JP2003045786A - ステンシルマスクのレイアウト図形データ分割処理装置、ステンシルマスクのレイアウト図形データ分割処理方法、コンピュータにステンシルマスクのレイアウト図形データ分割処理を行わせるためのプログラム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複雑なレイアウト図形の場合でも、最適な分
割処理を行い得るようにすること。 【解決手段】 レイアウト図形情報記憶部１０７に記憶
したステンシルマスクのレイアウト図形データを読み込
み、前記レイアウト図形データを横方向及び縦方向の線
分で分割することによって複数の分割レイアウト図形デ
ータを生成し、前記複数の分割レイアウト図形データを
複数の相補マスクデータに振り分けることによって複数
の相補マスクデータを生成して相補マスクデータ記憶部
１０８に記憶する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路の製造に
使用するステンシルマスクのレイアウト図形分割処理装
置、ステンシルマスクのレイアウト図形分割処理方法、
ステンシルマスクのレイアウト図形分割処理をコンピュ
ータに実行させるためのプログラムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、電子ビーム露光等を用いてＶ
ＬＳＩ（Very Large Scale Integration）等の半導体集
積回路を製造するために、ステンシルマスクが開発され
ている。ステンシルマスクは、シリコン板等の薄板に、
露光すべきレイアウト図形に対応する孔を物理的に形成
した構成となっている。このように、ステンシルマスク
は物理的に孔（開口部）を設けた構成であるため、半導
体集積回路のレイアウト図形が閉ループを構成する配線
の図形（ドーナツ状の図形（閉図形））を有する場合、
開口部が閉ループを形成するため、１枚のステンシルマ
スクでは前記ドーナツ状図形の中枠を保持することがで
きず、したがって、１枚のステンシルマスクでは構成す
ることができない。よって、前記ドーナツ状図形は２枚
のマスクに分割し、該２枚のマスクを用いて露光せざる
を得ない。そのために、レイアウト図形を分割して２枚
の相補マスクに振り分けるという手法が採用されてい
る。また、前記相補マスクは、マスクの強度上の問題か
ら、２枚の相補マスクにレイアウト図形を振り分ける必
要性の生じる場合がある。

【０００３】図１２及び図１３は、レイアウト図形を分
割処理する場合の一般的な例を示す図である。レイアウ
ト図形がＬ字型のラインの場合、２本の線分の連結点の
うちの凹部側の部分（窪み部分）を起点として隣接する
辺に垂線を形成し、該垂線にそって切断して分割するこ
とにより、２枚の相補ステンシルマスクに振り分ける。
また、図１３に示すように、レイアウト図形が１本のラ
インの場合でも所定長以上の場合には、中央部分等で分
割して２枚の相補マスクに振り分けて、ライン長が所定
値以下になるようにする。

【０００４】図１４及び図１５は、従来から用いられて
いるレイアウト図形の分割処理方法を説明するための図
である。図１４及び図１５において、図１４に示すレイ
アウト図形を分割する場合、各窪み部分を基準として単
純に横方向に分割する方法（図１５（ａ））、あるい
は、各窪み部分を基準として単純に縦方向に分割する方
法（図１５（ｂ））が採用されている。前記従来の分割
方法によれば、単純に、横方向あるいは縦方向の一方向
に分割するため、複雑なレイアウト図形の場合にも、比
較的簡単に分割処理することが可能になる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】レイアウト図形を分割
する場合、マスクの精度や利便性等のマスク作成の観点
から、分割する切断辺は必要以上に長くならないこと、
また、分割後に微少な図形（微少片）が生じないことが
必要である。しかしながら、前記従来の分割処理方法で
は、図１５に示すように、単純に、横方向あるいは縦方
向の一方向に分割しているため、必要以上に長い切断片
や微少片が生じてしまうという問題があった。

【０００６】本発明は、複雑なレイアウト図形の場合で
も、最適な分割処理を行い得るようにすることを課題と
している。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、ステン
シルマスクのレイアウト図形データを記憶したレイアウ
ト図形情報記憶手段と、前記レイアウト図形情報記憶手
段からレイアウト図形データを読み込むレイアウト図形
データ読み込み手段と、相補マスクデータを記憶するた
めの相補マスクデータ記憶手段と、前記レイアウト図形
データ読み込み手段で読み込んだ前記レイアウト図形デ
ータを異なる複数の方向に分割することによって複数の
分割レイアウト図形データを生成し、前記複数の分割レ
イアウト図形データを複数の相補マスクデータに振り分
けることによって複数の相補マスクデータを生成して前
記相補マスクデータ記憶手段に記憶する相補マスクデー
タ生成手段とを備えて成ることを特徴とするステンシル
マスクのレイアウト図形分割処理装置が提供される。相
補マスクデータ生成手段は、レイアウト図形データ読み
込み手段で読み込んだレイアウト図形データを異なる複
数の方向に分割することによって複数の分割レイアウト
図形データを生成し、前記複数の分割レイアウト図形デ
ータを複数の相補マスクデータに振り分けることによっ
て複数の相補マスクデータを生成して相補マスクデータ
記憶手段に記憶する。

【０００８】ここで、複数の分割レイアウト図形データ
を記憶するための分割データ記憶手段を有すると共に、
前記相補マスクデータ生成手段は前記レイアウト図形デ
ータを異なる複数の方向に分割することによって複数の
分割レイアウト図形データを生成する分割データ生成手
段を有して成り、前記相補マスクデータ生成手段は、前
記分割データ生成手段で生成した前記複数の分割レイア
ウト図形データを前記分割データ記憶手段に記憶し、前
記分割データ記憶手段に記憶した図形データを複数の相
補マスクデータに振り分けることにより前記相補マスク
データを生成するように構成してもよい。また、前記分
割データ生成手段は、前記レイアウト図形データの窪み
部分から隣接する辺に形成した最短の垂線にそって分割
するように構成してもよい。また、前記分割データ生成
手段は、前記最短の垂線が複数存在する場合、各垂線の
足と該垂線の足を挟む複数の頂点とによって構成される
複数の辺のうち、最長の短辺を生成するように前記レイ
アウト図形を分割するように構成してもよい。また、前
記分割データ生成手段は、前記最長の短辺が複数存在す
る場合、各垂線の足と該垂線の足を挟む複数の頂点とに
よって構成される複数の辺のうち、最長の長辺を生成す
るように前記レイアウト図形を分割するように構成して
もよい。

【０００９】また、前記分割データ生成手段は、前記最
短の垂線が複数存在する場合、各垂線の足と該垂線の足
を挟む複数の頂点とによって構成される複数の辺のう
ち、最長の長辺を生成するように前記レイアウト図形を
分割するように構成してもよい。また、前記分割データ
生成手段は、前記最長の長辺が複数存在する場合、各垂
線の足と該垂線の足を挟む複数の頂点とによって構成さ
れる複数の辺のうち、最長の短辺を生成するように前記
レイアウト図形を分割するように構成してもよい。ま
た、前記分割データ生成手段は、分割後の図形の辺の長
さが所定長以下になる場合には分割しないように構成し
てもよい。また、前記分割データ生成手段は、前記レイ
アウト図形の長さが所定長以上のときは窪み部分の有無
に拘わらず所定位置で分割するように構成してもよい。
また、前記分割データ生成手段は、垂線の足が、既に切
断した辺上に位置するようになる場合には、前記垂線に
そっては切断しないように構成してもよい。

