JP2002522137A - 調整可能なx線フィルタを有するx線検査装置 - Google Patents
調整可能なx線フィルタを有するx線検査装置Info
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- G21K1/10—Scattering devices; Absorbing devices; Ionising radiation filters
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Abstract
(57)【要約】
本発明は、X線ビームを局部的に減衰させるX線フィルタを含むX線検査装置に関する。このX線フィルタは複数のフィルタ素子を含んでいる。フィルタ素子のX線吸収率は、このフィルタ素子に存在するX線を吸収した液体の量によって調整される。このフィルタ素子の充填が電圧によって調整される。X線を吸収した液体に加え、フィルタ素子は、X線を吸収した液体とフィルタ素子との間のインタフェース部に存在する第2液を含み、この第2液はX線を吸収した液体に関し化学的に不活性であり、第1液の導電率とは離れた導電率を有する。
Description
【0001】
本発明は、物体のX線画像を形成するX線検査装置に関する。この装置は、 −X線ビームを生成するX線源、 −壁部が導電層と電気的に絶縁する被覆層とを備えたフィルタ素子であって、容
量がこの物体の強度プロフィールを調整するために調整される第1液体を含むフ
ィルタ素子を具備するX線フィルタ、及び −X線画像を検出するX線検出器 を含んでいる。本発明は、上記X線検査装置に使用するX線フィルタにも関する
。
量がこの物体の強度プロフィールを調整するために調整される第1液体を含むフ
ィルタ素子を具備するX線フィルタ、及び −X線画像を検出するX線検出器 を含んでいる。本発明は、上記X線検査装置に使用するX線フィルタにも関する
。
【0002】 上述の種類の装置は、国際特許出願公開公報WO96/13040に述べられ
ている。既知のX線検査装置のX線フィルタは、検査すべき人間又は動物の身体
のような、X線検出器上に形成される物体のX線画像のダイナミックレンジを制
限するのに使用される。X線フィルタのフィルタ素子は、毛細管として構成され
、この一端が第1液体と連通する。この液体のX線吸収率は例えば鉛、セシウム
又はタングステンの塩の溶液を用いて増大する。電気的に絶縁する被覆層への第
1液体の付着は、導電層と第1液体とにかけられる電圧を通して調整される。よ
って各毛細管のフィルタが電圧の変化によって調整されるので、X線フィルタの
X線吸収プロフィールが短い期間、例えば0.4秒以内で調整される。X線フィ
ルタの毛細管の電圧付着特性は、電気的に絶縁する被覆層及び毛細管内の第1液
体と、導電体と第1液体との間にかかる電圧との関係を示す。既知のX線フィル
タの欠点は、電圧付着特性が変化しやすいので、X線フィルタの有効寿命が減少
してしまうことである。
ている。既知のX線検査装置のX線フィルタは、検査すべき人間又は動物の身体
のような、X線検出器上に形成される物体のX線画像のダイナミックレンジを制
限するのに使用される。X線フィルタのフィルタ素子は、毛細管として構成され
、この一端が第1液体と連通する。この液体のX線吸収率は例えば鉛、セシウム
又はタングステンの塩の溶液を用いて増大する。電気的に絶縁する被覆層への第
1液体の付着は、導電層と第1液体とにかけられる電圧を通して調整される。よ
って各毛細管のフィルタが電圧の変化によって調整されるので、X線フィルタの
X線吸収プロフィールが短い期間、例えば0.4秒以内で調整される。X線フィ
ルタの毛細管の電圧付着特性は、電気的に絶縁する被覆層及び毛細管内の第1液
体と、導電体と第1液体との間にかかる電圧との関係を示す。既知のX線フィル
タの欠点は、電圧付着特性が変化しやすいので、X線フィルタの有効寿命が減少
してしまうことである。
【0003】 本発明の目的は、電圧付着特性の変化が打ち消されるX線検査装置を提供する
ことである。このために、本発明に係るX線検査装置は、フィルタ素子が第1液
体と電気的に絶縁する被覆層とのインタフェース部で第2液体を含み、この第2
液体は第1液体に関し不活性であって、第1液体の導電率とは離れた導電率を有
する。X線検査装置の興味深い実施例は、従属請求項に規定される。本発明は、
電気的に絶縁する被覆層、第1液体及び第2液体がそれぞれの相を維持し、これ
ら第1及び第2液体は熱力学的に安定した二相システムを構築するという三相シ
ステムが形成されるという事実の認識に基づいている。その上、電気的に絶縁な
被覆層と第1液体との化学的相互作用が減少する。この化学的相互作用は、毛細
管の残りの部分と比較して、例えば第1液体と電気的に絶縁する被覆層との間の
接触ラインのようなインタフェース部近傍に高い電界強度が生じるために起こる
。この高い電界強度は接触ラインに沿った小さな曲率半径によるからある。この
高い電界強度のため、電界がインタフェース部での化学反応を誘発するので、第
1液体の原子又はイオンが被覆層に残る。第2液体が被覆層に関し不活性である
ので、電界により誘発される化学反応は、この第2液体を使うことなく、既知の
X線検査装置における化学反応よりも小さくなり、電圧付着特性の変化が打ち消
される。電圧付着特性の変化が減少することの利点は、X線フィルタの有効寿命
が例えば105回のスイッチサイクルまでに延長されることにある。本発明の第
2液体の更なる利点は、電圧付着特性のヒステリシスが減少することである。
ことである。このために、本発明に係るX線検査装置は、フィルタ素子が第1液
体と電気的に絶縁する被覆層とのインタフェース部で第2液体を含み、この第2
