JP2003098063A - Inspection tool - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inspection tool for adhesiveness inspection capable of upgrading the inspection accuracy of an adhesiveness inspection and improving the work efficiency. SOLUTION: The inspection tool 3 of this invention, used for inspecting a film developed on a base surface, has a base body 21, guiding means 15 arranged on the base body 21 capable of guiding a cutting member used for cutting off the film developed on the base surface and forming cut lines on the film, and positioning means 16-18. The positioning means position the base body 21 with respect to the film with a first cut line formed on the film by using the cutting member guided by the guiding means 15, in the meantime, they position the base body 21 with respect to the film with a second cut line crossing the first cut line formed on the film by using the cutting member guided by the guiding means 15.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は検査用治具に関
し、より特定的には、基板上に形成された薄膜の密着性
の検査に用いる検査用治具に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection jig, and more particularly to an inspection jig used for inspecting the adhesion of a thin film formed on a substrate.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来、液晶表示装置などの製造工程で
は、ガラスなどからなる基板の表面上にアルミニウム
（Ａｌ）などの金属膜や有機膜などからなる薄膜を形成
している。この薄膜は、下地としてのガラス基板から容
易に剥がれ落ちたりしないように、良好な密着性を示す
ことが求められる。そのため、基板上に形成された薄膜
の基板に対する密着性を確認するための密着性検査が従
来から行われている。この密着性検査の方法は、概略以
下のようなものである。図１２および図１３は、従来の
密着性検査方法を説明するための斜視模式図である。図
１２および図１３を参照して、従来の密着性検査の方法
を説明する。2. Description of the Related Art Conventionally, in a manufacturing process of a liquid crystal display device or the like, a thin film made of a metal film such as aluminum (Al) or an organic film is formed on the surface of a substrate made of glass or the like. This thin film is required to exhibit good adhesion so as not to be easily peeled off from the glass substrate as the base. Therefore, an adhesion test for confirming the adhesion of the thin film formed on the substrate to the substrate has been conventionally performed. The method of this adhesion test is roughly as follows. 12 and 13 are schematic perspective views for explaining a conventional adhesion inspection method. A conventional adhesion inspection method will be described with reference to FIGS. 12 and 13.

【０００３】図１２に示すように、その表面上に薄膜１
０２が形成されたガラス基板１０１を準備する。この薄
膜１０２に、ものさし１０７に沿って切断刃１０８を矢
印１２６の方向にスライドさせることにより切込線１２
３、１２４を形成する。切込線１２３と切込線１２４と
は、互いにほぼ９０°の角度で交わるように形成され
る。この結果、薄膜１０２の表面には正方形状の薄膜部
分１０９がマトリックス状に複数個配置された領域を形
成できる。薄膜部分１０９の形状としては、たとえば一
辺が１ｍｍの正方形状であってもよい。また、上記領域
では、薄膜部分１０９が１００個形成されていてもよい
（正方形状の薄膜部分１０９が、１０行×１０列に配置
されていてもよい）。As shown in FIG. 12, a thin film 1 is formed on the surface of the thin film 1.
A glass substrate 101 on which 02 is formed is prepared. The cutting line 12 is slid on the thin film 102 along the ruler 107 in the direction of the arrow 126.
3, 124 are formed. The score line 123 and the score line 124 are formed so as to intersect each other at an angle of approximately 90 °. As a result, a region in which a plurality of square thin film portions 109 are arranged in a matrix can be formed on the surface of the thin film 102. The shape of the thin film portion 109 may be, for example, a square shape having a side of 1 mm. Further, 100 thin film portions 109 may be formed in the above region (square thin film portions 109 may be arranged in 10 rows × 10 columns).

【０００４】次に、図１３に示すように、薄膜部分１０
９が形成された領域に粘着テープ１１０を貼り付ける。
そして、この粘着テープ１１０を矢印１２８に示すよう
に薄膜１０２から引剥がす。このとき、ガラス基板１０
１と薄膜１０２との密着性が不充分な領域では、ガラス
基板１０１から剥がれた薄膜部分１２７が粘着テープ１
１０に付着した状態になる。この粘着テープ１１０に付
着した薄膜部分１２７の個数により、薄膜１０２のガラ
ス基板１０１に対する密着性を評価することができる。Next, as shown in FIG. 13, the thin film portion 10
Adhesive tape 110 is attached to the area where 9 is formed.
Then, the adhesive tape 110 is peeled off from the thin film 102 as shown by an arrow 128. At this time, the glass substrate 10
1 and the thin film 102 have insufficient adhesion, the thin film portion 127 peeled from the glass substrate 101 is the adhesive tape 1.
It will be in a state of being attached to 10. The adhesiveness of the thin film 102 to the glass substrate 101 can be evaluated by the number of the thin film portions 127 attached to the adhesive tape 110.

【０００５】図１２および図１３に示した密着性検査で
は、ものさし１０７を利用して、薄膜１０２にマトリッ
クス状に配置された正方形状の薄膜部分１０９を形成し
ている。この薄膜部分１０９の形成方法を、図１４〜図
１７を参照してより詳しく説明する。図１４〜図１７
は、従来の密着性検査方法において正方形状の薄膜部分
を形成する工程を説明するための平面模式図である。In the adhesion test shown in FIGS. 12 and 13, a ruler 107 is used to form square thin film portions 109 arranged in a matrix on the thin film 102. A method of forming the thin film portion 109 will be described in more detail with reference to FIGS. 14 to 17
[FIG. 3] is a schematic plan view for explaining a step of forming a square thin film portion in a conventional adhesion inspection method.

【０００６】図１４に示すように、まず薄膜１０２の表
面にものさし１０７を用いて所定の間隔を隔てて配置さ
れた１１個の目印１１１を形成する。この目印１１１
は、マジックなどを用いて薄膜１０２の表面に書き込ま
れている。目印１１１は等間隔に配置されている。そし
て、薄膜１０２の表面において目印１１１とは間隔を隔
てた領域（図１４において目印１１１の下方に位置する
領域）に、目印１１１と同様の手法により１１個の目印
１１２を形成する。目印１１２も、マジックなどを用い
て薄膜１０２の表面に書き込まれている。目印１１２
は、目印１１１と対向して等間隔に配置されている。As shown in FIG. 14, first, eleven marks 111 arranged at a predetermined interval are formed on the surface of the thin film 102 using a ruler 107. This mark 111
Are written on the surface of the thin film 102 by using a marker or the like. The marks 111 are arranged at equal intervals. Then, on the surface of the thin film 102, eleven marks 112 are formed in a region separated from the mark 111 (a region located below the mark 111 in FIG. 14) by the same method as the mark 111. The mark 112 is also written on the surface of the thin film 102 using magic or the like. Mark 112
Are arranged at equal intervals so as to face the marks 111.

【０００７】次に、図１５に示すように、目印１１１が
整列した方向とは９０°の角度で交わる方向に沿って、
１１個の目印１１３を等間隔に形成する。また、目印１
１３と対向する領域に、１１個の目印１１４を等間隔に
形成する。なお、目印１１３、１１４は、目印１１１、
１１２と同様にものさし１０７を用いて、薄膜１０２の
表面にマジックにより書き込まれている。Next, as shown in FIG. 15, along the direction intersecting with the direction in which the marks 111 are aligned at an angle of 90 °,
Eleven marks 113 are formed at equal intervals. Also, mark 1
Eleven marks 114 are formed at equal intervals in a region facing 13. The marks 113 and 114 are the marks 111 and
As with 112, a ruler 107 is used to write on the surface of the thin film 102 by magic.

【０００８】次に、図１６に示すように、対向するよう
に配置された目印１１１と目印１１２とに合せるように
ものさし１０７を配置する。そして、このものさし１０
７に沿ってカッターなどの切断刃１０８により薄膜１０
２を切断する。この結果、切込線１２３が形成される。
互いに対向して配置された目印１１１、１１２の組ごと
に、ものさし１０７に沿って切断刃１０８により薄膜１
０２を切断する。この結果、１１本の切込線１２３を形
成できる。Next, as shown in FIG. 16, a ruler 107 is arranged so as to match the mark 111 and the mark 112 which are arranged so as to face each other. And this ruler 10
7 along with the cutting blade 108 such as a cutter
Cut 2. As a result, the cut line 123 is formed.
For each set of marks 111, 112 arranged opposite to each other, the thin film 1 is cut by the cutting blade 108 along the ruler 107.
02 is cut. As a result, 11 cut lines 123 can be formed.