【００１０】また、相接する２つのレイアウト図形が一
の相補マスクに属する場合、前記分割データ生成手段は
一方のレイアウト図形を複数のレイアウト図形に分割
し、前記相補マスクデータ生成手段は、前記分割によっ
て得られる複数のレイアウト図形のうち、他方のレイア
ウト図形に接するレイアウト図形を他の相補マスクに属
するように振り分けるように構成してもよい。また、分
割条件を予め記憶した分割条件記憶手段を備え、前記分
割データ生成手段は、前記分割条件記憶手段に記憶した
分割条件を満足するように、前記レイアウト図形データ
を異なる複数の方向に分割することにより前記複数の分
割レイアウト図形データを生成するように構成してもよ
い。また、前記分割条件を前記分割条件記憶手段に設定
するための分割条件設定手段を備えて成るように構成し
てもよい。

【００１１】また、本発明によれば、レイアウト図形デ
ータ読み込み手段が、ステンシルマスクのレイアウト図
形データを記憶したレイアウト図形情報記憶手段からレ
イアウト図形データを読み込み、相補マスクデータ生成
手段が、前記レイアウト図形データ読み込み手段で読み
込んだレイアウト図形データを異なる複数の方向に分割
することによって複数の分割レイアウト図形データを生
成し、前記複数の分割レイアウト図形データを複数の相
補マスクデータに振り分けることによって複数の相補マ
スクデータを生成して相補マスクデータ記憶手段に記憶
することを特徴とするステンシルマスクのレイアウト図
形分割処理方法が提供される。相補マスクデータ生成手
段が、レイアウト図形データ読み込み手段で読み込んだ
レイアウト図形データを異なる複数の方向に分割するこ
とによって複数の分割レイアウト図形データを生成し、
前記複数の分割レイアウト図形データを複数の相補マス
クデータに振り分けることによって複数の相補マスクデ
ータを生成して相補マスクデータ記憶手段に記憶する。

【００１２】ここで、前記相補マスクデータ生成手段は
前記レイアウト図形データを異なる複数の方向に分割す
ることによって複数の分割レイアウト図形データを生成
する分割データ生成手段を有し、前記相補マスクデータ
生成手段が、前記分割データ生成手段で生成した前記複
数の分割レイアウト図形データを分割データ記憶手段に
記憶し、前記分割データ記憶手段に記憶した図形データ
を複数の相補マスクデータに振り分けることにより前記
相補マスクデータを生成するようにしてもよい。また、
前記分割データ生成手段は、前記レイアウト図形データ
の窪み部分から隣接する辺に形成した最短の垂線にそっ
て分割するようにしてもよい。また、前記分割データ生
成手段は、前記最短の垂線が複数存在する場合、各垂線
の足と該垂線の足を挟む複数の頂点とによって構成され
る複数の辺のうち、最長の短辺を生成するように前記レ
イアウト図形を分割するようにしてもよい。また、前記
分割データ生成手段は、前記最長の短辺が複数存在する
場合、各垂線の足と該垂線の足を挟む複数の頂点とによ
って構成される複数の辺のうち、最長の長辺を生成する
ように前記レイアウト図形を分割するようにしてもよ
い。

【００１３】また、前記分割データ生成手段は、前記最
短の垂線が複数存在する場合、各垂線の足と該垂線の足
を挟む複数の頂点とによって構成される複数の辺のう
ち、最長の長辺を生成するように前記レイアウト図形を
分割するようにしてもよい。また、前記分割データ生成
手段は、前記最長の長辺が複数存在する場合、各垂線の
足と該垂線の足を挟む複数の頂点とによって構成される
複数の辺のうち、最長の短辺を生成するように前記レイ
アウト図形を分割するようにしてもよい。また、前記分
割データ生成手段は、分割後の図形の辺の長さが所定長
以下になる場合には分割しないようにしてもよい。ま
た、前記分割データ生成手段は、前記レイアウト図形の
長さが所定長以上のときは窪み部分の有無に拘わらず所
定位置で分割するようにしてもよい。また、前記分割デ
ータ生成手段は、垂線の足が、既に切断した辺上に位置
するようになる場合には、前記垂線にそっては切断しな
いようにしてもよい。

【００１４】また、相接する２つのレイアウト図形が一
の相補マスクに属する場合、前記分割データ生成手段は
一方のレイアウト図形を複数のレイアウト図形に分割
し、前記相補マスクデータ生成手段は、前記分割によっ
て得られる複数のレイアウト図形のうち、他方のレイア
ウト図形に接するレイアウト図形を他の相補マスクに属
するように振り分けるようにしてもよい。また、前記分
割データ生成手段は、分割条件記憶手段に記憶した分割
条件を満足するように、前記レイアウト図形データを異
なる複数の方向に分割することにより前記複数の分割レ
イアウト図形データを生成するようにしてもよい。ま
た、分割条件設定手段から前記分割条件記憶手段に前記
分割条件を設定するようにしてもよい。

【００１５】また、本発明によれば、コンピュータを、
ステンシルマスクのレイアウト図形データを記憶したレ
イアウト図形情報記憶手段からレイアウト図形データを
読み込むレイアウト図形データ読み込み手段と、前記レ
イアウト図形データ読み込み手段で読み込んだ前記レイ
アウト図形データを異なる複数の方向に分割することに
よって複数の分割レイアウト図形データを生成し、前記
複数の分割レイアウト図形データを複数の相補マスクデ
ータに振り分けることによって複数の相補マスクデータ
を生成して相補マスクデータ記憶手段に記憶する相補マ
スクデータ生成手段として機能させることを特徴とする
プログラムが提供される。本発明のプログラムをコンピ
ュータで実行することにより、前記コンピュータは、ス
テンシルマスクのレイアウト図形データを記憶したレイ
アウト図形情報記憶手段からレイアウト図形データを読
み込むレイアウト図形データ読み込み手段と、前記レイ
アウト図形データ読み込み手段で読み込んだ前記レイア
ウト図形データを異なる複数の方向に分割することによ
って複数の分割レイアウト図形データを生成し、前記複
数の分割レイアウト図形データを複数の相補マスクデー
タに振り分けることによって複数の相補マスクデータを
生成して相補マスクデータ記憶手段に記憶する相補マス
クデータ生成手段として機能する。