液体は第1液体に関し不活性であって、第1液体の導電率とは離れた導電率を有
する。X線検査装置の興味深い実施例は、従属請求項に規定される。本発明は、
電気的に絶縁する被覆層、第1液体及び第2液体がそれぞれの相を維持し、これ
ら第1及び第2液体は熱力学的に安定した二相システムを構築するという三相シ
ステムが形成されるという事実の認識に基づいている。その上、電気的に絶縁な
被覆層と第1液体との化学的相互作用が減少する。この化学的相互作用は、毛細
管の残りの部分と比較して、例えば第1液体と電気的に絶縁する被覆層との間の
接触ラインのようなインタフェース部近傍に高い電界強度が生じるために起こる
。この高い電界強度は接触ラインに沿った小さな曲率半径によるからある。この
高い電界強度のため、電界がインタフェース部での化学反応を誘発するので、第
1液体の原子又はイオンが被覆層に残る。第2液体が被覆層に関し不活性である
ので、電界により誘発される化学反応は、この第2液体を使うことなく、既知の
X線検査装置における化学反応よりも小さくなり、電圧付着特性の変化が打ち消
される。電圧付着特性の変化が減少することの利点は、X線フィルタの有効寿命
が例えば105回のスイッチサイクルまでに延長されることにある。本発明の第
2液体の更なる利点は、電圧付着特性のヒステリシスが減少することである。
【0004】 本発明に係るX線検査装置の特別な実施例は、フィルタ素子がガスも含むこと
を特徴とする。このフィルタ素子が例えば空気で部分的に満たされるとき、フィ
ルタ素子における第1液体の低い流体抵抗が達成されるので、X線フィルタの応
答時間が減少する。
を特徴とする。このフィルタ素子が例えば空気で部分的に満たされるとき、フィ
ルタ素子における第1液体の低い流体抵抗が達成されるので、X線フィルタの応
答時間が減少する。
【0005】 本発明に係るX線検査装置の更なる実施例は、第1液体が塩の溶液を持つ有極
性液体(polar liquid)を含むか又は液体金属を含むことを特徴とする。有極性液
体の利点は、塩がその液体に容易に溶解するので、それが導電率に適合し、X線
スペクトルを構成するので、第1液体の吸収スペクトルがX線源のスペクトル又
はX線検出器のスペクトルに適合するようになることを容易に可能にする。有極
性液体の実施例は硝酸鉛(Pb(NO3)2)又は過塩素酸鉛(Pb(ClO4 )2)の水溶液である。液体金属の利点は、これらが高密度であり、故に水溶液
と比較して高いX線吸収率を持つことである。液体金属を使用することはヨーロ
ッパ特許出願第EP98201706.3号に記載されている。
性液体(polar liquid)を含むか又は液体金属を含むことを特徴とする。有極性液
体の利点は、塩がその液体に容易に溶解するので、それが導電率に適合し、X線
スペクトルを構成するので、第1液体の吸収スペクトルがX線源のスペクトル又
はX線検出器のスペクトルに適合するようになることを容易に可能にする。有極
性液体の実施例は硝酸鉛(Pb(NO3)2)又は過塩素酸鉛(Pb(ClO4 )2)の水溶液である。液体金属の利点は、これらが高密度であり、故に水溶液
と比較して高いX線吸収率を持つことである。液体金属を使用することはヨーロ
ッパ特許出願第EP98201706.3号に記載されている。
【0006】 本発明に係るX線検査装置の更なる実施例は、この第2液体がアポーラ非フッ
化炭化水素(apolar non-fluoridzed hydrocarbon)化合物又はシリコンオイルを
含むことを特徴とする。有極性液体とこれら液体との相溶性は低い、つまりこれ
らは化学的に不活性で、第1液体と比較して低い導電率を有する。本出願の明細
書において、導電は比導電率σを意味すると理解すべきである。
化炭化水素(apolar non-fluoridzed hydrocarbon)化合物又はシリコンオイルを
含むことを特徴とする。有極性液体とこれら液体との相溶性は低い、つまりこれ
らは化学的に不活性で、第1液体と比較して低い導電率を有する。本出願の明細
書において、導電は比導電率σを意味すると理解すべきである。
【0007】 本発明に係るX線検査装置の他の実施例は、専ら第1液体と第2液体とで満た
され、第1液体のX線吸収率は第2液体のX線吸収率とは離れていることを特徴
とする。このステップの結果として、フィルタ素子の電圧付着特性が重力に対す
るフィルタ素子の配向への依存を小さくし、C型アームを有するX線検査装置に
おいてX線フィルタを使用可能にする。
され、第1液体のX線吸収率は第2液体のX線吸収率とは離れていることを特徴
とする。このステップの結果として、フィルタ素子の電圧付着特性が重力に対す
るフィルタ素子の配向への依存を小さくし、C型アームを有するX線検査装置に
おいてX線フィルタを使用可能にする。
【0008】 本発明に係るX線検査装置の他の実施例は、第2液体がヨウ素又はブロミウム
(bromium)を含む化合物も有することを特徴とする。ヨウ素又はブロミウムを含
む化合物の溶液がフィルタ素子を生じさせ、この素子の導電率は第1液体に対し
低い一方、第2液体のX線吸収率は第1液体のX線吸収率よりも高くなる。低い
導電率と高いX線吸収率とを有する第2液体は、第2液体から被覆層へX線を吸
収した堆積物が減らされ、よってX線フィルタの有効寿命が増大するという利点
を提供する。上記第2液体の実施例は、Ch2I2又は1,3,5トリヨードベ
ンゼン(1,3,5-triiodine benzene)が溶解したヘキサデカン(hexadecane)である
。
(bromium)を含む化合物も有することを特徴とする。ヨウ素又はブロミウムを含
む化合物の溶液がフィルタ素子を生じさせ、この素子の導電率は第1液体に対し