【０００９】次に、図１７に示すように、ものさし１０
７を９０°回転させて、対向する目印１１３、１１４に
沿ってものさし１０７を配置する。そして、このものさ
し１０７に沿って切断刃１０８をスライドさせることに
より、薄膜１０２に切込線１２４を形成する。互いに対
向して配置された目印１１３、１１４の組ごとに、もの
さし１０７に沿って切断刃１０８により薄膜１０２を切
断する。この結果、１１本の切込線１２４を形成でき
る。このようにすれば、薄膜１０２の表面に、マトリッ
クス状に配置され、切込線１２３、１２４により囲まれ
た正方形状の薄膜部分１０９を形成できる。Next, as shown in FIG. 17, the ruler 10
7 is rotated by 90 °, and the ruler 107 is arranged along the opposing marks 113 and 114. Then, by sliding the cutting blade 108 along the ruler 107, the cut line 124 is formed in the thin film 102. The thin film 102 is cut by the cutting blade 108 along the ruler 107 for each set of the marks 113 and 114 arranged to face each other. As a result, 11 cut lines 124 can be formed. In this way, a square thin film portion 109 arranged in a matrix and surrounded by the cut lines 123 and 124 can be formed on the surface of the thin film 102.

【００１０】[0010]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の密着性
検査方法では、以下に述べるような問題があった。すな
わち、図１４〜１７に示したように、従来は、正方形状
の薄膜部分１０９を形成するため、ものさし１０７を用
いて目印１１１〜１１４を形成している（マジックで薄
膜１０２の表面に目印１１１〜１１４を手作業で書き込
んでいる）。このため、目印１１１〜１１４の位置や形
状がばらつくことがあった。However, the above-mentioned adhesion inspection method has the following problems. That is, as shown in FIGS. 14 to 17, conventionally, in order to form the thin film portion 109 having a square shape, the marks 111 to 114 are formed by using the ruler 107 (the mark 111 is formed on the surface of the thin film 102 with a magic marker). ~ 114 is written manually). Therefore, the positions and shapes of the marks 111 to 114 may vary.

【００１１】また、切込線１２３、１２４を形成する
際、目印１１１〜１１４に合せてものさし１０７を配置
する。このとき、ものさし１０７は、目印１１１〜１１
４のほぼ中央部に合せて配置される。しかし、目印１１
１〜１１４の形状がほぼ完全な円形状でない場合、目視
でものさし１０７の位置を合せても、ものさし１０７の
位置が所定の位置からずれてしまう場合があった。この
ような場合、形成される切込線１２３、１２４の位置
が、本来切込線１２３、１２４が形成されるべき位置か
らずれる（ばらつく）ことになっていた。Further, when forming the cut lines 123 and 124, the scale 107 is arranged so as to align with the marks 111 to 114. At this time, the ruler 107 has the marks 111 to 11
4 is aligned with the substantially central portion. However, mark 11
When the shapes of 1 to 114 are not substantially perfect circular shapes, the position of the ruler 107 may be deviated from the predetermined position even if the position of the ruler 107 is aligned visually. In such a case, the positions of the cut lines 123 and 124 to be formed are deviated (varied) from the positions where the cut lines 123 and 124 should be originally formed.

【００１２】このため、図１７に示すように、互いに平
行になるように形成されるべき切込線１２３同士、ある
いは切込線１２４同士が平行にならないという状態が発
生する。したがって、形成される薄膜部分１０９は、正
確な正方形状とはならず、そのサイズや形状がばらつく
ことになっていた。For this reason, as shown in FIG. 17, a state occurs in which the cut lines 123 or the cut lines 124 which should be formed to be parallel to each other are not parallel to each other. Therefore, the formed thin film portion 109 does not have an accurate square shape, and its size and shape are varied.

【００１３】このように、薄膜部分１０９のサイズや形
状がばらつくと、薄膜部分１０９ごとにガラス基板１０
１からの剥がれやすさが異ることになる。この結果、密
着性検査を正確に行えない（検査精度が低下する）とい
う問題が発生していた。As described above, when the size and shape of the thin film portion 109 vary, the glass substrate 10 is different for each thin film portion 109.
The ease of peeling from 1 will be different. As a result, there has been a problem that the adhesion test cannot be performed accurately (inspection accuracy decreases).

【００１４】なお、切断刃１０８を用いて精度よく直線
状の切込線を形成するため、たとえば特開平６−１０５
９７２号公報には、カッターナイフを複数のガイドシャ
フトで保持することにより、安定して直線状の切込線を
形成できるというカッターナイフ用直線定規が開示され
ている。しかし、上記特開平６−１０５９７２号に開示
されたカッターナイフ用直線定規を上述した密着性検査
のための薄膜部分１０９を形成する工程に適用しても、
このカッターナイフ用直線定規の位置合せをマジックで
書き込んだ目印１１１〜１１４で行うかぎり、上述の問
題が発生する。In order to accurately form a linear cutting line using the cutting blade 108, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 6-105.
Japanese Patent Publication No. 972 discloses a straight-line ruler for a cutter knife, which can stably form a straight cutting line by holding the cutter knife with a plurality of guide shafts. However, even if the straight-line ruler for a cutter knife disclosed in JP-A-6-105972 is applied to the step of forming the thin film portion 109 for the adhesion inspection described above,
As long as the alignment of the straight line ruler for the cutter knife is performed with the marks 111 to 114 written with a marker, the above-mentioned problem occurs.

【００１５】また、上述した従来の密着性検査では、目
印１１１〜１１４を多数（図１４〜１７に示した例では
４４個）形成する必要がある。このため、密着性検査の
ために要する作業時間が長くなるので、作業効率が低下
する要因となっていた。Further, in the above-described conventional adhesion test, it is necessary to form a large number of marks 111 to 114 (44 marks in the example shown in FIGS. 14 to 17). For this reason, the work time required for the adhesion test becomes long, which causes a decrease in work efficiency.

【００１６】この発明は、上記のような課題を解決する
ためになされたものであり、この発明の目的は、密着性
検査の検査精度を向上させると同時に、作業効率を向上
させることが可能な密着性検査用の検査用治具を提供す
ることである。The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to improve the inspection accuracy of the adhesion inspection and at the same time improve the working efficiency. An object is to provide an inspection jig for adhesion inspection.

【００１７】[0017]

【課題を解決するための手段】この発明による検査用治
具は、基板表面上に形成された薄膜の検査に用いる検査
用治具であって、基体と、基体に配置され、基板表面に
形成された薄膜を切断して薄膜に切断線を形成するため
の切断部材を案内可能なガイド手段と、ガイド手段によ
り案内された切断部材を用いて薄膜に第１の切断線を形
成するように、薄膜に対する基体の位置を決定する一
方、ガイド手段により案内された切断部材を用いて第１
の切断線と交差する第２の切断線を薄膜に形成するよう
に、薄膜に対する基体の位置を決定する位置決め手段と
を備える。An inspection jig according to the present invention is an inspection jig used for inspecting a thin film formed on a substrate surface and is formed on a substrate and a substrate and formed on the substrate surface. Guide means capable of guiding a cutting member for cutting the formed thin film to form a cutting line on the thin film, and forming a first cutting line on the thin film by using the cutting member guided by the guide means, While determining the position of the substrate with respect to the thin film, the cutting member guided by the guide means is used to
Positioning means for determining the position of the substrate with respect to the thin film so as to form a second cutting line in the thin film which intersects the cutting line of.