【００１６】ここで、前記相補マスクデータ生成手段が
前記レイアウト図形データを異なる複数の方向に分割す
ることによって複数の分割レイアウト図形データを生成
する分割データ生成手段としての機能を有し、前記相補
マスクデータ生成手段が、前記分割データ生成手段で生
成した前記複数の分割レイアウト図形データを分割デー
タ記憶手段に記憶し、前記分割データ記憶手段に記憶し
た図形データを複数の相補マスクデータに振り分けるこ
とにより前記相補マスクデータを生成するように、前記
コンピュータを機能させるようにプログラムを構成して
もよい。また、前記分割データ生成手段は、前記レイア
ウト図形データの窪み部分から隣接する辺に形成した最
短の垂線にそって分割するように、前記コンピュータを
機能させるようにプログラムを構成してもよい。また、
前記分割データ生成手段は、前記最短の垂線が複数存在
する場合、各垂線の足と該垂線の足を挟む複数の頂点と
によって構成される複数の辺のうち、最長の短辺を生成
するように前記レイアウト図形を分割するように、前記
コンピュータを機能させるようにプログラムを構成して
もよい。

【００１７】また、前記分割データ生成手段は、前記最
長の短辺が複数存在する場合、各垂線の足と該垂線の足
を挟む複数の頂点とによって構成される複数の辺のう
ち、最長の長辺を生成するように前記レイアウト図形を
分割するように、前記コンピュータを機能させるように
プログラムを構成してもよい。また、前記分割データ生
成手段は、前記最短の垂線が複数存在する場合、各垂線
の足と該垂線の足を挟む複数の頂点とによって構成され
る複数の辺のうち、最長の長辺を生成するように前記レ
イアウト図形を分割するように、前記コンピュータを機
能させるようにプログラムを構成してもよい。また、前
記分割データ生成手段は、前記最長の長辺が複数存在す
る場合、各垂線の足と該垂線の足を挟む複数の頂点とに
よって構成される複数の辺のうち、最長の短辺を生成す
るように前記レイアウト図形を分割するように、前記コ
ンピュータを機能させるようにプログラムを構成しても
よい。また、前記分割データ生成手段は、分割後の図形
の辺の長さが所定長以下になる場合には分割しないよう
に、前記コンピュータを機能させるようにプログラムを
構成してもよい。

【００１８】また、前記分割データ生成手段は、前記レ
イアウト図形の長さが所定長以上のときは窪み部分の有
無に拘わらず所定位置で分割するように、前記コンピュ
ータを機能させるようにプログラムを構成してもよい。
また、前記分割データ生成手段は、垂線の足が、既に切
断した辺上に位置するようになる場合には、前記垂線に
そっては切断しないように、前記コンピュータを機能さ
せるようにプログラムを構成してもよい。また、相接す
る２つのレイアウト図形が一の相補マスクに属する場
合、前記分割データ生成手段は一方のレイアウト図形を
複数のレイアウト図形に分割し、前記相補マスクデータ
生成手段は、前記分割によって得られる複数のレイアウ
ト図形のうち、他方のレイアウト図形に接するレイアウ
ト図形を他の相補マスクに属するように振り分けるよう
に、前記コンピュータを機能させるようにプログラムを
構成してもよい。また、前記分割データ生成手段は、前
記分割条件記憶手段に予め記憶した分割条件を満足する
ように、前記レイアウト図形データを異なる複数の方向
に分割することにより前記複数の分割レイアウト図形デ
ータを生成するように、前記コンピュータを機能させる
ようにプログラムを構成してもよい。また、前記分割条
件を前記分割条件記憶手段に設定するための分割条件設
定手段を備えて成るように、前記コンピュータを機能さ
せるようにプログラムを構成してもよい。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明の実施の形態に係るステンシルマスクのレイアウト図
形データ分割処理装置、ステンシルマスクのレイアウト
図形データ分割処理方法、コンピュータにステンシルマ
スクのレイアウト図形データ分割処理を行わせるための
プログラムについて説明する。図１は、本発明の実施の
形態に係るステンシルマスクのレイアウト図形データ分
割処理装置のブロック図である。

【００２０】図１において、コンピュータによって構成
されたレイアウト図形分割処理装置１００は、各種演算
処理を行い処理手段を構成する中央処理装置（ＣＰＵ）
１０１、ＣＲＴ等によって構成され表示手段を構成する
表示装置１０２、キーボードやマウス等によって構成さ
れ操作手段や分割条件設定手段を構成する入力装置１０
３、ＣＰＵ１０１が実行するプログラムや集積回路のレ
イアウト図形データ等が記憶されると共に磁気ディスク
等によって構成された外部記憶装置１０５、前記プログ
ラムが一時記憶されると共に前記レイアウト図形データ
の少なくとも一部や処理過程にある情報が一時記憶され
る主記憶装置１０４を備えている。

【００２１】外部記憶装置１０５は、レイアウト図形情
報記憶手段を構成するレイアウト図形情報記憶部１０７
及び相補マスクデータ記憶手段を構成する相補マスクデ
ータ記憶手段１０８を備えている。レイアウト図形情報
記憶部１０７は、集積回路のレイアウト図形データを予
め記憶している。また、相補マスクデータ記憶部１０８
は、前記レイアウト図形データの分割処理を行い、前記
分割レイアウト図形データを２枚の相補ステンシルマス
クに振り分けることによって得られる相補マスクデータ
を記憶する。主記憶装置１０４は、レイアウト図形を分
割した分割レイアウト図形を一時記憶するための分割デ
ータ記憶部１０６を有し又、仮想メモリ空間が形成され
るように構成されており、レイアウト図形分割処理装置
１００が前記レイアウト図形データを利用してレイアウ
ト図形の分割処理、相補マスクの生成処理を行う際に
は、前記仮想メモリ空間を利用して処理を行う。尚、外
部記憶装置１０５及び主記憶装置１０４は記憶手段を構
成している。

【００２２】図２及び図３は、本発明の実施の形態に係
るステンシルマスクのレイアウト図形データ分割処理装
置１００の処理を示すフローチャートで、外部記憶装置
１０５にインストールされたプログラムを主記憶装置１
０４に記憶し、ＣＰＵ１０１で処理することにより実行
される。図４〜図１１は、本発明の実施の形態における
処理を説明するための図で、半導体集積回路のレイアウ
ト図形を示す図である。尚、図４〜図１１のレイアウト
図形は表示装置１０２に表示するようにしてもよい。

【００２３】以下、図１〜図１１を用いて、本発明の実
施の形態に係るステンシルマスクのレイアウト図形デー
タ分割処理装置、ステンシルマスクのレイアウト図形デ
ータ分割処理方法、コンピュータにステンシルマスクの
レイアウト図形データ分割処理を行わせるためのプログ
ラムについて詳細に説明する。入力装置１０３による操
作に応答して、先ず、レイアウト図形情報記憶部１０７
から半導体集積回路のレイアウト図形データ読み出す
（ステップＳ２０１）。ここで、ステップＳ２０１はレ
イアウト図形データ読み出し手段を構成している。次
に、読み出したレイアウト図形データに含まれる窪み部
分のうち、最も幅狭の部分を検出する（ステップＳ２０
２）。ここで、窪み部分とは、レイアウト図形の開口部
を構成する複数の辺の連結点であって開口部分の凹部側
を意味している。