低い一方、第2液体のX線吸収率は第1液体のX線吸収率よりも高くなる。低い
導電率と高いX線吸収率とを有する第2液体は、第2液体から被覆層へX線を吸
収した堆積物が減らされ、よってX線フィルタの有効寿命が増大するという利点
を提供する。上記第2液体の実施例は、Ch2I2又は1,3,5トリヨードベ
ンゼン(1,3,5-triiodine benzene)が溶解したヘキサデカン(hexadecane)である
。
【0009】 本発明に係るX線検査装置の他の実施例は、電気的に絶縁する被覆層が2つの
副層を含むことであり、第1の副層は導電層上に設けられるのに対し、第2の副
層はこの第1の副層上に設けられ、第1の副層はパリレン(parylene)、酸化ケイ
素、窒化ケイ素又はアノード酸化物を含むのに対し、第2の副層は疎水性物質を
含むことを特徴とする。2つの副層を有する電気的に絶縁する被覆層の使用は、
国際特許出願第WO97/03449号から公知である。この種類の組み合わせ
は、適切な電気的に絶縁な特性を有し、フィルタ素子から液体を排出可能にする
ために、壁部と第1液体との間に大きな接触角を保証する。アノード酸化物(ano
dic oxide)の例は、酸化アルミニウムAl2O3又は酸化タンタルTa2O3で
ある。
副層を含むことであり、第1の副層は導電層上に設けられるのに対し、第2の副
層はこの第1の副層上に設けられ、第1の副層はパリレン(parylene)、酸化ケイ
素、窒化ケイ素又はアノード酸化物を含むのに対し、第2の副層は疎水性物質を
含むことを特徴とする。2つの副層を有する電気的に絶縁する被覆層の使用は、
国際特許出願第WO97/03449号から公知である。この種類の組み合わせ
は、適切な電気的に絶縁な特性を有し、フィルタ素子から液体を排出可能にする
ために、壁部と第1液体との間に大きな接触角を保証する。アノード酸化物(ano
dic oxide)の例は、酸化アルミニウムAl2O3又は酸化タンタルTa2O3で
ある。
【0010】 本発明に係るX線検査装置の他の実施例は、フィルタ素子が毛細管を含んでい
ることを特徴とする。結果的に、供給電圧の僅かな変化が毛細管に存在する第1
液体の量の大きな変化をもたらす。
ることを特徴とする。結果的に、供給電圧の僅かな変化が毛細管に存在する第1
液体の量の大きな変化をもたらす。
【0011】 本発明は、請求項1に規定されるX線検査装置に使用するX線フィルタにも関
する。
する。
【0012】
図1は、X線検査装置の実施例である。X線源2は物体16に照射させるX線
ビーム15を放射する。例えば放射線により検査される患者のようなこの物体1
6内のX線吸収率の差によって、X線画像がX線源の反対側に配置されるX線検
出器3のX線感応面17上に形成される。このX線検出器は、出口窓19上にお
いてX線画像を光学画像に変換するX線画像増強装置18とこの光学画像をピッ
クアップするビデオカメラ23とを含む画像増強/ピックアップチェーンを具備
する。入口スクリーン20は、入射するX線を電子光学システム21によって出
口窓19上に結像される電子ビームに変換するX線感応面として働く。入射する
電子は、出口窓上の蛍光層22によって光学画像を生じる。ビデオカメラ23は
、光学結合を用いてX線画像増強装置18に光学的に結合される。光学結合は、
例えばレンズのシステム又は光ファイバー結合24を有する。ビデオカメラは、
この光学画像から電子画像信号40を得て、この電子画像信号をX線画像の画像
情報を視覚化するモニタ25に与える。この電子画像信号は、更なる処理をする
画像処理ユニット26にも与えられる。二次元強度プロフィールを調整するため
に、X線源2と物体16との間にX線ビーム15を局部的に減衰させるX線フィ
ルタ4を配する。このX線フィルタは、多数のフィルタ素子5を含んでいる。さ
らに、好ましくはフィルタ素子5は毛細管も含んでいる。この毛細管は第1開口
部を介して第1液体を含むタンク(図示せず)に通じている。X線吸収率は、毛
細管5の内側と第1液体とにかかる電圧を利用、好ましくは調整ユニット7によ
って調整可能にする。これは、毛細管の内側に第1液体が付着することは、毛細
管の内側と第1液体にかかる電圧に依存しているからである。これら毛細管は、
個々の毛細管5と第1液体とにかかる電圧に依存して、第1液体の規定量で満た
される。毛細管はX線ビームとほぼ平行に延在するので、個々の毛細管のX線吸
収率は、上記毛細管内に存在する第1液体の相対量に依存する。個々のフィルタ
素子の電気調整電圧は、X線画像の輝度値及び/又はX線源2の調整を考慮する
間は、調整ユニット7によって調整される。このために、調整ユニット7はビデ
オカメラ23の出力端子10とX線源2の電源11とに結合される。前記第1液
体は、例えば水のような有極性液体を含んでいる。X線吸収率を増大させるため
に、鉛、セシウム、タングステンの塩、例えばPb(NO3)2,CsCl又は
W4O13が溶解されている。この種類のX線フィルタの構造は、国際特許出願
公開公報第96/13040号に記載されている。
ビーム15を放射する。例えば放射線により検査される患者のようなこの物体1
6内のX線吸収率の差によって、X線画像がX線源の反対側に配置されるX線検
出器3のX線感応面17上に形成される。このX線検出器は、出口窓19上にお
いてX線画像を光学画像に変換するX線画像増強装置18とこの光学画像をピッ
クアップするビデオカメラ23とを含む画像増強/ピックアップチェーンを具備
する。入口スクリーン20は、入射するX線を電子光学システム21によって出
口窓19上に結像される電子ビームに変換するX線感応面として働く。入射する
電子は、出口窓上の蛍光層22によって光学画像を生じる。ビデオカメラ23は
、光学結合を用いてX線画像増強装置18に光学的に結合される。光学結合は、