【００１８】このようにすれば、本発明による検査用治
具を用いることにより、薄膜の表面において第１の切断
線と、この第１の切断線に交差する第２の切断線を容易
かつ正確に形成できる。そして、第１の切断線が等間隔
に配置され互いに平行な複数の直線状切断線を含み、第
２の切断線が等間隔に配置され互いに平行な複数の直線
状切断線を含むような場合、これらの直線状切断線によ
り、ほぼ等しいサイズおよび形状である四角形状の薄膜
部分を複数個形成できる。この薄膜部分を、薄膜の密着
性検査に利用すれば、この複数の薄膜部分はいずれもサ
イズおよび形状がほぼ一定であるので、密着性検査の検
査精度を向上させることができる。According to this structure, by using the inspection jig according to the present invention, the first cutting line and the second cutting line intersecting with the first cutting line can be easily and accurately formed on the surface of the thin film. Can be formed into In the case where the first cutting line includes a plurality of linear cutting lines which are arranged at equal intervals and are parallel to each other, and the second cutting line includes a plurality of linear cutting lines which are arranged at equal intervals and are parallel to each other. With these straight cutting lines, it is possible to form a plurality of square thin film portions having substantially the same size and shape. When this thin film portion is used for the adhesion inspection of the thin film, the plurality of thin film portions have substantially the same size and shape, so that the inspection accuracy of the adhesion inspection can be improved.

【００１９】また、ガイド手段により切断部材を案内す
ることにより、薄膜に切断線を形成できるので、従来の
ように薄膜の表面に多数の目印をマジックなどで書き込
むと言った作業を行う必要がない。したがって、密着性
検査の作業時間を短縮できるので、作業効率を向上させ
ることができる。Further, since the cutting line can be formed in the thin film by guiding the cutting member by the guide means, it is not necessary to perform a work such as writing a large number of marks on the surface of the thin film with a marker or the like unlike the prior art. . Therefore, the work time of the adhesion test can be shortened, and the work efficiency can be improved.

【００２０】この発明による検査用治具において、ガイ
ド手段は、薄膜においてほぼ等しい距離を隔ててほぼ平
行に延びる複数の切断線を形成するように切断部材を案
内することが好ましい。In the inspection jig according to the present invention, it is preferable that the guide means guides the cutting member so as to form a plurality of cutting lines extending substantially parallel to each other in the thin film at substantially equal distances.

【００２１】この場合、本発明による検査用治具を用い
て、薄膜の表面において互いに交差する２つの切断線群
を形成できる。それぞれの切断線群は、ほぼ等しい距離
を隔てて平行に延びるように配置された複数の切断線を
含む。したがって、２つの切断線群が形成された領域で
は、この２つの切断線群を構成する切断線で囲まれ、ほ
ぼ等しいサイズおよび形状を有する複数の四角形状の領
域（薄膜部分）がマトリックス状に配置された状態にな
る。この薄膜部分を、薄膜の密着性検査に利用すれば、
上記複数の薄膜部分はいずれもサイズおよび形状がほぼ
一定であることから、密着性検査の検査精度を確実に向
上させることができる。In this case, the inspection jig according to the present invention can be used to form two cutting line groups intersecting each other on the surface of the thin film. Each cutting line group includes a plurality of cutting lines arranged to extend in parallel at substantially equal distances. Therefore, in the region where the two cutting line groups are formed, a plurality of rectangular regions (thin film portions) that are surrounded by the cutting lines that form the two cutting line groups and have substantially the same size and shape are arranged in a matrix. It will be placed. If this thin film part is used for the adhesion inspection of the thin film,
Since all of the plurality of thin film portions have substantially the same size and shape, it is possible to reliably improve the inspection accuracy of the adhesion inspection.

【００２２】この発明による検査用治具において、第１
の切断線と第２の切断線とのなす角度はほぼ９０°であ
ることが好ましい。In the inspection jig according to the present invention, the first
It is preferable that the angle formed by the cutting line of (1) and the second cutting line is approximately 90 °.

【００２３】この場合、第１および第２の切断線がそれ
ぞれ複数の平行な直線状切断線を含むようにすれば、こ
の第１および第２の切断線により囲まれた領域（薄膜部
分）をほぼ正方形状にすることができる。この結果、正
方形状の薄膜部分を用いて薄膜の密着性検査を行なうこ
とが可能になる。In this case, if each of the first and second cutting lines includes a plurality of parallel linear cutting lines, the region (thin film portion) surrounded by the first and second cutting lines is formed. It can have a substantially square shape. As a result, it becomes possible to perform the adhesion test of the thin film using the square thin film portion.

【００２４】この発明による検査用治具において、位置
決め手段は、基体の外周部において互いに交差する方向
に延びる２つの辺の長さがほぼ等しいことを含んでいて
もよい。In the inspection jig according to the present invention, the positioning means may include that the lengths of two sides extending in the direction intersecting with each other on the outer peripheral portion of the base body are substantially equal to each other.

【００２５】この場合、上記第１の切断線を形成する際
に、上記２つの辺のうちの１つの辺の位置を示すマーク
を薄膜に形成する。そして、第２の切断線を形成する際
には、上記２つの辺のうちの他の１辺を、上記マークに
合せて配置する。この状態で、ガイド手段を用いて切断
部材により薄膜に第２の切断線を形成すれば、第１の切
断線と交差する第２の切断線を容易に形成することがで
きる。In this case, when forming the first cutting line, a mark indicating the position of one of the two sides is formed on the thin film. Then, when forming the second cutting line, the other one of the two sides is aligned with the mark. In this state, if the second cutting line is formed on the thin film by the cutting member using the guide means, the second cutting line intersecting with the first cutting line can be easily formed.

【００２６】また、基体の外周部の２つの辺の長さを等
しくするという比較的簡単な構造により位置決め手段を
実現できるので、検査用治具の構造を簡略化できる。こ
の結果、検査用治具の製造コストを低減できる。Since the positioning means can be realized by a relatively simple structure in which the lengths of the two sides of the outer peripheral portion of the base are made equal, the structure of the inspection jig can be simplified. As a result, the manufacturing cost of the inspection jig can be reduced.

【００２７】この発明による検査用治具において、基体
には、薄膜に形成された切断線を確認するための確認用
開口部が形成されていることが好ましい。In the inspection jig according to the present invention, it is preferable that the substrate has a confirmation opening for confirming the cutting line formed in the thin film.

【００２８】この場合、第２の切断線を形成する際、薄
膜上に検査用治具を配置した状態で、すでに形成した第
１の切断線を確認することが可能なように確認用開口部
を形成することが好ましい。また、第２の切断線を形成
する際に、確認用開口部が、第１の切断線の一部が位置
する領域（たとえば第１の切断線の端部が位置する領
域）上に配置されるように、基体における確認用開口部
の位置を決定することが好ましい。このようにすれば、
第２の切断線を形成する際に、第１の切断線と第２の切
断線との相対的な位置を確認することにより、検査用治
具の薄膜に対する位置決めを正確に行うことができる。
この結果、検査用治具の位置決めを行なうために、薄膜
の表面に別途マーキングなどを行う必要が無い。したが
って、密着性検査の作業を簡略化できる。In this case, when the second cutting line is formed, the confirmation opening is formed so that the already formed first cutting line can be confirmed with the inspection jig arranged on the thin film. Is preferably formed. Further, when forming the second cutting line, the confirmation opening is arranged on a region where a part of the first cutting line is located (for example, a region where an end of the first cutting line is located). Thus, it is preferable to determine the position of the confirmation opening in the substrate. If you do this,
By confirming the relative positions of the first cutting line and the second cutting line when forming the second cutting line, the inspection jig can be accurately positioned with respect to the thin film.
As a result, it is not necessary to separately mark the surface of the thin film in order to position the inspection jig. Therefore, the work of the adhesion test can be simplified.

【００２９】この発明による検査用治具において、基体
の表面にはゴム層が形成されていてもよい。In the inspection jig according to the present invention, a rubber layer may be formed on the surface of the substrate.

【００３０】ここで、検査用治具を薄膜上に配置する場
合に、基体において薄膜と接触する部分の表面にゴム層
を形成することが好ましい。この場合、ゴム層と薄膜と
の接触部は滑りにくくなるので、薄膜上に検査用治具を
配置した状態で切断線を形成する際に、薄膜に対する検
査用治具の位置がずれることを防止できる。したがっ
て、薄膜において切断線を正確に形成できる。Here, when disposing the inspection jig on the thin film, it is preferable to form a rubber layer on the surface of the portion of the substrate that comes into contact with the thin film. In this case, since the contact part between the rubber layer and the thin film is less likely to slip, when the cutting line is formed with the inspection jig placed on the thin film, the position of the inspection jig with respect to the thin film is prevented from shifting. it can. Therefore, the cutting line can be accurately formed in the thin film.