【００２４】ステップＳ２０２では、各窪み部分を起点
として、隣接する辺に垂線を形成し、該垂線が最も短い
部分（換言すれば開口部分が最も幅狭の部分）を検出す
る。前記垂線は、横方向又は縦方向の一方向のみなら
ず、垂線を形成できる方向であれば、横方向、縦方向の
いずれの方向にも形成される。次に、前記窪み部分のう
ち、最も幅狭の開口部分、換言すれば、最も長さの短い
垂線が複数存在するか否かを判断する（ステップＳ２０
３）。ステップＳ２０３において、最も幅狭の開口部分
が一つしか存在しないと判断した場合には、該最も幅狭
の開口部分に形成した垂線を切断候補に決定し（ステッ
プＳ２０４）、ステップＳ２０９に移行する。

【００２５】ここで、ステップＳ２０３、Ｓ２０４にお
ける切断候補の決定処理について、図４を用いて説明す
る。ステップＳ２０３、Ｓ２０４におけるレイアウト図
形の切断候補の決定処理は、基本的に、先ずレイアウト
図形の窪み部分から隣接する辺に対して垂線を形成し、
該垂線のうちの最短の垂線を切断候補とするものであ
る。図４において、開口部分３０１は略コの字状に形成
されており、点Ａ及び点Ｂが窪み部分である。窪み部分
Ａから、隣接する辺３０２へは点ＳにＸ方向（横方向）
の垂線ＡＳが形成され又、隣接する辺３０３へは点Ｔに
Ｙ方向（縦方向）の垂線ＡＴが形成される。同様に、窪
み部分Ｂからは、隣接する辺３０３へは点ＵにＹ方向の
垂線ＢＵが形成され又、隣接する辺３０４へは点ＶにＸ
方向の垂線ＢＶが形成される。垂線ＡＳ、ＡＴ、ＢＵ、
ＢＶのうち、垂線ＡＳが最も短いため、即ち、開口部分
３０１の中で垂線ＡＳ部分が最も幅狭であるため、垂線
ＡＳを切断候補として決定する。更に、垂線ＡＳにそっ
てレイアウト図形を２分割した場合には、分割後に生じ
た２つの各レイアウト図形についても前記同様にして切
断候補を決定して分割処理を行うことにより全ての窪み
部分についての処理を行う（後述するステップＳ２１
４）。

【００２６】一方、ステップＳ２０３において、最も幅
狭の開口部分が複数存在すると判断した場合には、前記
最も幅狭の部分について、窪み部分から隣接する辺に形
成した垂線の足と該垂線の足を挟む２つの頂点との距離
が短い方の線分（短辺）の長さを比較する（ステップＳ
２０５）。次に、最長の前記短辺が複数存在するか否か
を判断し（ステップＳ２０６）、最長の前記短辺が一つ
しか存在しない場合には該短辺が生成される垂線を切断
候補として決定し（ステップＳ２０７）、ステップＳ２
０９に移行する。ステップＳ２０６において、最長の前
記短辺が複数存在すると判断した場合には、前記短辺が
最長のものについて、窪み部分から隣接する辺に形成し
た垂線の足と該垂線の足を挟む２つの頂点との距離が長
い方の線分（長辺）の長さが最も長いものが生成される
垂線を切断候補に決定し（ステップＳ２０８）、ステッ
プ２０９に移行する。

【００２７】ここで、ステップＳ２０３において最も幅
狭の開口部分が複数存在すると判断した場合に、ステッ
プＳ２０５〜Ｓ２０８における処理を、図５を用いて具
体的に説明する。ステップＳ２０５〜Ｓ２０８における
レイアウト図形切断候補の決定処理は、基本的に、複数
の窪み部分から隣接する辺に対して形成した垂線の足か
ら、前記垂線の足を挟む両側の頂点までの距離を算出
し、長さが最も余裕のある候補を切断候補として決定す
るようにしている。例えば、先ず、各切断候補の垂線の
足と該垂線の足を挟む２つの頂点とによって形成される
線分のうち短辺について長さを比較し、短辺が最も長い
レイアウト図形を生成するような垂線を切断候補として
決定する。短辺が最長のものが複数存在する場合には、
前記短辺が最長のものについて、窪み部分から隣接する
辺に対して形成した垂線の足と該垂線の足を挟む２つの
頂点とによって形成される線分のうち長辺について長さ
を比較し、長辺が最長のレイアウト図形を生成するよう
な垂線を切断候補として決定する。

【００２８】図５を用いて前記処理の例を具体的に説明
する。図５において、開口部分５０１は略コの字状に形
成されており、点Ｆ及び点Ｇが窪み部分である。窪み部
分Ｆから、隣接する辺５０２へは点ＶにＸ方向（横方
向）の垂線ＦＶが形成され又、隣接する辺５０３へは点
ＵにＹ方向（縦方向）の垂線ＦＵが形成される。同様
に、窪み部分Ｇからは、隣接する辺５０３へは点ＴにＹ
方向の垂線ＧＴが形成され又、隣接する辺５０４へは点
ＳにＸ方向の垂線ＧＳが形成される。そこで先ず、垂線
ＧＳ、ＧＴ、ＦＵ、ＦＶのうち、最も短いものが切断候
補として決定される（ステップＳ２０２）。もし、垂線
ＧＳ、ＧＴ、ＦＵ、ＦＶの長さが全て同一の場合には、
ステップＳ２０３において、最も幅狭の開口部分が複数
存在すると判断し、ステップＳ２０５へ移行して各短辺
の長さを比較する。ここで、短辺は、短辺ＳＢ、短辺Ｔ
Ｂ、短辺ＵＣ、短辺ＶＣの４つであるため、各短辺Ｓ
Ｂ、短辺ＴＢ、短辺ＵＣ、短辺ＶＣの長さを比較して最
長の短辺が１つ存在する場合には、該最長の短辺が生成
するような垂線を切断候補として決定する（ステップＳ
２０６、Ｓ２０７）。もし、各短辺ＳＢ、短辺ＴＢ、短
辺ＵＣ、短辺ＶＣの長さが全て同一の場合には、ステッ
プＳ２０６において最長の短辺が複数存在すると判断し
て、長辺ＳＡ、ＴＣ、ＵＢ、ＶＤのうち、最長のものを
生成するような垂線を切断候補として決定する（ステッ
プＳ２０８）。図５の例では、長辺ＳＡが最長であるた
め、垂線ＧＳを切断候補として決定する。

