting plate for the mask with an adhesive or the like. Further, the silicone rubber may be arranged on the peripheral side portion excluding the flap and fixed by closing the flap portion. Further, although the vacuum pump is also used as the air supply / discharge means, the air may be discharged by rotating the compressor in the reverse direction. In that case, the vacuum pump is not required.
【0041】[0041]
【発明の効果】本発明は、以上のように構成しているた
め以下の優れた効果を奏する。
(1)マスク用透光板固定装置は、シリコーンゴム等の
伸縮部材によりマスク用透光板を固定することにより、
伸縮部材がマスク用透光板を線接触の状態により均等に
押圧するため、マスク用透光板がくぼみや、反りを生ず
ることなく固定することが可能となる。さらに、マスク
用透光板を線接点で保持することで、ワーク側との真空
密着時におけるマスク用透光板への集中過重が線状とな
り、マスク用透光板の変形、破損が解消できる。そし
て、ワーク側と協同して行う露光作業を連続的に行って
もマスク用透光板に対して変形、破損は見られない。ま
た、伸縮部材全体でマスク用透光板を押圧するため、マ
スク用透光板の固定操作が容易で、かつ、調整作業を必
要とせず固定操作の手間がかからない。なお、マスク用
透光板は、垂直状態あるいは水平状態であっても均等に
押圧されて固定される。Since the present invention is constructed as described above, it has the following excellent effects. (1) The translucent plate fixing device for a mask is configured by fixing the translucent plate for a mask with an elastic member such as silicone rubber.
Since the stretchable member uniformly presses the mask light-transmitting plate in a line contact state, the mask light-transmitting plate can be fixed without indentation or warpage. Furthermore, by holding the mask translucent plate with the line contact, the concentration overload on the mask translucent plate becomes linear when vacuum-contacting the work side, and deformation and damage of the mask translucent plate can be eliminated. . Further, even if the exposure work performed in cooperation with the work side is continuously performed, the mask translucent plate is not deformed or damaged. Further, since the mask light-transmitting plate is pressed by the entire elastic member, the mask light-transmitting plate can be easily fixed, and no adjustment work is required, so that the fixing operation does not take time. The mask translucent plate is evenly pressed and fixed even in the vertical state or the horizontal state.
【0042】(2)マスク用透光板固定装置は、透光板
ガイドの取付部を介して伸縮部材を設置してマスク用透
光板を押圧することにより、伸縮部材の位置が安定した
状態でマスク用透光板を均等に線接触の状態で固定する
ことが可能となる。(2) In the transparent plate fixing device for a mask, the elastic member is installed via the mounting part of the transparent plate guide and the transparent plate for the mask is pressed, so that the position of the elastic member is stable. Thus, it becomes possible to evenly fix the transparent plate for a mask in a state of linear contact.
【0043】(3)マスク用透光板固定装置は、取付部
の構成を溝状に形成しているため、伸縮部材の固定状態
が安定すると共に、マスク用透光板の透光板ガイドに対
する挿入取り出し操作をスムーズに行うことが可能とな
る。さらに、透光板ガイドの厚さ寸法を小さくできる。
また、取付部を光供給側の透光板ガイドにおける対面部
に設けることで、露光時に使用される紫外線等の光線の
影響を最小限に押さえることができるため、伸縮部材の
使用寿命を延ばすことが可能となる。(3) Since the mask light-transmitting plate fixing device has a groove-shaped mounting portion, the fixing state of the elastic member is stable, and the mask light-transmitting plate is fixed to the light-transmitting plate guide. It is possible to smoothly perform the insertion / removal operation. Further, the thickness of the transparent plate guide can be reduced.
Also, by providing the mounting part on the facing part of the light guide plate on the light supply side, it is possible to minimize the effect of light rays such as ultraviolet rays used during exposure, thus extending the service life of the elastic member. Is possible.
【0044】(4)マスク用透光板固定方法は、マスク
用透光板を透光板ガイドに配置して伸縮部材にエアを供
給することで、マスク用透光板を均等に押圧して固定す
ることができるため、マスク用透光板の差し替え設置操
作が簡単迅速で手間がからない。(4) In the method of fixing the transparent plate for mask, the transparent plate for mask is arranged on the transparent plate guide and air is supplied to the expansion / contraction member to uniformly press the transparent plate for mask. Since it can be fixed, the mask translucent plate replacement operation is simple and quick, and does not require any labor.