【００３１】この発明による検査用治具において、基体
の表面には樹脂層が形成されていてもよい。In the inspection jig according to the present invention, a resin layer may be formed on the surface of the substrate.

【００３２】ここで、検査用治具を薄膜上に配置する場
合に、基体において薄膜と接触する部分の表面に樹脂層
を形成しておけば、樹脂層と薄膜との接触部は滑りにく
くなる。このため、薄膜上に検査用治具を配置した状態
で切断線を形成する際に、薄膜に対する検査用治具の位
置がずれることを防止できる。したがって、ゴム層を基
体の表面に形成する場合と同様に、薄膜において切断線
を正確に形成できる。Here, when the inspection jig is arranged on the thin film, if the resin layer is formed on the surface of the portion of the substrate that contacts the thin film, the contact portion between the resin layer and the thin film is less likely to slip. . Therefore, when the cutting line is formed in the state where the inspection jig is arranged on the thin film, it is possible to prevent the position of the inspection jig from being displaced with respect to the thin film. Therefore, similar to the case where the rubber layer is formed on the surface of the substrate, the cutting line can be accurately formed in the thin film.

【００３３】この発明による検査用治具において、基体
には突起部が形成されていることが好ましい。In the inspection jig according to the present invention, it is preferable that the substrate has a protrusion.

【００３４】この場合、作業者が検査用治具を取り扱う
際の取っ手として、突起部を利用できる。したがって、
検査用治具の取扱い（ハンドリング）を容易に行うこと
ができる。この結果、薄膜上において検査用治具を誤っ
てすべらせることにより薄膜に擦り傷が発生するといっ
た事故の発生を効果的に抑制できる。In this case, the protrusion can be used as a handle when the operator handles the inspection jig. Therefore,
The inspection jig can be easily handled. As a result, it is possible to effectively suppress the occurrence of accidents such as scratches on the thin film caused by accidentally sliding the inspection jig on the thin film.

【００３５】[0035]

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態を説明する。なお、以下の図面において同一ま
たは相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は
繰返さない。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following drawings, the same or corresponding parts will be denoted by the same reference numerals and the description thereof will not be repeated.

【００３６】（実施の形態１）図１は、本発明による検
査用治具の実施の形態１を示す平面模式図である。図２
は、図１の線分ＩＩ−ＩＩにおける断面模式図である。
図１および２を参照して、本発明による検査用治具の実
施の形態１を説明する。(Embodiment 1) FIG. 1 is a schematic plan view showing Embodiment 1 of an inspection jig according to the present invention. Figure 2
FIG. 2 is a schematic sectional view taken along line II-II in FIG. 1.
Embodiment 1 of an inspection jig according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

【００３７】図１および２を参照して、検査用治具は薄
膜の密着性検査を行なうために用いられる検査用治具で
あり、ステンレス製の基体としての治具本体２１に突起
部としての取っ手１９が設置されている。この治具本体
２１には、後述するようにカッターなどの刃先を案内す
るため直線状に延びるガイド穴１５が複数個形成されて
いる。ガイド手段としてのガイド穴１５は、それぞれ互
いにほぼ平行となるように形成されている。また、この
ガイド穴１５の間の距離Ｐ（隣接するガイド穴１５の中
央部同士の間の距離）は、ほぼ一定の値になっている。
また、ガイド穴１５の延びる方向における長さはいずれ
もほぼ一定の値となっている。また、ガイド穴１５の幅
Ｗ３も、いずれのガイド穴１５においてもほぼ一定の値
になっている。この結果、後述するようにガイド穴１５
を用いてほぼ等しい距離を隔ててほぼ平行に延びる複数
の切込線２３、２４（図９参照）を形成できる。With reference to FIGS. 1 and 2, the inspection jig is an inspection jig used for inspecting the adhesion of a thin film, and is used as a protrusion on a jig main body 21 as a stainless steel base. A handle 19 is installed. The jig main body 21 is provided with a plurality of linearly extending guide holes 15 for guiding the cutting edge of a cutter or the like as described later. The guide holes 15 as guide means are formed so as to be substantially parallel to each other. The distance P between the guide holes 15 (the distance between the central portions of the adjacent guide holes 15) is a substantially constant value.
Further, the lengths of the guide holes 15 in the extending direction are substantially constant. Further, the width W3 of the guide hole 15 is also a substantially constant value in any of the guide holes 15. As a result, as will be described later, the guide hole 15
Can be used to form a plurality of score lines 23, 24 (see FIG. 9) that extend substantially parallel and at substantially equal distances.

【００３８】ガイド穴１５の幅Ｗ３は、後述するように
このガイド穴１５により案内される切断部材としての切
断刃８（図６参照）の幅に対して数ｍｍ程度大きめの幅
となっている。このようにすれば、切断刃８をガイド穴
１５に挿入した状態において、切断刃８ががたつくとい
った問題の発生を抑制できる。この結果、切断刃８によ
り薄膜２に形成される切込線２３、２４の平行度や幅を
ほぼ一定に保つことができる。The width W3 of the guide hole 15 is about several mm larger than the width of the cutting blade 8 (see FIG. 6) as a cutting member guided by the guide hole 15 as described later. . By doing so, it is possible to prevent the problem that the cutting blade 8 rattles when the cutting blade 8 is inserted into the guide hole 15. As a result, the parallelism and width of the cut lines 23 and 24 formed on the thin film 2 by the cutting blade 8 can be kept substantially constant.

【００３９】図１および２に示した検査用治具３では、
治具本体２１の右上の角部１７から右下の角部１８まで
の距離Ｗ２と、右上の角部１７から左の角部１６までの
距離Ｗ１とはほぼ等しい長さとなるように設定されてい
る。このような左の角部１６を形成するため、治具本体
２１には切欠部２０が形成されている。左の角部１６、
右上の角部１７、右下の角部１８が位置決め手段を構成
する。なお、この治具本体２１の厚みＴはたとえば５ｍ
ｍ程度であることが好ましい。In the inspection jig 3 shown in FIGS. 1 and 2,
The distance W2 from the upper right corner 17 to the lower right corner 18 of the jig body 21 and the distance W1 from the upper right corner 17 to the left corner 16 are set to be substantially equal. There is. In order to form such a left corner portion 16, a notch portion 20 is formed in the jig body 21. Left corner 16,
The upper right corner portion 17 and the lower right corner portion 18 constitute positioning means. The thickness T of the jig body 21 is 5 m, for example.
It is preferably about m.

【００４０】また、治具本体２１に設置された取っ手１
９の位置は、図１および２に示したように治具本体２１
の左側に限られるものではなく、他の位置に取っ手１９
を設置してもよい。また、取っ手１９の数は１つだけに
限られるものではなく、複数の取っ手を治具本体２１に
設置してもよい。The handle 1 installed on the jig body 21
The position of 9 is the jig body 21 as shown in FIGS.
The handle 19 is not limited to the left side of the
May be installed. Further, the number of the handles 19 is not limited to one, and a plurality of handles may be installed on the jig body 21.

【００４１】図１および２に示した検査用治具３を用い
た薄膜の密着性検査方法としては、概略以下のような工
程により行なわれる。すなわち、試験対象である薄膜が
ガラス基板などの基板表面上に形成された状態で、この
薄膜のみを切断刃で切断することにより切断線を形成す
る。このとき、一定のサイズの正方形状の薄膜部分（切
断線により囲まれた領域）を複数個形成するように切断
線が形成される。A thin film adhesion inspection method using the inspection jig 3 shown in FIGS. 1 and 2 is generally performed by the following steps. That is, a cutting line is formed by cutting only the thin film with a cutting blade in a state where the thin film to be tested is formed on the surface of a substrate such as a glass substrate. At this time, the cutting lines are formed so as to form a plurality of square-shaped thin film portions (regions surrounded by the cutting lines) of a certain size.