【００２９】次に、レイアウト図形データを前記切断候
補で切断して分割した場合に、所定長以下の辺を有する
微小片が生成されないか否かを判断する（ステップＳ２
０９）。図６は、ステップＳ２０９における切断候補の
決定処理を説明するための図である。図６において、開
口部分６０１は大きな長方形状部分に小さな長方形部分
が一体となった形状に形成されており、点Ａが窪み部分
である。窪み部分Ａから隣接する辺６０２上の点Ｓに、
Ｙ方向の垂線ＡＳが形成される。したがって、垂線ＡＳ
で切断した場合、小さな四角形ＡＳＣＢが生成すること
になる。この場合、辺ＡＢ及び辺ＳＣのいずれか一方の
長さが所定値以下の場合には、微少片が生成されること
になる。そこで、辺ＡＢ及び辺ＳＣの少なくとも一方の
辺の長さが予め定めた所定値以下の場合には、辺ＡＳを
切断候補とはしないようにする。ステップＳ２０９で
は、この様にして、ステップＳ２０４、Ｓ２０７、Ｓ２
０８で決定した切断候補を有効な切断候補にするか否か
を判断する。これにより、レイアウト図形切断時の微小
片図形の発生を抑えることができる。ステップＳ２０９
において、微小片が生成されると判断した場合には切断
候補を取り消して（ステップＳ２１０）ステップＳ２１
４へ移行し、微小片が生成されないと判断した場合に
は、切断候補である垂線の足が、既に切断された辺上に
位置しないか否かを判断する（ステップＳ２１１）。

【００３０】図７及び図８は、前記ステップＳ２１１に
おける切断候補の決定処理を説明するための図である。
切断された３つ以上のレイアウト図形が隣接すると共
に、隣接するレイアウト図形が同一の相補マスクに属す
る場合には、マスク作成上問題が生じる。即ち、図７に
示すように、先ず窪み部分Ａから隣接する辺７０１に対
して垂線ＡＳを形成して垂線ＡＳを切断候補として決定
し、その後、窪み部分Ｂから隣接する辺７０２に対して
垂線ＢＴを形成し、垂線ＢＴを２つ目の切断候補とした
場合、３つのレイアウト図形７０３〜７０５が互いに接
しているため、２つの相補マスク１、２へのレイアウト
図形の割り振りが不可能になる。そこで、既に切断処理
されているレイアウト図形に関して、垂線の足が既存の
切断辺上に位置するようになる場合には、該垂線は切断
候補とはしないようにする。この処理により、３つ以上
の図形がお互いに接し合うことが無くなるので、相補マ
スクへのレイアウト図形の割り振りが保証される。

【００３１】これを図８を用いてさらに説明すると、ス
テップＳ２１１では、レイアウト図形が線分ＡＳで切断
された後、次の切断候補を決定する際に、窪み部分Ｂか
らの垂線の足Ｔは既存の切断辺ＡＳ上に位置するので、
垂線の足Ｔは切断候補点とはされず、その代わり、ステ
ップＳ２１２において、窪み部分Ｂから隣接する辺７０
２に対してＹ方向に形成した垂線ＢＵを切断候補に変更
して、該決定した切断候補ＢＵでレイアウト図形を切断
し分割し、前記分割処理で得られた複数のレイアウト図
形データを分割データ記憶部１０６に記憶する（ステッ
プＳ２１３）。分割後のレイアウト図形データ（分割図
形データ）も含めて、全ての窪み部分について前記処理
を行い、得られた分割レイアウト図形データを分割デー
タ記憶部１０６に記憶する（ステップＳ２１４）。次
に、得られた複数の分割図形データの長さが、予め定め
た所定長以上のものが存在する場合には、該分割図形デ
ータを更に切断して分割し、前記所定長以上の分割図形
データが存在しないようにする（ステップＳ２１５）。
前記処理によって得られた分割図形データも分割データ
記憶部１０６に記憶する。次に、得られた全ての分割図
形データを２枚の相補ステンシルに振り分ける（ステッ
プＳ２１６）。

【００３２】次に、隣接する分割図形が同一の相補マス
クに属するか否かを判断する（図３のステップＳ２１
７）。例えば、図９に示すように、閉図形を分割処理す
る場合、単純に分割を行うと、隣接するレイアウト図形
同士が同一の相補マスクに属するようになる場合が生
じ、マスク作成上問題となる。即ち、図９において、閉
図形の開口部分を、複数の開口部分６０１〜６０５に分
割し、開口部分６０１、６０３は第１の相補マスク１に
属し、開口部分６０２、６０４、６０５は第２の相補マ
スク２に属するように振り分けた場合、同一の相補マス
クに属する開口部分６０４、６０５が相互に接してい
る。そのため、相補マスク２では開口部分６０４、６０
５が分割されず、マスク作成上問題となる。

【００３３】ステップＳ２１７〜Ｓ２２０では、係る問
題が生じないようにしている。即ち、ステップ２１７
で、隣接する図形が同一の相補マスクに属すると判断し
た場合、隣接するレイアウト図形の一方を切断し（ステ
ップＳ２１８）、該切断して得られた２つのレイアウト
図形のうち、他方のレイアウト図形に接するレイアウト
図形を、他方の相補マスクに移動する（ステップＳ２１
９）。即ち、図１０及び図１１に示すように、ステンシ
ルマスク２に属する図形６０４をＸ軸方向で２分割し、
得られた２つのレイアウト図形１００１、１００２のう
ち、レイアウト図形６０５に接する図形１００１をマス
ク１に属するように変更する。これにより、図１１に示
すように、相互に接する図形が同一の相補マスクに属す
るような事態の発生を防止でき、レイアウト図形の分
割、振り分け処理が正しく行われることになる。上記処
理を全てのレイアウト図形に対して行い、得られたレイ
アウト図形データは全て分割データ記憶部１０６に記憶
する（ステップＳ２２０）。

【００３４】分割データ記憶部１０６に記憶した複数の
分割レイアウト図形データを、複数の相補マスクに割り
振り、これによって得られた相補マスクデータを相補マ
スクデータ記憶部１０８に記憶して処理を終了する（ス
テップＳ２２１）。尚、前記処理において、ステップＳ
２０２〜Ｓ２２１は相補マスクデータ生成手段を構成し
又、ステップＳ２０２〜Ｓ２１５、Ｓ２１７〜Ｓ２２０
は分割データ生成手段を構成している。

【００３５】以上述べたように、本発明の実施の形態に
係るステンシルマスクのレイアウト図形分割処理装置
は、特に、ステンシルマスクのレイアウト図形データを
記憶したレイアウト図形情報記憶手段と、前記レイアウ
ト図形情報記憶手段からレイアウト図形データを読み込
むレイアウト図形データ読み込み手段と、相補マスクデ
ータを記憶するための相補マスクデータ記憶手段と、前
記レイアウト図形データ読み込み手段で読み込んだ前記
レイアウト図形データを異なる複数の方向に分割するこ
とによって複数の分割レイアウト図形データを生成し、
前記複数の分割レイアウト図形データを複数の相補マス
クデータに振り分けることによって複数の相補マスクデ
ータを生成して前記相補マスクデータ記憶手段に記憶す
る相補マスクデータ生成手段とを備えて成ることを特徴
としている。したがって、複雑なレイアウト図形の場合
でも、最適な分割処理を行うことが可能になる。