例えばレンズのシステム又は光ファイバー結合24を有する。ビデオカメラは、
この光学画像から電子画像信号40を得て、この電子画像信号をX線画像の画像
情報を視覚化するモニタ25に与える。この電子画像信号は、更なる処理をする
画像処理ユニット26にも与えられる。二次元強度プロフィールを調整するため
に、X線源2と物体16との間にX線ビーム15を局部的に減衰させるX線フィ
ルタ4を配する。このX線フィルタは、多数のフィルタ素子5を含んでいる。さ
らに、好ましくはフィルタ素子5は毛細管も含んでいる。この毛細管は第1開口
部を介して第1液体を含むタンク(図示せず)に通じている。X線吸収率は、毛
細管5の内側と第1液体とにかかる電圧を利用、好ましくは調整ユニット7によ
って調整可能にする。これは、毛細管の内側に第1液体が付着することは、毛細
管の内側と第1液体にかかる電圧に依存しているからである。これら毛細管は、
個々の毛細管5と第1液体とにかかる電圧に依存して、第1液体の規定量で満た
される。毛細管はX線ビームとほぼ平行に延在するので、個々の毛細管のX線吸
収率は、上記毛細管内に存在する第1液体の相対量に依存する。個々のフィルタ
素子の電気調整電圧は、X線画像の輝度値及び/又はX線源2の調整を考慮する
間は、調整ユニット7によって調整される。このために、調整ユニット7はビデ
オカメラ23の出力端子10とX線源2の電源11とに結合される。前記第1液
体は、例えば水のような有極性液体を含んでいる。X線吸収率を増大させるため
に、鉛、セシウム、タングステンの塩、例えばPb(NO3)2,CsCl又は
W4O13が溶解されている。この種類のX線フィルタの構造は、国際特許出願
公開公報第96/13040号に記載されている。
【0013】 X線フィルタの第1液体の電圧付着特性の変化を打ち消すために、第2液体が
第1液体と電気的に絶縁する被覆層との間のインタフェース部に加えられる。こ
れは図2及び図3を参照して説明する。
第1液体と電気的に絶縁する被覆層との間のインタフェース部に加えられる。こ
れは図2及び図3を参照して説明する。
【0014】 図2は、本発明にかかるX線検査装置の第1実施例を示す。図2はX線フィル
タ4の毛細管5の実施例を示す。この毛細管の壁部41は、低い原子番号を持つ
素子からなる物質、例えば合成物質を含んでいる。この壁部41は、例えば厚さ
20nmの銅、アルミニウム又はタンタル(tantalum)層のような導電層42で被
覆されている。アルミニウム又はタンタルを使用する利点は、適切な極の場合、
覆われた電気的に絶縁する被覆層43が絶縁破壊しても、自復効果(self-restor
ing effect)が起きるので、絶縁層が回復されるという事実にある。電気的に絶
縁する被覆層は2つの副層、すなわち第1の電気的に絶縁する副層43及び第2
の浸透性を有する副層44も有する。この種類の二重層は前述の国際特許出願公
開公報03449号から公知である。この種類の二重層は適切な絶縁体及び第1
液体と毛細管の壁部との間の大きな接触角を提供する。この第1の電気的に絶縁
する副層は、パリレン(parylene)、酸化ケイ素、窒化ケイ素又はアノード酸化物
を含む。パリレンの場合、前記層は1から10μmまでの間、例えば5μmの厚
さを有する。酸化ケイ素の場合、層は30から500nmまでの間、例えば10
0nmの厚さを有する。アノード酸化物は、例えば酸化アルミニウムAl2O3 又は酸化タンタルTa2O3である。第2の副層は、ペレフルオロポリマー(per
fluoropolymer)のようなアポーラフッ化化合物(apolar fluoridized compound)
である親水性物質を含み、その厚さは100nmである。毛細管はさらに鉛、セ
シウム又はタングステンの塩、例えば1モル/リットルの濃度であるPb(NO 3 )2,CsCl又はW4O13の溶液を持つ水又はホルムアルデヒド(formami
de) のような有極性液体である第1液体を含んでいる。液体材質は、第1液体と
しても使用される。この種類の金属は、Hg,Ga,In又はPbを含んでいる
。100℃以下の融点を持つ合金を使用することも可能である。上記液体金属を
使用することは、上述の特許出願EP98201706.3に記載されている。
毛細管は空気、窒素又は希ガスのようなガスも含んでいる。電気的に絶縁する被
覆層と第1液体とに対しては不活性であり、第1液体の導電率とは離れた導電率
を有する第2液体を加えることが、電圧付着特性の変化を打ち消す。従ってこの
電圧付着特性の変化が打ち消されたとき、X線フィルタの有効寿命が既知のX線
フィルタに関しては一般的に103サイクルから約105スイッチサイクルに増
大する。図3は上記電圧付着特性の実施例を示す。
タ4の毛細管5の実施例を示す。この毛細管の壁部41は、低い原子番号を持つ
素子からなる物質、例えば合成物質を含んでいる。この壁部41は、例えば厚さ
20nmの銅、アルミニウム又はタンタル(tantalum)層のような導電層42で被
覆されている。アルミニウム又はタンタルを使用する利点は、適切な極の場合、
覆われた電気的に絶縁する被覆層43が絶縁破壊しても、自復効果(self-restor
ing effect)が起きるので、絶縁層が回復されるという事実にある。電気的に絶
縁する被覆層は2つの副層、すなわち第1の電気的に絶縁する副層43及び第2
の浸透性を有する副層44も有する。この種類の二重層は前述の国際特許出願公
開公報03449号から公知である。この種類の二重層は適切な絶縁体及び第1
液体と毛細管の壁部との間の大きな接触角を提供する。この第1の電気的に絶縁
する副層は、パリレン(parylene)、酸化ケイ素、窒化ケイ素又はアノード酸化物