【００４２】その後、薄膜において上記薄膜部分が形成
された領域に粘着テープを貼付け、次にこの粘着テープ
を薄膜の表面から引剥がす。このとき、薄膜と基板との
間の密着性が不十分な領域においては、正方形状に切断
された薄膜部分が粘着テープに貼付いて基板から引離さ
れる。そして、この粘着テープに貼付いた正方形状の薄
膜部分の数をカウントすることにより、薄膜と基板との
密着性の程度を判断する。なお、通常正方形状の薄膜部
分を１００個形成し、上述のような粘着テープの張付け
および引剥がしという工程を行なった場合に、薄膜部分
のうちの１つでも粘着テープに貼付いた状態（基板から
引離された状態）となった場合には、その薄膜の基板に
対する接着強度（密着性）が不十分である（弱い）と判
断される。なお、ここで検査対象となる薄膜は、Ｔａ、
Ａｌなどの無機膜であってもよいし、有機膜でもよい。After that, an adhesive tape is attached to a region of the thin film where the thin film portion is formed, and then the adhesive tape is peeled off from the surface of the thin film. At this time, in the region where the adhesion between the thin film and the substrate is insufficient, the thin film portion cut into a square shape is attached to the adhesive tape and separated from the substrate. Then, the degree of adhesion between the thin film and the substrate is determined by counting the number of square thin film portions attached to this adhesive tape. In addition, when 100 square-shaped thin film portions are usually formed and the above-mentioned steps of sticking and peeling the adhesive tape are performed, even one of the thin film portions is attached to the adhesive tape (from the substrate). When the thin film is in a separated state, it is judged that the adhesive strength (adhesion) of the thin film to the substrate is insufficient (weak). The thin film to be inspected here is Ta,
It may be an inorganic film such as Al or may be an organic film.

【００４３】以下、図３〜図９を参照して、図１および
２に示した検査用治具を用いた上述の密着性検査方法を
具体的に説明する。The above-mentioned adhesion inspection method using the inspection jig shown in FIGS. 1 and 2 will be specifically described below with reference to FIGS.

【００４４】図３は、図１および２に示した検査用治具
を用いた密着性検査方法の第１工程を説明するための平
面模式図である。図４は、図３のＩＶ−ＩＶにおける断
面模式図である。図３および４に示すように、まず検査
対象となる薄膜２がその上部表面上に形成されたガラス
基板１を準備する。この薄膜２の厚みはたとえば数ミク
ロン程度である。そして、この薄膜２が形成されたガラ
ス基板１上に検査用治具３を配置する。なお、治具本体
２１を構成する材料としてはステンレスを用いることが
好ましいが、温度や使用条件などにより形状変化せず、
充分な強度を有する材料であれば他の材料を用いること
もできる。FIG. 3 is a schematic plan view for explaining the first step of the adhesion inspection method using the inspection jig shown in FIGS. 1 and 2. FIG. 4 is a schematic sectional view taken along the line IV-IV in FIG. As shown in FIGS. 3 and 4, first, a glass substrate 1 having a thin film 2 to be inspected formed on its upper surface is prepared. The thin film 2 has a thickness of, for example, about several microns. Then, the inspection jig 3 is arranged on the glass substrate 1 on which the thin film 2 is formed. In addition, although stainless steel is preferably used as a material forming the jig main body 21, its shape does not change due to temperature or use conditions.
Other materials can be used as long as they have sufficient strength.

【００４５】次に、図５に示すように、検査用治具３の
左の角部１６および右上の角部１７の外周に沿って、薄
膜２の表面にマジックでＬ字状の目印１３、１４をそれ
ぞれ形成する。ここで、図５は、図１および２に示した
検査用治具を用いた密着性検査方法の第２工程を説明す
るための平面模式図である。Next, as shown in FIG. 5, along the outer periphery of the left corner 16 and the upper right corner 17 of the inspection jig 3, the surface of the thin film 2 is magically marked with an L-shaped mark 13, 14 are formed respectively. Here, FIG. 5 is a schematic plan view for explaining the second step of the adhesion inspection method using the inspection jig shown in FIGS. 1 and 2.

【００４６】次に、検査用治具３の左の部分（取っ手１
９が形成された部分）を作業者が片手で押えて、薄膜２
に対する検査用治具３の位置を固定する。そして、図６
に示すように、切断刃８の刃先２２を検査用治具３のガ
イド穴１５に差込む。そして、切断刃８を薄膜２の方向
へと押付けながらガイド穴１５に沿って矢印２６に示し
た方向に移動させることにより、ガイド穴１５の下に位
置する領域において薄膜２に切込線２３（図７参照）が
形成される。図６は、図１および２に示した検査用治具
を用いた密着性検査方法の第３工程を説明するための斜
視模式図である。上記のような工程を全てのガイド穴１
５について行うことにより、それぞれのガイド穴１５の
下に位置する領域の薄膜２に切込線２３を形成する。Next, the left portion of the inspection jig 3 (handle 1
(The part where 9 is formed) is pressed by the operator with one hand, and the thin film 2
The position of the inspection jig 3 with respect to is fixed. And FIG.
As shown in, the cutting edge 22 of the cutting blade 8 is inserted into the guide hole 15 of the inspection jig 3. Then, by moving the cutting blade 8 in the direction indicated by the arrow 26 along the guide hole 15 while pressing it toward the thin film 2, the cut line 23 ( (See FIG. 7) is formed. FIG. 6 is a perspective schematic view for explaining the third step of the adhesion inspection method using the inspection jig shown in FIGS. 1 and 2. Follow the steps above for all guide holes 1
5 is performed, the cut line 23 is formed in the thin film 2 in the region located under each guide hole 15.

【００４７】次に、図７に示すように、検査用治具３を
左方向（反時計回り）に９０°回転させる。そして、検
査用治具３の右上の角部１７を目印１３に合わせる。ま
た、右下の角部１８を目印１４に合わせる。図７は、図
１および２に示した検査用治具を用いた密着性検査方法
の第４工程を説明するための平面模式図である。ここ
で、左の角部１６、右上の角部１７および右下の角部１
８の角度はそれぞれ９０°となっている。このため、上
記のように目印１３、１４にそれぞれ右上の角部１７と
右下の角部１８とを合せることにより、検査用治具３を
図５に示した状態から正確に９０°左に回転させた状態
を実現できる。Next, as shown in FIG. 7, the inspection jig 3 is rotated leftward (counterclockwise) by 90 °. Then, the upper right corner 17 of the inspection jig 3 is aligned with the mark 13. Further, the lower right corner 18 is aligned with the mark 14. FIG. 7 is a schematic plan view for explaining the fourth step of the adhesion inspection method using the inspection jig shown in FIGS. 1 and 2. Here, the left corner 16, the upper right corner 17, and the lower right corner 1
The angles of 8 are 90 °, respectively. Therefore, by aligning the upper right corner 17 and the lower right corner 18 with the marks 13 and 14, respectively, as described above, the inspection jig 3 is moved to the left by exactly 90 ° from the state shown in FIG. It can be rotated.

【００４８】次に、検査用治具３において取っ手１９が
形成された部分を作業者が薄膜２側へと押圧することに
より、薄膜２に対する検査用治具３の位置を固定する。
そして、図８に示すように、ガイド穴１５に切断刃８の
刃先２２を挿入し、この切断刃８を薄膜２側へと押圧し
ながらガイド穴１５に沿って移動させる。図８は、図１
および２に示した検査用治具を用いた密着性検査方法の
第５工程を説明するための斜視模式図である。この結
果、薄膜２には、第２の切込線２４（図９参照）が形成
される。そして、すべてのガイド穴１５について、同様
に切断刃８を用いてガイド穴１５下に位置する薄膜２に
第２の切込線２４を形成する。Next, the operator presses the portion of the inspection jig 3 on which the handle 19 is formed toward the thin film 2 to fix the position of the inspection jig 3 with respect to the thin film 2.
Then, as shown in FIG. 8, the cutting edge 22 of the cutting blade 8 is inserted into the guide hole 15, and the cutting blade 8 is moved along the guide hole 15 while being pressed toward the thin film 2. 8 is shown in FIG.
FIG. 11 is a schematic perspective view for explaining a fifth step of the adhesion inspection method using the inspection jig shown in FIGS. As a result, the second cut line 24 (see FIG. 9) is formed in the thin film 2. Then, with respect to all the guide holes 15, second cutting lines 24 are similarly formed in the thin film 2 located below the guide holes 15 by using the cutting blade 8.