【００３６】また、本発明の実施の形態に係るステンシ
ルマスクのレイアウト図形分割処理方法は、特に、レイ
アウト図形データ読み込み手段が、ステンシルマスクの
レイアウト図形データを記憶したレイアウト図形情報記
憶手段からレイアウト図形データを読み込み、相補マス
クデータ生成手段が、前記レイアウト図形データ読み込
み手段で読み込んだレイアウト図形データを異なる複数
の方向に分割することによって複数の分割レイアウト図
形データを生成し、前記複数の分割レイアウト図形デー
タを複数の相補マスクデータに振り分けることによって
複数の相補マスクデータを生成して相補マスクデータ記
憶手段に記憶することを特徴としている。したがって、
複雑なレイアウト図形の場合でも、最適な分割処理を行
うことが可能になる。

【００３７】また、本発明のプログラムは、特に、コン
ピュータを、ステンシルマスクのレイアウト図形データ
を記憶したレイアウト図形情報記憶手段からレイアウト
図形データを読み込むレイアウト図形データ読み込み手
段と、前記レイアウト図形データ読み込み手段で読み込
んだ前記レイアウト図形データを異なる複数の方向に分
割することによって複数の分割レイアウト図形データを
生成し、前記複数の分割レイアウト図形データを複数の
相補マスクデータに振り分けることによって複数の相補
マスクデータを生成して相補マスクデータ記憶手段に記
憶する相補マスクデータ生成手段として機能させること
を特徴としている。したがって、コンピュータに本プロ
グラムを実行させることにより、複雑なレイアウト図形
の場合でも、最適な分割処理を行うことが可能になる。

【００３８】尚、図２及び図３に示した各種処理を必要
に応じて前後させることは可能である。例えば、ステッ
プＳ２０６で、最短の垂線が複数存在する場合、各垂線
の足と該垂線の足を挟む複数の頂点とによって構成され
る複数の辺のうち、最長の長辺を生成するように前記レ
イアウト図形を分割し、更に、前記最長の長辺が複数存
在する場合には、各垂線の足と該垂線の足を挟む複数の
頂点とによって構成される複数の辺のうち、最長の短辺
を生成するように前記レイアウト図形を分割するように
構成してもよい。また、微小片が生成するか否かの判断
処理（ステップ２０９）等は、いずれかの処理を行う毎
に実行する等、複数回行うようにしてもよい。また、外
部記憶装置１０５内に、レイアウト図形の分割条件を予
め記憶した分割条件記憶手段を設け、前記分割データ生
成手段は、前記分割条件記憶手段に記憶した分割条件を
満足するように、前記レイアウト図形データを異なる複
数の方向に分割することにより前記複数の分割レイアウ
ト図形データを生成するように構成してもよい。この場
合、入力装置１０３を操作することにより前記分割条件
を入力し、前記分割条件記憶手段に記憶するようにして
もよい。

【００３９】

【発明の効果】本発明に係るステンシルマスクのレイア
ウト図形データ分割処理装置によれば、複雑なレイアウ
ト図形の場合でも、最適な分割処理を行うことが可能に
なる。また、本発明に係るステンシルマスクのレイアウ
ト図形データ分割処理方法によれば、複雑なレイアウト
図形の場合でも、最適な分割処理を行うことが可能にな
る。また、本発明に係るプログラムによれば、複雑なレ
イアウト図形の場合でも、コンピュータに最適な分割処
理を行わせることが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るステンシルマスクの
レイアウト図形データ分割処理装置のブロック図であ
る。

【図２】本発明の実施の形態に係る処理を示すフローチ
ャートである。

【図３】本発明の実施の形態に係る処理を示すフローチ
ャートである。

【図４】本発明の実施の形態におけるレイアウト図形の
分割処理を説明するための説明図である。

【図５】本発明の実施の形態におけるレイアウト図形の
分割処理を説明するための説明図である。

【図６】本発明の実施の形態におけるレイアウト図形の
分割処理を説明するための説明図である。

【図７】本発明の実施の形態におけるレイアウト図形の
分割処理を説明するための説明図である。

【図８】本発明の実施の形態におけるレイアウト図形の
分割処理を説明するための説明図である。

【図９】本発明の実施の形態におけるレイアウト図形の
分割処理を説明するための説明図である。

【図１０】本発明の実施の形態におけるレイアウト図形
の分割処理を説明するための説明図である。

【図１１】本発明の実施の形態におけるレイアウト図形
の分割処理を説明するための説明図である。

【図１２】一般的なレイアウト図形の分割処理を説明す
るための説明図である。

【図１３】一般的なレイアウト図形の分割処理を説明す
るための説明図である。

【図１４】従来のレイアウト図形の分割処理を説明する
ための説明図である。

【図１５】従来のレイアウト図形の分割処理を説明する
ための説明図である。

【符号の説明】

１００・・・レイアウト図形データ分割処理装置 １０１・・・相補マスクデータ生成手段及び分割データ
生成手段を構成するＣＰＵ １０２・・・表示手段を構成する表示装置 １０３・・・操作手段を構成する入力装置 １０４・・・記憶手段を構成する主記憶装置 １０５・・・記憶手段を構成する外部記憶装置 １０６・・・分割データ記憶手段を構成する分割データ
記憶部 １０７・・・レイアウト図形情報記憶手段を構成するレ
イアウト図形情報記憶部 １０８・・・相補マスクデータ記憶手段を構成する相補
マスクデータ記憶部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (54)【発明の名称】 ステンシルマスクのレイアウト図形データ分割処理装置、ステンシルマスクのレイアウト図形デ ータ分割処理方法、コンピュータにステンシルマスクのレイアウト図形データ分割処理を行わせ るためのプログラム