を含む。パリレンの場合、前記層は1から10μmまでの間、例えば5μmの厚
さを有する。酸化ケイ素の場合、層は30から500nmまでの間、例えば10
0nmの厚さを有する。アノード酸化物は、例えば酸化アルミニウムAl2O3 又は酸化タンタルTa2O3である。第2の副層は、ペレフルオロポリマー(per
fluoropolymer)のようなアポーラフッ化化合物(apolar fluoridized compound)
である親水性物質を含み、その厚さは100nmである。毛細管はさらに鉛、セ
シウム又はタングステンの塩、例えば1モル/リットルの濃度であるPb(NO 3 )2,CsCl又はW4O13の溶液を持つ水又はホルムアルデヒド(formami
de) のような有極性液体である第1液体を含んでいる。液体材質は、第1液体と
しても使用される。この種類の金属は、Hg,Ga,In又はPbを含んでいる
。100℃以下の融点を持つ合金を使用することも可能である。上記液体金属を
使用することは、上述の特許出願EP98201706.3に記載されている。
毛細管は空気、窒素又は希ガスのようなガスも含んでいる。電気的に絶縁する被
覆層と第1液体とに対しては不活性であり、第1液体の導電率とは離れた導電率
を有する第2液体を加えることが、電圧付着特性の変化を打ち消す。従ってこの
電圧付着特性の変化が打ち消されたとき、X線フィルタの有効寿命が既知のX線
フィルタに関しては一般的に103サイクルから約105スイッチサイクルに増
大する。図3は上記電圧付着特性の実施例を示す。
【0015】 図3は、電圧付着特性を示す。毛細管と第1液体とにかかる電圧は、第1軸に
プロットされ、第1液体のメニスカス(meniscus)と電気的に絶縁する被覆層との
接触角が第2軸にプロットされる。接触角、故に毛細管の毛管上昇高は、供給電
圧及び被覆層の厚さに関係する。電圧付着特性の第1のライン53は、毛細管の
充填中に供給電圧を関数とする接触角の相対変化を示す。電圧付着特性の第2の
ライン52は、毛細管の排出中に供給電圧を関数とする接触角の相対変化を示す
。
プロットされ、第1液体のメニスカス(meniscus)と電気的に絶縁する被覆層との
接触角が第2軸にプロットされる。接触角、故に毛細管の毛管上昇高は、供給電
圧及び被覆層の厚さに関係する。電圧付着特性の第1のライン53は、毛細管の
充填中に供給電圧を関数とする接触角の相対変化を示す。電圧付着特性の第2の
ライン52は、毛細管の排出中に供給電圧を関数とする接触角の相対変化を示す
。
【0016】 第一液体と毛細管の電気的に絶縁する被覆層とのインタフェース部に第2液体
を付加することは、X線フィルタの毛細管を組み立てる前に第2液体で濡らすこ
とで実現されるので、この第2液体は浸透性を持つ第2副層に浸透する。X線フ
ィルタ4が第1液体45で満たされた後、第2液体は、電気的に絶縁する被覆層
と第1液体との間のインタフェース部に存在する。図2は、第1液体45と電気
的に絶縁する被覆層とのインタフェース部を示し、このインタフェース部は、メ
ニスカス51と壁部41とに沿う接触ライン50により形成される。第2液体は
、ヘキサデカン(hexadecane)又は他のアルケン(alkene)であるアポーラ非フッ化
炭化水素(apolar non-fluoridzed hydrocarbon)若しくはシリコンオイルを含む
。大量の第2液体を加えることも可能にするので、第2液体46を僅かに供給す
ることがX線フィルタの完了後、第1液体45のメニスカス51の端部に沿って
残り、液体レベルが変化するとき電気的に絶縁する被覆層は第2液体によって濡
れたままとなる。図4はX線検査装置の第2実施例を示す。
を付加することは、X線フィルタの毛細管を組み立てる前に第2液体で濡らすこ
とで実現されるので、この第2液体は浸透性を持つ第2副層に浸透する。X線フ
ィルタ4が第1液体45で満たされた後、第2液体は、電気的に絶縁する被覆層
と第1液体との間のインタフェース部に存在する。図2は、第1液体45と電気
的に絶縁する被覆層とのインタフェース部を示し、このインタフェース部は、メ
ニスカス51と壁部41とに沿う接触ライン50により形成される。第2液体は
、ヘキサデカン(hexadecane)又は他のアルケン(alkene)であるアポーラ非フッ化
炭化水素(apolar non-fluoridzed hydrocarbon)若しくはシリコンオイルを含む
。大量の第2液体を加えることも可能にするので、第2液体46を僅かに供給す
ることがX線フィルタの完了後、第1液体45のメニスカス51の端部に沿って
残り、液体レベルが変化するとき電気的に絶縁する被覆層は第2液体によって濡
れたままとなる。図4はX線検査装置の第2実施例を示す。
【0017】 図4はX線フィルタの第2実施例における毛細管の断面図である。毛細管の内
側は、図2を参照して説明された毛細管と同じやり方で導電層と電気的に絶縁す
る被覆層とで被覆される。その上、毛細管の両側は例えば生成するX線ビームの
外側に位置する第2ダクト60のようなタンクに接続されている。この第2実施
例は、例えばC型アーム構造を具備するX線検査装置に使用される。毛細管が重
力と平行に配置されないときに重力の影響を打ち消すために、本発明に係るX線
検査装置の第2実施例における毛細管は、例えば第1及び第2液体で完全に満た
される。第1又は第2液体の一部は、毛細管5の壁部と第1液体45とに与えら
れる電位に依存して第2の管60から及び第2の管60へ置き換えられる。その
上、第1液体45は、第2液体46よりも高い導電率を有し、これら2つの液体
は、異なるX線吸収率も持っている。これは、2つの実用バーションとなる。第
1バージョンは、第1液体45のX線吸収率が第2液体46のよりも高く、第2