【００４９】この結果、図９に示すように、薄膜２に
は、互いに直交する複数の第１の切込線２３と第２の切
込線２４とが形成される。そしてこの第１および第２の
切込線２３、２４により規定される正方形状の薄膜部分
９がマトリックス状に配置された構造が形成される。図
９は、図１および２に示した検査用治具を用いた密着性
検査方法の第６工程を説明するための平面模式図であ
る。図９からもわかるように、マトリックス状に配置さ
れた複数個の正方形状の薄膜部分９は、それぞれほぼ等
しい形状となっている。たとえば、ガイド穴１５のピッ
チを１ｍｍ、ガイド穴１５の延びる方向における長さを
１０ｍｍ以上とし、ガイド穴１５の数を１１とすれば、
１辺が１０ｍｍ角の正方形の内部に、１辺が１ｍｍの正
方形状の薄膜部分９を１００個（１０行×１０列）配置
したような構造を得ることができる。As a result, as shown in FIG. 9, the thin film 2 is formed with a plurality of first cutting lines 23 and second cutting lines 24 which are orthogonal to each other. Then, a structure in which the square thin film portions 9 defined by the first and second cut lines 23 and 24 are arranged in a matrix is formed. FIG. 9 is a schematic plan view for explaining the sixth step of the adhesion inspection method using the inspection jig shown in FIGS. 1 and 2. As can be seen from FIG. 9, the plurality of square thin film portions 9 arranged in a matrix have substantially the same shape. For example, if the pitch of the guide holes 15 is 1 mm, the length in the extending direction of the guide holes 15 is 10 mm or more, and the number of the guide holes 15 is 11,
It is possible to obtain a structure in which 100 (10 rows × 10 columns) square thin film portions 9 having a side of 1 mm are arranged inside a square having a side of 10 mm.

【００５０】この後、上述のようにこの正方形状の薄膜
部分９が形成された領域上に粘着テープを貼付け、この
粘着テープを引剥がす。そして、この粘着テープに貼付
いてガラス基板１から引剥がされた正方形状の薄膜部分
の数をカウントすることにより、薄膜２のガラス基板１
に対する密着性を評価することができる。After that, an adhesive tape is attached on the area where the square thin film portion 9 is formed as described above, and the adhesive tape is peeled off. Then, by counting the number of square-shaped thin film portions attached to this adhesive tape and peeled off from the glass substrate 1, the glass substrate 1 of the thin film 2 is counted.
Can be evaluated.

【００５１】このように、図１および２に示した検査用
治具においては、ガイド穴１５が直線状に延びるように
形成されているので、このガイド穴１５に沿って切断刃
８がスライドすることにより薄膜２において直線状の切
込線２３、２４を正確に形成することができる。この結
果、従来のように切込線２３、２４を形成するためマジ
ックなどで目印を薄膜２表面に書き込むといった作業を
行う必要が無い。As described above, in the inspection jig shown in FIGS. 1 and 2, since the guide hole 15 is formed to extend linearly, the cutting blade 8 slides along the guide hole 15. As a result, the linear cut lines 23 and 24 can be accurately formed in the thin film 2. As a result, it is not necessary to perform a work of writing a mark on the surface of the thin film 2 with a marker or the like to form the cut lines 23 and 24 as in the conventional case.

【００５２】また、検査用治具３においては、複数のガ
イド穴１５が所定の長さおよびピッチで平行に配置する
ように形成されている。このため、切込線２３、２４を
一定長さおよび間隔を有するように正確に形成すること
ができる。この結果、ほぼ等しいサイズおよび形状の複
数の薄膜部分９を容易に形成できる。この結果、密着性
検査の検査精度を向上させることができる。Further, in the inspection jig 3, a plurality of guide holes 15 are formed so as to be arranged in parallel at a predetermined length and pitch. Therefore, the cut lines 23 and 24 can be accurately formed so as to have a constant length and a certain interval. As a result, it is possible to easily form a plurality of thin film portions 9 having substantially the same size and shape. As a result, the inspection accuracy of the adhesion inspection can be improved.

【００５３】また、薄膜２の表面に形成される第１の切
込線２３と第２の切込線２４とのなす角度はほぼ９０°
である。また、ガイド穴１５の間の距離Ｐはほぼ一定と
なっているので、切込線２３、２４はそれぞれほぼ等し
いピッチで形成されている。このため、薄膜部分９の形
状を正確に正方形状とすることができる。The angle formed by the first cut line 23 and the second cut line 24 formed on the surface of the thin film 2 is approximately 90 °.
Is. Moreover, since the distance P between the guide holes 15 is substantially constant, the cut lines 23 and 24 are formed at substantially equal pitches. Therefore, the shape of the thin film portion 9 can be exactly square.

【００５４】また、本発明による検査用治具３において
は、位置決め手段を構成する、治具本体２１の外周部の
隣り合う２つの辺（左の角部１６と右上の角部１７との
間の辺と、右上の角部１７と右下の角部１８との間の
辺）がそれぞれ同じ長さを有するように切欠部２０を形
成している。つまり、右上の角部１７と右下の角部１８
との間の距離Ｗ２と、右上の角部１７と左の角部１６と
の間の距離Ｗ１とが等しくなるように検査用治具３の形
状を決定している（互いに交差する方向に延びる２つの
辺である右上の角部１７と右下の角部１８との間の辺の
長さと、右上の角部１７と左の角部１６との間の辺の長
さとが等しくなっている）。この結果、図５に示したよ
うな目印１３、１４を薄膜２の表面に形成した上で、こ
の目印１３、１４に左の角部１６と右上の角部１７との
組合せ、あるいは右上の角部１７と右下の角部１８との
組合せをそれぞれ合わせることにより、ガイド穴１５が
延びる方向を９０°交差するような２つの方向に正確に
位置合わせすることができる。Further, in the inspection jig 3 according to the present invention, two adjacent sides (between the left corner portion 16 and the upper right corner portion 17) of the outer peripheral portion of the jig body 21 which constitutes the positioning means. And the side between the upper right corner 17 and the lower right corner 18) have the same length. That is, the upper right corner 17 and the lower right corner 18
The shape of the inspection jig 3 is determined such that the distance W2 between the upper right corner 17 and the left corner 16 is equal to the distance W2 between the upper right corner 17 and the left corner 16. The length of the side between the upper right corner 17 and the lower right corner 18, which are the two sides, is equal to the length of the side between the upper right corner 17 and the left corner 16. ). As a result, after forming the marks 13 and 14 as shown in FIG. 5 on the surface of the thin film 2, a combination of the left corner 16 and the upper right corner 17 or the upper right corner is formed on the marks 13 and 14. By combining the combination of the portion 17 and the lower right corner portion 18, it is possible to accurately align the guide holes 15 in two directions such that they intersect at 90 °.

【００５５】また、上述のように治具本体２１の外周に
おいて交差するように延びる２つの辺の長さを等しくす
るという比較的単純な構造を位置決め手段として利用す
るので、検査用治具３の製造コストを低減できる。Since a relatively simple structure in which the lengths of the two sides extending so as to intersect each other on the outer periphery of the jig body 21 are made equal as described above is used as the positioning means, the inspection jig 3 Manufacturing cost can be reduced.

【００５６】また、治具本体２１に取っ手１９を設置し
ているので、作業者が検査用治具３をハンドリングする
際、この取っ手１９を作業者が把持することにより容易
に検査用治具３を取扱うことができる。このため、検査
用治具３が薄膜２表面ですべることにより薄膜２の表面
に傷が形成されるといった問題の発生を防止できる。ま
た、この取っ手１９は、検査用治具３を薄膜２へと押え
る場合の押圧部としても利用できるので、薄膜２に対し
て検査用治具３の位置がずれるといった問題の発生を抑
制できる。Further, since the handle 19 is installed on the jig main body 21, when the operator handles the inspection jig 3, the operator can easily grasp the handle 19 to inspect the inspection jig 3. Can handle. Therefore, it is possible to prevent the problem that the scratches are formed on the surface of the thin film 2 due to the inspection jig 3 sliding on the surface of the thin film 2. Further, since the handle 19 can be used as a pressing portion when the inspection jig 3 is pressed against the thin film 2, it is possible to suppress the problem that the inspection jig 3 is displaced from the thin film 2.