【0045】(5)マスク用透光板固定装置は、マスク
用透光板に対して線接触の状態で固定できるため、特
に、マスクをガラス乾板とする場合に、マスク側との真
空密着の際に集中過重が軽減することから変形、破損あ
るいは傷、欠損に対する原因が極めて顕著に解消でき
る。また、マスク用透光板を線接触として固定できるこ
とから、部分的なひずみ、反りが発生することがなく、
ワーク側との真空密着させる際に、エアー溜まりによる
密着不良、真空時間の延長がなく、短時間でマスク側と
ワーク側とが真空密着できる。(5) Since the mask light-transmitting plate fixing device can fix the mask light-transmitting plate in line contact with the mask light-transmitting plate, in particular, when the mask is a glass dry plate, vacuum adhesion to the mask side is ensured. At this time, the concentration overload is reduced, so that the causes for deformation, damage, scratches, and defects can be remarkably eliminated. Also, since the mask translucent plate can be fixed as a line contact, no partial distortion or warpage occurs,
When vacuum-contacting the work side, the mask side and the work side can be vacuum-contacted in a short time without a poor adhesion due to air accumulation and extension of the vacuum time.
【0046】(6)マスク用透光板固定装置は、マスク
用透光板を伸縮部材により押圧するため、マスク用透光
板の設置方向が垂直方向であっても水平方向であって
も、線接触となる状態で均等に押圧して固定することが
可能となる。(6) Since the mask translucent plate fixing device presses the mask translucent plate with the elastic member, whether the mask translucent plate is installed vertically or horizontally, It becomes possible to press and fix evenly in the state of line contact.
【図1】本発明に係るマスク用透光板固定装置の全体を
模式的に示す分解斜視図である。FIG. 1 is an exploded perspective view schematically showing the entire transparent plate fixing device for a mask according to the present invention.
【図2】本発明に係るマスク用透光板固定装置の透光板
ガイド枠を一部断面にした状態を示す正面立断面図であ
る。FIG. 2 is a front elevational sectional view showing a state in which the translucent plate guide frame of the translucent plate fixing device for a mask according to the present invention is partially sectioned.
【図3】本発明に係るマスク用透光板固定装置の透光板
ガイド枠を示す側断面図である。FIG. 3 is a side sectional view showing a transparent plate guide frame of the transparent plate fixing device for a mask according to the present invention.
【図4】(a)、(b)、(c)は、本発明に係るマス
ク用透光板固定装置にマスク用透光板を固定する手順を
示す側断面図である。4 (a), (b) and (c) are side sectional views showing a procedure for fixing a mask translucent plate to the mask translucent plate fixing device according to the present invention.
【図5】(a)、(b)は、本発明に係るマスク用透光
板固定装置に用いる他の実施形態を表すマスク用透光板
を示す側断面図および正面図である。5A and 5B are a side sectional view and a front view showing a mask translucent plate representing another embodiment used in the mask translucent plate fixing device according to the present invention.
【図6】(a)、(b)は、本発明に係るマスク用透光
板固定装置に用いる他の実施形態を表す伸縮部材および
取付部を示す模式図である。6 (a) and 6 (b) are schematic views showing an elastic member and an attachment portion representing another embodiment used in the mask translucent plate fixing device according to the present invention.
Mk マスク用透光板 M マスクフィルム k 透光板 d 間隙 D 収納横幅間隔 1 マスク用透光板固定装置 2 透光板ガイド枠 3 対面部 4 対面部 5 周側部 6 溝(取付部) 7 挿入口 8 設置収納部 9 フラップ 10 シリコーンゴム(伸縮部材) 11 固定部 12 エア収納部 13 接着部材 15 ホース接続部 20 コンプレッサ(エア供給排出手段) 21 コンプレッサ本体 21A 真空ポンプ(エア供給排出手段) 22 切替弁 23 接続ホース Translucent plate for Mk mask M mask film k transparent plate d gap D storage width interval 1 Translucent plate fixing device for mask 2 Light guide plate frame 3 Face-to-face 4 Face-to-face 5 lap side 6 groove (mounting part) 7 insertion slot 8 installation storage 9 flaps 10 Silicone rubber (elastic member) 11 Fixed part 12 Air storage 13 Adhesive members 15 Hose connection 20 Compressor (air supply and discharge means) 21 Compressor body 21A Vacuum pump (Air supply and discharge means) 22 Switching valve 23 Connection hose
Claims (6)
るマスク用透光板を固定するマスク用透光板固定装置で
あって、 前記マスク用透光板を支持する透光板ガイド枠と、この
透光板ガイド枠と前記マスク用透光板と対面する位置に
設けた伸縮部材と、この伸縮部材を伸張収縮させるため
のエア供給排出手段とを備えることを特徴とするマスク
用透光板固定装置。1. A mask light-transmitting plate fixing device for fixing a mask light-transmitting plate, which is arranged to face a substrate in an exposure apparatus, and a light-transmitting plate guide frame for supporting the mask light-transmitting plate. A mask light-transmitting member, comprising: the light-transmitting plate guide frame; an elastic member provided at a position facing the mask light-transmitting plate; and an air supply / discharge unit for expanding and contracting the elastic member. Plate fixing device.