バージョンは、第1の液体45のX線吸収率が第2液体46のよりも低い。
側は、図2を参照して説明された毛細管と同じやり方で導電層と電気的に絶縁す
る被覆層とで被覆される。その上、毛細管の両側は例えば生成するX線ビームの
外側に位置する第2ダクト60のようなタンクに接続されている。この第2実施
例は、例えばC型アーム構造を具備するX線検査装置に使用される。毛細管が重
力と平行に配置されないときに重力の影響を打ち消すために、本発明に係るX線
検査装置の第2実施例における毛細管は、例えば第1及び第2液体で完全に満た
される。第1又は第2液体の一部は、毛細管5の壁部と第1液体45とに与えら
れる電位に依存して第2の管60から及び第2の管60へ置き換えられる。その
上、第1液体45は、第2液体46よりも高い導電率を有し、これら2つの液体
は、異なるX線吸収率も持っている。これは、2つの実用バーションとなる。第
1バージョンは、第1液体45のX線吸収率が第2液体46のよりも高く、第2
バージョンは、第1の液体45のX線吸収率が第2液体46のよりも低い。
【0018】 この第1バージョンにおける第1液体45は、第1液体のX線吸収率を第2液
体のよりも高くさせるために、鉛、セシウム又はタングステンの塩、例えばPb
(NO3)2,CsCl又はW4O13の溶液を持つ水又はホルムアルデヒドの
ような有極性液体を含む。この液体の濃度は、1モル/リットルに達する。第1
バージョンの第2液体46は、例えばヘキサデカンであるアルケンのような非フ
ッ化炭化水素を含む。
体のよりも高くさせるために、鉛、セシウム又はタングステンの塩、例えばPb
(NO3)2,CsCl又はW4O13の溶液を持つ水又はホルムアルデヒドの
ような有極性液体を含む。この液体の濃度は、1モル/リットルに達する。第1
バージョンの第2液体46は、例えばヘキサデカンであるアルケンのような非フ
ッ化炭化水素を含む。
【0019】 第2バージョンの第1液体45は、それの導電率を第2液体のよりも高くさせ
るために、食塩水を持つ例えば水のような有極性液体を含み、更に第2バージョ
ンの第2液体は、第2液体のX線吸収率を第1液体のよりも高くさせるために、
例えばCh2I2、1,3,5トリヨードベンゼンが0.5モル/リットルの濃
度で溶解したアポーラ液体又はシリコンオイルを含む。第2バージョンの利点は
、電気的に絶縁する被覆層上の第2液体からX線を吸収した沈殿物が打ち消され
るので、X線フィルタの有効寿命が延長されるという事実にある。
るために、食塩水を持つ例えば水のような有極性液体を含み、更に第2バージョ
ンの第2液体は、第2液体のX線吸収率を第1液体のよりも高くさせるために、
例えばCh2I2、1,3,5トリヨードベンゼンが0.5モル/リットルの濃
度で溶解したアポーラ液体又はシリコンオイルを含む。第2バージョンの利点は
、電気的に絶縁する被覆層上の第2液体からX線を吸収した沈殿物が打ち消され
るので、X線フィルタの有効寿命が延長されるという事実にある。
【図1】 図1は、X線検査装置を示す。
【図2】 図2は、本発明に係るX線フィルタの第1実施例を示す。
【図3】 図3は、電圧付着特性の一例を示す。
【図4】 図4は、本発明に係るX線フィルタの第2実施例を示す。
41 壁部 42 導電層 43 第1の副層 44 第2の副層 45 第1液体 46 第2液体 50 接触ライン 51 メニスカス
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 Groenewoudseweg 1, 5621 BA Eindhoven, Th e Netherlands Fターム(参考) 2G001 AA01 BA11 CA01 DA09 EA06 EA20 GA01 GA06 GA09 HA12 HA13 JA13 KA03 LA01 RA08 4C093 AA07 CA36 CA38 CA39 EA11 EB02 EC16
Claims (8)
- 【請求項1】 物体のX線画像を形成するX線検査装置であり、 −X線ビームを生成するX線源、 −壁部が導電体と電気的に絶縁する被覆層とを備えたフィルタ素子であて、容量
が前記物体の強度プロフィールを調整するために調整される第1液体を含む前記
フィルタ素子を具備するX線フィルタ、及び −X線画像を検出するX線検出器、 を含むX線検査装置において、 −前記フィルタ素子が前記第1液体と前記電気的に絶縁する被覆層とのインタフ
ェース部に第2液体を含み、前記第2液体は前記第1液体に対し不活性であって
、前記第1液体の導電率から離れた導電率を有することを特徴とするX線検査装
置。 - 【請求項2】 前記フィルタ素子はガスも含んでいる請求項1に記載のX線
検査装置。 - 【請求項3】 前記第1液体が塩の溶液を持つ有極性液体を含むか又は液体
金属を含む請求項1に記載のX線検査装置。 - 【請求項4】 前記第2液体がアポーラ非フッ化炭化水素(apolar non-fluo
ridzed hydrocarbon)又はシリコンオイルを含む請求項1に記載のX線検査装置
。 - 【請求項5】 前記フィルタ素子が専ら前記第1液体と前記第2液体とを含
み、前記第1液体のX線吸収率が第2液体のX線吸収率とは離れていることを特
徴とする請求項1に記載のX線検査装置。 - 【請求項6】 前記第2液体はヨウ素又はブロミウム(bromium)を含む化合
物も有することを特徴とする請求項5に記載のX線検査装置。 - 【請求項7】 前記フィルタ素子が毛細管を有することを特徴とする請求項
1に記載のX線検査装置。 - 【請求項8】 前記電気的に絶縁する被覆層は、2つの副層を有し、第1の
副層は導電層上に設けられるのに対し、第2の副層は前記第1の副層上に設けら