【００５７】図１０は、図１および２に示した本発明に
よる検査用治具の実施の形態１の変形例を示す平面模式
図である。図１０は、薄膜密着性検査方法の第４工程で
ある図７に示した工程に本発明による検査用治具の実施
の形態１の変形例を適用した状態を示している。図１０
を参照して、本発明による検査用治具の実施の形態１の
変形例を説明する。FIG. 10 is a schematic plan view showing a modification of the first embodiment of the inspection jig according to the present invention shown in FIGS. 1 and 2. FIG. 10 shows a state in which a modified example of Embodiment 1 of the inspection jig according to the present invention is applied to the step shown in FIG. 7 which is the fourth step of the thin film adhesion inspection method. Figure 10
A modification of the first embodiment of the inspection jig according to the present invention will be described with reference to FIG.

【００５８】図１０を参照して、検査用治具３は、基本
的には図１および２に示した検査用治具と同様の構造を
備える。ただし、図１０に示した検査用治具３において
は、先に形成された切込線２３を確認するための確認用
の穴４が治具本体２１に形成されている。確認用開口部
としての穴４は、先に形成された第１の切込線２３と直
交するようにガイド穴１５を配置した状態で、先に形成
された第１の切込線２３の端部と重なる領域に形成され
ている。このため、検査用治具３が所定の位置に配置さ
れた場合、穴４を介して第１の切込線２３の端部を確認
することができる。Referring to FIG. 10, inspection jig 3 basically has the same structure as the inspection jig shown in FIGS. However, in the inspection jig 3 shown in FIG. 10, a confirmation hole 4 for confirming the cut line 23 previously formed is formed in the jig body 21. The hole 4 as the confirmation opening has an end of the first cutting line 23 formed earlier with the guide hole 15 arranged so as to be orthogonal to the first cutting line 23 formed earlier. It is formed in a region overlapping the part. Therefore, when the inspection jig 3 is arranged at a predetermined position, the end of the first cut line 23 can be confirmed through the hole 4.

【００５９】このようにすれば、図３〜図６に示した工
程を実施することにより切込線２３を形成した後、検査
用治具３を９０°反時計回りに回転させて切込線２４
（図９参照）を形成する場合に、薄膜２に対する検査用
治具３が所定の位置に設置されているかどうかを作業者
が目視で確認できる。すなわち、この確認用の穴４を先
に形成された第１の切込線２３の端部の位置に合せるこ
とにより、検査用治具３を薄膜２に対して所定の位置に
正確に配置することができる。In this way, after the cut line 23 is formed by performing the steps shown in FIGS. 3 to 6, the inspection jig 3 is rotated 90 ° counterclockwise to cut the cut line 23. 24
When forming (see FIG. 9), an operator can visually confirm whether or not the inspection jig 3 for the thin film 2 is installed at a predetermined position. That is, the inspection jig 3 is accurately arranged at a predetermined position with respect to the thin film 2 by aligning the confirmation hole 4 with the position of the end portion of the first cut line 23 previously formed. be able to.

【００６０】また、このように確認用の穴４を形成すれ
ば、薄膜２上に目印１３、１４を予め形成する必要が無
い。すなわち、この穴４から切込線２３の端部が確認で
きる位置に検査用治具３を配置すれば、正確に第１の切
込線２３と直交するような第２の切込線２４を形成する
ことができる。この結果、目印１３、１４を形成する工
程を省略することが可能になる。By forming the confirmation holes 4 in this way, it is not necessary to previously form the marks 13 and 14 on the thin film 2. That is, if the inspection jig 3 is arranged at a position where the end of the cut line 23 can be confirmed from the hole 4, the second cut line 24 that is orthogonal to the first cut line 23 accurately can be obtained. Can be formed. As a result, the step of forming the marks 13 and 14 can be omitted.

【００６１】図１０に示したように検査用治具３を配置
した後、図８および図９に示した工程と同様の工程を実
施することにより、薄膜の密着性検査を実施できる。After arranging the inspection jig 3 as shown in FIG. 10, by performing the same steps as the steps shown in FIGS. 8 and 9, the adhesion inspection of the thin film can be performed.

【００６２】なお、確認用の穴４は、図１０に示すよう
に２つ形成してもよいが、３つ以上形成してもよい。た
とえば、治具本体２１において切欠部２０側の領域（ガ
イド穴１５が形成された領域からみて図１０に示した穴
４とは反対側に位置する領域）に他の確認用の穴を形成
してもよい。この場合、検査用治具３の位置合せをより
精度良く行うことができる。It should be noted that two confirmation holes 4 may be formed as shown in FIG. 10, but three or more holes may be formed. For example, another confirmation hole is formed in a region of the jig body 21 on the side of the notch 20 (a region located on the opposite side of the hole 4 shown in FIG. 10 from the region where the guide hole 15 is formed). May be. In this case, the positioning of the inspection jig 3 can be performed more accurately.

【００６３】（実施の形態２）図１１は、本発明による
検査用治具の実施の形態２を示す断面模式図である。図
１１は、本発明による検査用治具の実施の形態２がガラ
ス基板１上に形成された薄膜２の表面上に配置された状
態を示している。図１１に示した検査用治具３の断面
は、図２に示した検査用治具の断面に対応している。図
１１を参照して、本発明による検査用治具の実施の形態
２を説明する。(Second Embodiment) FIG. 11 is a schematic sectional view showing a second embodiment of the inspection jig according to the present invention. FIG. 11 shows a state in which the second embodiment of the inspection jig according to the present invention is arranged on the surface of the thin film 2 formed on the glass substrate 1. The cross section of the inspection jig 3 shown in FIG. 11 corresponds to the cross section of the inspection jig shown in FIG. A second embodiment of the inspection jig according to the present invention will be described with reference to FIG.

【００６４】図１１を参照して、検査用治具３は基本的
には図１および図２に示した検査用治具と同様の構造を
備える。ただし、図１１に示した検査用治具３において
は、治具本体２１の下面（薄膜２と接触する面）にゴム
層としてのゴム板５が設置されている。ガイド穴１５
は、治具本体２１とゴム板５とをともに貫通するように
形成されている。ゴム板５の材料としてはウレタンゴム
を用いることができる。また、ゴム板５の厚みは２〜３
ｍｍ程度とすることが好ましい。Referring to FIG. 11, inspection jig 3 basically has the same structure as the inspection jig shown in FIGS. 1 and 2. However, in the inspection jig 3 shown in FIG. 11, the rubber plate 5 as a rubber layer is provided on the lower surface (surface contacting the thin film 2) of the jig body 21. Guide hole 15
Is formed so as to penetrate both the jig body 21 and the rubber plate 5. Urethane rubber can be used as the material of the rubber plate 5. The thickness of the rubber plate 5 is 2 to 3
It is preferably about mm.

【００６５】このように、治具本体２１の下面にゴム板
５を配置することにより、検査用治具３をガラス基板１
上に形成された薄膜２上に配置する場合、検査用治具３
の位置が薄膜２上においてずれるといった問題の発生を
抑制できる。このため、切込線２３、２４を正確な位置
に確実に形成することができる。In this way, by disposing the rubber plate 5 on the lower surface of the jig body 21, the inspection jig 3 is mounted on the glass substrate 1.
When arranging on the thin film 2 formed above, the inspection jig 3
It is possible to suppress the occurrence of the problem that the position of is shifted on the thin film 2. For this reason, it is possible to surely form the cut lines 23 and 24 at accurate positions.

【００６６】なお、ゴム板５に代えて、樹脂層を治具本
体２１の下面上に配置してもよい。この場合、樹脂層の
材料としては、その表面が薄膜２の表面との間で滑りに
くいような樹脂を用いることが好ましい。樹脂層の材料
としては、たとえばピーク材（ポリエーテルエーテルケ
トン）を用いることができる。また、樹脂層の厚みは２
〜３ｍｍ程度としてもよい。この結果、ゴム板５を配置
した場合と同様の効果を得ることができる。Instead of the rubber plate 5, a resin layer may be arranged on the lower surface of the jig body 21. In this case, as the material of the resin layer, it is preferable to use a resin whose surface is unlikely to slip on the surface of the thin film 2. As a material for the resin layer, for example, a peak material (polyether ether ketone) can be used. The thickness of the resin layer is 2
It may be about 3 mm. As a result, the same effect as when the rubber plate 5 is arranged can be obtained.

【００６７】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した実施の形態ではなくて特
許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の
意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意
図される。The embodiments disclosed this time are to be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is shown not by the above-described embodiments but by the scope of the claims, and is intended to include meanings equivalent to the scope of the claims and all modifications within the scope.