Claims (39)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ステンシルマスクのレイアウト図形デー
   タを記憶したレイアウト図形情報記憶手段と、 前記レイアウト図形情報記憶手段からレイアウト図形デ
   ータを読み込むレイアウト図形データ読み込み手段と、 相補マスクデータを記憶するための相補マスクデータ記
   憶手段と、 前記レイアウト図形データ読み込み手段で読み込んだ前
   記レイアウト図形データを異なる複数の方向に分割する
   ことによって複数の分割レイアウト図形データを生成
   し、前記複数の分割レイアウト図形データを複数の相補
   マスクデータに振り分けることによって複数の相補マス
   クデータを生成して前記相補マスクデータ記憶手段に記
   憶する相補マスクデータ生成手段とを備えて成ることを
   特徴とするステンシルマスクのレイアウト図形分割処理
   装置。
2. 【請求項２】 複数の分割レイアウト図形データを記憶
   するための分割データ記憶手段を有すると共に、前記相
   補マスクデータ生成手段は前記レイアウト図形データを
   異なる複数の方向に分割することによって複数の分割レ
   イアウト図形データを生成する分割データ生成手段を有
   して成り、 前記相補マスクデータ生成手段は、前記分割データ生成
   手段で生成した前記複数の分割レイアウト図形データを
   前記分割データ記憶手段に記憶し、前記分割データ記憶
   手段に記憶した図形データを複数の相補マスクデータに
   振り分けることにより前記相補マスクデータを生成する
   ことを特徴とする請求項１記載のステンシルマスクのレ
   イアウト図形分割処理装置。
3. 【請求項３】 前記分割データ生成手段は、前記レイア
   ウト図形データの窪み部分から隣接する辺に形成した最
   短の垂線にそって分割することを特徴とする請求項２記
   載のステンシルマスクのレイアウト図形分割処理装置。
4. 【請求項４】 前記分割データ生成手段は、前記最短の
   垂線が複数存在する場合、各垂線の足と該垂線の足を挟
   む複数の頂点とによって構成される複数の辺のうち、最
   長の短辺を生成するように前記レイアウト図形を分割す
   ることを特徴とする請求項３記載のステンシルマスクの
   レイアウト図形分割処理装置。
5. 【請求項５】 前記分割データ生成手段は、前記最長の
   短辺が複数存在する場合、各垂線の足と該垂線の足を挟
   む複数の頂点とによって構成される複数の辺のうち、最
   長の長辺を生成するように前記レイアウト図形を分割す
   ることを特徴とする請求項４記載のステンシルマスクの
   レイアウト図形分割処理装置。
6. 【請求項６】 前記分割データ生成手段は、前記最短の
   垂線が複数存在する場合、各垂線の足と該垂線の足を挟
   む複数の頂点とによって構成される複数の辺のうち、最
   長の長辺を生成するように前記レイアウト図形を分割す
   ることを特徴とする請求項３記載のステンシルマスクの
   レイアウト図形分割処理装置。
7. 【請求項７】 前記分割データ生成手段は、前記最長の
   長辺が複数存在する場合、各垂線の足と該垂線の足を挟
   む複数の頂点とによって構成される複数の辺のうち、最
   長の短辺を生成するように前記レイアウト図形を分割す
   ることを特徴とする請求項６記載のステンシルマスクの
   レイアウト図形分割処理装置。
8. 【請求項８】 前記分割データ生成手段は、分割後の図
   形の辺の長さが所定長以下になる場合には分割しないこ
   とを特徴とする請求項２乃至７のいずれか一に記載のス
   テンシルマスクのレイアウト図形分割処理装置。
9. 【請求項９】 前記分割データ生成手段は、前記レイア
   ウト図形の長さが所定長以上のときは窪み部分の有無に
   拘わらず所定位置で分割することを特徴とする請求項２
   乃至８のいずれか一に記載のステンシルマスクのレイア
   ウト図形分割処理装置。
10. 【請求項１０】 前記分割データ生成手段は、垂線の足
    が、既に切断した辺上に位置するようになる場合には、
    前記垂線にそっては切断しないようにすることを特徴と
    する請求項２乃至９のいずれか一に記載のステンシルマ
    スクのレイアウト図形分割処理装置。
11. 【請求項１１】 相接する２つのレイアウト図形が一の
    相補マスクに属する場合、前記分割データ生成手段は一
    方のレイアウト図形を複数のレイアウト図形に分割し、
    前記相補マスクデータ生成手段は、前記分割によって得
    られる複数のレイアウト図形のうち、他方のレイアウト
    図形に接するレイアウト図形を他の相補マスクに属する
    ように振り分けることを特徴とする請求項２乃至１０の
    いずれか一に記載のステンシルマスクのレイアウト図形
    分割処理装置。
12. 【請求項１２】 分割条件を予め記憶した分割条件記憶
    手段を備え、 前記分割データ生成手段は、前記分割条件記憶手段に記
    憶した分割条件を満足するように、前記レイアウト図形
    データを異なる複数の方向に分割することにより前記複
    数の分割レイアウト図形データを生成することを特徴と
    する請求項２乃至１１のいずれか一に記載のステンシル
    マスクのレイアウト図形分割処理装置。
13. 【請求項１３】 前記分割条件を前記分割条件記憶手段
    に設定するための分割条件設定手段を備えて成ることを
    特徴とする請求項１２記載のステンシルマスクのレイア
    ウト図形分割処理装置。
14. 【請求項１４】 レイアウト図形データ読み込み手段
    が、ステンシルマスクのレイアウト図形データを記憶し
    たレイアウト図形情報記憶手段からレイアウト図形デー
    タを読み込み、 相補マスクデータ生成手段が、前記レイアウト図形デー
    タ読み込み手段で読み込んだレイアウト図形データを異
    なる複数の方向に分割することによって複数の分割レイ
    アウト図形データを生成し、前記複数の分割レイアウト
    図形データを複数の相補マスクデータに振り分けること
    によって複数の相補マスクデータを生成して相補マスク
    データ記憶手段に記憶することを特徴とするステンシル
    マスクのレイアウト図形分割処理方法。
15. 【請求項１５】 前記相補マスクデータ生成手段は前記
    レイアウト図形データを異なる複数の方向に分割するこ
    とによって複数の分割レイアウト図形データを生成する
    分割データ生成手段を有し、 前記相補マスクデータ生成手段が、前記分割データ生成
    手段で生成した前記複数の分割レイアウト図形データを
    分割データ記憶手段に記憶し、前記分割データ記憶手段
    に記憶した図形データを複数の相補マスクデータに振り
    分けることにより前記相補マスクデータを生成すること
    を特徴とする請求項１４記載のステンシルマスクのレイ
    アウト図形分割処理方法。
16. 【請求項１６】 前記分割データ生成手段は、前記レイ
    アウト図形データの窪み部分から隣接する辺に形成した
    最短の垂線にそって分割することを特徴とする請求項１
    ５記載のステンシルマスクのレイアウト図形分割処理方
    法。
17. 【請求項１７】 前記分割データ生成手段は、前記最短
    の垂線が複数存在する場合、各垂線の足と該垂線の足を
    挟む複数の頂点とによって構成される複数の辺のうち、
    最長の短辺を生成するように前記レイアウト図形を分割
    することを特徴とする請求項１６記載のステンシルマス
    クのレイアウト図形分割処理方法。
18. 【請求項１８】 前記分割データ生成手段は、前記最長
    の短辺が複数存在する場合、各垂線の足と該垂線の足を
    挟む複数の頂点とによって構成される複数の辺のうち、
    最長の長辺を生成するように前記レイアウト図形を分割
    することを特徴とする請求項１７記載のステンシルマス
    クのレイアウト図形分割処理方法。
19. 【請求項１９】 前記分割データ生成手段は、前記最短