れ、前記第1の副層はパリレン、酸化ケイ素、窒化ケイ素又はアノード酸化物を
具備し、前記第2の副層は疎水性物質を含むことを特徴とする請求項1に記載の
X線検査装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP98202630 | 1998-08-04 | ||
EP98202630.4 | 1998-08-04 | ||
PCT/EP1999/005508 WO2000008653A1 (en) | 1998-08-04 | 1999-07-27 | X-ray examination apparatus having an adjustable x-ray filter |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
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Family Applications (1)
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JP2000564208A Pending JP2002522137A (ja) | 1998-08-04 | 1999-07-27 | 調整可能なx線フィルタを有するx線検査装置 |
Country Status (5)
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---|---|
US (1) | US6198806B1 (ja) |
EP (1) | EP1042754B1 (ja) |
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DE (1) | DE69908751T2 (ja) |
WO (1) | WO2000008653A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210103239A (ko) * | 2020-02-13 | 2021-08-23 | (주)엠에스라인이엔지 | 다층 구조의 방사선 차폐 필터 및 이를 구비한 엑스레이 촬영장치 |
KR20210103240A (ko) * | 2020-02-13 | 2021-08-23 | (주)엠에스라인이엔지 | 조리개를 구비한 엑스레이 촬영장치 |
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JP2003512113A (ja) * | 1999-10-18 | 2003-04-02 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 吸収率が調整可能なフィルタ素子を有するフィルタを具えたx線装置 |
JP2003516211A (ja) * | 1999-12-08 | 2003-05-13 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | X線吸収度を調整しうるフィルタ素子を有するフィルタとx線吸収センサとを具えるx線装置 |
EP1169714A1 (en) * | 2000-02-04 | 2002-01-09 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | X-ray apparatus including a filter provided with filter elements having an adjustable absorption |
WO2001080252A1 (en) * | 2000-04-17 | 2001-10-25 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | X-ray apparatus provided with a filter with a dynamically adjustable absorption |
US20040120464A1 (en) * | 2002-12-19 | 2004-06-24 | Hoffman David Michael | Cast collimators for CT detectors and methods of making same |
US7254216B2 (en) * | 2005-07-29 | 2007-08-07 | General Electric Company | Methods and apparatus for filtering a radiation beam and CT imaging systems using same |
WO2007034377A2 (en) * | 2005-09-19 | 2007-03-29 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Composite layer having improved adhesion, and fluid focus lens incorporating same |
US7308073B2 (en) * | 2005-10-20 | 2007-12-11 | General Electric Company | X-ray filter having dynamically displaceable x-ray attenuating fluid |
JP5106433B2 (ja) | 2008-03-27 | 2012-12-26 | 三菱電機株式会社 | 選別装置 |