【００６８】[0068]

【発明の効果】このように、本発明による検査用治具を
用いてば、薄膜の密着性検査のために薄膜に形成される
切込線を、単純な作業で正確に形成できるので、薄膜の
密着性検査の検査精度および作業効率を向上させること
ができる。As described above, when the inspection jig according to the present invention is used, the cut line formed in the thin film for the adhesion inspection of the thin film can be accurately formed by a simple operation. It is possible to improve the inspection accuracy and the work efficiency of the adhesiveness inspection.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】 本発明による検査用治具の実施の形態１を示
す平面模式図である。FIG. 1 is a schematic plan view showing a first embodiment of an inspection jig according to the present invention.

【図２】 図１の線分ＩＩ−ＩＩにおける断面模式図で
ある。FIG. 2 is a schematic sectional view taken along line II-II in FIG.

【図３】 図１および２に示した検査用治具を用いた密
着性検査方法の第１工程を説明するための平面模式図で
ある。FIG. 3 is a schematic plan view for explaining the first step of the adhesion inspection method using the inspection jig shown in FIGS. 1 and 2.

【図４】 図３のＩＶ−ＩＶにおける断面模式図であ
る。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view taken along the line IV-IV of FIG.

【図５】 図１および２に示した検査用治具を用いた密
着性検査方法の第２工程を説明するための平面模式図で
ある。5 is a schematic plan view for explaining a second step of the adhesion inspection method using the inspection jig shown in FIGS. 1 and 2. FIG.

【図６】 図１および２に示した検査用治具を用いた密
着性検査方法の第３工程を説明するための斜視模式図で
ある。6 is a perspective schematic view for explaining a third step of the adhesion inspection method using the inspection jig shown in FIGS. 1 and 2. FIG.

【図７】 図１および２に示した検査用治具を用いた密
着性検査方法の第４工程を説明するための平面模式図で
ある。FIG. 7 is a schematic plan view for explaining a fourth step of the adhesion inspection method using the inspection jig shown in FIGS. 1 and 2.

【図８】 図１および２に示した検査用治具を用いた密
着性検査方法の第５工程を説明するための斜視模式図で
ある。8 is a schematic perspective view for explaining a fifth step of the adhesion inspection method using the inspection jig shown in FIGS. 1 and 2. FIG.

【図９】 図１および２に示した検査用治具を用いた密
着性検査方法の第６工程を説明するための平面模式図で
ある。9 is a schematic plan view for explaining a sixth step of the adhesion inspection method using the inspection jig shown in FIGS. 1 and 2. FIG.

【図１０】 図１および２に示した本発明による検査用
治具の実施の形態１の変形例を示す平面模式図である。10 is a schematic plan view showing a modification of the first embodiment of the inspection jig according to the present invention shown in FIGS. 1 and 2. FIG.

【図１１】 本発明による検査用治具の実施の形態２を
示す断面模式図である。FIG. 11 is a schematic sectional view showing Embodiment 2 of the inspection jig according to the present invention.

【図１２】 従来の密着性検査方法を説明するための斜
視模式図である。FIG. 12 is a schematic perspective view for explaining a conventional adhesion inspection method.

【図１３】 従来の密着性検査方法を説明するための斜
視模式図である。FIG. 13 is a schematic perspective view for explaining a conventional adhesion inspection method.

【図１４】 従来の密着性検査方法において正方形状の
薄膜部分を形成する工程の第１工程を説明するための平
面模式図である。FIG. 14 is a schematic plan view for explaining the first step of forming the square thin film portion in the conventional adhesion inspection method.

【図１５】 従来の密着性検査方法において正方形状の
薄膜部分を形成する工程の第２工程を説明するための平
面模式図である。FIG. 15 is a schematic plan view for explaining the second step of forming the square thin film portion in the conventional adhesion inspection method.

【図１６】 従来の密着性検査方法において正方形状の
薄膜部分を形成する工程の第３工程を説明するための平
面模式図である。FIG. 16 is a schematic plan view for explaining a third step of forming a square thin film portion in the conventional adhesion inspection method.

【図１７】 従来の密着性検査方法において正方形状の
薄膜部分を形成する工程の第４工程を説明するための平
面模式図である。FIG. 17 is a schematic plan view for explaining a fourth step of forming the square thin film portion in the conventional adhesion inspection method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ ガラス基板、２ 薄膜、３ 検査用治具、４ 穴、
５ ゴム板、８ 切断刃、９ 薄膜部分、１３，１４
目印、１５ ガイド穴、１６ 左の角部、１７右上の角
部、１８ 右下の角部、１９ 取っ手、２０ 切欠部、
２１ 治具本体、２２ 刃先、２３，２４ 切込線、２
５ 切込線の端部、２６ 矢印。1 glass substrate, 2 thin film, 3 inspection jig, 4 holes,
5 rubber plate, 8 cutting blade, 9 thin film part, 13, 14
Mark, 15 guide hole, 16 left corner, 17 upper right corner, 18 lower right corner, 19 handle, 20 notch,
21 jig body, 22 cutting edge, 23, 24 score line, 2
5 End of score line, 26 arrow.

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 基板表面上に形成された薄膜の検査に用
いる検査用治具であって、 基体と、 前記基体に配置され、基板表面に形成された薄膜を切断
して前記薄膜に切断線を形成するための切断部材を案内
可能なガイド手段と、 前記ガイド手段により案内された前記切断部材を用いて
前記薄膜に第１の切断線を形成するように、前記薄膜に
対する前記基体の位置を決定する一方、前記ガイド手段
により案内された前記切断部材を用いて前記第１の切断
線と交差する第２の切断線を前記薄膜に形成するよう
に、前記薄膜に対する前記基体の位置を決定する位置決
め手段とを備える、検査用治具。1. An inspection jig used for inspecting a thin film formed on a substrate surface, comprising: a substrate; and a thin film formed on the substrate surface and cut on the substrate to form a cutting line on the thin film. Guide means capable of guiding a cutting member for forming a groove, and a position of the base body with respect to the thin film so as to form a first cutting line on the thin film by using the cutting member guided by the guide means. On the other hand, the position of the base body with respect to the thin film is determined so that a second cutting line intersecting the first cutting line is formed in the thin film by using the cutting member guided by the guide means. An inspection jig including a positioning means. 【請求項２】 前記ガイド手段は、前記薄膜においてほ
ぼ等しい距離を隔ててほぼ平行に延びる複数の切断線を
形成するように、前記切断部材を案内する、請求項１に
記載の検査用治具。2. The inspection jig according to claim 1, wherein the guide means guides the cutting member so as to form a plurality of cutting lines that extend substantially parallel to each other in the thin film at substantially equal distances. . 【請求項３】 前記第１の切断線と前記第２の切断線と
のなす角度はほぼ９０°である、請求項１または２に記
載の検査用治具。3. The inspection jig according to claim 1, wherein an angle formed by the first cutting line and the second cutting line is approximately 90 °. 【請求項４】 前記位置決め手段は、前記基体の外周部
において、互いに交差する方向に延びる２つの辺の長さ
がほぼ等しいことを含む、請求項１〜３のいずれか１項
に記載の検査用治具。4. The inspection according to claim 1, wherein the positioning means includes that, in the outer peripheral portion of the base body, two sides extending in a direction intersecting with each other have substantially equal lengths. Jig. 【請求項５】 前記基体には、前記薄膜に形成された切
断線を確認するための確認用開口部が形成されている、
請求項１〜４のいずれか１項に記載の検査用治具。5. The confirmation opening for confirming a cutting line formed on the thin film is formed in the base body.
The inspection jig according to any one of claims 1 to 4. 【請求項６】 前記基体の表面にはゴム層が形成されて
いる、請求項１〜５のいずれか１項に記載の検査用治
具。6. The inspection jig according to claim 1, wherein a rubber layer is formed on the surface of the base. 【請求項７】 前記基体の表面には樹脂層が形成されて
いる、請求項１〜５のいずれか１項に記載の検査用治
具。7. The inspection jig according to claim 1, wherein a resin layer is formed on the surface of the base. 【請求項８】 前記基体には突起部が形成されている、
請求項１〜７のいずれか１項に記載の検査用治具。8. A protrusion is formed on the base,
The inspection jig according to any one of claims 1 to 7.