るマスク用透光板を固定するマスク用透光板固定装置で
あって、 前記マスク用透光板を支持する透光板ガイド枠と、この
透光板ガイド枠の前記マスク用透光板と対面する対面部
に沿って設けた取付部と、この取付部に設置される伸縮
部材と、この伸縮部材を伸張収縮させるためのエア供給
排出手段とを備えることを特徴とするマスク用透光板固
定装置。2. A mask light-transmitting plate fixing device for fixing a mask light-transmitting plate, which is arranged to face a substrate in an exposure apparatus, and a light-transmitting plate guide frame for supporting the mask light-transmitting plate. An attaching portion provided along the facing portion of the light transmitting plate guide frame facing the light transmitting plate for the mask; an elastic member installed on the attaching portion; and an air supply for expanding and contracting the elastic member. A transparent plate fixing device for a mask, comprising: an ejecting unit.
たときにその溝内から膨出して前記マスク用透光板を押
圧するように形成されることを特徴とする請求項2に記
載のマスク用透光板固定装置。3. The mounting portion is formed in a groove shape, and the elastic member is installed in the groove, and when expanded, bulges out of the groove and presses the mask translucent plate. The transparent plate fixing device for a mask according to claim 2, wherein the transparent plate fixing device for a mask is formed.
めの固定部と、この固定部に設けたエア収納部とを備え
たことを特徴とする請求項2または請求項3に記載のマ
スク用透光板固定装置。4. The expanding / contracting member includes a fixing portion for fixing to the mounting portion, and an air storage portion provided in the fixing portion, according to claim 2 or 3. A transparent plate fixing device for masks.
射する光供給側の前記対面部に設けられたことを特徴と
する請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の
マスク用透光板固定装置。5. The stretchable member is provided on the facing portion on the light supply side that is incident on the mask translucent plate, according to any one of claims 1 to 3. Device for fixing transparent plate for mask.
配置される透光板ガイド枠に、マスク用透光板を固定す
るマスク固定方法であって、 前記マスク用透光板を、前記透光板ガイド枠に配置する
第1工程と、 配置された前記マスク用透光板の周縁で、前記透光板ガ
イド枠にあらかじめ設けられている伸縮部材を、エア供
給排出手段を介して伸張させ、前記マスク用透光板を前
記透光ガイドに押圧する第2工程とを備えることを特徴
とするマスク固定方法。6. A mask fixing method for fixing a mask light-transmitting plate to a light-transmitting plate guide frame arranged facing a substrate holding portion in an exposure apparatus, wherein the mask light-transmitting plate is The first step of arranging on the translucent plate guide frame, and at the peripheral edge of the arranged translucent plate for the mask, the elastic member previously provided on the translucent plate guide frame is expanded through the air supply / discharge means. And a second step of pressing the transparent plate for mask against the transparent guide.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001331302A JP2003131403A (en) | 2001-10-29 | 2001-10-29 | Device for fixing translucent plate for mask and method for the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001331302A JP2003131403A (en) | 2001-10-29 | 2001-10-29 | Device for fixing translucent plate for mask and method for the same |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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ID=19146905
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Country Status (1)
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---|---|
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007206575A (en) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Orc Mfg Co Ltd | Mask holding mechanism |
JP2012089589A (en) * | 2010-10-15 | 2012-05-10 | Ulvac Japan Ltd | Substrate holder and substrate transfer apparatus |
-
2001
- 2001-10-29 JP JP2001331302A patent/JP2003131403A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2007206575A (en) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Orc Mfg Co Ltd | Mask holding mechanism |
JP2012089589A (en) * | 2010-10-15 | 2012-05-10 | Ulvac Japan Ltd | Substrate holder and substrate transfer apparatus |
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