WO2010108146A2 (en) | 2009-03-20 | 2010-09-23 | Orthoscan Incorporated | Moveable imaging apparatus |
US9125611B2 (en) | 2010-12-13 | 2015-09-08 | Orthoscan, Inc. | Mobile fluoroscopic imaging system |
US8710476B2 (en) | 2011-11-03 | 2014-04-29 | Elwha Llc | Systems, devices, methods, and compositions including fluidized x-ray shielding compositions |
US9006694B2 (en) * | 2011-11-03 | 2015-04-14 | Elwha Llc | Systems, devices, methods, and compositions including fluidized x-ray shielding compositions |
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DE102012206953B3 (de) * | 2012-04-26 | 2013-05-23 | Siemens Aktiengesellschaft | Adaptives Röntgenfilter und Verfahren zur adaptiven Schwächung einer Röntgenstrahlung |
DE102012207627B3 (de) * | 2012-05-08 | 2013-05-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Adaptives Röntgenfilter zur Veränderung der lokalen Intensität einer Röntgenstrahlung |
DE102012209150B3 (de) | 2012-05-31 | 2013-04-11 | Siemens Aktiengesellschaft | Adaptives Röntgenfilter und Verfahren zur Veränderung der lokalen Intensität einer Röntgenstrahlung |
DE102012217616B4 (de) * | 2012-09-27 | 2017-04-06 | Siemens Healthcare Gmbh | Anordnung und Verfahren zur Veränderung der lokalen Intensität einer Röntgenstrahlung |
DE102013225425B4 (de) * | 2013-12-10 | 2023-08-17 | Siemens Healthcare Gmbh | Röntgeneinrichtung und Verfahren zur Angleichung des von einem Röntgenstrahler in einem Strahlenbündel erzeugten Intensitätsprofils |
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EP0826220B1 (en) * | 1996-02-14 | 2002-05-29 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | X-ray examination apparatus with x-ray filter |
-
1999
- 1999-07-27 EP EP99938389A patent/EP1042754B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-07-27 WO PCT/EP1999/005508 patent/WO2000008653A1/en active IP Right Grant
- 1999-07-27 DE DE69908751T patent/DE69908751T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1999-07-27 JP JP2000564208A patent/JP2002522137A/ja active Pending
- 1999-08-03 US US09/365,801 patent/US6198806B1/en not_active Expired - Fee Related
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KR20210103239A (ko) * | 2020-02-13 | 2021-08-23 | (주)엠에스라인이엔지 | 다층 구조의 방사선 차폐 필터 및 이를 구비한 엑스레이 촬영장치 |
KR20210103240A (ko) * | 2020-02-13 | 2021-08-23 | (주)엠에스라인이엔지 | 조리개를 구비한 엑스레이 촬영장치 |
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KR102387135B1 (ko) * | 2020-02-13 | 2022-04-15 | (주)엠에스라인이엔지 | 다층 구조의 방사선 차폐 필터 및 이를 구비한 엑스레이 촬영장치 |
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