    の垂線が複数存在する場合、各垂線の足と該垂線の足を
    挟む複数の頂点とによって構成される複数の辺のうち、
    最長の長辺を生成するように前記レイアウト図形を分割
    することを特徴とする請求項１６記載のステンシルマス
    クのレイアウト図形分割処理方法。
20. 【請求項２０】 前記分割データ生成手段は、前記最長
    の長辺が複数存在する場合、各垂線の足と該垂線の足を
    挟む複数の頂点とによって構成される複数の辺のうち、
    最長の短辺を生成するように前記レイアウト図形を分割
    することを特徴とする請求項１９記載のステンシルマス
    クのレイアウト図形分割処理方法。
21. 【請求項２１】 前記分割データ生成手段は、分割後の
    図形の辺の長さが所定長以下になる場合には分割しない
    ことを特徴とする請求項１５乃至２０のいずれか一に記
    載のステンシルマスクのレイアウト図形分割処理方法。
22. 【請求項２２】 前記分割データ生成手段は、前記レイ
    アウト図形の長さが所定長以上のときは窪み部分の有無
    に拘わらず所定位置で分割することを特徴とする請求項
    １５乃至２１のいずれか一に記載のステンシルマスクの
    レイアウト図形分割処理方法。
23. 【請求項２３】 前記分割データ生成手段は、垂線の足
    が、既に切断した辺上に位置するようになる場合には、
    前記垂線にそっては切断しないようにすることを特徴と
    する請求項１５乃至２２のいずれか一に記載のステンシ
    ルマスクのレイアウト図形分割処理方法。
24. 【請求項２４】 相接する２つのレイアウト図形が一の
    相補マスクに属する場合、前記分割データ生成手段は一
    方のレイアウト図形を複数のレイアウト図形に分割し、
    前記相補マスクデータ生成手段は、前記分割によって得
    られる複数のレイアウト図形のうち、他方のレイアウト
    図形に接するレイアウト図形を他の相補マスクに属する
    ように振り分けることを特徴とする請求項１５乃至２３
    のいずれか一に記載のステンシルマスクのレイアウト図
    形分割処理方法。
25. 【請求項２５】 前記分割データ生成手段は、分割条件
    記憶手段に記憶した分割条件を満足するように、前記レ
    イアウト図形データを異なる複数の方向に分割すること
    により前記複数の分割レイアウト図形データを生成する
    ことを特徴とする請求項１５乃至２４のいずれか一に記
    載のステンシルマスクのレイアウト図形分割処理方法。
26. 【請求項２６】 分割条件設定手段から前記分割条件記
    憶手段に前記分割条件を設定するようにしたことを特徴
    とする請求項２５記載のステンシルマスクのレイアウト
    図形分割処理方法。
27. 【請求項２７】 コンピュータを、 ステンシルマスクのレイアウト図形データを記憶したレ
    イアウト図形情報記憶手段からレイアウト図形データを
    読み込むレイアウト図形データ読み込み手段と、 前記レイアウト図形データ読み込み手段で読み込んだ前
    記レイアウト図形データを異なる複数の方向に分割する
    ことによって複数の分割レイアウト図形データを生成
    し、前記複数の分割レイアウト図形データを複数の相補
    マスクデータに振り分けることによって複数の相補マス
    クデータを生成して相補マスクデータ記憶手段に記憶す
    る相補マスクデータ生成手段として機能させることを特
    徴とするプログラム。
28. 【請求項２８】 前記相補マスクデータ生成手段が前記
    レイアウト図形データを異なる複数の方向に分割するこ
    とによって複数の分割レイアウト図形データを生成する
    分割データ生成手段としての機能を有し、 前記相補マスクデータ生成手段が、前記分割データ生成
    手段で生成した前記複数の分割レイアウト図形データを
    分割データ記憶手段に記憶し、前記分割データ記憶手段
    に記憶した図形データを複数の相補マスクデータに振り
    分けることにより前記相補マスクデータを生成するよう
    に、前記コンピュータを機能させることを特徴とする請
    求項２７記載のプログラム。
29. 【請求項２９】 前記分割データ生成手段は、前記レイ
    アウト図形データの窪み部分から隣接する辺に形成した
    最短の垂線にそって分割するように、前記コンピュータ
    を機能させることを特徴とする請求項２８記載のプログ
    ラム。
30. 【請求項３０】 前記分割データ生成手段は、前記最短
    の垂線が複数存在する場合、各垂線の足と該垂線の足を
    挟む複数の頂点とによって構成される複数の辺のうち、
    最長の短辺を生成するように前記レイアウト図形を分割
    するように、前記コンピュータを機能させることを特徴
    とする請求項２９記載のプログラム。
31. 【請求項３１】 前記分割データ生成手段は、前記最長
    の短辺が複数存在する場合、各垂線の足と該垂線の足を
    挟む複数の頂点とによって構成される複数の辺のうち、
    最長の長辺を生成するように前記レイアウト図形を分割
    するように、前記コンピュータを機能させることを特徴
    とする請求項３０記載のプログラム。
32. 【請求項３２】 前記分割データ生成手段は、前記最短
    の垂線が複数存在する場合、各垂線の足と該垂線の足を
    挟む複数の頂点とによって構成される複数の辺のうち、
    最長の長辺を生成するように前記レイアウト図形を分割
    するように、前記コンピュータを機能させることを特徴
    とする請求項２９記載のプログラム。
33. 【請求項３３】 前記分割データ生成手段は、前記最長
    の長辺が複数存在する場合、各垂線の足と該垂線の足を
    挟む複数の頂点とによって構成される複数の辺のうち、
    最長の短辺を生成するように前記レイアウト図形を分割
    するように、前記コンピュータを機能させることを特徴
    とする請求項３２記載のプログラム。
34. 【請求項３４】 前記分割データ生成手段は、分割後の
    図形の辺の長さが所定長以下になる場合には分割しない
    ように、前記コンピュータを機能させることを特徴とす
    る請求項２８乃至３３のいずれか一に記載のプログラ
    ム。
35. 【請求項３５】 前記分割データ生成手段は、前記レイ
    アウト図形の長さが所定長以上のときは窪み部分の有無
    に拘わらず所定位置で分割するように、前記コンピュー
    タを機能させることを特徴とする請求項２８乃至３４の
    いずれか一に記載のプログラム。
36. 【請求項３６】 前記分割データ生成手段は、垂線の足
    が、既に切断した辺上に位置するようになる場合には、
    前記垂線にそっては切断しないように、前記コンピュー
    タを機能させることを特徴とする請求項２８乃至３５の
    いずれか一に記載のプログラム。
37. 【請求項３７】 相接する２つのレイアウト図形が一の
    相補マスクに属する場合、前記分割データ生成手段は一
    方のレイアウト図形を複数のレイアウト図形に分割し、
    前記相補マスクデータ生成手段は、前記分割によって得
    られる複数のレイアウト図形のうち、他方のレイアウト
    図形に接するレイアウト図形を他の相補マスクに属する
    ように振り分けるように、前記コンピュータを機能させ
    ることを特徴とする請求項２８乃至３６のいずれか一に
    記載のプログラム。
38. 【請求項３８】 前記分割データ生成手段は、前記分割
    条件記憶手段に予め記憶した分割条件を満足するよう
    に、前記レイアウト図形データを異なる複数の方向に分
    割することにより前記複数の分割レイアウト図形データ
    を生成するように、前記コンピュータを機能させること
    を特徴とする請求項２８乃至３７のいずれか一に記載の
    プログラム。
39. 【請求項３９】 前記分割条件を前記分割条件記憶手段
    に設定するための分割条件設定手段を備えて成るよう
    に、前記コンピュータを機能させることを特徴とする請
    求項３８記載のプログラム。